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2021 - 06 - 10
真空泵高温是什么原因,用什么方法解决?那么小编会介绍一下,期待对真空泵的使用有所帮助。  真空泵高温原因分析:  1、电机功率过大,工作电流大,热功率也大。  2、扇叶小,产生的风量小,不能散热。  3、由于风扇转速低,风量小,风量小。  4、真空泵电机母线电压为380V,符合电缆压降和分布不均。因此,电机施加低于380V的电压,以保证功率不变,电流增大,热功率增大。  5、电机有附着灰尘、油渍等污垢,散热功能降低。  真空泵厂家的真空泵降温方法:  电机的功率和转速与真空泵相同,不能改变。风扇安装在电机主轴上,风扇转速是根据电机转速确定的,所以不能改变。增加风扇叶片的数量可以起到一定的作用,但如果增加叶片数量,原有的动平衡就会崩溃,需要寻找新的动平衡。找到新的动态平衡并不容易。不同的动态平衡会导致严重的发动机振动。因此,一般采用以下方法:  1、原风扇罩加长40cm,安装与风扇直径相同的轴流风扇。轴流风机电机要求功率850w,转速14889r/min,电压380v。原来的粉丝还在。轴流风机设置为另一种功率控制。真空泵开机后,轴流风机工作。真空泵停止后,轴流风机在30分钟内停止,使主电机充分冷却。  2、保持电机清洁卫生,定期清除电机污垢,提高散热能力。  3、将真空泵母线电压提高到400v。
2021 - 06 - 28
罗茨真空泵(简称罗茨泵)是一种容积可变的回转真空泵。它是从罗茨鼓风机演变而来的。根据罗茨真空泵工作范围的不同,分为直接排气的低真空罗茨泵;中真空罗茨泵(也称机械增压泵)和多级高真空罗茨泵。一般来说,罗茨泵具有以下特点:  1、在较宽的压强范围内有较大的抽速;起动快,能立即工作。  2、对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感。  3、转子不必润滑,泵腔内无油;振动小,转子动平衡条件较好,没有排气阀。  4、驱动功率小,机械摩擦损失小。  5、结构紧凑,占地面积小。  6、运转维护费用低。  因此,罗茨泵广泛应用于冶金、石化、造纸、食品和电子行业。罗茨真空泵最大的优点是在较低的入口压力下具有较高的抽气率,但不能单独使用。必须串联一个后备真空泵,将被抽系统内的压力抽走。通过备用真空泵到达根部。罗茨真空泵只有在真空泵允许进口压力的情况下才能开始工作,一般罗茨真空泵不能在高压下工作,否则会过载过热而损坏,因此应合理选择前级时使用罗茨真空泵真空泵,安装必要的防护设备。  罗茨泵工作原理:  罗茨炸弹的结构见如图。在泵腔内,有两个“8”字形转子安装在一对相互垂直的平行轴上,一对齿轮比为1的齿轮驱动彼此相对的同步旋转运动。转子之间、转子与泵壳内壁之间有一定的间隙,可以实现高速运转。由于罗茨泵是无内压缩的真空泵,压缩比通常很低,所以高、中真空泵需要前置泵。罗茨泵的最终真空度不仅取决于泵本身的结构和制造...
2021 - 07 - 14
1.真空技术应安裝在清理、整洁的自然环境里,不适合有脏物、粉尘、水资源,溫度过高的地区也不宜。  2.初次安裝真空泵时,应查验电机是不是正转,也就是电机与泵内电机转子转为一致,一般电机上边标着电机一切正常运转方位。  3.长期关机起动真空泵油前,应时断时续数次起动真空泵。  4.在长期性停止使用真空泵时,应对真空泵就行放油处理。  5.在真空泵运转时水温不可高过75度,如因常见故障造成水温过高请立即联络真空泵生产厂家检修。  6.假如真空泵有吸进杂质、粉尘、水份、化合物等潜在性风险,应当在真空泵进风口部位改装反渗透设备,假如杂质、粉尘、水份过多,务必改装存储罐开展过虑,以避免粉尘及其水份化合物等杂质进到真空泵。  7.假如真空泵需二十四小时运转,务必半年对真空泵开展一次维护保养检修。  8.真空泵的一切正常运转中,应维持泵内真空泵油不少于油道路标线,应在油镜2/3处,给油时,禁止与不一样型号、型号规格真空泵油混和应用。  9.应按时拆换真空泵油,一般3-6个月开展一次拆换,如发觉油阀乳状液、炭化等状况,还应立即拆换真空泵专用型油。  10.真空技术应安裝在清理、整洁的自然环境里,不适合有脏物、粉尘、水资源,溫度过高的地区也不宜。  11.初次安裝真空泵时,应查验电机是不是正转,也就是电机与泵内电机转子转为一致,一般电机上边标着电机一切正常运转方位。  12.长期关机起动真空泵维修前...
