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2020 - 01 - 15

半导体工艺真空主要用于蒸发、溅射、PECVD、真空干法刻蚀、真空吸附、测试设备、真空清洗等键合工艺。半导体生产制造过程中容易产生易燃、易爆、有毒物质和气体，对生产和人员安全构成威胁。因此，半导体真空泵应用中的几个安全注意事项如下:　　1.定期清洁真空泵及其他附件、过滤器和管道，以避免过压　　在半导体真空泵的应用中，当介质在介质提取过程中通过反应室和真空泵时，介质的组成可能极其复杂。例如，SiH4和O2在泵口形成二氧化硅，而四氯化钛水解形成氯化氢。假设使用油封机械泵，这些气态物质也可能与泵油发生反应。这些变化假设颗粒、可冷凝物或腐蚀性介质的形成，可能会堵塞真空泵或管道系统，影响真空泵的性能，导致压力升高或过压，并带来更大的风险。因此，有必要及时清理，必要时设置过滤设备。　　2.有效稀释有害气体的浓度　　半导体容易产生上述易燃、易爆和有毒有害气体。因此，在半导体真空泵的应用中，当抽取这些介质时，有必要防止真空泵或排气过程中发生一些不可控的反应。例如，当与空气或氧气接触时，SiH4、PH3、AsH3、B2H6和其他物质会引起燃烧甚至爆炸。当空气中氢气的混合比例达到一定程度和温度时，也会发生燃烧。这些都取决于物质的数量及其与环境压力和温度的关系。因此，当半导体真空泵提取这些介质时，在压缩前的当前条件下，需要惰性气体如氮气将这些气体稀释到安全范围。　　3.注意氧气的浓度　　如果空气中的氧气浓...

木工行业选择哪种真空泵

2020 - 02 - 19

如果您从事木工行业，那么您可能已经熟悉工业真空泵。从固定和提升到层压和木材干燥，这些机器对于推动木工过程中涉及的各种应用至关重要。但是您是否知道最适合该行业的真空泵技术类型?　　木料用什么真空泵更好?　　一般而言，旋转螺杆真空泵和干爪真空泵是木工应用的理想选择，因为它们是非接触式真空技术，不会遭受性能元件的磨损。　　与叶片泵相比，GHS VSD +等旋转螺杆泵具有较高的性能水平，并减少了维护，噪音和热量散发-所有这些都归功于螺杆技术。它们通常配备VSD技术(使其非常经济)，并且还具有压力设定点控制功能，可确保泵提供尽可能低的真空流量，从而可以维持所需的真空度。结果?降低了生命周期的运营成本，并且没有浪费过多的能源。　　干式爪泵也是木工的理想技术。由于主泵腔中没有润滑，因此没有污染的威胁。其次，没有任何磨损-两个爪形转子彼此相反的方向运行;它们不会彼此接触，也不会与泵室接触!这意味着没有磨损，非常耐用，并且可以维修和清洁。干式爪泵也可以组合成多系统单元。　　恒才机电厂家主要真空泵产品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN、LRP系列水环真空泵,X、GVD系列旋片真空泵,ZJ系列罗茨真空泵,GXS、DHS、VSD、GHS系列螺杆真空泵,DZS系列爪泵,中央真空系统等产品。公司代理有阿特拉斯.科普柯(atlas)，司倍克speck产品.真空泵厂家恒才机电凭借多年的生产制造经验，一流的技术人...

复工后旋片真空泵选型使用五大注意事项

2020 - 02 - 22

旋片真空泵主要用于获得低、中真空度，它可分为油封泵和干式泵，根据所要求的真空度，还可以分为单级泵和双级泵(使用更普遍)。旋片真空泵主要是由泵体、转子、旋片、端盖和弹簧等部件构成。在旋片真空泵的腔内，有偏心地安装了一个转子，转子外边与腔内表面相切，转子槽内装有带弹簧的两个旋片。当转子在运转的过程中，旋片能沿其径向槽成往复式地滑动，并且与泵壳内表面始终相接触，此旋片随转子一起旋转，进而把真空泵腔体分为多个可变容积空间。　　在使用旋片真空泵时，需要注意以下事项　　1.在使用旋片式真空泵前，需要保持泵的清洁，以免杂物进入泵体里面。检查油量，加油至油标中心处，如果太低就会对排气阀起不到油封的作用，对真空泵的真空度产生影响;如果过高，会产生喷油反应。在真空泵运转的时候会有正常的油量上升反应。在加油时，要使用符合规定的真空泵品牌的清洁真空泵油，从注油孔加入完毕之后，为防止其他杂物进入真空泵油仓内，要进行过滤且堵塞油孔。　　2.在旋片真空泵工作环境温度过高时，旋片真空泵的油温度也会升高，这是热分子运动加快，油的粘度降低，导致饱和蒸气压变大，最终引起极限真空度变低，德耐尔真空泵厂家技术人员指出，想要使得真空泵真空度得到改善，可以加大风力，改善真空泵油的质量，从而降低温度加快散热。　　3.在使用旋片真空泵的作业过程中，抽取的物质不应该是含氧量过高、含水蒸气量过高、易燃易爆以及对金属有腐蚀性的气体物质，...

