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2019 - 10 - 21
水环真空泵是具有强耐腐蚀性,高极限真空和大排量的新一代产品。它广泛用于食品,石油,化工,制药,冶金工业和电子领域。  故障1,盘车困难  盘车困难是水环真空泵经常发生的故障之一,但是盘车困难的主要原因是水环真空泵在出厂后很长时间没有进入工作状态,从而导致水环真空泵端面的出现。生锈的现象。当难以驱动时,通常可以将草酸浸入水环真空泵腔中进行浸入。如果在使用状态下难以驾驶,除了使用草酸浸泡外,还必须清洁水环真空泵的水温和水垢。  故障2,启动声音异常  长时间使用水环真空泵后,启动声音会发出异常声音。发生此类故障时,应首先检查电源电压和电线连接。如果未发现异常,则可以使用水环真空泵。打开盖子以去除杂质。如果发现水环真空泵有生锈现象,则必须添加除锈剂。此外,如果工作流体过多,则启动声音可能会异常,并且可能会排放适量的工作流体。  故障3,水环型真空泵温度过高  对于水环真空泵,如果温度太高,或者原因是工作流体入口温度太高或工作流体供应量太小,首先必须降低工作流体温度或提高工作流体温度。工作流体供应。另外,如果吸入温度过高,则水环真空泵的温度会过高,可以通过在水环真空泵的入口处冷凝可冷凝气体来解决。  故障四,电机温度过热  当电动机温度过热时,水环真空泵需要检查电动机缺相,行气管,叶轮和其他组件。另外,供水不足会导致电机过载温度过高。供水应恢复到正常范围。在正常操作下,水环真空泵发生故障的...
2019 - 11 - 01
什么是水环真空泵  一, 水环真空泵的分类  1,单级单作用水环泵  单级单作用水环泵,单级意味着仅一个叶轮,单作用意味着每当叶轮旋转时,吸入和排气均执行一次。该泵具有更高的极限真空度,但泵速和效率较低。  2,单级双作用水环泵  单级双作用水环泵,单级仅意味着一个叶轮,双作用是指每当叶轮旋转一次时,吸入和排气均进行两次。在相同的抽速下,双作用水环泵的尺寸和重量明显小于单作用水环泵。由于工作室在泵毂的两侧对称分布,因此作用在转子上的负载得到了改善。这种类型的泵具有较高的抽速和较高的效率,但极限真空度较低。  3,双级水环泵  双级水环泵主要由串联的单作用泵组成。本质上,两个单级单作用水环泵的叶轮共享一个心轴。它的主要特点是在高真空和稳定的工作条件下具有大的抽速。  4,大气水环泵  大气水环泵实际上是大气喷射器水环系列的一个机组。 水环泵与大气压泵串联在泵的前面,以增加极限真空度并扩大其使用范围。  二,水环真空泵的优点  1.结构简单,制造精度不高,易于加工。易于操作且易于维护。  2,结构紧凑,泵一般直接与电动机连接,转数较高。具有较小的结构尺寸,可以获得较大的位移。  3.泵腔中没有金属摩擦表面,也无需润滑泵。旋转构件与固定构件之间的密封可以通过水密封直接进行。  4.在泵室中的压缩气体的温度变化非常小,这可以被认为是等温压缩,所以它可以除去易燃易爆气体。  5.由于没有排气...
