发布时间:
2021
-
01
-
14
来源:
277
干式真空泵主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用与发展。国外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段，如日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，而欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。 为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有螺杆式真空泵、多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、往复式活塞真空泵、涡旋式真空泵以及涡轮式无油真空泵等。干泵极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。 1、干式真空泵的介绍及原理 此为立式双螺杆干式真空泵，它的吸气和排气原理和大多数是一样的，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。 干式真空泵工作时，相互之间无摩擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘。由于螺杆制成变螺距结构，与等螺距结构相比，极限真空更高，而消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式真空泵的更新换代产品。 备品备件是标准的O型圈。从上至下的输送方式能可靠地处理夹带液体的湿气及粉尘，并且无需过滤器。最优化的螺杆外形设计使功率消耗降到最低，简单的设计可使泵腔在1小时内在现场全部解体，易于清洗维护。 2、独特的冷却方式 很多泵转子卡死的原因是吸入含有粉尘及结晶的物质、高温发生聚合的物质、热敏性物质的升华造成转子间的间隙变小，另外一个原因是由于长期运转，转子会由于热胀冷缩而发生形变，造成泵的卡死。 干式真空泵的冷却方式： 目前干泵多用夹套冷却水对转子进行冷却。 3、抽除易燃易爆及腐蚀性介质怎么办? 众所周知，腐蚀是由于溶液里的酸性离子和碱性离子跟金属发生反应才造成的，温度越高腐蚀的速率越快。一般的真空泵采用一些防腐材质或是在转子上做一些防腐涂层来延缓腐蚀速率。 但是由于干式真空泵运行时内部存在苛刻的热...