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2019 - 10 - 29
1.真空泵的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。例如,如果真空干燥过程要求工作真空度为10 mmHg,真空泵厂家所选真空泵的真空度应至少为2 mmHg,最好为1 mmHg。通常将泵的极限真空度选择为比真空设备的真空度高一半数量级。  2.正确选择真空泵的工作点。每个泵都有一定的工作压力范围,例如:2BV系列水环真空泵的工作压力范围为760mmHg〜25mmHg(绝对压力),在如此宽的压力范围内,泵的抽速随压力而变化(详细变化)泵性能曲线) ,其稳定的工作压力范围为760〜60mmHg。因此,泵的工作点应在此范围内选择,并且不应在25〜30mmHg的条件下长时间工作。  3.在工作压力下,真空泵应能够清除真空设备过程中产生的所有气体。  4.正确组合真空泵。由于真空泵具有选择性泵送功能,因此有时一个泵无法满足泵送要求,因此需要组合多个泵以相互补充才能满足泵送要求。例如,钛升华泵对氢的抽吸速度很高,但是不能被抽吸,而三极溅射离子泵(或两极非对称阴极溅射离子泵)对于氩气则具有一定的抽吸速度。当结合使用时,真空装置将具有更好的真空度。另外,有些真空泵不能在大气压下工作,需要预真空。一些真空泵的出口压力低于大气压,因此需要前级泵,因此必须将这些泵组合在一起。  5.真空设备对油的污染要求。如果严格要求设备无油,则应选择各种无油泵,例如:水环泵,分子筛吸附泵,溅射离子泵,低温泵等。...
2019 - 11 - 05
今天给大家介绍一下水环真空泵的一些知识,包括管道布置注意事项及加适量水的原因.有兴趣的可以阅读一下.       一,水环真空泵加适量水  水环真空泵中装入水作为工作流体的适当的量。当叶轮顺时针旋转时,水由叶轮周围抛出,离心力,一个闭合的环形形状,通过泵室的厚度确定的水形成近似于等。水环的内表面的下部与轮毂,刚好接触表面(实际上,叶片进入水中环的插入一定深度)和水的上部的叶片尖端正好相切环。此时,叶轮轮毂,以形成环和水之间的月牙形空间,并且这个空间被划分成相等数目的叶轮叶片和若干小室中。  如果叶轮0°为起点的下部,则水环真空泵叶轮的体积被旋转在从小到大的小室的前面180°,并且与进气口的端面连通,气在此时被吸入,当来自小腔和进气口分离吸入的端部;当叶轮继续从大至小的旋转,小室中,水环真空泵,使得气体被压缩;当小室与排气口连通,该气体被排出泵外。  第二,水环真空泵管结构的设计考虑  1,最大水环真空泵和压力管件可承受放电应予以考虑。  2,水环真空泵的管道应该被布置为直管,以最小化管道配件和最小化管道的长度,则必须将导通时弯曲的弯曲半径应管的三到五倍的直径,以使角度可能大于90℃。  3,合理选择水环式管的直径,大直径管,在相同的流速,流速小,阻力损失小,但价格高,体积小口径管道,导致电阻损失急剧增加,所以所选泵的扬程增...
2019 - 11 - 07
水环真空泵抽真空的原理  水环真空泵是以泵转动部分的机械作用排除泵体内气体,其工作原理为:偏心轮安装在充有适量工作水的椭圆形泵体内,带有若干前弯叶片的转子在泵体内旋转时,形成水环并在叶轮轮毂与水环间形成一个新月形空腔,转子每转动1周,转子上2个相邻叶片与水环间所形成的空腔,由小到大、再由大到小作周期性变化。当空腔由小变大时,产生真空,经进气口吸入气体;由大到小时,产生压力,气体被压缩并经排气口排出。由于每个相邻叶片与水环所构成的空腔均处于不同的容积变化过程,所以当转子转动时,泵的吸排气均为连续、不间断过程。  水环真空泵选型  1、应尽量选择转速较低的规格  我国水环真空泵的使用最可能是2BE 系列,属轴向吸排气单作用泵,关于同一个规格都有多种转速供抉择,当进口压力在200 hPa~600 hPa,排气压力为800 hPa~1013 hPa 时,叶轮叶片外圆的线速度应为14~17 m/s ,较大规格的泵因为叶轮直径大是以转速较低,所以在达到同样抽气量的前提下,应尽量选择转速较低的泵,大泵消耗的比功率较小,即效率较高。  2、应考虑水温的影响  因为海内外水环真空泵的手艺文件上的功能曲线及技术数据均是在进水温度为15 ℃的前提下得出的,前面也已经介绍了水温低于或高于15 ℃时水温对气量的影响系数计算公式。  3、吸气阻力的影响  由于煤气的吸风口经常在井下且远离水环真空泵(一些煤矿达...