2019 - 11 - 06
在螺杆真空泵的许多常见故障中,最困难的问题之一是机器无法吸油。如果无法吸收油,则机器将无法工作。让我们详细讨论一下机器。螺杆真空泵设备不能吸收油的要素.  一、螺杆真空泵常见故障:  1、由于存在管道中脏物的危险,它被阻塞或泄漏。  2、吸尘的长宽比超出了允许吸尘的真空泵的阻塞范围。  3、与该组件关联,也就是说,电动机已翻转。  4、油的粘度太大。  二、螺杆真空泵清除方法:  1、预热机油并降低粘度。  2、真空泵维护:螺杆真空泵的轴功率已大大扩展。  3、改变电动机的旋转,使其与泵相同。  4、检查吸管的泄漏部分,找到问题,然后更换法兰垫片并堵塞砂孔。  5、降低泵的安装长宽比,并将其保持在所需的长宽比内。不要太高或太低。  螺杆真空泵可以去除蒸汽中的水蒸气和少量烟灰。市场被应用于制药工业,化工厂,半导体材料等的清洁水平,并且有必要解决诸如机械和设备的吸油之类的若干问题。只有在进行治疗后,才称为对症治疗。
2019 - 11 - 07
使用过真空等离子清洗机的任何人都知道产品的清洁是在真空室内进行的。那么,为什么要在真空中清洁呢?由于进口真空泵是真空等离子清洗机的重要组件之一,因此它的功能是对腔体进行真空清洁,但是您知道如何在真空等离子清洗机中对其进行控制。效果最佳吗?在此,技术人员向您介绍进口真空泵在等离子清洗机中的应用。  因为在真空状态下清洁可以达到更好的效果。将产品放置在连续抽空的密闭室中。如果产品表面有灰尘之类的小颗粒,则将其连续带走。这里的连续抽气意味着真空状态保持在相对稳定的真空状态,即等离子体清洁。机器的排出也需要在稳定的真空状态下进行。  等离子体处理和等离子体清洁技术为后续的塑料,金属,铝或玻璃涂层工艺提供了最佳前提。进口真空泵离子清洗技术可在清洗完成后立即用于后续处理。该应用程序将确保整个过程的清洁度和低成本。由于等离子体具有较高的能量,因此它可以选择性地分解材料表面化学物质或有机物。通过超精细清洁,甚至可以完全清除敏感表面上的有害物质。这为随后的涂层工艺准备了最好的先决条件。  等离子体是气体分子在特殊场合(例如真空和放电)中产生的物质。等离子清洁/刻蚀产生等离子体的设备是在密封的容器中放置两个电极以形成电磁场,并使用进口真空泵达到一定真空度。随着气体变得越来越稀,分子或离子的分子间距和自由移动距离也越来越长,并且受到磁场的影响,发生碰撞而形成等离子体,并产生辉光与此同时。等离子体在电磁场...
2019 - 11 - 11
罗茨真空泵具有对应于不同的操作模式中,选择合适的类型不同的模型,和罗茨真空泵和环境的温度在较低的温度需要升高和电气设备被运行速度较慢,所以很容易影响工作效率。  1.在使用该装置的环境温度的应小于40℃,罗茨真空泵和电机的温度上升不超过75℃。在工作1000小时之后的正常磁力泵应去就耐磨环和轴承的端面,然后将交换不应易损件,堆叠在易于运输液晶介质上应该使用后,排水泵积液进行清洁。  2.防止环境温度的影响的工作职能罗茨真空泵,真空泵坚持清洁其它物体不应被放置在真空泵,真空泵不能被堵塞绕通道,以便于所述泵体的热量,冷却,也有利于维修和操作。  3.三角型皮带张力经常注意罗茨真空泵,如果皮带过紧太紧太松应调整,从而导致复杂的泵体温过高。  4.不要让关节每个管道泄漏,橱柜应坚持预真空适当的范围内,一旦出现缺陷,导致变化的非常复杂的罗茨真空泵环境温度发生,及时修复是非常重要的。  5.坚持以冷却水清淤,否则会导致非常复杂的罗茨泵工作环境温度过高。每次驱动器启动间歇4-6次,2S内的各时间,以引发更大的扭矩限制。  降低环境温度对罗茨真空泵运行的影响,它能够更好地控制它的使用好,相应提高生产率和减少设备磨损的情况出现。使用环境温度是非常重要的。
