发布时间:
2020
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干式真空泵在一个特殊的行业中应用广泛，为了配合行业的使用，方便用户的选择，厂家分为多种，主要有以下形式。 双圆裂片式真空泵 双圆裂片式真空泵的修订与目前最流行、应用最广泛的罗茨泵很相似。 实际上，一些最初的干泵设置修正思想是把罗茨泵重叠起来。 这样的多级修订使瓦斯气体通路变得相当复杂，各级需要大的流量氮瓦斯气体发挥稀释和隔离的作用。 此外，为了达到良好的真空度，对各级的间隙要求非常严格。 当然，该设置修订会增加内部压缩比，因此电功耗相对较低。 三叶圆裂片式真空泵 三叶裂片式真空泵设置修订和双圆裂片式设置修订的原理完全相同，只是在一周的时间里把瓦斯气体分成三个，而不是像双圆裂片式那样分成两个。 这两种设计有相同的优点和缺点。 为了进一步降低电功耗，根据传动部的制造商选择了2个直流马达，但这也会导致扭矩的减少，重启的能力下降。 与双圆裂片式设定订正同样，三叶圆裂片式设定订正的各段为了发挥稀释和隔离的作用，需要较大的流量氮瓦斯气体。 组合式(罗茨+爪)真空泵 组合式(罗茨+爪)的设定改正是罗茨提高低压下的抽气效率，爪提高高压下的抽气效率。 其基本原理和瓦斯气体通道与先前介绍的圆裂片式设置修订完全相同。 有些厂家将其最终段改为星形设置订正，一转即可将气体分为五个，如三圆裂片式设置订正可分为三个。 类似地，在许多处理中，在组合设置修订的每级中，大流量氮瓦斯气体需要用作稀释和隔离。 外部压缩型螺杆式真空泵 在外部压缩型螺杆式设定修订中，使用一对等间距螺杆。 由此，将内部压缩抑制在最小限度，并且使瓦斯气体定通路最短也变得最简单。 由此，气体在泵内的停留时间也变得最短。 该设定纠正减少了内部的压缩比，相对提高了电功耗，但在许多复杂的半导体工艺中呈现出极高的稳定性。 这种单段设定修正对氮瓦斯气体的使用量的要求也非常小、简单，因此在不同的工艺中的兼容性良好。 在很多清洗过程中不...