2021 - 08 - 30
深圳真空泵系统厂家恒才机电的真空泵、真空系统可应用于电子、半导体工业、制药工业、实验室装置、镀膜、橡塑成型、颗粒挤出、医疗等工业领域,其中医疗行业用得比较多的真空设备为干式真空泵、无油螺杆式真空泵、真空负压系统等。如下,为医疗制药行业专用的干式真空机组、医用真空负压机组,采用的是阿特拉斯爪式干式真空泵,替代了传统水环真空机组在制药行业的应用,其干式真空机组的特点之一是无需水或油作为介质,可以有效节约水源并减少环境污染。一套完整的医院负压站吸引站应包含:真空泵台、真空负压罐台、前置除菌过滤、真空电磁阀、汽液分离器一台、排气口消毒灭菌装置一套、真空压力变送器一台、电气控制柜一台、以及负压吸引机组内部连接管路、阀门、仪表一套等。(根据医用真空需求不同,真空系统配置也各不同,因此恒才机电提供定制化真空解决方案)。深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,专业的真空设计为客户提供定制化真空解决方案,在实现客户对真空要求的基础上,让真空配置真空方案达到性价比最高化。
2021 - 10 - 11
如何正确挑选真空泵?购买真空泵需要关注哪些问题?了解真空泵特点、真空泵种类及对应的真空度,再结合真空泵实际需求,进行挑选合适的真空泵,也可让深圳恒才机电专业的工程师为真空泵计算选型。1、真空泵的应用挑选真空泵的抽真空效率能够将泵分成三类:1)、一般水泵,气体压强可做到1.333~100kPa(10~760mmHg)为'粗'真空泵;2)、油泵,气体压强达到0.133~133.3Pa(0.001~毫米Hg)为'次高'真空泵;3)、扩散泵,气体压强达到0.133Pa下列,(10-2mmHg)为'高'真空泵。若想较低的工作压力,那就需要采用油泵了,好的油泵能抽中133.3Pa(毫米Hg)下列。在分析化学试验室里常见的缓解压力泵有水泵和真空泵二种,若不规定很低的工作压力时,能用水泵,假如水泵的结构好且压力又高,抽时间高效率达到1067~3333Pa(8~25mmHg)。水泵能够抽中的最少工作压力理论上等于那时候温度下的水蒸汽工作压力。比如,温度25℃、20℃、10℃时,水蒸汽的工作压力各自为3192、2394、1197Pa(8-25mmHg)。用水泵抽真空时,应在水泵前装上安全瓶,防止压力降低,流水反吸;终止抽真空前,应先放气,随后关水泵。2、真空泵的应用常见问题除了真空泵选型需要注意之外,真空泵使用过程中,一些常见的真空泵问题也需要关注一下。...
