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2019 - 10 - 21
水环真空泵是具有强耐腐蚀性,高极限真空和大排量的新一代产品。它广泛用于食品,石油,化工,制药,冶金工业和电子领域。  故障1,盘车困难  盘车困难是水环真空泵经常发生的故障之一,但是盘车困难的主要原因是水环真空泵在出厂后很长时间没有进入工作状态,从而导致水环真空泵端面的出现。生锈的现象。当难以驱动时,通常可以将草酸浸入水环真空泵腔中进行浸入。如果在使用状态下难以驾驶,除了使用草酸浸泡外,还必须清洁水环真空泵的水温和水垢。  故障2,启动声音异常  长时间使用水环真空泵后,启动声音会发出异常声音。发生此类故障时,应首先检查电源电压和电线连接。如果未发现异常,则可以使用水环真空泵。打开盖子以去除杂质。如果发现水环真空泵有生锈现象,则必须添加除锈剂。此外,如果工作流体过多,则启动声音可能会异常,并且可能会排放适量的工作流体。  故障3,水环型真空泵温度过高  对于水环真空泵,如果温度太高,或者原因是工作流体入口温度太高或工作流体供应量太小,首先必须降低工作流体温度或提高工作流体温度。工作流体供应。另外,如果吸入温度过高,则水环真空泵的温度会过高,可以通过在水环真空泵的入口处冷凝可冷凝气体来解决。  故障四,电机温度过热  当电动机温度过热时,水环真空泵需要检查电动机缺相,行气管,叶轮和其他组件。另外,供水不足会导致电机过载温度过高。供水应恢复到正常范围。在正常操作下,水环真空泵发生故障的...
2019 - 11 - 01
什么是水环真空泵  一, 水环真空泵的分类  1,单级单作用水环泵  单级单作用水环泵,单级意味着仅一个叶轮,单作用意味着每当叶轮旋转时,吸入和排气均执行一次。该泵具有更高的极限真空度,但泵速和效率较低。  2,单级双作用水环泵  单级双作用水环泵,单级仅意味着一个叶轮,双作用是指每当叶轮旋转一次时,吸入和排气均进行两次。在相同的抽速下,双作用水环泵的尺寸和重量明显小于单作用水环泵。由于工作室在泵毂的两侧对称分布,因此作用在转子上的负载得到了改善。这种类型的泵具有较高的抽速和较高的效率,但极限真空度较低。  3,双级水环泵  双级水环泵主要由串联的单作用泵组成。本质上,两个单级单作用水环泵的叶轮共享一个心轴。它的主要特点是在高真空和稳定的工作条件下具有大的抽速。  4,大气水环泵  大气水环泵实际上是大气喷射器水环系列的一个机组。 水环泵与大气压泵串联在泵的前面,以增加极限真空度并扩大其使用范围。  二,水环真空泵的优点  1.结构简单,制造精度不高,易于加工。易于操作且易于维护。  2,结构紧凑,泵一般直接与电动机连接,转数较高。具有较小的结构尺寸,可以获得较大的位移。  3.泵腔中没有金属摩擦表面,也无需润滑泵。旋转构件与固定构件之间的密封可以通过水密封直接进行。  4.在泵室中的压缩气体的温度变化非常小,这可以被认为是等温压缩,所以它可以除去易燃易爆气体。  5.由于没有排气...
