半导体行业水环真空泵系统应用案例

半导体行业的真空应用工艺：

1、半导体行业中的蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀，真空吸附，测试设备，机械手，自动化真空清扫等键合工序里所需用真空为生产真空（中高真空）；清扫真空（粗真空）；工艺真空（粗真空）。部分还有要求真空泵向被抽空间内的返流为零，以保护工件免受污染。

2、工艺真空主要利用负压吸附进行工件搬运或夹持，清扫真空主要利用负压与大气压差进行液体或颗粒的清除或输送，此类应用中液环真空泵和多级离心风机是非常关键的生产辅助设备。

半导体真空系统应用要求及案例：

1、应用要求——半导体行业的工艺特性，要求真空系统绝对无油，对设备的稳定性和可靠性要求也比较高。

2、应用案例——湖南某电气公司拥有半导体生产线，形成从设计、制造、封装与测试等全套能力，电气汽车组件配套建设项目，选用了2套康斯顿2BV水环真空系统，（水环真空泵安全可靠，100%无油，完全满足半导体行业的工艺真空要求），目前设备安装调试完毕，机组运行稳定。

该项目全部产能将用于新能源汽车用基材及组件生产，恒才机电康斯顿真空泵系统的应用，整体提升了电气功率半导体工艺平台及生产制造能力，真空泵系统/真空泵工艺可满足新能源汽车领域巨大市场需求，进一步做大做强做优功率半导体产业。

随着高铁技术自主化进程，尤其芯片和半导体的国产化，未来深圳恒才机电将持续跟进，专注于真空泵系统方案、真空系统配套设备、设计、售后、维保安装等服务，为客户提供创新的产品和服务，助力半导体产业快速稳健发展。

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