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2019 - 07 - 05
旋片式真空泵(简称旋片式真空泵)是一种油封机械真空泵。其工作压力范围为101325~1.33× 10-2(Pa)是低真空泵。它可以单独使用,也可以作为其他高真空泵或超高真空泵的前级泵使用。广泛应用于冶金,机械,军工,电子,化工,轻工,石油,医药等生产和科研部门。旋片式真空泵可以去除密封容器中的干燥气体,并且如果安装气镇装置,则可以去除一定量的可冷凝气体。但是,它不适合去除氧气过高,对金属有腐蚀性,对泵油有化学反应性,并含有微粒粉尘的气体。 旋片式真空泵是真空技术中最基本的真空采集设备之一。旋片式真空泵主要是中小型泵。旋片式真空泵有单级和双级两种。所谓的两级是将两个串联的单级泵连接起来。通常,将其制成两个阶段以获得更高的真空度。 旋片式真空泵的抽速与入口压力之间的关系如下:在入口压力为1333P.a,1.33Pa和1.33× 10-1(Pa)时,抽速值不应为低于泵的标称抽速的95%,50%和20%。 旋片真空泵主要由泵体,转子,旋片,端盖和弹簧组成。转子偏心地安装在旋片式真空泵的空腔中,转子的外圆周与泵室的内表面相切(两者之间存在小的间隙),并且两个转子叶片安装在转子中插槽。当旋转时,旋转叶片的顶端通过离心力和弹簧的张力保持与泵室的内壁接触,并且转子的旋转驱动旋转叶片沿着内壁滑动。两个旋转叶片将由转子,泵腔和两个端盖包围的月牙形空间分...
2019 - 07 - 10
真空泵站主要由真空收集罐、真空泵、污水泵和自控装置组成。真空收集罐用于保证真空和收集污水,一般罐内下部1/3的空间收集污水,上部余下的2/3的空间用于保证真空。真空收集罐和真空管道连接,真空管道的接入口一般为罐体的中部。罐内的负压有真空泵产生。当负压低于下限时,真空泵开启,当罐内负压达到设定上限时,真空泵自动停止。在真空泵可收集罐之间安装有止回阀,真空泵停止运行时,止回阀自动关闭,保证罐内气体不倒流。在污水泵口也安装有止回阀,当污水泵停止运行时,止回阀自动关闭,防止污水倒流。真空收集罐顶部还安装有安全阀,防止真空泵或污水泵工作时,罐内压力过大。 真空站使用前要进行密封试验。在使用终端阀门关闭的情况下,启动真空泵使系统负压达到-70kPa,1小时后负压降低应不超过10%。 真空排水系统在我国起步较晚,是一种新型排水系统,比较适合应用于地下室等对安装及卫生有特殊要求的场所。虽然其造价比传统的排水方式高20%~30%,但其在节水、环保和运行维护方面具有非常明显的优势。经过不断的实践和改进,相信这种排水系统在未来必将会受到越来越多的青睬。
2019 - 07 - 15