2019 - 11 - 06
在螺杆真空泵的许多常见故障中,最困难的问题之一是机器无法吸油。如果无法吸收油,则机器将无法工作。让我们详细讨论一下机器。螺杆真空泵设备不能吸收油的要素.  一、螺杆真空泵常见故障:  1、由于存在管道中脏物的危险,它被阻塞或泄漏。  2、吸尘的长宽比超出了允许吸尘的真空泵的阻塞范围。  3、与该组件关联,也就是说,电动机已翻转。  4、油的粘度太大。  二、螺杆真空泵清除方法:  1、预热机油并降低粘度。  2、真空泵维护:螺杆真空泵的轴功率已大大扩展。  3、改变电动机的旋转,使其与泵相同。  4、检查吸管的泄漏部分,找到问题,然后更换法兰垫片并堵塞砂孔。  5、降低泵的安装长宽比,并将其保持在所需的长宽比内。不要太高或太低。  螺杆真空泵可以去除蒸汽中的水蒸气和少量烟灰。市场被应用于制药工业,化工厂,半导体材料等的清洁水平,并且有必要解决诸如机械和设备的吸油之类的若干问题。只有在进行治疗后,才称为对症治疗。
2019 - 11 - 07
使用过真空等离子清洗机的任何人都知道产品的清洁是在真空室内进行的。那么,为什么要在真空中清洁呢?由于进口真空泵是真空等离子清洗机的重要组件之一,因此它的功能是对腔体进行真空清洁,但是您知道如何在真空等离子清洗机中对其进行控制。效果最佳吗?在此,技术人员向您介绍进口真空泵在等离子清洗机中的应用。  因为在真空状态下清洁可以达到更好的效果。将产品放置在连续抽空的密闭室中。如果产品表面有灰尘之类的小颗粒,则将其连续带走。这里的连续抽气意味着真空状态保持在相对稳定的真空状态,即等离子体清洁。机器的排出也需要在稳定的真空状态下进行。  等离子体处理和等离子体清洁技术为后续的塑料,金属,铝或玻璃涂层工艺提供了最佳前提。进口真空泵离子清洗技术可在清洗完成后立即用于后续处理。该应用程序将确保整个过程的清洁度和低成本。由于等离子体具有较高的能量,因此它可以选择性地分解材料表面化学物质或有机物。通过超精细清洁,甚至可以完全清除敏感表面上的有害物质。这为随后的涂层工艺准备了最好的先决条件。  等离子体是气体分子在特殊场合(例如真空和放电)中产生的物质。等离子清洁/刻蚀产生等离子体的设备是在密封的容器中放置两个电极以形成电磁场,并使用进口真空泵达到一定真空度。随着气体变得越来越稀,分子或离子的分子间距和自由移动距离也越来越长,并且受到磁场的影响,发生碰撞而形成等离子体,并产生辉光与此同时。等离子体在电磁场...
2019 - 11 - 11
罗茨真空泵具有对应于不同的操作模式中,选择合适的类型不同的模型,和罗茨真空泵和环境的温度在较低的温度需要升高和电气设备被运行速度较慢,所以很容易影响工作效率。  1.在使用该装置的环境温度的应小于40℃,罗茨真空泵和电机的温度上升不超过75℃。在工作1000小时之后的正常磁力泵应去就耐磨环和轴承的端面,然后将交换不应易损件,堆叠在易于运输液晶介质上应该使用后,排水泵积液进行清洁。  2.防止环境温度的影响的工作职能罗茨真空泵,真空泵坚持清洁其它物体不应被放置在真空泵,真空泵不能被堵塞绕通道,以便于所述泵体的热量,冷却,也有利于维修和操作。  3.三角型皮带张力经常注意罗茨真空泵,如果皮带过紧太紧太松应调整,从而导致复杂的泵体温过高。  4.不要让关节每个管道泄漏,橱柜应坚持预真空适当的范围内,一旦出现缺陷,导致变化的非常复杂的罗茨真空泵环境温度发生,及时修复是非常重要的。  5.坚持以冷却水清淤,否则会导致非常复杂的罗茨泵工作环境温度过高。每次驱动器启动间歇4-6次,2S内的各时间,以引发更大的扭矩限制。  降低环境温度对罗茨真空泵运行的影响,它能够更好地控制它的使用好,相应提高生产率和减少设备磨损的情况出现。使用环境温度是非常重要的。