一分钟了解液环真空泵结构及用途

2020 - 02 - 27

液环真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵，可获得2000-4000帕的极限真空，液环真空泵与真空泵组成的机组真空度可达1-600帕。水环泵适用于输送气液混合物。这种泵也可以用作空气泵和空气压缩机。它产生高绝对真空。压缩比取决于旋转水环的压力以及侧壁上排放口的大小和形状。水环泵也可用作压缩机，称为水环压缩机，属于低压压缩机，其压力范围为1 ~ 2× 10 5pa表压。　　水环泵最初用作自吸泵，然后逐渐用于许多工业部门，如石油、化学工业、机械、采矿、轻工业、医药和食品。在许多工业过程中，如真空过滤、真空引水、真空进料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气，水环泵被广泛使用。由于真空应用技术的迅速发展，水环泵在获得原油真空方面受到了重视。由于水环泵中的气体压缩是等温的，易燃易爆气体以及含尘和含水气体都可以去除。因此，水环泵的应用日益增多。其他合适的液体也可以用作水环真空泵的工作流体。无论使用哪种工作流体，都统称为液环真空泵。水环真空泵是最常见的液环真空泵。　　最广泛使用的泵。泵体充满适量的水作为工作流体。当叶轮在图中顺时针旋转时，水被叶轮甩来甩去。由于离心力的作用，根据泵室的形状，水形成厚度大致相等的闭合环。水环下部的内表面正好与叶轮轮毂相切，水环上部的内表面正好与叶片的尖端接触(事实上，叶片在水环中具有一定的插入深度)。此时，在叶轮轮毂和水环的内界面之间形成新月形空间，并且该...

真空机组系统中的真空泵选型策略

2020 - 03 - 03

真空泵的功能是从真空室中去除气体分子，并降低真空室中的气压以达到所需的真空度。一般来说，从大气到极高真空有一个很大的范围，到目前为止没有一个真空系统能覆盖这个范围。因此，为了达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备使用寿命要求，需要为不同的真空段选择不同的真空系统配置。为了获得最佳配置，在选择真空机组系统时应考虑以下几点:　　1.真空泵的极限压力应满足工艺的工作压力。通常，所选泵的极限压力比工艺要求低一个数量级。　　2.每个泵都有一定的工作压力范围。因此，泵的工作点应选择在此范围内，不允许在超过允许工作压力的情况下长时间工作。　　3.在其工作压力下，真空泵应该能够排出真空设备过程中产生的所有气体。　　4.选择真空机组装置:　　(1)当一台泵不能满足抽气和真空的要求时，需要将几台泵组合起来，相互补充，以满足工艺要求。　　(2)有些真空泵不能在大气压下工作，需要预抽真空;一些真空泵的出口压力低于大气压，需要一个前置泵，所以所有的泵都需要组合使用。通过真空泵的组合，我们称之为真空泵机组，它能使真空系统获得更好的真空度和排量。我们应该正确选择组合式真空泵，因为不同的真空泵对被抽出的气体有不同的要求，例如:罗茨-转子机组不适合在正常情况下含有较多可冷凝气体的系统。　　5.当你选择一个油封泵时，你应该首先知道你的真空系统是否对油污染有要求。如果设备严格要求无油，应选用各种非油泵，如:水环泵、低温...