2019 - 11 - 08
旋片真空泵/压缩机用于混合罐的“充气垫”中,以产生高于流浆箱(或“原料罐”)原料水平的压力/真空,从而最大程度地控制物料排量(“喷雾”速度)。泵通常通过一系列阀,充当真空泵和压缩机,在“进料池”上方的空隙中产生真空或压力,以控制流浆箱的静压头接下来,分析渣浆罐的作用以及在渣浆罐中使用旋片真空泵时需要注意的问题。  调浆箱的定义和作用是什么?  定义:混合箱是一个敞开的方形箱,放置在储罐和除砂器之间,以调节送至造纸机的纸浆量。  流浆箱旋片真空泵的作用  1、调整发送到造纸机的纸浆量,以使定量稳定。  2、调整纸浆浓度。根据要添加白水稀释液的纸张,很适合除砂和筛分,并且将纸张均匀混合以制成均匀的纸张。  深圳旋片真空泵的特点  旋片真空泵具有体积小,重量轻,噪音低,启动方便的优点。此外,还有防止回油的措施和防止溢油污染现场的措施。  1、旋片真空泵是获得真空的基本设备。它可以单独使用,也可以用作各种高真空系统的前置泵和前置泵。它是罗旋片真空装置。  2、旋片式真空泵的入口持续向大气开放,不超过3分钟。  3、该泵不适用于去除含有对金属有腐蚀性且对泵油具有化学反应性的粉尘的气体。气体中氧气过多,易爆炸。  4、旋片真空泵可用作压缩泵或输送泵。  将稀释方法与白水和泵结合使用时,应注意什么?  1从混合罐到渣浆泵的管道不应水平安装,并应有一定的倾斜度以防止纤维沉淀。  2混合箱的泥浆阀的...
2019 - 11 - 12
在冷凝式发电厂中,大多数将使用旋片真空泵作为冷凝器抽水设备。今天,我们将介绍旋片真空泵在冷凝式发电厂中的应用。为什么夏天可以大大改善冷凝水?随着小编的加入,机组的真空度和经济性将得到改善。  旋片真空泵的结构是什么?  旋片真空泵主要由泵体,转子,旋片,端盖,弹簧等组成。转子偏心地安装在旋片泵的腔体中,转子的外圆周与泵室的内表面相切(两者之间有很小的间隙),并且两个转子叶片安装在转子中插槽。旋转时,旋片的顶端通过离心力和弹簧的拉力保持与泵室的内壁接触,转子的旋转带动旋片沿泵的内壁滑动。泵室。旋片式真空泵是真空技术中最基本的真空采集设备之一。旋片泵主要是中小型泵。旋片式真空泵有单级和双级两种。所谓两级是指串联连接两个单级泵。通常,将其分为两个阶段以获得更高的真空度。旋片真空泵可以去除密封容器中的干燥气体,如果安装了气镇装置,则可以去除一定量的可冷凝气体。但是,它不适用于去除氧气含量过高,对金属有腐蚀性,对泵油具有化学反应性并且含有粉尘的气体。  真空真空泵是两级直接耦合结构。其工作性能包括两个部分:高压阶段和低压阶段。其吸气口与真空设备相连。在操作过程中,容器中的气体将被大量吸入和排放。抽真空时,关闭高压排气阀,将在高压段吸入的气体转移到第二段并通过第二段吸排,使真空设备获得一定的真空度。泵的技术参数为6 × 10-2,泵与电机连接在轴上,转速高,体积小,结构紧凑,流动性方...