2019 - 11 - 13
水环真空泵有单级和双级,也有单作用和双作用差异。单级和两级真空泵是指叶轮的级数。单/双作用是指叶轮/壳体的形式,单作用叶轮真空泵叶轮旋转一次,气体进行一次抽吸/排放。双作用真空泵将其叶轮旋转一周。吸入和排出两种气体。  故障维修  轴承磨损  水环真空泵传动部件的磨损是一个普遍的问题,包括轴承位置,轴承座,轴承室,键槽和螺纹。传统方法主要是补焊和电刷镀,但两者都有一定的缺点:补焊高温产生的热应力无法完全消除,可能导致材料损伤弯曲或折断。刷镀受涂层厚度的限制,并且容易剥落,并且上述两种方法使用金属来修复金属。改变“硬对硬”的合作关系是不可能的,在各种力量的共同作用下,它仍然会再次造成磨损。  鉴于上述问题,经常使用聚合物复合材料的修复方法,并且更经常采用的技术体系具有优异的粘附性和优异的抗压强度的综合性能。可以取消聚合物材料修复的应用,并且无需机械加工。没有修复焊接热应力的影响,并且修复厚度不受限制。同时,产品的金属材料没有特许权,可以吸收设备的冲击和振动,避免了再次磨损的可能性,并大大延长了设备部件的使用寿命。企业节省了大量停机时间,并创造了巨大的经济价值。  腐蚀冲蚀修复  真空泵的腐蚀方式可分为两类:全面(均匀)腐蚀和局部腐蚀。前者在真空泵的整个表面上更均匀地发生,而后者仅在局部发生,例如点蚀,缝隙腐蚀,晶间腐蚀,应力腐蚀等。使用聚合物复合材料在真空泵上实施表面有机涂层腐蚀防护...
2019 - 11 - 14
由于各种真空泵的性能可以满足抽真空容器的共同点,因此仍然存在差异。因此,必须明确选择在真空泵系统中承担的任务是非常重要的,在泵的各个工作领域中的作用可以归纳为以下几个方面。  1、系统中的主泵  所谓的主泵是一种真空泵,它直接排空真空系统以获得满足工艺要求所需的真空。  2、粗抽泵  粗抽泵是一种真空泵,它开始从大气压力降低真空系统的压力,直到另一个泵系统开始工作。  3、前级泵  前级泵是用于将另一个泵的前级压力保持在其最大允许前级压力以下的真空泵。  4、维持泵  以维持泵,这意味着当真空系统的吸力很小时,主前级泵无法得到有效利用。为此,在真空系统中另外设置了具有较低抽速的辅助前泵,以维持主泵的正常运行或维持排空容器所需的低压真空泵。  5、粗真空泵或低真空泵  粗真空泵是从大气开始并降低泵送容器压力的真空泵,以在低真空或粗真空压力范围内工作。  6、高真空泵  高真空泵是在高真空范围内运行的真空泵。  7、超高真空泵  超高真空泵是指在超高真空范围内运行的真空泵。  8、增压泵  增压泵通常是真空泵,在低真空泵和高真空泵之间运行,以增加中压范围内泵系统的泵送能力或降低前级泵的泵送速度。
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2019 - 11 - 26
关于安装罗茨真空泵的注意事项  如果企业在购买罗茨真空泵时选择了在线购物方式,则通常需要对其进行拆卸和运输,并且需要自己安装。但是,这类设备不容易安装,在安装过程中需要采取一些预防措施。  1、接通电源时,请注意电机的转向。从后部开始,电动机轴的旋转应为顺时针方向。具体的操作步骤是打开电动机的三相电源。 点动电动机的启动按钮,检查转向是否正确。在相反的方向上,交换三个电源端子中的任意两个。  2、当泵送的气体中包含灰尘或颗粒物时,应在泵的入口处安装合适的进气过滤器,以防止灰尘或颗粒物被吸入泵腔中,从而损坏罗茨真空泵。  