2021 - 11 - 05
真空泵出现问题后,首先要确定真空泵的基本信息,真空泵的型号,真空泵的参数,出现故障的位置,分析出现故障的原因,判断能否自己修理或者更换部件等。例如:水环式真空泵一般没有摩擦,一般不考虑磨损。主要检查泵体的密封性、轴承的磨损及机械密封。真空泵修理是一项精密的技术活,建议还是找专业的真空泵维修厂家吧。维修时需要解体,清洗,然后组装,调整,最后测试真空度。这其中,有时候,设备拆开需要专用的工具。另外,还需要考虑很多,例如:真空技术,服务水平怎么样?真空泵维修价格哪家优惠?除了看价格,还得讲求服务,维修真空泵完了,调试运行等等一系列问题。水环式真空泵维修价格的确定,需要提供很多信息才能报价:1、真空泵的型号、大小、参数2、真空泵出现的具体问题3、需要维修的真空泵的地方4、是否需要上马服务等注:一般报价的时候厂家都会考虑以上几个问题,当然有时也会依据整个行情来报价。以上就是真空泵维修,需要注意的一些事项,希望对您有所帮助。深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,提供真空泵、真空泵机组、真空泵解决方案等,售后、维修、安装等一系列真空泵服务。
2021 - 12 - 14
一般,机械设备在使用了一段时间后,会因不同因素造成了设备受损程度不同,在长期工作一段时间后,罗茨泵内会发生异常,这个时候就需要我们工厂的技术人员实施对罗茨真空泵维修拆装工作。罗茨真空泵维修的拆装程序如下:1、放出罗茨真空泵润滑油及冷却水;2、拆卸联轴器和电机;3、拆卸旁通管路和旁通阀;4、拆轴承;5、拆卸前后端盖及密封装置;6、拆转动齿轮;7、拆转子。罗茨真空泵维修拆装时的注意事项如下:1、安装底座时需要认真调整水平,否则将影响转子与泵体两端的间隙;2、拆装零部件不能用铁锤敲打;3、拆装时注意密封面,不得有任何划痕和碰伤;4、平面密封使用室温硫化橡胶时,要涂布均匀,不能过薄也不能太厚;5、转子装后应认真调整间隙,按规定间隙调整,发现超出规定时应取出重新修理,但修理后需要进行动平衡调试,动平衡合格后再重新组装。深圳恒才机电设备有限公司的罗茨真空泵,又称机械增压泵,提高真空度一个数量级,可以和水环真空泵或螺杆真空泵串联组成罗茨水环真空泵机组、罗茨螺杆真空泵机组、罗茨旋片真空机组。罗茨真空泵搭配不同真空泵可适用于多种复杂工况环境。
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发布时间: 2026 - 10 - 16
来源: 1259
半导体晶圆减薄真空吸附方案:深圳恒才集中抽真空系统在半导体晶圆减薄、研磨、抛光等工艺中,真空吸附的稳定性直接影响晶圆平整度、吸附均匀性和生产良率。深圳恒才机电设备有限公司针对半导体晶圆减薄工况,提供集中抽真空真空泵系统方案,可满足多工位稳定吸附、粉尘杂质过滤、低噪音运行及灵活移动安装等需求。方案特点集中抽真空:一套系统为多个减薄工位提供稳定真空,减少分散配置,降低设备占地和管理难度;稳定真空吸附:...
发布时间: 2021 - 11 - 02
来源: 245
