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2021 - 06 - 30
为了让大家能够更好的选择并使用真空泵,我们总结了以下几点注意事项,让您能够选择到合适的产品。根据实际使用的情况,我们要注意这些:  1、小型真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若是工艺过程不支持,应选择无振动的泵或者采取防振动的一系列措施。  2、了解被抽气体成分,气体中有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵的时候需要知道气体成分,针对被抽气体时需要选择相应的泵。若是气体中含有蒸气、颗粒以及腐蚀性的气体,需要考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备。  3、小型真空泵在其工作压强下,可以排走真空设备工艺过程中产生的全部的气体量。  4、正确地组合真空泵。有的时候选用一种泵不能满足抽气要求由于真空泵有选择性抽气,需要几种泵组合相互补充才能满足抽气的要求。如果钛升华泵对氢有很高的抽速,但是不能进行抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速两组合起来,则会使真空装置得到相应的真空度。  5、小型真空设备对油污染的要求。若设备明确要求无油时,应该选用各种无油泵,如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染的措施。  6、正确地选择小型真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内比较合适,而不能让它在25~30mmHg下长期的工作。  7、小型真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选择无...
2021 - 08 - 09
电子行业清扫真空系统(HV)不同于一般设备,不能在建筑已经完工的时候购置使用,必需在建筑施工的阶段,配合设计,同期进行安装。最好是在设计阶段同步设计,可以使网管布置更加合理、紧凑,更节约投资成本。负压:负压值一般用KPa 或水柱来表示(mmH2O)。它反映了吸尘器形式主机内部与外界压力差的能力。该值随管道内的吸风量而变化。通常, 会给出吸尘主机的最大负压值,这一数值是通过人为阻塞管道而获得的(即吸风量为零)。经验证明:吸尘压力压值在-16~22KPa(1600~2200mmH2O)时使用,感到最为舒适。最大负压值越大并不意味着吸尘器效率越高。风量:吸风量用立方米比单位时间来表示(l/s或m3/h),它是给定条件下管道吸入的空气量。它的值和该处的套管口径有关。 一般给出吸风量的最大值,该数值为管道和主机连接切断(即负压为零)时所得。 最大吸风量越大并不意味着吸尘器的效率越高。马达功率:吸尘主机的马达功率用瓦特表示(W)。它是指马达启动时所需的电功率。该数值随着机器的运行状态而变化,它反映的是机器的耗电量而不是它的效率。因此,高功率值往往能掩盖马达的低效率,这是刻意降低马达的成本而造成的结果(内部低效率)。马达的功率越大并不意味着吸尘器的效率越高。气流效率:气流效率又称有效功率,用瓦特表示(W)。这是所有用户选择吸尘系统的首要标准。它是机器将尘埃从其吸附表面吸起并送至储存袋的能力。与人...
2021 - 09 - 09