水环真空泵8种真空度不够的问题解决办法

2020 - 03 - 06

根据水环真空泵的说法，它是一种利用机械能实现无内压缩的真空泵。因此，对真空度的要求相对较高。如果真空度不够高，真空泵的使用会受到影响。因此，应对产品进行检查，找出故障原因并予以纠正。　　1.水环真空泵冷却水流量不足:应增加冷却水流量。　　2.装配不当会导致转子轴向位移，导致单侧磨损:应将其拆卸下来进行检查并重新装配。　　3.吸入硬物磨损真空泵本体:拆卸水环真空泵，去除硬物，修理或更换划伤的零件。　　4.真空泵的温度太高:泵送气体的温度太高。让气体在进入真空泵之前冷却进入;应使用冷却水或电风扇来冷却温度。同时，检查相关零件的配合间隙，并根据规定的精度要求进行修理或更换。　　5.水环真空泵本身会泄漏空气:泵本身密封不严，会在轴封处泄漏空气。应该更换空气阀件。如果密封圈泄漏，检查所有密封件的密封情况，并更换损坏的密封圈。如果气动阀垫圈损坏或未拧紧，更换垫圈并拧紧气动阀。当真空泵中的隔膜被压入时，干涉太大，导致真空泵腔变形并泄漏气体。应该修理或更换真空泵腔。漏气是由于真空泵端面油密封不良造成的。应拆卸端盖，检查是否有杂物或不平，然后清洗或修理。　　6.真空泵油有一个问题:如果油位太低，在油痕中间的管路中加入足够的油;如果机油被污染和变质，请更换新的机油。如果油的品牌不匹配，应更换指定品牌的真空泵油。油道堵塞，水环真空泵室不能保持适当的油量。检查油路和油阀的进油量，保持油路畅通。　　7.水环...

爪式干式真空泵故障处理、操作规范及维护保养

2020 - 03 - 10

爪式干式真空泵　　正确掌握爪式干式真空泵的维护要求，可以减少因维护不足而造成的设备故障。　　爪式干式真空泵的维护程序　　1.操作注意事项　　(1)每次启动前检查设备和管道的正常连接。　　(2)起动前，确认进气管和排气管中没有异物，并打开排气管阀以防止压力增大。　　(3)真空泵启动后，再次打开进气管道阀门，防止异物进入堵塞腔体。　　(4)观察油位窗口，检查润滑油确保充足　　(5)对于含有粘性物质或灰尘的工作条件，应定期清洁滤网和泵室。建议每次停泵前进行清洗　　(6)如果在间歇条件下停机后启动不平稳，应打开电机盖，使电机轴旋转5-10圈，或吹蒸汽10分钟　　(7)当抽出可冷凝气体或环境湿度过高时，应在停泵前引入适量的干燥空气，并排空泵腔。　　(8)长时间停泵时，关闭进气阀，启动真空泵20分钟后关闭排气口，然后停泵以避免水汽进入　　(9)运行中确保循环冷却水的数量和温度符合技术要求。如遇断水，请停泵;　　(10)当环境温度低于零时，循环冷却水应在泵停止时流动，以防止空腔冻结和破裂。　　(11)对于含有可冷凝气体的工作条件，排气管必须低于排气口。排气口朝上，与三通连接，与回收罐连接。　　2.润滑系统的维护　　(1)注入齿轮箱加的润滑油品牌为32#或46#机械润滑油，首次运行每10个工作日更换一次。此后，润滑油将每年更换一次。每天定期检查油位，油位应保持在1/2至3/4之间。如果低于此标准，...

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罗茨水环机组：塑胶厂“全年无休”的硬核生产力引擎

发布时间: 2025 - 04 - 29

来源: 231

罗茨水环机组：塑胶厂“全年无休”的硬核生产力引擎在塑胶加工行业，设备宕机是悬在生产线上方的“达摩克利斯之剑”。传统真空泵因故障频发、能耗失控，常让企业陷入“停机抢修—订单积压—利润缩水”的恶性循环。而罗茨水环真空机组的出现，正以“全年无休”的稳定性、“三防一体”的硬核性能，重塑塑胶厂的生产逻辑。工人从“救火队员”变身“巡检员”，老板直呼“省下的钱够换辆特斯拉”——这场由真空系统引发的效率革命，正在...