型材挤出成型设备之高耗水量及高能耗,如何才能解决橡塑挤出不节能、高能耗、高产能问题等?这是很多挤出行业所需要考虑的问题。恒才机电设备公司,为解决挤出成型设备的高能耗、高水耗等问题,设计了真空节能真空系统,突破以往真空系统设计,采用司倍克SPECK真空泵,改以小型真空节能系统取代中大型中央真空系统,SPECK--BluVac系列节能真空系统由此问世。这款中央真空系统应用于挤出机设备有哪些特点呢?1.高节能,从高能耗能源输出改以小型单机分段控制,避免产能变化时所产生的能源浪费,降低现行挤出成型设备能耗,平均省下高达70% 的能耗。2.改善设计,搭配SPECK专利设计的真空桶槽与智能控制器,在现有成型技术上可直接实现,在管路搭配微调,同时兼容挤出成型设备真空系统新旧设备的应用。3.操作简单,在智能控制器上简单设定真空条件数值后,系统自动运行,且在达到所设定之操作真空值时系统会自行计算负载量,并调整设备输出能耗。4.提高产能,改善质量,SPECK BluVac系列节能真空系统的应用,既能达到节能效果,还能提高设备产能和产品稳定性,进而提升客户产值,将设备产能最大化,是挤出成型设备专用的真空系统,并将型材技术应用带入次世代之领域。恒才机电所设计的中央真空系统,实现降低现行成型设备能耗,平均会省下高达70% 的能耗,该系统依照真空泵与水泵的变频电机设计搭配SPECK专利设计之真空桶槽与智能控制器,并在现有成型技术上可直接实现,不需变更任何设计,只需在管路搭配上做些微调整即可,并同时兼容新旧设备之应用。深圳恒才机电设备有限公司致力于泵浦工程,通过从设计、选型、安装、调试、维保等一站式服务,主要有水环真空泵、旋片真空泵、罗茨真空泵、螺杆真空泵、干式真空泵、真空机组配套、真空系统、真空解决方案等,为客户提供泵浦方面的优质工程方案。
发布时间: 2018 - 05 - 17
来源: 449
高温磁力泵(高温水泵)采用自然散热结构,改变了传统的水冷结构,使结构简单体积小,节约运行费用,性能好,所以被广泛应用于石油、化工、冶金、矿山、造船、电力、农业、国防、国防等多个行业中,有着重要的作用。那么如何正确使用高温磁力泵呢,下面小编总结了高温磁力泵的正确调试方法和噪音出问题的两点供参考:一、调试高温磁力泵的方法有:1、高温磁力泵应水平安装,开车前应检查冷却箱之润滑油的油位,若油位过低时应及时补充。开泵前,首先应打开冷却水回路,进水管阀门的开启度应根据泵正常工作后冷却出水管的温度进行调节。2、当抽吸液面高于果轴心线时,起动前打开吸入管道阀门即可,若抽吸液面低于泵轴心线时,管道需配备底阀。3、泵使用前检查,电机风叶转动要灵活,无卡住及异常声响,各紧固件要紧固。4、检查电机旋转方向是否与磁力泵转向标记一致。5、电机启动后,缓慢打开排出阀,待泵进入正常工作状态后,再将排出阀调到所需开度。6、高温磁力泵在停止工作前,应先关闭排出阀门,然后切断电源,再关闭冷却水管阀门。二、使用过程中高温磁力泵出现较大噪音,应该注意哪些?  目前,市场上所有品牌的各型号磁力泵的工作参数均不一样,如果按照最原始的设计,直接更换不同品牌不同型号的磁力泵,由于泵的压力和流量等参数都不相同,会使高温磁力泵的工作点不稳定,从而引发噪音,甚至损坏高温磁力泵。    泵体内介质不纯,含有大量杂质,或者未按照要求使用,使泵在运转过程中陶瓷轴体发生损坏、断裂等现象,从而使泵体无法正常运转,产生较大噪音。  建议对设备的介质进行过滤等处理,保证介质纯净无杂质,同时对于设备以及泵按照要求使用、做好保养措施,从而保证高温磁力泵的使用寿命和性能。  根据以前客户反映,客户实例如下,拆卸泵发现泵腔内含有大量的可见固体杂质:  介质含有杂质或不按要求使用会对轴等部件造成损坏,使用过程中须严格按照厂家使用手册中标准使用...
