1、故障现象：泵的抽气量不够
产生原因;
(1)罗茨真空泵的转速不够;(2)密封不严，在进气管路的连接处或轴封处漏气;(3)泵的转子与转子、转子外圆与泵壳，转子端面与端盖周的间隙过大，气体返流量增大;(4)环境温度或冷却水的温度过高。
排除方法：
(1)如泵的转速不够，且抽气量是与泵的转速成正比，则泵的抽气量就会下降。这有两种情况;一种情况是泵的转速未配备好，也就是皮带轮的直径不合适，可更换皮带轮，改变皮带轮的直径;另一种情况可能是皮带安装不当、未张紧，皮带打滑而降低了转速，这可调节电机位置，使皮带张到一定紧度。
(2)查明何处漏气，如是连接法兰处漏气，则可能是由于连接螺钉松动，垫圈压破变质或者是法兰面加工不平;如是在轴封处漏气，则有可能是密封皮碗未装正或破裂，此时则更换皮碗并装正;若是填料密封的，可将扎进的填料掏出，更换新的，但填料的接口必须是斜面而互相搭接服贴，第一圈的接口必须与第二圈的接口错开，不能在同一位置上。
(3)若转子与转子型面间的间隙不均匀，在转圈中处间隙大，另一处间隙小，这由于在装配时同步齿轮的啮合状况未调整好，则这对同步齿轮之一的齿轮作轮毂固定，另一个齿轮的轮毂做成可以调节的，因为两转子的外型是共轭曲面，要互相正常啮合。与此同时，外端的传动齿轮(同步齿轮)也要处于正常啮合状态，这样辐子才能正常传动。否则，即使能转动，也可能出现在转冠中，两转子间的间隙时大时小。
在这种状态下，将可调齿轮连接轮毂的螺钉拧松并拔出定位销钉，进行调节，便转子的啮合和齿轮的啮合同时达到正常啮合状态，这时各处间隙就均匀了，重新拧紧螺钉，重铰销钉孔并装上销钉定位。倘如转子外径与泵壳的间隙某处过大，则可拧松端盖与泵壳的连接螺钉，拔出定位销，进行调节，待各处间隙都均匀了，再拧紧螺钉，重铰端盖与泵壳的定位销孔并装上锥销。
(4)环境温度升高则抽气量就会降低，针对这种情况，尽量将注入水温降低。
2、故障现象：真空度不够高
产生原因：(1)进气系统密封不严，有漏气现象;(2)泵本身密封不严，在轴封处漏气;(3)转子与转子或转子与壳体的间隙过大，空气温度过高：(4)泵的进出口气体介质的压力差过大。
排除方法：解决前3种故障的办法与前述方法相同。其中，空气温度过高，会降低真空度，如果是湿式泵则可在进气口处注入冷水，如果是干式泵则在出气口加冷却器，降低空气温度。对(4)款压差过大的原因甚多，如是干式泵需检查安全阀(溢流阀)是否失灵，如失灵出气压力可能偏高，如是湿式泵则可能是出口水封压力过高或者是出口管径过小、弯头太多而增加了出口阻力所致，针对实际情况予以排除。
3、故障现象：停车后泵再启动困难
产生原因：有时泵在连续运行时，未发现有什么不正常的现象发生，一旦在短暂的时间内停止运转，再启动就感到困难，甚至不能启动，这种现象的发生，如是湿式泵，则可能有下列原因：(1)泵壳内壁和转于外表面水垢积沉太厚，将间隙堵死了;(2)在安装或更换进气管道时，未很好将管内清洗干净，致使焊渣或其它硬杂物带进了泵内;(3)转子发生串位，转于端部与端盖发生了摩擦而增大了阻力;(4)转子轴弯曲，转子或同步齿轮咬死。
排除方法：(1)进入泵的冷却水，有的是未经过处理的硬水，钙质太重而在泵内产生沉积，尤其是未经处理的硬水又在泵内处于50-60℃温度下工作，就更容易沉积而成为水垢堵塞了泵的间隙。解决的办法有二：一为机械法，就是用铲刀或刮刀把水垢铲除，另一办法是采用化学的方法，可用浓度为5%～10%的盐酸。其中，用化学法清除垢结束后，须用蒸汽和水进行洗涤，以免设备被腐蚀。为了避免产生严重的结垢现象，冷却水应该是经过处理的温度在20℃以下的清洁冷水;(2)在装管子之前，一定要将管内清理干净，在有条件的场合，先将管内壁通擦干净，而后用压缩空气吹洗;(3)取出转子重新装配，并查明原因何在，针对具体情况而予以适当处理;(4)将转子从泵壳中取出，并将其放在两个平行而等高的刀口上或与此类似的支架上，用千分表检查转子轴是否有弯曲和弯曲度的大小和方向，如弯曲度小则用压力机矫直，如弯曲度大则需更换。
4、故障现象：泵在运转时噪声增大
产生原因：(1)转子与转子或转子与壳体之间舱间隙不均匀或不合适而发生了摩擦，在这种情况下噪声则可剧烈增加;(2)同步齿轮啮合不好，或齿间间隙过大，或者是齿轮箱内缺乏润滑油，齿与齿处于干摩擦状态，这时齿箱内的噪声也会剧烈增加：(3)泵的转速过高，工作介质(空气和水)在泵腔内和稳压箱中产生剧烈的碰撞，甚至泵还发生振动，当然噪声也就增大了。
排除方法：要仔细分析查听，找出噪声发源于何处，然后查出产生噪声的原因，随之降低噪声的办法也是有的。(1)如果转子与转子或转子与泵壳发生摩擦而产生噪声，这是完全可以测听出来的，按照前面所述的调节转子间隙的方法进行仔细调整，使其各个间隙都符合要求：(2)将同步齿轮中的一个，即