相比于其他真空机组,干式螺杆罗茨真空系统的优势体现在哪些方面?干式螺杆罗茨真空系统特点是什么?无油螺杆罗茨真空系统应用优势是什么?若论干式螺杆罗茨真空系统的应用优势,这得益于真空泵合理的选型及设计,罗茨泵需要前级泵(如水环泵、旋片泵、螺杆泵等)辅助,使得真空系统真空度更高,更稳定。来了解下,干式螺杆罗茨真空系统的特点:1.无油无水是指螺杆真空泵,一定意义上也可称之为干式真空泵,干式真空泵无需油或水作为介质,就不会产生废油、废水和油烟,是有益于利环境环保的。2.对于被抽介质有水蒸汽或粉尘的环境不敏感,相比于罗茨旋片机组,干式无油螺杆罗茨真空系统优势更明显;3.无油干式螺杆罗茨真空系统维护清洗比较便捷,泵腔内无接触不磨损,长期使用真空性能也基本不变,真空度稳定性比较好;4.应用比较广泛,可用于化工、制药、电工、航空航域、真空镀膜、真空炉、真空干燥、真空浸渍、真空冶金等领域。深圳恒才机电设备有限公司致力于泵浦工程,主营水环真空泵、旋片真空泵、罗茨真空泵、螺杆真空泵、干式真空泵、真空机组配套、真空系统、真空解决方案等,从设计、选型、安装、调试、维保等一站式服务,为客户提供泵浦方面的优质工程方案。
2021 - 10 - 14
真空泵油适合所有类型真空泵吗?真空泵油是通用的吗?专业的真空泵厂家售后人员表示,真空泵油并非通用,而是需要根据真空泵和应用场合选择合适的真空泵油,不同种类真空泵用不同真空泵油。是否只有油润滑旋片真空泵需要添加真空泵油?并不是,罗茨真空泵、油螺杆真空泵均是需要使用真空泵油,且需要定期更换;即使是干式真空泵、鼓风机和压缩机也需要为其齿轮箱加油,以防它们过早磨损,并确保其在低噪声和低振动水平下平稳运行。矿物真空泵油与合成真空泵油有什么区别?矿物真空泵油覆盖了基本的工业应用,如:抽吸空气以及少量水蒸汽,它们适用于中低工作温度。合成真空泵油比矿物真空泵油具有更好的粘度特性,因此适用于需要更高工艺负荷(例如:酸、化学品)和工作温度的严苛应用。深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵,为客户提供专业的真空设备、真空解决方案设计、真空系统安装及售后维护保养等问题,如需更多真空泵装置详情,欢迎联系 13928410990
2021 - 11 - 11
罗茨真空泵必须在完全的容积水平上工作,与旋片真空泵相比,罗茨真空泵没有内部压缩功能,能压缩排气压力。1.未达到极限压力,原因是配管.系统或泵部分漏气,前级泵的极限压力降低,润滑油水环真空泵的质量差,油封性差。维修方法是检查系统的泵,修理前段泵,更换润滑油和油封。2.吸引速度低,原因是配管的通路能力低,前级泵的吸引速度低,需要增加配管的通路能力,修理和更换前级泵。3.电机过载,可能是因为入口压力太高,转子端面与端盖的一面接触,来自前级泵的回油进入了罗茨茨真空泵旋片真空泵的泵室内。这需要调整压力转子和防逆流油的设置。4.在极限压力下工作,在极限压力下工作的状态下,真空泵的旋转速度很快,气体不会从壳体表面放出热。因为温度突然上升,转子和外壳的间隙变小,真空泵停止。否则,会导致真空泵变成真空。检查一个造纸真空脱水系统的罗茨真空泵的选定是否适用罗茨真空泵的标准主要如下1.呼吸力2.动作点轴功率3.电机功率在选定罗茨真空泵时,吸引力满足生产线的工艺要求的情况下,可以尽可能减少罗茨真空泵的工作点的轴力,在罗茨真空泵消耗的轴力小的情况下,制浆的生产成本进一步变小,马达的设置力也小的情况下,电配置成本也得到抑制。
2021 - 12 - 16
激光真空焊接工艺的实现,得益于深圳恒才机电设备有限公司的罗茨旋片真空机组。应用于电子行业,电子产品精密焊接工艺,为改善激光真空焊接工艺高要求,深圳恒才为其定制了新的真空解决方案,一起来了解下。罗茨旋片真空机组,采用ZRS 250罗茨真空泵及GVD 28旋片真空泵,及密闭腔体,组成了罗茨旋片真空机组,有效解决了激光焊接设备的真空度低、机器故障、真空泵设备抖动大等问题。进口罗茨旋片真空机组应用于真空焊接的优势:1、低噪音、体积小巧,轴封技术,无油泵结构,环保无污染2、自动调整泵的转速,从而防止电机过载、过热;3、抽气时间缩短达50%、提高效率,节约成本;4、运行压力低,可靠性高、稳定性好等特点;5、使用寿命长,维护容易;新的真空方案解决了原有存在的问题,在密闭腔体里面实现真空焊接工艺,更精密更精准,激光真空焊接设备提高了工作效率,为生产增加效益,激光真空焊接的工艺也得到了改善。深圳恒才真空泵方案的改造,给客户的生产带来更多便利、提高工作效率、降低了维护成本及环保难题,更多真空泵相关详情,欢迎致电深圳恒才机电设备有限公司,我们将竭诚为您服务 13928410990 张小姐。