2019 - 11 - 13
水环真空泵有单级和双级,也有单作用和双作用差异。单级和两级真空泵是指叶轮的级数。单/双作用是指叶轮/壳体的形式,单作用叶轮真空泵叶轮旋转一次,气体进行一次抽吸/排放。双作用真空泵将其叶轮旋转一周。吸入和排出两种气体。  故障维修  轴承磨损  水环真空泵传动部件的磨损是一个普遍的问题,包括轴承位置,轴承座,轴承室,键槽和螺纹。传统方法主要是补焊和电刷镀,但两者都有一定的缺点:补焊高温产生的热应力无法完全消除,可能导致材料损伤弯曲或折断。刷镀受涂层厚度的限制,并且容易剥落,并且上述两种方法使用金属来修复金属。改变“硬对硬”的合作关系是不可能的,在各种力量的共同作用下,它仍然会再次造成磨损。  鉴于上述问题,经常使用聚合物复合材料的修复方法,并且更经常采用的技术体系具有优异的粘附性和优异的抗压强度的综合性能。可以取消聚合物材料修复的应用,并且无需机械加工。没有修复焊接热应力的影响,并且修复厚度不受限制。同时,产品的金属材料没有特许权,可以吸收设备的冲击和振动,避免了再次磨损的可能性,并大大延长了设备部件的使用寿命。企业节省了大量停机时间,并创造了巨大的经济价值。  腐蚀冲蚀修复  真空泵的腐蚀方式可分为两类:全面(均匀)腐蚀和局部腐蚀。前者在真空泵的整个表面上更均匀地发生,而后者仅在局部发生,例如点蚀,缝隙腐蚀,晶间腐蚀,应力腐蚀等。使用聚合物复合材料在真空泵上实施表面有机涂层腐蚀防护...
2019 - 11 - 14
由于各种真空泵的性能可以满足抽真空容器的共同点,因此仍然存在差异。因此,必须明确选择在真空泵系统中承担的任务是非常重要的,在泵的各个工作领域中的作用可以归纳为以下几个方面。  1、系统中的主泵  所谓的主泵是一种真空泵,它直接排空真空系统以获得满足工艺要求所需的真空。  2、粗抽泵  粗抽泵是一种真空泵,它开始从大气压力降低真空系统的压力,直到另一个泵系统开始工作。  3、前级泵  前级泵是用于将另一个泵的前级压力保持在其最大允许前级压力以下的真空泵。  4、维持泵  以维持泵,这意味着当真空系统的吸力很小时,主前级泵无法得到有效利用。为此,在真空系统中另外设置了具有较低抽速的辅助前泵,以维持主泵的正常运行或维持排空容器所需的低压真空泵。  5、粗真空泵或低真空泵  粗真空泵是从大气开始并降低泵送容器压力的真空泵,以在低真空或粗真空压力范围内工作。  6、高真空泵  高真空泵是在高真空范围内运行的真空泵。  7、超高真空泵  超高真空泵是指在超高真空范围内运行的真空泵。  8、增压泵  增压泵通常是真空泵,在低真空泵和高真空泵之间运行,以增加中压范围内泵系统的泵送能力或降低前级泵的泵送速度。
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2023 - 05 - 16
