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2020 - 07 - 16
油封式螺杆真空泵适用于粗真空和中真空应用,可靠性强,耐久性高。油封式螺杆真空泵不仅可以单独使用,还可以与其他真空泵结合使用。  油封式螺杆真空泵是一种螺杆真空泵,它主要利用特定的油来密封螺杆真空泵的部件或零件之间的间隙,填充空间,进而消除和减少不利空间。其密封性能良好,最终真空泵能达到所需的真空度。这种油封式螺杆真空泵通常配水环真空泵有气镇装置。合理使用气镇装置可以有效防止水蒸汽在螺杆真空泵中冷凝,从而有效避免油污染。  机械真空泵使用油来保持运动部件的密封,并通过改变泵腔的容积来泵送空气,统称为油密封真空泵。机械真空泵使用油来保持运动部件的密封,并通过改变泵腔的容积来泵送空气,统称为油密封真空泵。它们的工作原理是使泵室的工作室的容积机械地增加和减少并泵送空旋片真空泵气。  当泵腔中工作室的体积变得最小时,它与泵的入口管连通,因此气体进入被泵入腔中,直到吸入腔的体积最大,并且当头部与空气入口分离时停止。当体积减小时,气体被压缩,直到气体的压力大于一个大气压,并且排气阀被打开以排放气体。  水环真空泵的优势  1)结构简单,对制造精度要求低,易于加工。  2)结构紧凑,泵的转速高,罗茨真空泵不需要减速器就可以直接与电机连接。因此,利用小的结构尺寸,可以获得大的位移并且占据的面积小。  3)压缩气体基本上是等温的,即在压缩气体的过程中,温度变化很小。  4)由于泵腔内没有金属摩擦面,所...
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2020 - 07 - 21
罗茨真空泵排气滤芯的维护方法  1.清洗:罗茨真空泵排气滤芯采用特殊材料制成,容易损坏,需要维修。在使用一段时间后,一些过滤的杂质保留在真空过滤器的过滤元件中。如果滤芯没有及时清理,压力会增加,变送器会提醒警察。  此时,有必要清洁和清洁真空泵的排气滤芯。清洗时,注意不要使滤芯变形或损坏,否则会影响再利用,降低过滤效率,甚至破坏整个系统。  2.更换:更水环真空泵换罗茨真空泵,的排气滤芯时,必须提前准备好水盆和毛巾等用品。在普通真空泵过滤器上更换真空泵排气滤芯有多种方法。必须按照标准方法更换,以免损坏滤芯,延长排气滤芯的使用寿命。  罗茨真空泵通常采用真空机组的形式,因为一般罗茨真空泵在常压和高压下不能直接启动和排放空气,所以需要配备前置泵。然而,并不是所有的罗茨真空泵都需要启动前置级泵,如风冷罗茨真空泵,湿罗茨真空泵和多级旋片真空泵罗茨真空泵。  通用罗茨真空泵需要在6000帕的压力下启动,在1333Pa和1Pa之间保持稳定的大吸气速度。因为罗茨真空泵没有内部压缩特性,它是通过气体放电形式的外部压缩来实现的。过高的压力和高压操作会使真空泵的负载过高。转子在压缩过程中不能散发太多热量,导致过度膨胀。转子和泵室之间的间隙消失,即被堵塞。  为了解决这个问题,采用冷却气体的直接冷却来降低转子和泵罗茨真空泵室之间的温差,以避免转子的过度膨胀,并实现高压和高压缩比运行。它可以在大气压下单独...
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2020 - 07 - 24
旋片真空泵是有区分单双极高速直联结构的真空泵,是用来对密封容器抽除气体的基本设备之一。旋片真空泵的泵与电机连轴,有着高转速、外型小、结构紧凑、流动性工作方便的优点。  旋片真空泵使用说明:  一. 首先在开箱时要检查您所采购的旋片真空泵在运输过程中是否有损坏、是否符合使用要求。如您发现有所不理解,请马上致电我公司销售工程师。  二. 您在使用安装调试旋片真空泵前,请您仔细详阅使用说明,严格按产品操作程序实施,并要注意先拧开加油螺塞从加油孔中加油至油标2/3,后从进气管孔内加入少许泵油为加强泵腔内润滑。油位过低对排气阀不能起封闭作用且影响真空度,过高可能会引起喷油。  三. 注意产品操作指引步骤,按规定接上三相电源线,要注意三相电机的电机旋转方向与泵支架上的箭头方向一致、单相电机直接插上电源插座即可。测试运转合格后,方可开始正常工作。  四. 与旋片真空泵进气管口的连接管道不宜过长,千万注意要检查真空泵外连接管道、接头及容器绝对不能漏气要保持密封,否则会影响极限真空及真空泵使用寿命。  五. 按不同泵的工作环境温度需求,一般是在5℃~40℃范围内、相对湿度不大于85%,进气口压力1.3*103帕。对抽速在0.5升/秒以上真空泵均装有气镇阀。如相对湿度较高可打开气镇阀净化抽除少量水蒸气而不会污染泵油且延长泵油使用时间,净化完毕后及时关死。  六. 旋片真空泵在运转过程中油箱内的泵油量不...
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2020 - 07 - 29
旋片真空泵的使用与维护概要:转子泵为可变容积瓦斯气体输送真空泵,工作压力范围为1.33x10-2~105。 作为单独或其他高真空泵的前段泵,可以泵出密闭容器内的干燥瓦斯气体,但不适合泵出具有高氧含量、* *性质、对金属的腐食性、与泵油的反应、粒子粉尘的瓦斯气体。 有单层和双层两种。  该结构包括过滤烟嘴、吸气管、压板、排气阀片、旋转片、弹簧、转子、泄放塞、油标、排气口、带轮、轴端密封及级间排气通路。 具有结构简单、运行可靠的特点,应用广泛。  一、工作原理和结构特点  1.工作原理:它是一种容积可变的真空泵,通过插入偏心轮转子的几个旋转板,能够使泵内的气体滑动、隔离、压缩、排出。  2、结构特点:该结构可分为油封式和油浸式两种。 泵体结构有一体型、中壁压入式、装配式3种。 转子结构有一体型、压缩套筒式、转子盘式3种。 排气阀是旋转叶片泵的主要消耗零配件之一,影响泵的泵性能,产生噪音。 作为阀大板块有使用橡胶密封垫的形式和作为阀大板块有使用橡胶密封垫的形式。另一种是,作为阀大板块必须使用布苯酚压板或者弹簧钢片,把排气阀浸入泵油中。  旋片真空泵的结构和维修知识  瓦斯气体镇阀:转子泵被修订为泵出可凝结的瓦斯气体,由节流阀和止逆阀组成。 节流阀控制混合瓦斯气体的量。 泵室内的气体压强高于混合气体压强时,止逆阀可防止逆流。 为了给泵挡油、喷油、改善泵的润滑条件、扩大泵的应用范围,旋片叶片...
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2020 - 08 - 07
螺杆真空泵主要由螺杆转子、壳体、齿轮、冷却循环和密封组成。传动轴与驱动转子连接,通过高精度同步齿轮驱动转子反向旋转,通过吸气、压缩和排气三个过程达到抽气的目的。其独特的外形设计直接决定了泵的真空度、抽速、容积效率、振动和噪声等技术性能指标。因此,它在各种环境过程中表现出高度的稳定性。然而,当我们在夏天使用螺杆真空泵时,我们应该格外小心,因为螺杆真空泵本身的温度在工作时间内很高。如果热量难以散发或继续在高温下长时间工作,螺杆真空泵的温度会随着热量的增加而升高。一旦达到螺杆真空泵的零界温度,就会出现异常噪音、喷油甚至堵塞,直接导致异常运行!  那么,我们如何在夏天正确地使用螺杆真空泵,当使用螺杆真空泵时,我们能做些什么来减少损坏呢?这个问题值得我们考虑。首先,我们应该在热天之前清洗螺杆真空泵。其次,在任何情况下都不应该将螺杆真空泵直接放在太阳下!特别是,放置在室外的螺杆真空泵必须避免直接暴露,螺杆真空泵应尽可能放置在阴凉的地方。由于螺杆真空泵工作时温度较高,如果再次暴露在阳光下,不仅难以从自身温度散热,还会增加螺杆真空泵必须承受的温度,长时间使用肯定会对螺杆真空泵造成更严重的损坏。  我们不仅要避免这些会导致螺杆真空泵温升的因素,还要尽力降低螺杆真空泵的工作温度。例如,安装螺杆真空泵时,应将其放置在空气流通良好的地方。没有这样的地方,冷却设备应该安装在螺杆真空泵所在的地方。这两种方法不...