2022 - 01 - 12
为改善激光真空焊接工艺高要求,恒才为其设计了真空解决方案,应用于电子行业,电子产品精密焊接工艺。激光真空焊接工艺的实现,得益于罗茨旋片真空机组,一起来了解下。罗茨旋片真空机组组成:阿特拉斯罗茨真空泵ZRS 250、阿特拉斯旋片真空泵GVD 28,及密闭腔体。精密电子产品在密闭腔体里面实现激光真空焊接工艺,更精密更精准,罗茨旋片真空机组(激光真空焊接设备)有效解决了原先的激光焊接设备的真空度低、机器容易出现故障、真空设备抖动大等问题。激光真空焊接工艺如何提高精准度真空度?新的真空方案提高了激光真空焊接设备工作效率,为生产增加效益,精密电子元件激光真空焊接工艺也得到了改良。新的真空方案解决了原有存在的问题,罗茨旋片真空机组的优势是,在密闭腔体里面实现真空焊接工艺,精密、精准,激光真空焊接设备提高了工作效率,激光真空焊接的工艺也得到了改善。深圳恒才真空泵方案的改造,给客户的生产带来更多便利、提高工作效率、降低了维护成本及环保难题。深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统,提供真空解决方案、真空泵售后维修保养等一站式服务,更多真空泵信息,欢迎致电了解。
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发布时间: 2025 - 12 - 27
来源: 599
晶圆减薄真空吸附选用水环真空泵系统,主要基于其无油设计、高极限真空度、稳定抽气性能、耐腐蚀耐高温特性、低噪音与长寿命等核心优势,这些特性直接解决了晶圆加工对真空环境的严苛要求,并提升了生产效率与产品质量,具体分析如下:一、无油设计保障晶圆洁净度水环真空泵以水为工作介质,无需润滑油,避免了油蒸气或油滴对晶圆表面的污染。在晶圆减薄过程中,即使微小的油污也可能导致后续工艺(如光刻、镀膜)出现缺陷,影响芯...
发布时间: 2020 - 02 - 27
来源: 66
如果普通旋片真空泵的转子反转,真空泵的油和空气将返回真空室,造成污染并破坏现有的真空度。因此,在实际应用中有必要防止旋片真空泵反转。一般如何防止旋片真空泵反转?与螺杆真空泵制造商一起了解它。  如果旋片真空泵反转,它通常出现在泵的启动和停止阶段。  旋片真空泵通常由三相交流电机驱动,因此首先要注意电源线的连接,以保证正确的旋转方向。目前,一些泵还配备了反向制动,以防止泵反向旋转。一旦电源线连接不正确,真空泵就无法启动。  当泵停止时,出口处的大气压力将使真空泵反转。因此,有必要通过一个特殊的阀门将真空泵与真空室分开,以防止反向旋转导致空气和泵油进入流入真空室。这种特殊的阀门通常是一种电磁放气阀,它通常与电机的电源相连,并安装在真空泵的入口管中。当真空泵断电或控制开关关闭时,电磁阀将打开,通过大气和泵入口之间的压差关闭泵和真空室之间的通道,并将空气排放到真空泵入口。真空泵启动时,电磁阀关闭,真空泵排空保护阀,阀板被弹簧压力打开。  此外,一些旋片真空泵还将在泵的进口处安装一个空气隔离阀来代替电磁放气阀,以实现上述保护阀的功能。
发布时间: 2020 - 02 - 27
来源: 54