进口真空泵过滤器是真空泵中的过滤装置,是过滤器的重要工作部件。滤波器的质量主要取决于滤波器的性能。那么如何维护和维护进口真空泵过滤器呢?  一,在进口真空泵的操作中有三种主要的过滤方式 1,空气过滤器:可有效防止固体颗粒和细灰被吸入真空泵。减少机械磨损,提高操作可靠性。它还有效地保护系统组件,同时延长泵的使用寿命。 2,排气过滤器:考虑到排气阻力,容尘量,油气分离性能,三个要求,以达到最佳平衡。不同的内部和外部位置使用不同的材料来实现不同的分离目的。 3,机油滤清器:用于进口真空泵机油滤清器,延长机油滤清器的使用寿命,安装在机油回路中。 二,使用进口真空泵过滤器及保养方法1,松开旋钮螺栓,将过滤器外壳与头部分开。小心不要丢失橡胶密封圈和纤维垫圈。 2,小心取下弹簧和毛毡垫圈,然后取下纸芯。 3,用刷子清除滤芯折痕处的灰尘和异物,然后用手轻轻拍打,使剩余的灰尘掉落,擦去外壳内壁上的灰尘和灰尘上的灰尘。纤维垫。 4,按照与拆卸相反的顺序放回清洁过的或新过滤器
2019 - 07 - 19
真空泵发展非常迅速。近年来,使用频率逐渐增加,但不可避免地存在问题。例如,当使用罗茨真空泵时,由于某些其他原因会发生一系列故障,例如罗茨真空泵的温度过高。我们如何解决它?罗茨真空泵的温度是多少?罗茨真空泵的温度在使用过程中会不断增加,可能超过温度阻碍。这种现象有很多原因。在这里,我们需要执行关闭和反汇编以进行分析。让我们介绍一下设备的拆卸方法以及电机温度过高的原因:一,真空泵温度过高的原因(1)电动机功率大,工作电流大,发热量大。(2)风扇转速低,风压小,风量小。(3)电风扇的叶片数量少,产生的风量小。(4)电机附有灰尘和油,减少散热。(5)真空泵电机的母线电压为380V。由于电缆电压降和负载分布不均匀,电机施加的电压仅为365V,真空泵电压低,形成大的运行电流。以上是真空泵电动机的温度过高的原因。为避免真空泵电机温度过高的现象,可定期清洁电机上的灰尘,清洗电机散热片,增加散热能力;原装风扇罩加长40厘米并安装在里面。轴流风扇,直径与风扇罩相同。 二,删除步骤 1.在拆卸罗茨真空泵之前,先测量并记录转子的部分间隙,尽量不要用重锤击打。拆下的部件应安全保存,不得损坏。 2.停止详细说明交换零件的原因和操作状态。 3.在拆卸进口真空泵之前,应清洗所有部件一次,并对毛刺进行抛光。 4.无密封衬垫或密封圈的静密封面采用无机硅橡胶涂料处理,然...
2019 - 07 - 24
水环式真空泵是一种普通的泵,在我们的生产和生活中发挥着重要作用。它具有操作方便,效率高,运行成本低的优点,使该装置得到广泛应用。使用,想知道可以一起看看吧!        1.在电力工业中的应用:冷凝器真空吸尘,真空吸水,烟气脱硫,真空排气和地热气体排放。        2.石油化工行业的应用:气体回收,气体回收,气体增压,强化石油回收,气体收集,原油稳定,易燃易爆气体压缩,真空蒸馏顶置真空系统,真空结晶和干燥,真空过滤,真空交付各种材料。        3.在制造业中的应用:干燥,反应器干燥,蒸馏,脱气,结晶,材料转移。        4.在纸浆和纸张生产中的应用:黑液蒸发,粗浆洗涤器,石灰泥和过滤器,沉淀过滤器,真空脱水机,原料和白水脱气系统,浆料罐压缩机,吸水箱,辊辊,吸辊和转印辊,真空压力机,毛毡吸水箱,防喷箱。        5.在塑料工业中的应用:挤出机脱气,定型台(型材),EPS发泡,干燥,气动输送装置,氯乙烯气体提取和压缩。        6,应用装置:蒸汽灭菌,呼吸器,气体,防护服,牙科器械,中央真空系统。  ...