塑料有限公司是一家集改性塑料研发生产塑料染色加工、塑料原料销售于一体的专业改性和染色塑料生产企业;共8条造粒生 产线,原用8台2.2KW水环泵,真空度只能保持在-0.5bar左右,且产生大量废水,企业环保压 力非常大,废液清理工作一直无法有效解决。自从采用深圳恒才公司无油干式泵+三级分离系统后, 即中央真空系统,由多台干式无油真空泵组成,真空度提高至近-0.8bar,且实现废液自动分离,有效解决了企业环保问题。新系统优势中央真空系统:无油、无废水;保护环境,造福子孙后代;车间内,热排放大量减少。改善员工工作环境,提升满意度;新型环保系统不需要 水做为工作液,避免因为抽真空带来的二 次水污染;中央系统有备机轮换使用,系统供应24小 时不间断,避免因空气供应问题停产时间深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统,提供真空解决方案、真空泵售后维修保养等一站式服务,更多真空泵信息,欢迎致电了解。
2024 - 03 - 13
叶轮上偏心设计的水环真空泵是一种广泛应用于各种工业领域的真空设备,其独特的工作原理使得它在许多场合下表现出色。下面将详细介绍上偏心设计的水环真空泵的工作原理及其优势。首先,我们来了解上偏心设计的水环真空泵的基本结构。该泵主要由泵体、转子、叶片、进水口和出水口等部分组成。其中,泵体和转子构成了泵的工作腔,叶片则固定在转子上,随着转子的旋转而旋转。进水口和出水口则分别用于引入和排出工作液体。在叶轮上偏心设计的水环真空泵中,转子的偏心距是关键参数之一。由于转子的偏心,当转子在泵体内旋转时,其叶片将不断地与泵体内壁形成一定厚度的水环。这个水环随着转子的旋转而旋转,并在离心力的作用下不断地向外扩张。当水环扩张到与进水口相连通时,水环中的一部分水将被吸入泵内,填补因转子旋转而形成的低压区域。随着转子的继续旋转,水环中的水将被甩向泵体的外周,并通过出水口排出。这个过程中,由于水环的不断扩张和收缩,将在泵体内形成一定的真空度,从而实现对被抽气体的抽吸。叶轮上偏心设计的水环真空泵的工作原理可以概括为“水环扩张吸气,水环收缩排气”。通过不断地引入和排出工作液体,该泵能够在泵体内形成稳定的真空度,从而满足各种工业应用的需求。叶轮上偏心设计的水环真空泵具有许多优势。首先,由于采用了上偏心设计,该泵在结构上更加紧凑,占地面积小,方便安装和维护。其次,该泵在运行过程中噪音低、振动小,对工作环境的影响较小。此外...
2024 - 06 - 11
在当今竞争激烈的商业环境中,选择一个可信赖的阿特拉斯螺杆真空泵代理商对于企业的成功至关重要。广东螺杆真空泵代理的优势和特点,帮助您了解并选择一家值得信赖的合作伙伴。深圳恒才机电在阿特拉斯螺杆真空泵领域拥有丰富的经验和专业知识。公司拥有一支技术精湛、经验丰富的团队,能够为客户提供专业的技术支持和解决方案。无论是螺杆真空泵的选型、安装、调试还是维护保养,深圳恒才机电都能提供全方位的服务,确保客户在使用过程中无后顾之忧。深圳恒才机电代理的阿特拉斯螺杆真空泵产品具有高品质和可靠性。公司代理的阿特拉斯螺杆真空泵品牌在市场上享有良好的声誉,产品性能稳定、可靠,能够满足客户在各个领域的应用需求。无论是用于化工、制药、食品还是电子等行业,深圳恒才机电都能提供合适的阿特拉斯螺杆真空泵产品,确保客户的生产顺利进行。除了优质的产品,深圳恒才机电还注重售后服务和客户体验。公司建立了完善的售后服务体系,为客户提供及时、高效的技术支持和解决方案。同时,深圳恒才机电还积极与客户沟通,了解客户的需求和反馈,不断优化产品和服务,提升客户满意度。此外,深圳恒才机电还具备灵活多样的合作方式。公司可以根据客户的具体需求和预算,提供定制化的解决方案和优惠的价格。无论是单次购买还是长期合作,深圳恒才机电都能提供合适的方案,帮助客户降低成本、提高效率。综上所述,深圳恒才机电作为广东螺杆真空泵代理商,在技术、产品、服务和合作方式...