液环真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵,可获得2000-4000帕的极限真空,液环真空泵与真空泵组成的机组真空度可达1-600帕。水环泵适用于输送气液混合物。这种泵也可以用作空气泵和空气压缩机。它产生高绝对真空。压缩比取决于旋转水环的压力以及侧壁上排放口的大小和形状。水环泵也可用作压缩机,称为水环压缩机,属于低压压缩机,其压力范围为1 ~ 2× 10 5pa表压。  水环泵最初用作自吸泵,然后逐渐用于许多工业部门,如石油、化学工业、机械、采矿、轻工业、医药和食品。在许多工业过程中,如真空过滤、真空引水、真空进料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气,水环泵被广泛使用。由于真空应用技术的迅速发展,水环泵在获得原油真空方面受到了重视。由于水环泵中的气体压缩是等温的,易燃易爆气体以及含尘和含水气体都可以去除。因此,水环泵的应用日益增多。其他合适的液体也可以用作水环真空泵的工作流体。无论使用哪种工作流体,都统称为液环真空泵。水环真空泵是最常见的液环真空泵。  最广泛使用的泵。泵体充满适量的水作为工作流体。当叶轮在图中顺时针旋转时,水被叶轮甩来甩去。由于离心力的作用,根据泵室的形状,水形成厚度大致相等的闭合环。水环下部的内表面正好与叶轮轮毂相切,水环上部的内表面正好与叶片的尖端接触(事实上,叶片在水环中具有一定的插入深度)。此时,在叶轮轮毂和水环的内界面之间形成新月形空间,并且该空间被叶轮叶片分成几个与叶片数量相等的小腔。如果以叶轮的下部为起点,当叶轮旋转180度前,小室的容积由小变大,小室与端面上的吸入口连通,此时吸入气体,当吸入结束时,小室与吸入口隔离;当叶轮继续旋转时,小室由大变小,使气体被压缩;当小室与排气口连通时,气体从泵中排出。综上所述,水环泵通过改变泵腔的容积来实现吸入、压缩和排出,因此属于变容积真空泵。液环真空泵结构简单,不需要抽排气阀,工作稳定可靠,泵内...
发布时间: 2020 - 02 - 25
来源: 70
如果旋片真空泵运行不正常,往往会出现问题,如旋片真空泵真空度下降、喷油、冒烟、油封漏油、噪音等情况,以及真空泵油在泵内乳化等。如果出现这种情况,首先不用担心,今后就按照故障逐一等待关机扫描。这里有一些解决问题的方法。  1.旋片真空泵吸油和喷油:这意味着旋片真空泵在工作时在排气口吸油或喷油。  1、吸烟时,如果泵刚刚开始工作,有冒烟现象,恢复正常,如果长时间吸烟不正常。如何处理:烟雾表示修理泵进气口外的管道、阀门和容器。泄漏检测将在未来处理,吸烟将结束。涡街流量米  2、燃油喷射,说明进气口外有许多泄漏点,甚至进气口都暴露在大气中。如何处理:密封泵的进气口,使泵工作,如果没有油注入,澄清泄漏点;排气阀片损坏,检查排气阀片是否损坏,更换损坏的排气阀片。  2.旋片真空泵的噪声:这里指的是泵的噪声。  1.当钢瓶被敲击时,泵发出不规则的噪音,像金属撞击金属的声音。这是转子撞击泵体时发出的声音。这种情况主要是由于配套旋转板之间的拉簧断裂造成的,可能是收缩或弹出故障造成的。处理方法:翻转泵,看看螺旋弹簧是否损坏。更换弹簧。  2、排气阀片发出噪音,首先是泵排气阀片损坏。如何处理:更换排气阀片。  3.旋片真空泵真空度下降:指目前测得的旋叶真空泵真空度低于工厂目标或以前使用的真空度。真空度低有很多原因。以下是一些基本条件。  1.这次添加的旋片真空泵油的商标与原来的不同。不同品牌的真空泵油有不同的结果,因为不同品牌的油的全蒸汽压不同。处理:根据货物的型号标准更换正确的新真空泵油。  2.另一个原因是由真空泵油形成的真空度低,即真空泵油被乳化和脱色,并且可能太脏。处理:排空泵内的所有真空泵油,更换同类型的真空泵油,并处理泵内泵送气体进入中的水蒸气和杂质。  3.泵送气体的温度可能过高。处理方法:降低泵送气体的温度或增加相应的热交换器。  4.泵中的油道可能不平滑,并且一定量的油没有保留...