2019 - 11 - 14
水环真空泵运行时,必须使用滤芯滤芯。它可以用来过滤一些杂质等,并阻塞设备内部的杂质。设备损坏。市场上广泛使用三种滤芯元件,但是无论使用哪种滤芯,使用时都需要清洁。这是小型来看看水环真空泵滤芯的分类及其清洁方法。  一、水环真空泵滤芯分类  1、进气滤芯  它主要用于防止固体颗粒或细灰进入真空泵内部,同时避免机器磨损并确保设备在运行期间处于相对稳定的状态。可以同时保护设备内部的组件。用于定义的使用寿命。  2、油滤芯  该装置主要用于润滑油的过滤。它也被广泛使用。它通常安装在油路上,这对设备的运行也至关重要。  3、排气滤芯  它的功能比较广泛,使用时可用于排气阻力,也可用于水环真空泵的油分离,使设备处于相对稳定的状态。  二、水环真空泵滤芯清洁方法  1、首先,需要在清洁之前设置滤芯的压差并记录下来。  2、用苛性钠清洗。将滤芯放入清洁车中。需要将清洁试件悬挂在腐蚀试件上以检测过滤液的腐蚀。如果腐蚀严重,需要及时进行调整。否则,滤芯可能会损坏。在清洁过程中,有必要清洁滤芯上多余的油污和积炭,并将温度升至90至105°C,这也可以起到消毒作用24-48小时。  3、碱洗后,将滤芯放入CCL清洗车中,清洁滤芯上的沥青质和焦炭粉,然后在室温下洗涤20小时和24小时。确保将清洗液清洗到滤芯的每个位置。  4、清洁后检查。必须使用30倍放大镜枪检查每个滤芯的内部和外部以及表面清洁度...
2019 - 11 - 15
通过先前的了解,我们知道水环真空泵是一种出色的泵送设备。它被用作各种中型和大型蒸汽轮机的主要泵送设备,并广泛用于化工,石油,制药等领域。尽管它可以给我们带来好处,但也存在一些不安全感。因此,今天在这里我将向您介绍使用水环真空泵的注意事项。  1、在霜冻季节或寒冷地区使用时,应在停车后排出泵中的工作流体。  2、该设备应避免频繁进水。  3、 水环安装真空泵后,请注意速度控制联轴器的同心度,以防止轴承或联轴器因同心度高而损坏。  4、设备运行后,请注意每15-30天检查一次轴承加油情况,以防止由于缺油而损坏轴承。  5、该产品的工作供水压力不应太大。排气压力应高于0.1〜0.2Kg(压缩机除外)。如果压力太高,叶轮将被损坏,电动机将过载。工作流体应尽可能使用软化水。如果工作液的硬度过高,则必须定期除垢,否则会损坏水环真空泵。  6、如果在真空泵运行期间发生异常情况,请立即停车,并与供应商联系。  7、 水环使用真空泵时,请注意所使用的泵送气体和工作流体是否与泵材料一致;工作液应为清洁的软化水,并且不应包含固体颗粒。  8、设备必须水平安装。管道连接时应避免过大压力:真空泵排气管垂直方向的道路高度应最小化,排气管的垂直高度不得超过0.5米。  9、当使用-0.092 MPa的真空时,应该打开水环真空泵上的气穴保护装置。  10、在真空泵的安装阶段应保护泵端口,以防止焊渣或其他杂物进入泵...
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Hot News / 热点新闻
发布时间: 2025 - 12 - 27
来源: 598
晶圆减薄真空吸附选用水环真空泵系统,主要基于其无油设计、高极限真空度、稳定抽气性能、耐腐蚀耐高温特性、低噪音与长寿命等核心优势,这些特性直接解决了晶圆加工对真空环境的严苛要求,并提升了生产效率与产品质量,具体分析如下:一、无油设计保障晶圆洁净度水环真空泵以水为工作介质,无需润滑油,避免了油蒸气或油滴对晶圆表面的污染。在晶圆减薄过程中,即使微小的油污也可能导致后续工艺(如光刻、镀膜)出现缺陷,影响芯...