2024 - 08 - 07
为什么PCB热压机油泵选用罗茨水环真空机组?由深圳恒才机电设备有限公司出品的真空设备,具有节能、环保、洁净、低噪音、低热量等优势,应用于热压机行业的罗茨水环真空机组,也不例外。PCB热压机油泵罗茨水环真空机组的特点主要包括高效能抽真空能力、‌节能环保、‌稳定性与可靠性以及集中式抽真空的便利性。‌高效能抽真空能力:‌罗茨水环真空机组结合了罗茨泵的高抽速与水环泵的极限真空度优势,‌形成强大的抽真空能力。‌在PCB热压过程中,‌这种组合能够迅速将板材间的空气抽出,‌形成稳定的真空环境,‌有效避免了因空气残留导致的热压不均和气泡问题,‌从而提高了PCB的层压质量和成品率。‌节能环保:‌相较于传统的单一真空泵系统,‌罗茨水环真空机组在能效上有了显著提升。‌罗茨泵作为前级泵,‌能够快速排出大部分空气,‌降低后级水环泵的工作负荷,‌减少了能源消耗。‌同时,‌水环泵以水为工作介质,‌无需额外的润滑油,‌避免了油污染,‌符合现代制造业对环保的要求。‌深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,提供真空改造方案、真空设备、真空系统、真空泵售后服务等。罗茨水环真空机组在PCB热压机油泵系统中展现出了其高效、‌节能、‌稳定和便利的特点,‌显著提升了生产效率和产品质量。‌
2024 - 10 - 17
深圳真空泵生产厂家恒才机电表示,要保证康斯顿罗茨真空泵的长期稳定运行,日常的使用与维护至关重要。本文将从罗茨真空泵的使用、维护两大方面进行深入探讨,以期为用户提供全面的指导和建议。康斯顿罗茨真空泵的维护1. 定期检查与清洁定期检查是维护罗茨真空泵的关键。用户应定期检查泵体各部件的紧固情况,确保无松动现象;观察润滑油位,及时补充或更换;检查电机运转是否正常,有无异常声响或发热现象。此外,还需定期清理泵体表面的灰尘和油污,保持泵体清洁;检查并清理进气口过滤器,防止杂质进入泵内损坏转子。对于泵腔内的积尘和杂质,也应定期进行清理,防止堵塞影响泵的效率。2. 润滑与冷却润滑和冷却是罗茨真空泵正常运行的保障。用户应确保泵的润滑系统正常,定期更换润滑油,保持润滑良好。在选择润滑油时,应选用适合罗茨真空泵的专业机油,避免使用不合适的油品导致设备损坏。同时,对于需要水冷的泵型,还需检查冷却系统,确保冷却水或油的流量和温度在适宜范围内,防止过热导致设备损坏。3. 密封性检查罗茨真空泵的密封性直接关系到其性能和使用寿命。用户应定期检查泵体各密封处的密封性,如发现泄漏应及时处理。对于机械密封、O型圈、密封垫等关键密封件,应定期检查其磨损情况,如有磨损应及时更换。在更换密封件时,应使用专业的检测工具,确保安装的准确性和有效性。4. 深度维护与更换部件除了日常检查和清洁外,罗茨真空泵还需要定期进行深度维护。这...
2025 - 01 - 04
线路板吸附检测罗茨鼓风机应用,这套罗茨鼓风机真空泵系统,是用于吸附加搬运线路板进行检测的,罗茨鼓风机真空泵通过产生负压,提供强大的吸附力,确保线路板牢固地吸附在吸附盘上,在检测过程中保持稳定。深圳恒才机电设备有限公司设计的罗茨鼓风机,还能快速、准确地搬运不同型状尺寸的线路板,实现高效的生产线传输。罗茨鼓风机在吸附搬运检测线路板的工艺中具有以下优势:稳定吸附:真空泵通过产生负压,能够提供强大的吸附力,确保线路板牢固地吸附在吸附盘上,使其在搬运和检测过程中保持稳定。高效搬运:利用真空泵的吸附功能,可以快速、准确地搬运线路板,实现高效的生产线传输。相比传统的机械搬运方式,真空泵搬运更加灵活,能够适应不同形状和尺寸的线路板。清洁除尘:真空泵可以有效地吸除线路板表面的尘埃和杂质,提高检测的精度和可靠性。通过清洁除尘,还可以减少对环境的污染,符合绿色生产的要求。可靠性强:真空泵具有较高的可靠性和稳定性,能够长时间连续工作,确保生产线的高效运行。此外,真空泵的维护成本较低,降低了生产成本。应用广泛:真空泵适用于各种类型的线路板检测工艺,无论线路板的大小、形状和材质,都能够提供可靠的吸附和搬运解决方案。综上所述,真空泵在吸附搬运检测线路板的工艺中具有稳定吸附、高效搬运、清洁除尘、可靠性高、维护成本低和应用广泛等优势。深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、水处理、引水、半导体工业、光电、...