2019 - 07 - 27
影响真空泵效率的原因是什么?我们来看看以下内容:1.真空泵本身的输出功率是最重要的影响因素。对于在相同运行条件下的泵,输出功率可能相差超过15%。2,离心泵运行工况低于泵的额外工作状态,泵效率低,能耗高。3.电机的额定功率在应用中不会改变。因此,选择大功率电机非常重要。4.机械设备输出功率的影响主要与整体规划和制造产品质量有关。选择泵后,后续处理的影响很小。5.液压损失包括液压冲击和部分阻力损失。在泵运行一段时间后,叶轮表面和叶片等不可避免地磨损,液压损失增大,液压输出降低。6.真空泵的容量损失也称为泄漏损失,包括叶轮密封,级间和轴向力平衡。容量输出功率的凸度和凹度不仅与总体规划和制造有关,而且与后续处理有关。在泵连续运行一段时间后,由于部件之间的冲突,间隙增大,并且容量输出功率降低。7.由于过气缸堵塞和管道进气,离心泵抽搐和空转。8.在真空泵启动之前,工作人员在离心泵启动前没有注意准备工作。本质安全的操作程序,例如温泵,盘式泵和输液泵没有彻底实施,并且经常产生泵的空化问题,导致泵的大噪声和大的冲击。泵效率低。真空泵维护的常见问题如下:1.检查油位是否为低油位标记。如果低干油标记线应立即加油,将影响真空泵的真空度。油量不适合太多,否则会引起启动困难和燃油喷射等问题。2,应经常注意真空泵是否运转正常,没有特殊噪音,电机不高负荷运转,电机和真空泵的温度不要太高。3.用水冷却的真空泵应避...
2019 - 07 - 31
关于进口真空泵排气管爆炸现象的原因,我们将通过安排相关材料和咨询相关专家总结以下处理方法,希望对大家有所帮助。1,进口真空泵过滤在从入口真空泵抽吸空气的过程中,少量材料和残余液体被吸入泵的阀板,并且一些润滑油也粘在泵的阀板上。这些材料在高温下长时间碳化以形成碳沉积物。在某些条件下,可燃气体的混合物易于引起爆燃,并通过排气管向外排出,形成爆裂声。为了消除这种现象,可以在泵的进气管上安装过滤装置以过滤灰尘或残留液体,并定期清洁过滤装置以确保装置的良好性能。同时,应及时维护和清洁整个泵体。实践证明,这项工作最好每三个月完成一次。2,进口真空泵冷却当真空泵活塞在气缸内连续往复运动时,泵体温度过高,为物料碳化提供了条件,最终引发事故。为了避免这种情况,操作员需要在启动泵之前首先打开泵冷却系统,并确保系统入口和出口管道畅通无阻。由非冷却水引起的泵体高温引起事故的主要原因是操作者责任心不强,违反操作程序而忽略。3,洗涤和缓冲在进口真空泵前加入水洗和缓冲罐,可有效消除吸入的残留液体,对混合空气也有一定的冷却效果。然而,在实际工作中,经常会出现以下两种现象:第一,当罐内残留液体量少时,少量液体被吸入泵体,材料将在高温下碳化。 ;第二,当剩余液体量大时,如果没有及时排出,真空泵可能会吸入液体物质并导致泵冲洗,导致设备发生大的事故。因此,工人在生产过程中需要有强烈的责任感,及时排出残留液体,以免发生意外...
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Hot News / 热点新闻
发布时间: 2025 - 07 - 03
来源: 542
在塑胶造粒产线中,干式螺杆真空泵可全面替代水环式真空泵,其优势体现在环保性、工艺适应性、稳定性、经济性及安全性五大方面,具体分析如下:1. 环保性:无污染排放,降低合规风险水环泵痛点:水环泵以水为密封介质,运行中水环与物料、气体接触易导致水质污染,尤其处理腐蚀性或有毒塑胶原料时,废水处理成本高且环保压力大。例如,某塑胶企业因水环泵油雾排放超标被罚款,后更换为干式泵后顺利通过环保认证。干式泵优势:采...