发布时间: 2021 - 05 - 10
来源: 135
水环真空泵是发电厂真空系统中常用的真空设备。它在打开设备之前保持真空状态并在启动后保持真空状态方面起着重要作用。让我们谈谈真空泵的启动和停止步骤问题。  水环真空泵的启动和停止步骤如下:  1.在开始之前,请确认系统连接完好,作业单已结束,无关人员已从生产现场撤离,并且系统的相关阀状态正确。现场计量表已正常运行。  其次,检查进气门的控制压力是否正常,压缩空气压力是否保持在0.4-0.5Mpa,进气门的电源是否已打开以及开关的测试是否正常。  3.检查真空泵供水系统的阀门是否已打开,冷凝水泵是否正常运行或淡化水系统的压力是否正常。  四,检查冷水机进水口和回水口是否打开,给水压力是否正常,检查汽水分离器,给水管阀处于正确状态,给水阀排水口底部有蒸汽。 -分水器关闭,泵体上的排水阀关闭。  第五,打开水分离器水分离器旁通阀以补充水分离器水位至140-180mm,然后放电磁阀,打开电磁阀前后手动门并放置自动调节装置。  6.测量仪的绝缘材料合格,然后将其发送到电源,检查电机接地线是否完好,并确认满足启动条件。  7.确认排气装置的真空破坏门已关闭,并且轴封加热器水封已经运行。空隙破坏门充满水并密封。  8.开始运行真空泵,电流不大于额定电流,检查真空泵是否正常运行,水气分离器的水位是否正常,泵的电机和轴承是否正常振动。温度变化正常,轴承温度正常。  真空泵的轴承温度应不高于75,电动机的轴承温度应不高于85。  9.当真空泵入口压力差达到0.3 kPa时,入口气动门将正常打开。否则,必须手动将其打开。  10.检查装置的真空度是否开始增加,真空泵是否正常工作,体内没有异常声音,填料密封中的水泄漏是否充分,蒸汽分离器的水位是否高。正常稳定,且冷水机进水和回水温度正常。  11.如果需要停止使用真空泵,则必须首先关闭气动进气门,然后在关闭启动器进气门后停止真空泵。如果无法正常关闭启...
发布时间: 2021 - 05 - 07
来源: 39
夏季室外温度本身很高。螺杆真空泵处于工作状态时,设备的温度会升高,容易造成损坏。那么夏天使用的时候要注意些什么呢?如何减少设备损坏的情况。  如果热量难以散发出去,则螺杆真空泵的温度会升高,一旦达到极限温度,就会显示出机械故障。尽可能降低泵的工作温度,更换螺杆真空泵油,并保持通风位置或配备室内冷却设备。  为了提高螺杆真空泵的散热功能,需要及时更换消耗品,主要是油雾分离器(排气滤芯)和机油。这两种消耗品需要及时更换。如果排气过滤器过时或存在其他质量问题,则应尽快更换。  起初,当油出现变色,沉淀和乳化增加的现象时,它就不能停留在润滑的维持上。当机械故障频繁发生时,如果螺杆真空泵的温度过高,螺杆真空泵将显示异常噪音,注油甚至堵塞。因此,螺杆真空泵在变热之前必须彻底清洁。  同样,在夏季,请尽可能将螺杆真空泵放在阴凉的地方,将其放置在室外时,请注意不要使其暴露在阳光下并适当降低其工作温度。
发布时间: 2021 - 05 - 07
来源: 35
今天是时候讲解一下干式真空泵。现在,每个人都对真空泵的价格和一些关键的购买要点感到好奇。接下来,就让我们看一下。  我们需要使用真空泵厂家来预先确定购买无油真空泵时所需的真空泵型号。干式真空泵的类型也多种多样,不同厂家的产品数量也有所不同。作为消费者,我们在产品购买过程中应注意什么?干式真空泵运行期间发生的振动会影响过程和环境吗?如果过程不允许,请选择无振荡的泵或选择抗振荡的方法。溢出的油蒸气对环境有什么影响?假设环境不允许污染,则可以选择无油或将油蒸气吹到室外。工作压力必须满足真空设备的有限真空和工作压力要求。干式真空泵的价格,运费和随后的保护费用。要购买更好的干式真空泵,我们需要在购买前做好所有准备工作,并有充分的了解,以便我们购买的产品良好。  以上是干式真空泵的内容。阅读以上文章后,我认为它一定会对您有所帮助。如果您还有其他疑问,请随时与我们联系。