3、应该水平安装,泵与墙壁或其他物体之间的间隙至少应为300mm,并且泵的油窗应留有空间以方便观察油位。  4、泵和泵送容器的管道应清洁,干燥且无泄漏。管道的直径至少应与罗茨真空泵的入口直径一样大。该长度应短一些,以减少抽速的损失。管道连接处不应有泄漏。  5、 罗茨真空泵应该安装在干燥,通风和清洁的地方。  在安装罗茨真空泵之前,请仔细阅读本手册几次,然后在理解后进行安装。安装完成后,必须多次检查设备。如果条件允许,您仍应找专业人员进行安装。这也是一种更安全的操作。方法。
2019 - 11 - 28
常见真空泵机组的分类与特点  完善的真空泵机组是由真空泵或真空机组以及各种管路、测量装置、阀门、电气控制系统等一系列的配套辅助元件设施一同构成的。小编就来简单介绍一下其中常见的真空泵机组分类以及应用领域。 真空机组一般根据主泵的类型来命名,然后可根据产品特点来进行分类,如含油真空机组与无油真空机组;更常见的,是按真空应用范围来,可分为低真空机组、中真空泵机组、高真空机组及超高真空机组。  低真空机组  低真空机组工作压力高、排气量大,多用于真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥机真空脱气等。低真空机组常用的主泵,容积式真空泵中的往复泵、水环泵、油封机械泵、螺杆真空泵、湿式罗茨泵以及喷射泵、分子筛吸附泵等这些直排大气型的真空泵都可以胜任,但根据被抽气体的清洁程度、湿度及其他条件,需配置除尘器、气水油水分离器、干燥阱等设施。  中真空机组  适用于需要大抽速和获得中真空的各种真空泵机组中,如镀膜机、真空冶炼、真空热处理及医药化工、电工焊接等行业。以往中真空机组由罗茨真空泵+油封机械泵、罗茨真空+水环真空泵以及双罗茨真空泵这样的组合居多。随着螺杆真空泵这样的无油真空泵的兴起,罗茨真空泵+螺杆真空泵这样的无油真空机组也逐渐增多,适应性更广。  高真空机组  高真空机组工作于分子流状态下,工作压力区间在10-2~10-6Pa,排量小、抽速大,一般情况下主泵由扩散泵、分子泵、钛升华泵以及低温冷...
2019 - 12 - 03
爪式干式真空泵  正确掌握爪型干式真空泵的维护要求,可以减少由于设备维护和维护不足引起的设备故障。  爪式干式真空泵维护计划:  1.处理注意事项  (1)每次启动前,检查设备和管道连接是否正常。  (2)在开始之前,请确保入口和出口气管中没有异物,首先打开排气管阀门以防止挤压。  (3)启动真空泵后,打开进气管阀门,以防止异物进入腔体并造成堵塞。  (4)观察油位窗并检查润滑油是否充足  (5)对于包含粘性物质或粉尘的工作条件,需要定期清洁滤网和泵腔。建议每次停止泵前都要清洗  (6)在间歇工作状态后,如果启动不平稳,请打开电动机盖,然后将电动机轴移动5-10圈,或蒸10分钟。  (7)当抽出可凝性气体或环境湿度过高时,在停止泵排空泵腔之前,必须通入适量的干燥空气。  (8)长时间停止泵,关闭进气阀,在启动真空泵20分钟后关闭排气口,然后停止以防止水蒸气进入  (9)确保运行期间循环冷却水量和水温符合技术要求。如果停水,则停止泵;  (10)当环境温度低于零时,请确保在停止泵时循环冷却水流动,以防止腔室结冰和破裂  (11)对于可凝性气体,排气通道气管必须低于排气口,排气口朝上,与三通连接,并与回收箱相连,如右图所示。  2.润滑系统的维护  (1)变速箱中的加润滑油等级应为32#或46#机械润滑油,并且在初次运行期间应每10个工作日更换一次润滑油。此后每年更换一次润滑剂。每天定...