发布时间: 2018 - 05 - 14
来源: 518
水环式真空泵的工作原理大家都知道,是气体由管路经阀门进入水环泵或压缩机,然后经导气弯管排入气水分离器中,经气水分离器排气管排出。水环式真空泵使用行业广泛,如电子、电池化工、塑胶、造纸、包装印刷、线路版压合、CNC、石油、制药、食品等各行业中,主要工艺有真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等等,那么购买水环式真空泵的时候应该注意哪些问题呢?下面总结了8点不可忽视的重要参数:1、水环式真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。2、针对被抽气体选择相应的水环真空泵。如气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体,应考虑在泵的进气管路安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。3、水环式真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。4、水环式真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响,若工艺过程不允许,应选择无振动的真空泵或者采取防振措施。5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应选各种无油泵。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施。6、水环式真空泵排除的油蒸汽对环境的影响。如果环境不允许有污染,可以选无油水环式真空泵,或者把油蒸汽排到室外。7、正确地组合水环式真空泵。有的水环式真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的出口压强低于大气压,需要前级泵,因此需要把泵组合起来使用。8、水环式真空泵的价格、运转及维修费用。水环式真空泵的选型很重要,正确的选型可以达到高效率并节省能耗,很多客户有用进口水环式真空泵与国产水环式真空泵作对比,如果经济允许情况下可以购买德国进口的,国外的技术相对好一些,但无论是进口的水环式真空泵还是国产的水环式真空泵只要经济与参数等符合自身要求那就是最合适的。
发布时间: 2018 - 05 - 11
来源: 481
最近接受到模温机行业客户的一些咨询,模温机的使用中出现高温油泵漏油的情况,却找不到原因,下面小编来说一下高温油泵漏油应该从哪里着手,以及出现泵漏油的情况有哪些,应该如何正确使用模温机和高温油泵?第一,要特别注意曲高温油泵轴前端和后端的油封处是否漏油。曲轴的前端油封破裂损坏、老化或曲轴带轮与油封接触面磨损,会引起曲轴前端漏油。曲轴后端的油封破裂损坏,或后主轴承盖的回油孔过小,回油受阻,会引起曲轴后端漏油。另外还应注意凸轮轴后端油封是否漏油。油封老化、破裂漏油应及时更换。除此之外,还要检查发动机润滑系各零部件是否存在外漏现象。第二,如果高温油泵前后油封处漏油,甚至前后气缸盖罩、前后气门挺杆室、机油滤清器、油底壳衬垫等多处有机油渗出,但又找不到明显的漏油处,应该检查曲轴箱通风装置,清理曲轴箱通风管道,尤其是检查PCV阀是否由于积炭和结胶卡滞是否造成工作不良。如果曲轴箱通风不良很可能会导致曲轴箱内压力升高,从而出现多处机油渗漏现象。第三,如果机油滤清器及一些机油管路的接头处经过紧固后还是漏油,应该注意检查机油压力是否过高,机油限压阀是否工作不良。在模温机的运用过程中,往往很多不恰当的操作会影响机组的运用性能,有些客户更严重的可能会损坏模温机高温油泵机组.从维修部门经验看,由以为操作不恰当所引起的模温机作业仍是占相当大的比重.因此,总结出一部分运用中应该留意的事项,希望引起重视:1、模温机的管路需要定时清洗,特别是体系进口的过滤器网罩,最好一个月清洗一次.2、定时查看模温机高温水泵/高温油泵是否漏油,有需要的话,泵轴封也是需要定时更换的.3、定期查看模温机加热管,如果有积水垢的话,能以用较细的砂纸轻轻摩擦加热管表面的,清除去外表尘垢;4、请不要短路保护装置,强行运作模温机.5、清理时有必须封闭模温机开关,同时切断电源开关.请勿用水来清洗机器,否则会引起触电事端.6、在下班关机前10分...
发布时间: 2018 - 05 - 09
来源: 553
一般真空泵选型的最基础的三个重要参数,抽气量,真空度和压强。抽气量:抽气量是真空泵抽速的一个衡量因素。一般单位用L/S和m3/h来表示。是弥补漏气率的参数。不难理解,理论下抽一个相同体积的容器,为什么抽气量大的真空泵很容易抽到我们所需的真空度,而抽气量小的真空泵很慢甚至无法抽到我们想要的真空度?因为管路或者容器始终不可能做到绝对不漏气,而抽气量大的弥补了漏气所带来的真空度下降的因素,所以,大气量的很容易抽到理想真空度值。这里建议,在计算出理论抽气量的情况下,我们尽量选择高一级的抽气量的真空泵。抽气量具体计算公式以下会介绍。真空度:处于真空状态下的气体稀簿程度,通常用真空度表示。从真空表所读得的数值称真空度。真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值,从表上表示出来的数值又称为表压强,业界也称为极限相对压强,即:真空度=大气压强-绝对压强(大气压强一般取101325Pa,水环式真空泵极限绝对压强3300Pa;旋片式真空泵极限绝对压强约10Pa)。极限绝对压强:绝对压强即所测内部压强比”理论真空(理论真空压强值为0Pa)”高多少压强。它所比较的对象为理论状态的绝对真空压强值。由于工艺所限,我们无论如何都不能将内部压强抽到绝对真空0Pa这个数值,因此,真空泵所抽的真空值比理论真空值要高。所以当用绝对真空表示时,数值前面无负号。极限相对压强:相对压强即所测内部压强比“大气压”低多少压强。表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值。由于容器内部空气被抽,因此,内部的压强始终低于容器外部压强。所以当用相对压强或者表压强表示的时候,数值前面必须带负号,表示容器内部压强比外部压强低。当然除了这三个最基础的真空泵参数,还有一些真空泵选型的更细参数也需要注意,例如被抽的介质含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体等等。因此我们在选择真空泵时一定要认真细致,符合自身要求,这样才能达到效率最高,利益最...