发布时间: 2020 - 02 - 25
来源: 81
离心泵出口的止回阀的作用就是防止出口管路中的液体倒流形成水锤造成泵内叶轮损伤。  止回阀的安装与泵的多少无关,止回阀主要为了在泵停止运行后,防止液体回流,使泵倒转,从而造成损坏泵的事故,并且为了防止液体倒流对其他储罐等的损坏(从高位罐倒流会造成罐补抽坏)。因此最好加上止回阀。  如果能保证停泵前先关闭出口阀,且出口阀不内漏或损坏,也可以不安止回阀。  离心泵出口止回阀门'止回阀'的选型  一般的泵站工程情况,对于泵出口止回阀的选择,应遵循以下原则;  1、对泵出口管路口径较小的管路,即DN ≤50mm时,应选用升降式止回阀。  2、对泵出口管路口径DN50mm的管路,应选用旋启式止回阀旋启式止回阀可以水平或垂直安装。旋启式止回阀阀瓣绕转轴作旋转运动,其流体阻力一般小于升降式止回阀,它适用于较大口径的场合,安装位置不受限制,通常安装于水平管路,它适用与较大口径的场合。根据阀瓣的数目可分为单瓣旋启式、双瓣旋启式及多瓣旋启式三种。单瓣旋启式止回阀一般使用与中等口径的场合。大口径管路选用单瓣旋启式止回阀时,为减小水锤压力,最好采用能减小水锤压力的缓闭止回阀。双瓣旋启式止回阀适用与大中口径管路。对夹双瓣旋启式止回阀结构小、重量轻,是一种较快的止回阀;多瓣旋启式止回阀适用与大口径管路。  离心泵出口止回阀的安装  ① 旋启式止回阀一般安装在水平管道上:对于口径DN~80mm的止回阀,也可安装在垂直或向上倾斜的管道上。  ② 直通式升降式止回阀应安装在水平管道上;立式升降式止回阀必须安装在垂直管道上,介质为自下而上流动。  ③ 由于止回阀容易损坏,因此,应靠近泵出口安装止回阀,在止回阀上部设有切断阀(一般用球阀或闸阀),方便检修。  ④ 为便于止回阀拆卸前泄压,对于止回阀本身不带放净阀的,应在止回阀与切断阀之间加装泄压用放净阀。  防止水力冲击对止回阀密封面损坏的保护措施...
发布时间: 2020 - 02 - 25
来源: 56
性价比高、技术可靠性强、使用寿命长是旋片真空泵多年来得到广泛应用的重要因素。旋片真空泵具有油润滑和密封结构,因此影响旋片真空泵可靠性和使用寿命的最重要因素是泵内蒸汽和化学物质的侵蚀以及润滑剂的老化。  1.蒸汽提取  大多数旋片真空泵制造商将详细解释设备在百帕时的蒸汽容差或克/小时时的蒸汽容量。这些信息指的是水蒸气。当气动阀打开且真空泵处于工作温度时,如果入口压力低于给定值,泵送的水蒸气不能冷凝。在干燥过程中,泵的尺寸不是由根据蒸汽量的泵速决定的,而是由每单位时间收集的水量决定的。因此,必须用关闭的真空侧阀和打开的空气压力阀预热泵约15至30分钟,以达到其最佳工作温度(油)(约70-80℃)。只有在正确的操作温度下,蒸汽才能通过打开的气动阀泵出。高真空阀门的延迟开启可以很容易地集成到控制系统中。  泵压过程完成后,建议打开气动阀,让真空泵继续运行约15分钟,这样泵体内剩余的蒸汽可以通过排气装置排出。该过程再生工作流体,以防止停滞腐蚀和可能的泵故障。  必要的泵前和泵后操作可通过定时工具轻松集成到控制器中。如果系统需要低于1至2百帕极限压力的空气压力,则需要两级旋片真空泵。值得注意的是,两级旋叶真空泵的蒸汽容限和蒸汽容量将低于单级泵。  2.工作流体  使用旋叶式真空泵时,工作流体(即真空泵油)主要负责三个重要功能:密封、润滑阀门和轴承、传导铝壳上的压缩和摩擦热以冷却泵体。  用传动装置和润滑剂保持油位是所有油封旋转叶片泵和真空泵的重要预防性维护和日常维护。如果油位下降过低,泵系统将无法再润滑。由于缺乏润滑,泵系统的运行将被阻塞,最终导致泵故障。油位过低也会妨碍压缩热的最佳消散。泵过热会导致工作流体快速老化。缺乏润滑和形成油碳最终会导致泵故障。因此,必须确保泵的油位不能低于观察镜的中间位置。  需要定期检查工作流体的颜色、粘度和污染物。如果工作液中的水分含量超过5%,就会呈现...