发布时间: 2021 - 05 - 10
来源: 301
真空泵的工作效率直接影响机组的真空度和发电厂的经济性。让我们谈谈真空泵的启停和正常运行中的注意事项。  1.开始之前,您必须完全验证是否满足所有条件。在开始之前,请确保蒸汽-水分离器中的水位正常。无法从高水位开始或没有水开始。  2.在开始启动之前,必须打开手动入口门。启动后,它将在压差的作用下自动打开。在开始之前,请打开气动门,否则会降低设备的真空度。  3.在正常运行期间,蒸汽和水分离器的水位应保持在一定范围内。如果水位太高,水将通过下部排水阀排出;如果水位太高,水将自动通过补水电磁阀排出。在运行期间,请检查供水的正常温度。如果温度过高,应及时换水和冷却,以防止温度过高,影响冷却效果,降低泵的抽水能力。  4.停止时,首先关闭进气阀,等待进气阀正常关闭,然后停止真空泵运行。如果无法正常关闭入口气动阀,请保持真空泵运行,关闭手动入口门,然后停止真空泵。联系维修人员,找出原因,然后正常处理。  5.当设备建立真空状态时,应启动三个真空泵以快速建立真空状态;当设备处于正常运行状态时,请保持一台真空泵运行,两台真空泵处于待机状态。
发布时间: 2021 - 05 - 10
来源: 123
水环真空泵是发电厂真空系统中常用的真空设备。它在打开设备之前保持真空状态并在启动后保持真空状态方面起着重要作用。让我们谈谈真空泵的启动和停止步骤问题。  水环真空泵的启动和停止步骤如下:  1.在开始之前,请确认系统连接完好,作业单已结束,无关人员已从生产现场撤离,并且系统的相关阀状态正确。现场计量表已正常运行。  其次,检查进气门的控制压力是否正常,压缩空气压力是否保持在0.4-0.5Mpa,进气门的电源是否已打开以及开关的测试是否正常。  3.检查真空泵供水系统的阀门是否已打开,冷凝水泵是否正常运行或淡化水系统的压力是否正常。  四,检查冷水机进水口和回水口是否打开,给水压力是否正常,检查汽水分离器,给水管阀处于正确状态,给水阀排水口底部有蒸汽。 -分水器关闭,泵体上的排水阀关闭。  第五,打开水分离器水分离器旁通阀以补充水分离器水位至140-180mm,然后放电磁阀,打开电磁阀前后手动门并放置自动调节装置。  6.测量仪的绝缘材料合格,然后将其发送到电源,检查电机接地线是否完好,并确认满足启动条件。  7.确认排气装置的真空破坏门已关闭,并且轴封加热器水封已经运行。空隙破坏门充满水并密封。  8.开始运行真空泵,电流不大于额定电流,检查真空泵是否正常运行,水气分离器的水位是否正常,泵的电机和轴承是否正常振动。温度变化正常,轴承温度正常。  真空泵的轴承温度应不高于75,电动机的轴承温度应不高于85。  9.当真空泵入口压力差达到0.3 kPa时,入口气动门将正常打开。否则,必须手动将其打开。  10.检查装置的真空度是否开始增加,真空泵是否正常工作,体内没有异常声音,填料密封中的水泄漏是否充分,蒸汽分离器的水位是否高。正常稳定,且冷水机进水和回水温度正常。  11.如果需要停止使用真空泵,则必须首先关闭气动进气门,然后在关闭启动器进气门后停止真空泵。如果无法正常关闭启...