干式真空泵抱轴原因

发布时间: 2020 - 08 - 31

来源: 181

干式真空泵的抱轴对设备的影响很大。我们需要知道抱轴的原因，以便找到合理的解决办法，从而保证干式真空泵的使用效率，降低损坏的概率。　　干式真空泵轴夹持问题主要从轴承部件开始。具体原因如下:轴承质量不同，或长期运行造成磨损和老化。在装配过程中，轴承的定位与设计要求不同，定位不准确，零部件选择不合理。润滑油的质量也与这种情况有关。如果泵的整体振动过大，也会引起振动。　　总之要想避免这种现象，我们需要购买高质量的轴承，并对其进行准确定位，购买高质量的润滑油来辅助干式真空泵轴承，这样才能达到良好的运行效果，而且我们有必要掌握一些维护知识，这不仅可以帮助我们尽快解决问题，还可以帮助我们更好的了解这款产品。　　好了，今天的内容就到这里了，如果您还有什么想要了解的干式真空泵内容，或者是不明白的地方欢迎您随时来咨询我们。

罗茨真空泵的结构与工作原理

发布时间: 2020 - 08 - 28

来源: 705

罗茨真空泵的结构概略图如下图所示。在泵室内，两个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，通过齿轮比为1的一对齿轮带的运动，进行相互反向的同步旋转运动。在转子之间，转子和泵壳内壁之间有一定的间隙，可以高速运转。　　罗茨泵是没有内压缩的真空泵，因为通常压缩比低，所以高中真空泵需要前段泵。罗茨泵的极限真空除了取决于泵自身的结构和制造精度之外，还取决于前段泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可以串联使用罗茨泵。　　罗茨泵的工作原理　　抽出罗茨泵时，两个转子由传动比为1的一对齿轮驱动，进行相互反向的同步旋转运动。转子之间不接触，其间有间隙。　　罗茨泵的抽气特性　　在宽的压力范围内有很大的吸引速度　　转子之间、转子与泵室壁之间有间隙，泵室内运动部件无摩擦，不需润滑，泵室内无油　　转子形状对称，动平衡性能良好，运行顺畅，选择高精度齿轮传动，运行时噪音低，可获得高转速(提升速度)　　罗茨泵在抽气过程中其工作空间的容积不变，即“无内压缩”，这与很多可变容量式真空泵不同。　　气体的排出：当转子的顶部转动排气口的边缘，封闭空间与排气侧相通时，由于排气侧的气体压力高，一部分高压气体被推到封闭空间，使空间内的气体压力突然上升到排气压力，即所谓的“外压缩过程”。转子持续旋转时，气体排出泵外。

旋片真空泵工作原理

发布时间: 2020 - 08 - 28

来源: 216

旋片真空泵(简称旋片泵)是一种油封机械真空泵。其工作压力范围为101325 ~ 1.33 10-2(帕)，属于粗真空泵。它可以单独使用或作为其他高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油和医药等生产和科研部门。　　旋片泵可以泵出密封容器中的干燥气体，如果装有气体镇流装置，还可以泵出一定量的可冷凝气体。然而，它不适合抽出含有太多氧气、对金属有腐蚀性、与泵油发生化学反应并含有颗粒灰尘的气体。　　旋片泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一。旋片泵大多是中小型泵。旋片泵有两种类型：单级和双级。所谓两级泵是将两个单级泵串联在一起的结构。一般来说，它分为两个阶段，以获得更高的真空度。旋片泵的泵送速度与入口压力的关系如下：在入口压力为1333帕、1.33帕和1.33 10-1(帕)时，泵送速度应分别不低于泵标称泵送速度的95%、50%和20%。　　旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。转子偏心地安装在旋片泵的空腔中。转子的外圆与泵腔的内表面相切(两者之间有一个小间隙)，两个带弹簧的旋片安装在转子槽中。当旋转时，离心力和弹簧的张力保持旋片的顶端与泵室的内壁接触，并且转子旋转以驱动旋片沿着泵室的内壁滑动。　　由转子、泵室和两个端盖围成的月牙形空间分为三个部分：A、B和C。当转子沿箭头方向转动时，与吸入口连通的空间A的容积逐渐增大，并处于吸入过程中。同时与排气口连通的空间c的体积逐渐减小，这是在排气过程中。中间空间b的体积也在逐渐减小，这是在压缩的过程中。随着空间A的体积逐渐增加(即膨胀)，气体压力降低，并且泵入口处的外部气体压力大于空间A中的压力，因此气体被吸入。　　当空间A与吸入口隔离时，也就是说，它转向空间B的位置，气体开始被压缩，其体积逐渐减小，最后它与排出口连通。当压缩气体超过排气压力时，排气阀被压缩气体推开，气体通过油箱中的油层排...