发布时间: 2020 - 02 - 25
来源: 57
旋片真空泵的噪声通常是指当泵的温度稳定时,在极限真空下测得的噪声水平。它包括泵本身的噪音和电机的噪音。对于用户来说,它还关注旋片真空泵温度不稳定时的启动阶段的噪声、不同入口压力下的操作噪声以及气体开启镇流器的操作噪声。因此,应该考虑许多因素。  根据声音产生的位置,旋片真空泵的噪音可分为以下几个方面:  (1)转子对缸体的冲击,泵的剩余容积和排气死区中的压力油的声音产生;  (2)排气阀片对阀座和支架的冲击;  (3)箱内回声和气泡破裂;  (4)轴承噪声;  (5)大量气体和油冲击挡油板产生的噪音;  (6)其他。如传动噪声、风冷泵风扇噪声等。  (7)电机噪声,这是一个关键因素。  对旋片真空泵设计和处理方案的建议如下:  1.旋转板对气缸壁的影响  如果使用不当的设计、制造或材料导致转子板滑动不顺畅,或者因为存在死气隙,不可压缩的油导致转子板头部不总是靠近气缸壁,这将导致转子板撞击气缸壁。因此,采用圆弧面分隔进出口的结构是合适的。用排气导槽消除死区。采用线分离结构时,排气终点到切点的距离应尽可能缩短。对于70l/s以下的旋叶泵,考虑到旋叶的实际厚度,建议取7 ~ Lomm,大泵取大值。当其过近时,由于转子转子槽的存在和只有一条窄条与转子头接触,一旦转子旋转到切点,密封效果不好,这将影响泵送速度甚至泵的极限压力。可以看出,这种结构不能完全消除排气死区,限制了降噪水平。  应该指出,转子和槽之间的间隙过大会降低性能。因此,必须保证合理的公差配合和形位公差值,注意转子板的热膨胀,避免转子板与槽之间的擦伤,注意油的冷油粘度,设计足够的转子板弹簧力。采用圆弧面分离时,转子中心的附加偏心值不宜过大。否则,当转子穿过两个圆弧时,它将倾向于在交点处脱离气缸壁,从而产生冲击噪声。一般来说,小泵只有0.20 ~ 0.25毫米,而大泵可以适当增加。  排气死区中的压力油和剩余容积中的压力油...