发布时间: 2021 - 05 - 07
来源: 32
夏季室外温度本身很高。螺杆真空泵处于工作状态时,设备的温度会升高,容易造成损坏。那么夏天使用的时候要注意些什么呢?如何减少设备损坏的情况。  如果热量难以散发出去,则螺杆真空泵的温度会升高,一旦达到极限温度,就会显示出机械故障。尽可能降低泵的工作温度,更换螺杆真空泵油,并保持通风位置或配备室内冷却设备。  为了提高螺杆真空泵的散热功能,需要及时更换消耗品,主要是油雾分离器(排气滤芯)和机油。这两种消耗品需要及时更换。如果排气过滤器过时或存在其他质量问题,则应尽快更换。  起初,当油出现变色,沉淀和乳化增加的现象时,它就不能停留在润滑的维持上。当机械故障频繁发生时,如果螺杆真空泵的温度过高,螺杆真空泵将显示异常噪音,注油甚至堵塞。因此,螺杆真空泵在变热之前必须彻底清洁。  同样,在夏季,请尽可能将螺杆真空泵放在阴凉的地方,将其放置在室外时,请注意不要使其暴露在阳光下并适当降低其工作温度。
发布时间: 2021 - 05 - 07
来源: 27
今天是时候讲解一下干式真空泵。现在,每个人都对真空泵的价格和一些关键的购买要点感到好奇。接下来,就让我们看一下。  我们需要使用真空泵厂家来预先确定购买无油真空泵时所需的真空泵型号。干式真空泵的类型也多种多样,不同厂家的产品数量也有所不同。作为消费者,我们在产品购买过程中应注意什么?干式真空泵运行期间发生的振动会影响过程和环境吗?如果过程不允许,请选择无振荡的泵或选择抗振荡的方法。溢出的油蒸气对环境有什么影响?假设环境不允许污染,则可以选择无油或将油蒸气吹到室外。工作压力必须满足真空设备的有限真空和工作压力要求。干式真空泵的价格,运费和随后的保护费用。要购买更好的干式真空泵,我们需要在购买前做好所有准备工作,并有充分的了解,以便我们购买的产品良好。  以上是干式真空泵的内容。阅读以上文章后,我认为它一定会对您有所帮助。如果您还有其他疑问,请随时与我们联系。
发布时间: 2021 - 05 - 06
来源: 30
螺杆真空泵的使用越来越多,好评率不断提高。在操作时,必须注意正确的操作方法,以便更好地使用它。让我们了解螺杆真空泵的传动方法是什么?  螺杆真空泵如何实现传动,传动方法是非常重要的部分,因此所有朋友也都注意这些问题。注意螺杆真空泵的传动方式,可以注意到总的抽速与压力比例成正比,并且两者之间应更加协调。螺杆真空泵通常在车轮对称性方面表现良好,因此它们在运行过程中非常稳定,并且总体故障声音也非常低,并且噪音等级较低。在设备的实际应用过程中,详细的泵腔内部不需要任何润滑油来打扰,因此一般的真空保证功能也很好。泵室的结构也非常简单。没有拧紧阀和排气阀的计划,并且各个部分都可以更好地操作。在抽氢的实践中,您可以注意它。这部分的泵送效果通常不是那么明显。  以上是关于螺杆真空泵的传动方法。您可以根据实际交易要求选择合适的方法,以免盲目交易造成不必要的损失。如果您还有其他疑问,我们定期更新网站文章希望对大家有用。
发布时间: 2021 - 05 - 06
来源: 35
随着罗茨真空泵的使用变得越来越普遍,其质量也在不断提高。由于其独特的优势,它被广泛使用。为了让大家更好地使用它,让我们了解罗茨油真空泵的质量检查方法是什么?  真空泵油的质量与产品的效率和安全性有关。因此,在测试油质时,需要及时了解一些测试方法,并及时进行更换。观察油流的方法是取两个量杯,其中一个装有要检查的真空泵系统的油,另一个盛在桌子上。从系统中将充满油的量杯从桌子上抬起30-40厘米,然后将其倾斜。让系统润滑脂,慢慢流入空杯中并观察其流动。优质的系统油流应稀,均匀且连续。如果油流快慢,则有时会有大块油向下流。表示机油系统已老化。  在拇指和食指之间旋转罗茨真空泵系统油,然后反复研磨。系统中最好的机油将具有润滑性,减少磨损且无摩擦。如果您感觉到手指之间的沙子,会感觉到很大的摩擦,这表明系统油中有很多杂质,因此无法再使用。必须更换系统油。在晴天时,使用工具将油从系统中提出,并与水平面成45度角。