发布时间: 2021 - 05 - 06
来源: 34
螺杆真空泵的使用越来越多,好评率不断提高。在操作时,必须注意正确的操作方法,以便更好地使用它。让我们了解螺杆真空泵的传动方法是什么?  螺杆真空泵如何实现传动,传动方法是非常重要的部分,因此所有朋友也都注意这些问题。注意螺杆真空泵的传动方式,可以注意到总的抽速与压力比例成正比,并且两者之间应更加协调。螺杆真空泵通常在车轮对称性方面表现良好,因此它们在运行过程中非常稳定,并且总体故障声音也非常低,并且噪音等级较低。在设备的实际应用过程中,详细的泵腔内部不需要任何润滑油来打扰,因此一般的真空保证功能也很好。泵室的结构也非常简单。没有拧紧阀和排气阀的计划,并且各个部分都可以更好地操作。在抽氢的实践中,您可以注意它。这部分的泵送效果通常不是那么明显。  以上是关于螺杆真空泵的传动方法。您可以根据实际交易要求选择合适的方法,以免盲目交易造成不必要的损失。如果您还有其他疑问,我们定期更新网站文章希望对大家有用。
发布时间: 2021 - 05 - 06
来源: 41
随着罗茨真空泵的使用变得越来越普遍,其质量也在不断提高。由于其独特的优势,它被广泛使用。为了让大家更好地使用它,让我们了解罗茨油真空泵的质量检查方法是什么?  真空泵油的质量与产品的效率和安全性有关。因此,在测试油质时,需要及时了解一些测试方法,并及时进行更换。观察油流的方法是取两个量杯,其中一个装有要检查的真空泵系统的油,另一个盛在桌子上。从系统中将充满油的量杯从桌子上抬起30-40厘米,然后将其倾斜。让系统润滑脂,慢慢流入空杯中并观察其流动。优质的系统油流应稀,均匀且连续。如果油流快慢,则有时会有大块油向下流。表示机油系统已老化。  在拇指和食指之间旋转罗茨真空泵系统油,然后反复研磨。系统中最好的机油将具有润滑性,减少磨损且无摩擦。如果您感觉到手指之间的沙子,会感觉到很大的摩擦,这表明系统油中有很多杂质,因此无法再使用。必须更换系统油。在晴天时,使用工具将油从系统中提出,并与水平面成45度角。与阳光比较,观察油滴的状况。在阳光下,可以清楚地看到系统油中没有磨损残留物,并且可以继续工作。如果有太多的磨损残留物,则必须更换系统油。油滴跟踪方法是取一块干净的白色滤纸,然后在滤纸上滴几滴油。机油从罗茨真空泵系统泄漏后,如果表面上有黑色粉末,则表示用手触摸该系统会感到涩。机油中有很多杂质。好的系统油中没有粉末。用手触摸时干燥且光滑,带有黄色标记。  以上是关于罗茨真空泵机油质量检查的方法。你能理解的。在使用过程中,必须遵循正确的操作方法才能取得良好的效果。如果您听不懂任何内容,可以致电咨询。我们将关注您的当前情况。应给出合理的建议,以避免因快门操作而造成不必要的麻烦。
发布时间: 2021 - 04 - 28
来源: 40
随着螺杆真空泵的利用率越来越普遍,其质量也在提高。由于其特性和优势,它被每个人广泛使用。为了让每个人都有更好的应用,让我们了解螺杆真空泵的密封效果是什么?  在螺杆真空泵的生产和设计中,我们采用了先进的技术和完善的技术,螺杆真空泵的密封性能非常严格。否则,一旦螺杆泵的密封效果不合格,就将其启动并使用,这不仅会导致设备无法正常运行,还会给设备本身造成巨大损失。因此,在安装和使用螺杆泵时,应注意其密封效果。另外,应选择更合适的密封方法以提高密封效果。油封是一种结构简单,体积小,成本低,维修方便,阻力扭矩低的自调节唇形密封件,不仅可以防止介质泄漏,而且还可以防止外界灰尘等有害物质进入吸尘器的根部。  设计合理,加工性能优良,装配性好,转速高时,螺杆真空泵的迷宫式密封效果良好。动力密封在螺杆真空泵运行期间,辅助叶轮产生的压头平衡主叶轮出口处的高压液体,以实现密封。填料密封是指在填料箱中放置可压缩弹性的填料,依靠填料箱的轴向压力转换径向密封力,以实现真空泵的密封。因此,在对螺杆真空泵进行密封时,需要根据实际情况和需要选择更合适的密封方法,以更好地发挥密封效果。另外,在每次启动前都要对螺杆泵进行检查,以确保在正式启动之前密封效果没有问题,以避免在运行过程中由于不合格的密封效果而损坏泵。  以上是关于螺杆真空泵的密封效果。您可以理解,在使用过程中,根据正确的操作方法可以取得良好的效果。如果您不理解,可以致电咨询,我们会根据您的实际需求为您提供合理的建议,以避免百叶窗操作中出现不必要的问题。