发布时间: 2020 - 02 - 25
来源: 53
疫情还没完全结束,  复工安全管理你知道怎么做吗?  关注人的问题  一是员工安全问题。员工复工,疫情防控压力也随之增大。企业应给员工提供复工指南,办公室防疫手册,要提醒员工做好4个防疫准则,戴口罩、勤洗手、勤通风、同事之间保持距离。  二是岗位缺员问题。受疫情影响,假期延长,停工企业外地员工返回后不能立即到岗,导致一线生产职工人力不足。建议企业组织人资、生产、设备、安全部门对岗位人力满足情况和人员安全生产能力进行一次评估,按照关键岗位员工到岗情况,确定复工时间。  三是人员心理问题。许多员工复工返岗后自由散漫的心还没有收回来,心思并没有真正回到工作岗位上,容易发生“三违”行为。建议企业在复工复产期间,安全管理人员要经常深入生产现场提醒与监督,同时严格落实领导干部带班制度,抓好反“三违”管理。  关注员工的复产问题,  还有我们的生产“复工设备”  一起来了解吧~  关注设备,实施管理  对装置开泵前的设备调试和吹扫、置换、气密试验等重要作业,以及装置开停泵流程、设备运转、公用工程启动等重要步骤,实施责任人签字确认制度,进行安全条件审核确认。  加强设备设施的管理。  一是检查设备的检验周期是否符合要求,  二是对管道、弯头减薄等设备腐蚀要进行一次风险识别判断;  三是动静设备存在的隐患是否得到消除;  四是报警联锁等是否完备在用、好用、管用。  看完泵的实施管理  还有泵的正确“操作方式”  一起记住它吧~  关注机械泵的维护  ①真空泵设备的启动,停用多日的真空泵启动时,请不要直接启动,应该先转动电机风叶至少三圈后再启动。如果连续启动三次后还停止机器,并用手盘动主机 ,再次启动机器!这样操作,可有效避免开机时供油不及时机头卡死的现象。  ②真空泵设备的停车,真空泵设备在进行停车的时候,要注意(如进气管有阀门)关闭进气管上的阀门,之后也就应该要关闭供水管,且要注意疾速关停...
发布时间: 2020 - 02 - 24
来源: 99
罗茨真空泵是一种机械真空泵,具有一对同步高速旋转的鞋底形转子。该泵不能单独泵送空气。前级需要配备油封、水环等。直接排放空气。其结构和工作原理与罗茨鼓风机相似。其吸入口与真空容器或真空系统的主泵相连。真空泵的转子和转子之间以及转子和泵壳之间没有接触。  间隙一般为0.1 ~ 0.8毫米;不需要用油润滑。转子轮廓包括圆弧、渐开线和摆线。渐开线转子泵体积利用率高,加工精度容易,因此转子型线多为渐开线。罗茨真空泵的转速可达3450~4100转/分。抽气速率为30-10000升/秒(1升=10-3米);  罗茨真空泵是一种机械真空泵,具有一对同步高速旋转的鞋底形转子。该泵不能单独泵送空气。前级需要配备油封、水环等。直接排放空气。其结构和工作原理与罗茨鼓风机相似。其吸入口与真空容器或真空系统的主泵相连。真空泵的转子和转子之间以及转子和泵壳之间没有接触。  间隙一般为0.1 ~ 0.8毫米;不需要用油润滑。转子轮廓包括圆弧、渐开线和摆线。渐开线转子泵体积利用率高,加工精度容易,因此转子型线多为渐开线。罗茨真空泵的转速可达3450~4100转/分。抽气速率为30-10000升/秒(1升=10-3米);单级的极限真空为6.5×10-2帕,双级为1×10-3帕。  罗茨泵的极限真空不仅取决于泵本身的结构和制造精度,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,罗茨泵可以串联使用。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的连续旋转,泵送的气体从空气入口被吸入转子和泵壳之间的空间v0,然后通过空气出口排出。由于v0空间在吸入后完全关闭,泵室内的气体不会被压缩和膨胀。然而,当转子的顶部围绕排气口的边缘转动并且v0空间与排气侧连通时,由于排气侧的高气体压力,一些气体冲回到空间v0中,导致气体压力突然增加。当转子继续旋转时,气体离开泵。罗茨泵在泵室中,有两个“8”形转子安装在一...