发布时间: 2018 - 05 - 04
来源: 457
一、高温磁力泵介绍:高温磁力泵(磁力驱动泵)主要由泵头、磁力传动器、电动机、连接底板等几部分零件组成。磁力泵磁力传动器由外磁转子、内磁转子及不导磁的隔离套组成当电动机带动外磁转子旋转时,磁场能穿透空气隙和非磁性物质,带动与叶轮相连的内磁转子作同步旋转,实现动力的无接触同步传递,将容易泄露的动密封结构转化为零泄漏的静密封结构。由于磁力泵泵轴、内磁转子被泵体、隔离套完全封闭,从而彻底解决了“跑、冒、滴、漏”问题。二、高温磁力泵的选型1、在选择高温磁力泵时,须根据介质种类,介质的密度,使用温度高低,扬程要求,以及介质的粘度情况来选型。同时根据不同型号磁力泵的流量和压力,对应更改设备的结构和设计,如改变进液量、分流、分压等措施,使高温磁力泵处于最佳工作点即可解决噪音问题,同时也可以增加高温磁泵的使用寿命和性能。2、以上为德国SPECK品牌高温磁力泵型号参数表,仅为部分标准款,高温磁力泵可接受水温最高220℃,油温最高350℃,也可接受标准以及非标定做!
发布时间: 2018 - 04 - 28
来源: 394
2018年劳动节放假安排:4月29日(星期天)至5月1日(星期二)5月2日(星期三)恢复上班。劳动节的来历:节日源于美国芝加哥城的工人大罢工,为纪念这次伟大的工人运动,1889年的第二国际成立大会上宣布将每年的五月一日定为国际劳动节。劳动节的高速免费吗?今年五一放假期间,高速公路继续免费,免费时间为4月29日0点-5月1日24点。深圳恒才机电“五一”祝福生活—因劳动而富裕;生命—因劳动而精彩;心灵—因劳动而美丽;爱情—因劳动而甜蜜;人生—因劳动而有价值;深圳恒才机电设备有限公司全体员工祝各位客户“五一”劳动节快乐!
发布时间: 2018 - 04 - 27
来源: 550
真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术,真空镀膜设备是镀膜工业上的一个重要部分。借一真空镀膜企业家的话,真空镀膜表面技术就是为客户的产品做“美容”---外观更丰富多彩、更亮丽。真空镀膜技术已广泛的应用在如:装饰品、刀具、模具等金属切削工具、光学仪器、集成电路制造、太阳能利用、平板显示器、建筑玻璃和汽车玻璃、防伪技术、飞机防护涂层、信息存储领域、传感器等等真空镀膜常用的真空泵有如下几种:一、真空镀膜旋片真空泵真空镀膜中选的旋片真空泵主要由泵体(静子)和转子组成。在转子槽中装有两块以上的旋片,有些泵旋片间还装有弹簧。转子偏心地装在泵腔内,其外缘与泵腔顶部表面的间隙为2~3微米。转子旋转时,在离心力等作用下,旋片沿槽作往复滑动并与泵腔内壁始终保持接触,将泵腔分成两个或几个可变容积的工作室。转子顺时针方向旋转时,与吸气口相通的吸气腔容积由零逐渐增大,腔内气体压力降低,被抽气体便从吸气口源源不断地吸入。同时,与排气口相通的排气腔容积由大变小,吸入腔内的气体被压缩,待气体压力高于大气压力时,推开排气阀排出大气。转子连续转动,泵便不断抽气。二、真空镀膜罗茨真空泵真空镀膜中罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀。但当转子顶部转过排气口边缘,v0空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间v0中去,使气体压强突然增高。当转子继续转动时,气体排出泵外。罗茨泵在泵腔内,有二个'8'字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与...