发布时间: 2021 - 04 - 28
来源: 38
作为尼龙树脂材料,需要干燥时不会直接脱水,而是使用螺杆真空泵。许多用户认为真空泵主要用于抽气和产生真空,这与干燥尼龙树脂无关。但实际上两者是密切相关的,为什么干燥尼龙树脂就需要它。  1.在干燥过程中去除的介质包含大量的水蒸气。因此,由于所使用的真空泵的特性,润滑油将迅速乳化,导致不稳定的抽吸速度和副产物真空度。同时,诸如油气回流和燃料喷射之类的问题会影响生产环境的清洁度。  2,在尼龙树脂干燥中,由于质量要求,采用螺杆真空泵的真空干燥工艺。在此过程中,必须同时确保稳定的真空度和清洁的真空环境。  3.尼龙树脂使用干式螺杆真空泵的优点:  1.避免了直接干抽,无油蒸汽和颗粒物气体,单级直接排放到大气等问题,可以直接提取水蒸气和颗粒物气体,单级直接排放到大气中。  2.可以达到更高的真空度并保持稳定的抽速。在应用中,真空泵无油,水等介质,可配备自动清洗功能,减少了制造商在使用过程中的维护工作。  由于尼龙树脂的某些特性,其干燥操作无法通过常规方法直接干燥。此时,应该是螺杆真空泵工作的时候了。在干燥过程中,真空泵不会产生脏气,并且可以确保防止尼龙树脂在干燥过程中被污染。
发布时间: 2021 - 04 - 28
来源: 103
深圳恒才机电设备公司简述清扫真空系统特点及使用方式,如有疑问或是订购清扫真空系统,中央除尘系统的朋友,欢迎致电咨询。清扫真空系统也叫中央除尘系统是 一种全新的室内清洁方式,是一个由吸尘主机、吸尘管网、吸尘插座、吸尘软管及刷头等组成的一体化的吸尘系统;可应用于电子、食品、医药等行业。清扫真空系统的使用方式:用户只需将吸尘软管插入吸尘插座,通过手柄上的开关启动系统,车间内的灰尘杂质都将通过埋于墙内的集尘管道,送到远离洁净车间的吸尘主机中。由于中央吸尘系统配备了各种吸口,能够实现快捷的清理厂房内,各种传统清扫方式难于清扫的地方。清扫真空系统特点:清扫真空系统,中央吸尘以环保、节能特点等特点显著,优势如下。◎大小颗粒的灰尘全被从洁净厂房内吸出,杜绝了二次污染。中央吸尘管网是一个由吸尘插座、吸尘管道、吸尘主机组成一个密闭的系统,大小颗粒的灰尘一旦被吸尘口吸入后通过吸尘管道后直接进入到主机集尘仓里,而产生的气体通过处理后的过滤袋过滤后排到室外,再无手提式吸尘器的异味。◎主机与清扫区分离,杜绝了传统吸尘器的噪音污染。主机与吸尘操作件完全分离,在室内吸尘时无噪音,适用于在任何时候清洁而不影响和干扰其他人(避免了噪音污染)。◎方便、高效,节约清洁费用。使用的时候只需将吸尘软管插入吸尘插座,按一下手柄上的开关,吸尘主机便开始工作,无需将笨重的主机来回拖动,无需找电源插拔线(避免了触电危险,保证安全);中央吸尘主机采用超强真空吸力能迅速吸除各种大小灰尘颗粒;过滤袋采用自清洁结构设计,可以反复清洗使用。◎保护洁净厂房内生产设备。使你的机房控制室更加清洁、安全。更多行业真空改善解决方案,欢迎咨询深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵业,优质真空泵及专业真空应用方案,我们期待您的到来!清扫真空系统_中央除尘系统产品详细及特点
发布时间: 2021 - 04 - 28