往复真空泵工作原理

发布时间: 2020 - 08 - 28

来源: 166

往复真空泵(简称往复泵)，又称活塞式真空泵，属于低真空获取设备之一。与旋片真空泵相比，它可制成泵速大的泵;与水环真空泵相比，效率略高。这种泵的主要缺点是结构复杂、体积大、运行时振动大等。它可以在许多场合被液环真空泵取代。　　往复真空泵的工作原理：　　如往复泵如图的结构和工作原理所示，主要部件是气缸1和活塞2，活塞2在气缸内做往复直线运动，活塞由曲柄连杆机构3(包括十字头)驱动。除上述主要部件外，还有排气阀4和吸气阀5等重要部件，以及发动机底座、曲轴箱、动密封和静密封等辅助部件。　　工作时，气缸内的活塞在电机驱动的曲柄连杆机构的作用下往复运动。当活塞在气缸中从左端移动到右端时，由于气缸左室的容积不断增加，气缸中气体的密度降低，形成了泵送过程。此时，泵送容器中的气体通过吸入阀5 进入，以泵送主体的左室。当活塞到达最右边的位置时，气缸的左室完全充满气体。然后活塞从右端移动到左端，此时吸入阀5关闭。　　随着活塞从右向左移动，气缸中的气体逐渐被压缩。当气缸中的气体压力达到或稍微超过一个大气压时，排气阀4打开，将气体排放到大气中，完成一个工作循环。当活塞再次从左向右移动时，重复前面的循环，泵送的容器最终达到某个稳定的平衡压力。　　为了提高泵送效率，通常在气缸的两端设置吸气阀和排气阀，然后通过管道将气缸两端的吸气口和排气口并联。

真空泵故障及方法

发布时间: 2020 - 08 - 27

来源: 195

真空泵故障及方法　　1.极限真空不高及其消除　　(1) 油位太低，有较大排气声，可加入清洁的真空泵油。　　(2) 泵油为可凝性蒸汽所污染，可开气镇净化或更换新油。　　(3) 泵口外接管道、容器、测试仪表管道、接头等漏气。大漏时，有大排气声，排气口有气排出，应找出漏气部位，进行消除。　　(4) 进气咀或气镇阀橡胶密封图装配不当，损坏或老化，应调整或更换。　　(5) 进油咀油孔堵塞，可拔出进油咀，疏通油孔。　　(6) 真空系统严重污染，包括容器、管道等，应予清洗。　　(7) 旋片弹簧折断，应予调换。　　(8) 旋片、泵身或盖磨损，间隙过大，应进行检查，修整或调换。　　(9) 泵温过高，应改善通风和冷却。如所抽气体温度太高，应予先冷却后再进入泵内。　　2.喷油　　(1) 油位过高，可入出多余油量。　　(2) 减雾器中有泵油或杂物，应清除。　　3.漏油　　放油螺塞，油箱垫片损坏或装配不当，螺钉拧紧;　　油标未拧紧，有机玻璃过热变形;　　泵身部件与支座的连接挚垫片未垫好;　　油封装配不当或磨损;应予调整或更换。　　4.噪声　　(1) 旋片弹簧折断，可调换弹簧。　　(2) 有毛刺、脏物或变形，运转发生障碍，应检查修磨清洗。　　(3) 轴承磨损，零件磨损。应修整或更换。　　(4) 真空泵电机出毛病，应进行检查。　　5.返油　　(1) 止回阀未关好，停泵后，油位很快下降，可再开再停，观察变化或拆开检查。　　(2) 两泵盖内油封装配不当或磨损，可进行调换。　　(3) 泵盖或泵身平面不平整，可进行修整。　　(4) 排气阀片损坏，应进行调换。