2019 - 12 - 06
在维护过程中诊断水环真空泵故障是关键环节。以下是我们深圳水环真空泵工厂给出的几种常见故障和解决方案。希望大家早日解决难题。  1、无液体提供,供给液体不足或压力不足  ⑴水环真空泵没有注水或没有适当排气;  解决方法:检查水环真空泵壳和入口管线是否全部注满了液体。  ⑵速度太低;  解决方法:检查电机的接线是否正确,电压是否正常或者透平的蒸汽压力是否正常。  ⑶系统水头太高;  解决方法:检查系统的水头(特别是磨擦损失)。  ⑷吸程太高;  解决方法:检查现有的净压头(入口管线太小或太长会造成很大的磨擦损失)。  ⑸叶轮或管线受堵;  解决方法:检查有无障碍物。  ⑹转动方向不对;  解决方法:检查转动方向。  ⑺产生空气或入口管线有泄漏;  解决方法:检查入口管线有无气穴和/或空气泄漏。  ⑻填料函中的填料或密封磨损,使空气漏入水环真空泵壳中;  解决方法:检查填料或密封并按需要更换,检查润滑是否正常。  ⑼抽送热的或挥发性液体时吸入水头不足;  解决方法:增大吸入水头,向厂家咨询。  ⑽底阀太小;  解决方法:安装正确尺寸的底阀。  ⑾底阀或入口管浸没深度不够;  解决方法:向厂家咨询正确的浸没深度。用挡板消除涡流。  ⑿叶轮间隙太大;  解决方法:检查间隙是否正确。  ⒀叶轮损坏;  解决方法:检查叶轮,按要求进行更换。  ⒁叶轮直径太小;  解决方法:向厂家咨询正确的叶轮直...
2019 - 12 - 11
旋片真空泵的工作原理已经被介绍了很多次,今天我们又要对其进行熟悉。旋片真空泵我们见过很多.下面我们就来介绍一下.  旋片真空泵的旋片将转子,泵腔和两个端盖包围的月牙形空间分成A,B和C三个部分。当转子沿箭头方向旋转时,该空间与吸气口的连通容积正在逐渐增加,正在吸入。与排气口连通的空间C的体积逐渐减小,并且处于排气过程中。中央空间B的体积逐渐减小,并且处于压缩过程中。  由于空间A的体积逐渐增加(即扩大),气体压力降低,并且旋片真空泵入口处的外部气体压力比空间A中的压力强,因此气体被吸入。将空间A与吸气口隔离,将其转到空间B的位置,气体开始被压缩,体积逐渐减小,然后与排气口连通。当压缩气体超过排气压力时,排气门被压缩气体推开,该气体通过油箱中的油层排放到大气中。  旋片真空泵的连续运行达到连续泵送的目的。如果废气通过空气通道转移到另一级(低真空级),则由低真空级将其抽走,然后压缩到大气中并排放到大气中,从而形成两级泵。此时,总压缩比分为两个阶段,从而提高了极限真空度。 液环真空泵的工作原理:液环真空泵通常用于水环真空泵和纳西泵。它主要用于泵送气体,尤其是在泵送腐蚀性气体时。  在泵体内使用适量的水作为工作流体。当叶轮顺时针旋转时,水将被叶轮甩出。由于离心力,水形成了一个厚度大致相等的闭合环,该闭合环由泵腔的形状决定。 水环下部的内表面与叶轮壳正切,而水环上部的内表面与叶片的尖端刚好接...
2019 - 12 - 15
高温齿轮泵易损件包括以下几类:泵体,轴心,叶轮,轴承和机械轴封,其中:  1、泵体:在机械力或热应力的作用下易于破裂。由于工作过程中的气穴现象或冬天的泵壳中积水(例如损坏)的影响,冷冻时也容易破裂。如果重型泵无法维修,请更换新泵。  2、叶轮是高温齿轮泵的重要工作部件。它是黄铜制成的。由于制造质量和使用原因,它也很容易损坏。当叶轮高速旋转时,硬件碎片很容易损坏甚至被碎片破坏。有些缺陷可以修复,而有些缺陷则不能修复,即应更换新的叶轮。  3、高温齿轮泵电机的轴通常为碳钢或不锈钢,但由于制造质量,使用或拆卸等原因也容易损坏。 易便电机轴弯曲。可能存在裂纹,磨损等,并且可能会发生断裂事故。如果损坏严重且无法修复,则应更换新轴。  4、高温齿轮泵轴承是易磨损易燃的易损件之一。轴承的平均寿命通常为7000小时,但由于安装不当,使用时间长或维护不善,很容易磨损或损坏。除了轴承的单个零件可以用新零件更换外,一般还需要整体更换。  5、但是我们不能错过高温泵的机械轴封。它是高温齿轮泵中易磨损的零件之一。磨损后很容易泄漏。高温泵选择机械轴封时必须使用高温电阻。  在更换高温齿轮泵轴封的过程中,应注意以下几点:  1、检查轴封口径的尺寸。  2、检查轴封的耐热性是否符合技术要求。  3、检查轴封质量的技术要求。  4、垂直轴密封件旋转中心线速度范围内的技术标准。  5、旋转轴密封件的同心中心和密封件不...