与阳光比较,观察油滴的状况。在阳光下,可以清楚地看到系统油中没有磨损残留物,并且可以继续工作。如果有太多的磨损残留物,则必须更换系统油。油滴跟踪方法是取一块干净的白色滤纸,然后在滤纸上滴几滴油。机油从罗茨真空泵系统泄漏后,如果表面上有黑色粉末,则表示用手触摸该系统会感到涩。机油中有很多杂质。好的系统油中没有粉末。用手触摸时干燥且光滑,带有黄色标记。  以上是关于罗茨真空泵机油质量检查的方法。你能理解的。在使用过程中,必须遵循正确的操作方法才能取得良好的效果。如果您听不懂任何内容,可以致电咨询。我们将关注您的当前情况。应给出合理的建议,以避免因快门操作而造成不必要的麻烦。
发布时间: 2021 - 04 - 28
来源: 35
随着螺杆真空泵的利用率越来越普遍,其质量也在提高。由于其特性和优势,它被每个人广泛使用。为了让每个人都有更好的应用,让我们了解螺杆真空泵的密封效果是什么?  在螺杆真空泵的生产和设计中,我们采用了先进的技术和完善的技术,螺杆真空泵的密封性能非常严格。否则,一旦螺杆泵的密封效果不合格,就将其启动并使用,这不仅会导致设备无法正常运行,还会给设备本身造成巨大损失。因此,在安装和使用螺杆泵时,应注意其密封效果。另外,应选择更合适的密封方法以提高密封效果。油封是一种结构简单,体积小,成本低,维修方便,阻力扭矩低的自调节唇形密封件,不仅可以防止介质泄漏,而且还可以防止外界灰尘等有害物质进入吸尘器的根部。  设计合理,加工性能优良,装配性好,转速高时,螺杆真空泵的迷宫式密封效果良好。动力密封在螺杆真空泵运行期间,辅助叶轮产生的压头平衡主叶轮出口处的高压液体,以实现密封。填料密封是指在填料箱中放置可压缩弹性的填料,依靠填料箱的轴向压力转换径向密封力,以实现真空泵的密封。因此,在对螺杆真空泵进行密封时,需要根据实际情况和需要选择更合适的密封方法,以更好地发挥密封效果。另外,在每次启动前都要对螺杆泵进行检查,以确保在正式启动之前密封效果没有问题,以避免在运行过程中由于不合格的密封效果而损坏泵。  以上是关于螺杆真空泵的密封效果。您可以理解,在使用过程中,根据正确的操作方法可以取得良好的效果。如果您不理解,可以致电咨询,我们会根据您的实际需求为您提供合理的建议,以避免百叶窗操作中出现不必要的问题。
发布时间: 2021 - 04 - 28
来源: 29
作为尼龙树脂材料,需要干燥时不会直接脱水,而是使用螺杆真空泵。许多用户认为真空泵主要用于抽气和产生真空,这与干燥尼龙树脂无关。但实际上两者是密切相关的,为什么干燥尼龙树脂就需要它。  1.在干燥过程中去除的介质包含大量的水蒸气。因此,由于所使用的真空泵的特性,润滑油将迅速乳化,导致不稳定的抽吸速度和副产物真空度。同时,诸如油气回流和燃料喷射之类的问题会影响生产环境的清洁度。  2,在尼龙树脂干燥中,由于质量要求,采用螺杆真空泵的真空干燥工艺。在此过程中,必须同时确保稳定的真空度和清洁的真空环境。  3.尼龙树脂使用干式螺杆真空泵的优点:  1.避免了直接干抽,无油蒸汽和颗粒物气体,单级直接排放到大气等问题,可以直接提取水蒸气和颗粒物气体,单级直接排放到大气中。  2.可以达到更高的真空度并保持稳定的抽速。在应用中,真空泵无油,水等介质,可配备自动清洗功能,减少了制造商在使用过程中的维护工作。  由于尼龙树脂的某些特性,其干燥操作无法通过常规方法直接干燥。此时,应该是螺杆真空泵工作的时候了。在干燥过程中,真空泵不会产生脏气,并且可以确保防止尼龙树脂在干燥过程中被污染。
发布时间: 2021 - 04 - 28
来源: 97