真空泵选型

发布时间: 2020 - 08 - 27

来源: 189

一、真空泵选型中，确定的产品需保证能顺利抽出工艺过程中释放出来的各种气体。真空泵的应用工艺中，气体介质多种多样，易燃易爆的、易凝结的、易化反、易腐蚀的等，选用的真空泵就需保证适用性。例如，工艺过程会产生大量水蒸气，选用的真空泵就必须适合抽水蒸气。　　二、真空泵的极限真空度，必须高于工艺生产要求的真空度，至少要高一个数量级，并且设备适合在要求的工作真空度范围内工作。真空泵的极限真空度是泵抽速为零的时候所能达到的真空度。因此为保证真空泵在工作真空度内的抽速，就需要满足其极限真空度要大于工作真空度，并且在区间内需要有较大的抽速。　　三、真空泵的抽速要大于工艺过程中的最大放气量。为保证真空度，真空泵选型中涉及工艺过程中持续放气的，真空泵或者真空系统的抽速要满足大于工艺过程中的最大放气量。如果在系统设有冷阱或档板等，则加阱或挡板之后的有效抽速应大于工艺过程中最大放气量。如果工艺过程中会出现突然大量放气，则系统的有效抽速还要适当加大，通常加大到最大放气量的2—3倍。　　四、真空泵选型中，选用的真空泵其工作介质和制造材料须满足工艺要求。真空泵应用，尤其是在医药、化工、电池等领域，抽取的介质往往是具有腐蚀性的气体，这时就要求设备要有相应的防腐措施。如酸碱气体需要有对应的防腐涂层或泵的材质改用不锈钢防腐蚀;带有灰尘或颗粒的气体时，要在泵入口前加除尘器、过滤器或泵本身对其有耐受性等等。　　五、需连续生产的工艺中，所选用的真空泵必须满足连续性生产的需要。必要时，设置自动更换的备用真空泵，减少意外导致的生产中断。如果工艺过程中放气量越来越小，可以设置维持泵，以实现节能降耗。　　六、真空泵使用的经济性。真空泵选型过程中，多种真空泵能同时满足工艺需求时，要进行成本和运转费用的经济性分析，选用经济性好，运行可靠，维修量小，使用与维修方便的真空泵。

真空泵特点及维护保养

发布时间: 2020 - 08 - 27

来源: 120

真空泵特点　　(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速;　　(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速;　　(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染;　　(4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;　　(5)压缩比较低，对氢气抽气效果差;　　(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。　　真空泵维护保养　　真空泵的好坏决定于其机械结构和油的质量，使用真空泵时必须把它保护好。如果蒸馏挥发性较大的有机溶剂时，有机溶剂会被油吸收结果增加了蒸气压，从而降低了抽空效能，如果是酸性气体，那就会腐蚀油泵，如果是水蒸气就会使油成乳浊液而抽坏真空泵。　　因此使用真空泵时必须注意下列几点：　　在蒸馏系统和真空泵之间，必须装有吸收装置。　　蒸馏前必须用水泵彻底抽去系统中有机溶剂的蒸气。　　如能用水泵抽气的，则尽量用水泵，如蒸馏物质中含有挥发性物质，可先用水泵减压抽降，然后改用油泵。　　减压系统必须保持密不漏气，所有的橡皮塞的大小和孔道要合适，橡皮管要用真空用的橡皮管。磨口玻璃涂上真空油脂。

真空泵结构组成

发布时间: 2020 - 08 - 26

来源: 174

(1)真空泵总体结构型式　　真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。　　立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的重心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。　　卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。　　泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。但泵重心较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。　　(2)真空泵的传动方式　　真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。这种传动方式的最大缺点是：a.主动轴上有三个轴承，增加了泵的加工和装配难度，齿轮的拆装及调整也不便;b.整体结构不匀称，真空泵结构的重心偏向电动机和齿轮箱一侧。

真空泵技术原理

发布时间: 2020 - 08 - 26

来源: 121

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。　　按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。　　真空泵技术原理　　按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵。气体捕集泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵。　　真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的2bv真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。

水环真空泵结构原理

发布时间: 2020 - 08 - 26

来源: 246

水环真空泵是带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。当它旋转时，把液体抛向泵壳并形成与泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的旋转变容真空泵。　　水环真空泵就是这种靠偏置叶轮在泵腔内回转运动使工作室容积周期性变化以实现抽气的真空泵。它的工作室由旋转液环和叶轮构成，其结构和工作原理与液环压缩机相似。下面这个3D动画比较直观：　　当工作液体为水时，称水环式真空泵，水环真空泵是一种粗真空泵，它所能获得的极限真空为2000~4000 Pa，串联大气喷射器可达270~670 Pa。　　当叶轮按图中顺时针方向旋转时，水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂相切，水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触(实际上叶片在水环内有一定的插入深度)。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大，且与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝;当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，使气体被压缩;当小腔与排气口相通时，气体便被排出泵外。

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