2025 - 07 - 22
阿特拉斯螺杆真空泵在高效节能、高可靠性、环保性、智能控制、广泛适用性及低维护成本等方面具备显著优势,具体分析如下:1. 高效节能,降低运行成本变频驱动(VSD)技术:阿特拉斯螺杆真空泵(如GHS VSD+系列)采用变速驱动技术,可根据实际需求自动调节转速和功率。例如,GHS730VSD+在低负荷时功率可降至3千瓦,相比传统水环泵可节省50%以上能耗,年节省电费可达数万元。干式运行,无需冷却水:风冷设计省去了水环泵所需的冷却塔和水循环系统,进一步降低能耗和运行成本。高抽速与低功耗:在相同抽速下,阿特拉斯螺杆泵的功率消耗显著低于水环泵。例如,GHS1300VSD+功率为22千瓦,而同等抽速的水环泵需45千瓦,年节省电费超50万元。2. 高可靠性,延长使用寿命耐用的螺杆转子设计:转子采用高强度材料,表面经过特殊处理,耐腐蚀、耐磨损,理论寿命超40万小时(约80年),20年内无需更换机头。无油污染,清洁运行:干式压缩技术避免油污染,适用于对清洁度要求高的行业(如半导体、制药、食品包装),同时减少因油污染导致的设备故障。稳定真空度:通过变频调节,真空泵能维持稳定的真空压力,减少生产波动,提高产品质量。3. 环保性能优越零废水排放:干式运行无需工作液体,彻底解决水环泵废水排放问题,符合环保要求。低噪音与低振动:优化设计的螺杆转子和减震结构使运行噪音显著降低,改善工作环境。无油蒸汽排放:避免传统...
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罗茨真空泵故障维护检查

日期: 2022-04-20
来源:
浏览次数: 45

罗茨真空泵必须在完全的容积水平上工作,与旋片真空泵相比,罗茨真空泵没有内部压缩功能,能压缩排气压力。与旋片真空泵相比,与介质接触的所有组件都是无油的,适用于罗茨式真空泵的所有部件仍然适用于干式真空泵。


1.未达到极限压力,原因是配管.系统或泵部分漏气,前级泵的极限压力降低,润滑油水环真空泵的质量差,油封性差。维修方法是检查系统的泵,修理前段泵,更换润滑油和油封。

2.吸引速度低,原因是配管的通路能力低,前级泵的吸引速度低,需要增加配管的通路能力,修理和更换前级泵。

3.电机过载,可能是因为入口压力太高,转子端面与端盖的一面接触,来自前级泵的回油进入了罗茨茨真空泵旋片真空泵的泵室内。这需要调整压力.转子和防逆流油的设置。


罗茨真空泵,罗茨泵


4.在极限压力下工作,在极限压力下工作的状态下,真空泵的旋转速度很快,气体不会从壳体表面放出热。因为温度突然上升,转子和外壳的间隙变小,真空泵停止。否则,会导致真空泵变成真空。

 

在选定罗茨真空泵时,吸引力满足生产线的工艺要求的情况下,可以尽可能减少洛茨真空泵的工作点的轴力,在罗茨真空泵消耗的轴力小的情况下,制浆造纸的生产成本进一步变小,马达的设置力也小的情况下,电配置成本也得到抑制。


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高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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