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半导体工艺真空主要用在真空干法刻蚀,真空吸附,测试设备,真空清扫,蒸发,溅射,PECVD等键合工序,半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有毒的物质气体,会对生产及人员安全造成威胁。根据半导体真空工艺的应用,深圳真空泵厂家恒才机电设备公司讲讲半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项,欢迎查阅。半导体真空泵应用的4大注意事项:第一、有效稀释有害气体的浓度:半导体易产生前面所说的易燃易爆、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如AsH3、B2H6、SiH4、PH3等物质,在与空气或氧接触的时候,会引起燃烧甚至爆炸;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氦气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。第二、定期清洗真空泵及其他附件、管道,过滤、避免超压:半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,如SiH4与O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解会形成HCI;假设是油封式机械泵,这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质,就可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,一点中提到的危险性也更大。因此需要及时的清洗,并在必要的时候设置过滤设备。第三、防止温度过高:半导体在真空泵的应用中,有害气体比较多,而无论是干式真空泵还是油封机械泵,泵腔内温度过高,高温下易燃易爆及有毒气体就会容易发生危险。第四、注意氧气的浓度:空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及爆炸风险,因此一些情况下需注意氧的浓度,采用惰性气体来稀释,防止浓度过高;如果是油封机械泵可能还需要采用一些情性的与氧相容的真空泵油,并及时更换油滤和...
发布时间: 2021 - 04 - 23
来源: 35
螺杆真空泵投入运行之前,必须先进行泄漏检测工作。如果操作不正确,将会损坏真空泵。检测泄漏时应考虑以下几点:  首先,要弄清试件是否可以承受正压以及可以承受多少压力,以确定是否可以使用抽气泄漏试验方法和可以充满压力的气体。  在检测螺杆真空泵泄漏之前,应仔细仔细清洁焊缝,以清除焊渣,油污和灰尘。  泄漏检测部位的光线应足够,水槽底部应黑暗,水应清洁透明,水面上不应有蒸汽和雾气。  应先将试件充气,然后放入水中。否则,如果有大的泄漏,水可能会进入被检查的容器,并且小孔可能被水堵塞。在将它们放入水中之前,请使用监听方法检查是否有大的泄漏,然后在将大泄漏消除后再将其放入水中,否则会影响对小泄漏的检测。  将螺杆真空泵试件放在水中时,试件表面可能会出现气泡。如果这些气泡被擦除或刺破并且气泡不再出现,则可以判断为没有泄漏。在最初产生气泡的地方。如果气泡规则且连续地出现,则在气泡产生的地方会存在泄漏。  被检部位应在水中保持稳定,待水面平整后再进行观察。螺杆真空泵的检查部位应尽可能靠近水面。如果发现任何泄漏,请及时进行标记。如果有大的泄漏,请在修理后检查小泄漏。  简而言之,螺杆真空泵只有在通过泄漏检测后才能投入使用;否则会造成不必要的损坏,以备将来使用。
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