发布时间: 2020 - 02 - 24
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半导体工艺真空主要用于键合工艺,如蒸发、溅射、等离子体化学气相沉积、真空干法刻蚀、真空吸附、测试设备、真空清洗等。半导体生产制造过程中容易产生易燃、易爆、有毒物质和气体,对生产和人员安全构成威胁。因此,半导体真空泵应用中的几个安全注意事项如下:  1.定期清洁真空泵和其他附件、过滤器和管道,以避免过压。  在半导体真空泵的应用中,当介质在介质提取过程中通过反应室和真空泵时,介质的组成可能极其复杂。例如,四氯化硅和氧气在泵口形成二氧化硅,而四氯化钛水解形成盐酸。假设是油封机械泵,这些气体物质也可能与泵油发生反应。这些变化假定形成颗粒、可冷凝物或腐蚀性介质,它们可能阻塞真空泵或管道系统,影响真空泵的性能,导致压力上升或过压,并造成更大的风险。因此,有必要及时清理,必要时设置过滤设备。  2.有效稀释有害气体的浓度  半导体容易产生上述易燃、易爆和有毒的有害气体。因此,在半导体真空泵的应用中,当提取这些介质时,有必要防止在真空泵或排气过程中发生一些不可控的反应。例如,当与空气或氧气接触时,SiH4、PH3、AsH3、B2H6和其他物质会引起燃烧甚至爆炸。当空气中氢的混合比例达到一定程度和温度时,也会发生燃烧。这些都取决于物质的数量及其与环境压力和温度的关系。因此,当半导体真空泵抽取这些介质时,在压缩之前,需要惰性气体如氮气将这些气体稀释到当前条件下的安全范围。  3.注意氧气的浓度  如果空气中的氧气浓度过高,也会发生燃烧和爆炸的危险。因此,在某些情况下,应注意氧气的浓度,并应使用惰性气体稀释氧气,以防止浓度过高。假设油封机械泵可能需要使用一些惰性氧兼容的真空泵油,并及时更换滤油器和油品。  4.防止温度过高  理解这一点更容易。在半导体在真空泵中的应用中,有许多有害气体。但是,无论是干式真空泵还是油封机械泵,如果泵腔内温度过高,易燃、易爆和有毒气体在高温下很容易产生危险。  当...
发布时间: 2020 - 02 - 24
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当确定真空系统的配置时,设备能够达到的极限压力取决于从系统外部到系统内部的总泄漏率Qo和由虚拟泄漏形成的总“泄漏”率∑Q1以及泵送系统的有效泵送速度的总和。  真空技术中的泄漏孔指的是小孔、缺陷或间隙,以及可渗透元件或气体泄漏装置,当密闭容器内外的气体压力或浓度不同时,这些元件或气体泄漏装置允许气体从容器壁的一侧泄漏到另一侧。由于泄漏孔尺寸小、形状复杂,不能用几何尺寸来表示,因此其尺寸一般用等效电导或泄漏率(称为“泄漏率”)来表示,单位为pa·l/s。  焊缝是真空制造过程中最容易出现漏孔的区域之一。  常见的焊缝外观缺陷和其他缺陷,如未熔合、未焊透、夹渣、气孔、裂纹和内应力等,是超高真空系统中漏孔或虚漏源的隐患。为了最大限度地减少焊接缺陷并便于检查,超高真空要求焊接零件尽可能将焊缝放置在真空侧,大气侧焊缝仅用作断续强化焊缝,而最大数量的焊缝可在制造阶段单独测试,并在最终组装前进行校正。由于一些零件的横截面尺寸较小,内壁的焊接受到限制,一些零件只能使用大气侧焊缝。焊缝应一次焊接,以避免两次焊接造成的有害空间。因此,有必要保证单面焊和双面成形的良好效果。  此外,应该指出的是,由于压力差、振动、热循环和其他原因在接头中产生的应力和应变可能导致包含缺陷的焊缝中出现裂纹,从而对焊缝造成损坏,或者焊缝在使用过程中可能被腐蚀,这可能形成泄漏点。  因此,所采用的焊接方法必须能够使焊缝的泄漏率满足这些条件下的技术要求。  目前,不锈钢广泛用于超高真空容器。应该说不锈钢的可焊性和可焊性都很好。为什么要提出超高真空容器对焊缝的要求?原因是超高真空容器要求很低的泄漏率,这也对焊缝的密封性能提出了严格的要求。微小泄漏难以检测、修复和消除。实践证明,非超高真空容器常用的压力检漏方法不能满足超高真空容器的漏率要求,即在压力检测找不到漏点的情况下,氦质谱检漏仍可能发现漏孔,不能满足漏率要求...
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