发布时间: 2018 - 03 - 19
来源: 547
常常有客户为选型真空泵的问题来寻问,其实选用真空泵时主要根据泵的抽气速率和极限真空度两个指标。极限真空度由生产工艺条件决定,这是不难知道的,然而在选用时对于真空泵的抽气能力,常常缺乏数据,以致束手无策。下面小编介绍一些计算方法供工作中参考。真空泵的抽气量应该包括:从生产过程中放出的不凝性气体,冷却水释放的溶解空气,过程中流体的饱和蒸汽压的当量位,以及从设备和管道连接不严密处漏入的空气。但是,由于过程中放出的不凝性气体量一般很小,可以忽略不计,故关键组成是最后两项。一、真空系统渗漏的空气量可用以下四种方法中的任一种加以确定:1、根据真空系统设备和管道的总体积;2、根据真空系统所装配的设备和管道附件;此法虽比较保守,但所得结果可适应空气渗漏量有较大波动的情况,对操作是适宜的。3、还可根据真空设备、管道及其他附件衬垫的接缝长度,按每米漏入的空气量为0.05~0.07[公斤/小时]计算,然后加倍即成。二、那么选择真空泵的一些参数条件:1、真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。2、每种泵都有一定的工作压力范围,因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。3、真空泵在其工作压力下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。4、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响,若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。5、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸汽,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。6、当选择油封真空泵时,要考虑真空泵排出来的油蒸汽(油烟)对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,应该选无油真空泵,或者把油蒸汽排到室外。7、选择真空机...
发布时间: 2026 - 04 - 03
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在半导体封装晶圆吸附工艺中,选择真空泵需综合考虑真空度、抽速、洁净度、兼容性、稳定性及成本等因素,以下是具体选择建议:一、明确工艺需求真空度要求:晶圆吸附工艺通常需要较高的真空度,以确保晶圆能够牢固地吸附在工作台上,避免在加工过程中发生位移。一般来说,真空度要求在-90kPa至-95kPa(约100~50mbar绝压)之间。抽速要求:抽速决定了真空泵建立真空环境的速度。在晶圆吸附工艺中,需要快速建立稳定的真空环境,因此抽速是一个重要的考虑因素。抽速一般要求≥50m³/h/工位。洁净度要求:半导体制造对洁净度要求极高,真空泵在运行过程中不能产生颗粒物污染,以免影响晶圆质量。兼容性要求:真空泵需要能够耐受晶圆加工过程中产生的各种工艺气体,如光刻胶蒸汽、腐蚀性气体等。稳定性要求:真空泵需要能够连续稳定运行,以满足24小时不间断生产的需求。二、选择真空泵类型在半导体封装晶圆吸附工艺中,常用的真空泵类型包括干式螺杆泵、爪泵、罗茨泵等。这些泵型具有无油、耐粉尘、抽速大等特点,适合用于粗低真空环境。干式螺杆泵:具有结构简单、维护方便、抽速稳定等优点,且能够耐受一定的腐蚀性气体。爪泵:同样具有无油、耐粉尘的特点,且抽速较大,适合用于需要快速建立真空环境的场合。罗茨泵:通常与干泵串联使用,能够提升真空度至1Pa级,满足更高真空度的需求。三、考虑具体参数与性能极限真空度:选择能够达到所需真空度的真空泵,一般要求极限真空度低于工艺要求的真空度一个数量级以上。抽速范围:根据工艺需求选择合适的抽速范围,确保真空泵能够快速建立稳定的真空环境。颗粒物控制:选择具有高效颗粒物过滤系统的真空泵,确保排气口颗粒物浓度符合行业标准要求。材料兼容性:确保真空泵的材料能够耐受工艺气体,避免产生腐蚀或污染。稳定性与可靠性:选择具有长寿命、低故障率的真空泵,减少生产线停机时间。四、关注能耗与...
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