深圳恒才机电设备公司简述清扫真空系统特点及使用方式,如有疑问或是订购清扫真空系统,中央除尘系统的朋友,欢迎致电咨询。清扫真空系统也叫中央除尘系统是 一种全新的室内清洁方式,是一个由吸尘主机、吸尘管网、吸尘插座、吸尘软管及刷头等组成的一体化的吸尘系统;可应用于电子、食品、医药等行业。清扫真空系统的使用方式:用户只需将吸尘软管插入吸尘插座,通过手柄上的开关启动系统,车间内的灰尘杂质都将通过埋于墙内的集尘管道,送到远离洁净车间的吸尘主机中。由于中央吸尘系统配备了各种吸口,能够实现快捷的清理厂房内,各种传统清扫方式难于清扫的地方。清扫真空系统特点:清扫真空系统,中央吸尘以环保、节能特点等特点显著,优势如下。◎大小颗粒的灰尘全被从洁净厂房内吸出,杜绝了二次污染。中央吸尘管网是一个由吸尘插座、吸尘管道、吸尘主机组成一个密闭的系统,大小颗粒的灰尘一旦被吸尘口吸入后通过吸尘管道后直接进入到主机集尘仓里,而产生的气体通过处理后的过滤袋过滤后排到室外,再无手提式吸尘器的异味。◎主机与清扫区分离,杜绝了传统吸尘器的噪音污染。主机与吸尘操作件完全分离,在室内吸尘时无噪音,适用于在任何时候清洁而不影响和干扰其他人(避免了噪音污染)。◎方便、高效,节约清洁费用。使用的时候只需将吸尘软管插入吸尘插座,按一下手柄上的开关,吸尘主机便开始工作,无需将笨重的主机来回拖动,无需找电源插拔线(避免了触电危险,保证安全);中央吸尘主机采用超强真空吸力能迅速吸除各种大小灰尘颗粒;过滤袋采用自清洁结构设计,可以反复清洗使用。◎保护洁净厂房内生产设备。使你的机房控制室更加清洁、安全。更多行业真空改善解决方案,欢迎咨询深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵业,优质真空泵及专业真空应用方案,我们期待您的到来!清扫真空系统_中央除尘系统产品详细及特点
发布时间: 2021 - 04 - 28
来源: 59
半导体工艺真空主要用在真空干法刻蚀,真空吸附,测试设备,真空清扫,蒸发,溅射,PECVD等键合工序,半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有毒的物质气体,会对生产及人员安全造成威胁。根据半导体真空工艺的应用,深圳真空泵厂家恒才机电设备公司讲讲半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项,欢迎查阅。半导体真空泵应用的4大注意事项:第一、有效稀释有害气体的浓度:半导体易产生前面所说的易燃易爆、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如AsH3、B2H6、SiH4、PH3等物质,在与空气或氧接触的时候,会引起燃烧甚至爆炸;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氦气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。第二、定期清洗真空泵及其他附件、管道,过滤、避免超压:半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,如SiH4与O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解会形成HCI;假设是油封式机械泵,这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质,就可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,一点中提到的危险性也更大。因此需要及时的清洗,并在必要的时候设置过滤设备。第三、防止温度过高:半导体在真空泵的应用中,有害气体比较多,而无论是干式真空泵还是油封机械泵,泵腔内温度过高,高温下易燃易爆及有毒气体就会容易发生危险。第四、注意氧气的浓度:空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及爆炸风险,因此一些情况下需注意氧的浓度,采用惰性气体来稀释,防止浓度过高;如果是油封机械泵可能还需要采用一些情性的与氧相容的真空泵油,并及时更换油滤和...
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