半导体行业水环真空泵系统应用案例

作者:
时间: 2021-07-20
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半导体行业水环真空泵系统应用案例


半导体行业的真空应用工艺:


1、半导体行业中的蒸发,溅射,PECVD,真空干法刻蚀,真空吸附,测试设备,机械手,自动化真空清扫等键合工序里所需用真空为生产真空(中高真空);清扫真空(粗真空);工艺真空(粗真空)。部分还有要求真空泵向被抽空间内的返流为零,以保护工件免受污染。


2、工艺真空主要利用负压吸附进行工件搬运或夹持,清扫真空主要利用负压与大气压差进行液体或颗粒的清除或输送,此类应用中液环真空泵和多级离心风机是非常关键的生产辅助设备。


新能源汽车半导体行业水环真空泵系统应用案例


半导体真空系统应用要求及案例:


1、应用要求——半导体行业的工艺特性,要求真空系统绝对无油,对设备的稳定性和可靠性要求也比较高。


2、应用案例——湖南某电气公司拥有半导体生产线,形成从设计、制造、封装与测试等全套能力,电气汽车组件配套建设项目,选用了2套康斯顿2BV水环真空系统,(水环真空泵安全可靠,100%无油,完全满足半导体行业的工艺真空要求),目前设备安装调试完毕,机组运行稳定。

该项目全部产能将用于新能源汽车用基材及组件生产,恒才机电康斯顿真空泵系统的应用,整体提升了电气功率半导体工艺平台及生产制造能力,真空泵系统/真空泵工艺可满足新能源汽车领域巨大市场需求,进一步做大做强做优功率半导体产业。


水环真空泵系统,水环真空机组

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随着高铁技术自主化进程,尤其芯片和半导体的国产化,未来深圳恒才机电将持续跟进,专注于真空泵系统方案、真空系统配套设备、设计、售后、维保安装等服务,为客户提供创新的产品和服务,助力半导体产业快速稳健发展。


深圳恒才机电设备有限公司与阿特拉斯、SPECK、NASH、CNST等真空泵品牌的合作, 为客户提供真空设备和专业的真空系统设计、售后、安装等一站式真空服务,更多真空泵行业应用、真空机组配套方案、真空系统解决方案等,欢迎致电13928410990



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