2019 - 12 - 18
螺杆真空泵能抽出大量水蒸气和少量烟雾的蒸汽,其封闭能力在机械设备的应用中很容易造成泄漏问题。目前,人们应该仔细研究外科的内部和外部。以下是机械设备泄漏安全通道计算的详细介绍:  一、螺杆真空泵泄漏安全通道长度的测量  1.泄漏安全通道。接触线间隙由轴向间隙和齿侧间隙构成组成,齿顶圆上的间隙由电机转子齿顶圆表面和壁腔组成组成。  2.应规定每次泄漏的长度和总面积。在计算轴向间隙和齿侧间隙的长度L1、L2和L3时,应首先计算每段图形的接触线公式。  3.用跟踪点法计算触摸网络上每个点的室内空间坐标,然后立即累加这些点之间的距离,得到触摸线的长度从能够。等级越大,数值越精确。  4.封闭容量之间的泄漏是由间隙两侧的压力差异和挤出机螺杆的旋转引起的。前者导致工作流量压力,后者导致切割流量。两者之和是流量。  二.螺杆真空泵摘要  1.根据间隙能够的基本理论计算螺杆真空泵的极限真空值。  2.计算公式压力,用于计算机械泵闭合容量之间的平均泄漏和平均功。  3.计算了螺杆真空泵的内部功压力和泄漏量:信息表明,功压力和泄漏量在进气端迅速减小,并随着间隙的减小从进气端向排气端逐渐减弱。  4.根据齿顶圆间隙的泄漏误差以及轴向间隙和齿侧间隙的泄漏误差,间隙不断减小,当间隙低于一定值时,喷嘴泄漏将超过环形间隙泄漏。  螺杆真空泵广泛应用于医药行业、化工厂、半导体材料等公司行业,对螺杆真空泵的清洗有很高...
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罗茨真空泵真空度下降处理冷却水需排空

日期: 2022-04-27
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罗茨真空泵真空度下降的处理

 

1罗茨泵内油路堵塞或不畅,泵腔内没有保留一定量的油。解决办法是检查罗茨真空泵的油路是否畅通,并添加同类型的真空泵油。

2.罗茨真空泵轴封蒸汽供应中断。压盖压力调节气体失效。进入腺体系统的水等。而压盖系统的水应适当处理,严重时应制动。

3.冷凝器水位高。这通常是因为凝结水泵运行异常或泵出现故障。此时,应启动备用泵,并停止故障泵进行维护。如果冷凝液的硬度水环真空泵很高,可以判断是冷凝器铜管泄漏造成的。此外,凝结水和循环操作不当也是此次故障的原因。

4.空荡荡的系统并不紧张。该确认方法可使用蜡烛或专用检漏器来检测负压管道、阀门和冷凝器本体,并在发现泄漏点时及时消除。

5.循环的水温太高了。循环水用于冷却罗茨真空泵的工作水。循环水的高温经常导致真空泵的泵送能力和效率降低。

 

如果罗茨真空泵的冷却水长时间留在泵体内,泵体内的部件将会损坏旋片真空泵,不仅密封性能会受到影响。如果泵长时间存放在露天或温度较低的地方,泵内的冷却水会冻结和膨胀,这很可能导致泵体膨胀和破裂,从而损坏设备。因此,在任何情况下,只要是一个长期不运作的罗茨真空泵,就必须这样做。这是泵维护的一个方面。只有这样,设备才能随时使用,用户才能免受损失。只要记住这一点,就不会对泵造成损坏。


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高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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