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2020 - 07 - 02
真空泵选择建议:  1.选定的真空泵必须能够抽取过程中释放的气体。  2.所选主泵的极限真空度必须高于泵送容器所需的真空度。  3.所选主泵的泵送速度必须大于过程中的最大气体排放量。  4.所选真空泵的工作介质和用于制造泵的材料必须满足工艺要求。  5.对于连续生产过程,所选真空泵必须可靠地满足连续生产的需要。  真空泵的选择方法:  1.过程所需的真空度  真空泵的工作压力应满足工艺工作压力的要求,选择时的真空度应比真空设备的真空度高一半至一个数量级。(例如,真空过程需要100帕(绝对压力)的真空度,真空泵应该至少为50帕-100帕)。一般来说,如果绝对压力高于3300帕,首选水环真空泵作为真空装置;如果绝对压力低于3300帕,则不能选择水环真空泵,可以选择旋叶真空泵或真空度较高的真空泵作为真空获取装置。  2.工艺所需的提取量(提取率)  真空泵需要泵送速率(即真空泵在其工作压力下排出气体、液体和固体的能力),一般单位为m3/h、l/s和m3/min。具体计算方法可参照以下公式计算选择。当然,真空泵的选择是一个综合的过程,涉及到相关的经验和其他因素。  抽气速率计算公式:  S=2.303(V/t)Log(P1/P2)  其中:  S为真空泵抽气速率(L/s)  V为真空室容积(L)(m³)  t为达到要求真空度所需时间(s)(h)  P1为初始真空度(Torr)(p...
2018 - 07 - 21
2018年6月30号,恒才真空泵公司年召开了年中工作汇报和下半年计划,本次会议的主是,总结上半年“战况”并提出下半年工作计划、改进、目标和解决方案!        出席会议的人员有总经理陈总,销售、行政、财务、技术等部门领导及员工。会议由办公室主任莫主任主持。会议开始,莫主任组织大家跳舞,让公司全体员工进入轻松而热烈的氛围中。开展会议,公司办公室主任莫主任向大会作了《2018年上半年度公司工作报告》报告中总结了公司2018上半年取得的优异成绩。特别是螺杆真空泵、水环真空泵、真空系统机组、离心泵、高温磁力泵几款产品保持快速发展势头,销售同比增幅均超过56%,实现了公司规划战略性的突破,同时客户反馈好评,莫主任并对售后安装部门的耐心进行了表扬。        接下来各部门代表处和项目经理列序负责人依次发言,大家分别通过认真统计和仔细回顾后,对上半年辛勤工作和各项工作数据内容进行了详细的总结,分析工作中遇到的问题,并对2018年下半年的自我考核标准作计划。项目经理总结的内容包括各地区上半年的各项工作完成情况和团队管理工作经验。肯定了公司在市场开拓、企业文化建设以及队伍建设和市场定位等方面所做出的成绩。销售总监王经理在《2018公司工作部署》全面分析了2018年上半年的工作和取得的成绩,深刻...
2025 - 04 - 23
在塑胶造粒行业中,干式无油真空泵凭借其独特的技术优势,已成为提升生产效率、保障产品质量、实现绿色制造的关键设备。以下从集中抽真空、粉尘处理、环保合规、真空性能四大核心优势展开分析:一、集中抽真空:多产线协同,资源高效利用优势说明多产线联动:干式无油真空泵可同时连接多条生产线,通过集中式真空系统实现统一抽真空,减少设备重复配置,降低初期投资成本。动态调节:支持变频控制,根据不同产线的真空需求实时调整抽气量,避免资源浪费。案例:某塑胶企业采用集中抽真空系统后,真空设备数量减少30%,能耗降低25%,同时提高了产线切换的灵活性。价值体现提升设备利用率,降低单位产量的能耗成本。简化设备维护管理,减少停机时间。二、粉尘处理:干式过滤,免人工维护优势说明干式过滤技术:内置高效滤芯或旋风分离装置,直接拦截塑胶粉尘、挥发物等杂质,避免粉尘进入泵体造成磨损或堵塞。零人工清理:滤芯寿命长(可达数千小时),支持在线反吹或脉冲清灰,无需停机人工清理,降低劳动强度。对比传统油封泵:油封泵需定期更换油品并清洗油路,否则油品易乳化失效,导致粉尘排放超标。价值体现保障真空系统稳定运行,减少非计划停机。降低粉尘污染风险,符合职业健康安全标准。三、环保合规:无油无水,零排放优势说明零油污染:干式设计彻底杜绝油雾、油蒸汽排放,避免塑胶颗粒表面油斑、异味等问题,提升产品纯度。无水消耗:无需冷却水循环,减少水资源浪费及水处...
2018 - 07 - 16
很多客户在选型的时候对真空泵的术语不太了解,其实真空泵的术语非常简单,了解了它的术语选型真空泵也就没有问题了,只要给出真空泵的参数都可以进行选型。那么,下面一起来了解一下真空泵是术语和选型的计算方式吧。  第一,选真空泵,首选考虑的是零真空度  真空状态下的气体稀簿程度就用真空度来表示。从真空表所读得的数值也称为真空度。真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值,从表上表示出来的数值又称为表压强,业界也称为相对压强,即: 真空度=大气压强-绝对压强(大气压强一般取101325Pa,水环式真空泵极限绝对压强3300Pa;旋片式真空泵极限绝对压强约10Pa)。    第二是真空泵抽气量  抽气量是真空泵抽速的一个衡量因素。一般用m3/h和L/S单位来表示。是弥补漏气率的参数。可以理解,理论下抽一个相同体积的容器,为什么抽气量大的真空泵很容易抽到我们所需的真空度,而抽气量小的真空泵很慢甚至无法抽到我们想要的真空度?因为管路或者容器始终不可能做到绝对不漏气,而抽气量大的弥补了漏气所带来的真空度下降的因素,所以,大气量的很容易抽到理想真空度值。所以,我们平常在计算出理论抽气量的情况下,尽量选择高一级的抽气量的真空泵。  第三就是真空泵相对压强  相对压强即所测内部压强比“大气压”低多少压强。表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值。由于容器内部空气被抽,因此,内部的压强始终低于容器...
2018 - 09 - 18
冻干燥机(冻干机)由制冷系统、真空系统、加热系统、电器仪表控制系统所组成。主要部件为干燥箱、凝结器、冷冻机组、真空泵、加热/冷却装置等。冷冻干燥简称冻干,就是将含水物质,先冻结成固态,而后使其中的水分从固态升华成气态,以除去水分而保存物质的方法。真空系统是冻干机的重要组成部分之一,一般包括旋片式真空泵或干泵和罗茨泵加速抽真空。真空系统的作用是建立真空,给冰的升华制造环境和条件。真空系统的真空度的高低直接影响制品的升华速率,真空系统要求其自身具有较低的泄漏率。真空控制的精度直接影响到制药工艺的运行。那么,冻干机真空系统日常该如何维护和保养呢?下面我们一起来看看吧!1.真空系统运行中检查真空系统运行声音是否正常,如果异常请先检查供电的三相电是否平衡;真空泵是否有异常振动,真空泵与泵头上的各个连接部分是否存在松动现象,如果有则采用相应的固定措施;带冷却水的泵,需要保持冷却水有足够的流量和压差,运行过程中可以用手触摸一下泵体的温度;带氮气吹扫的泵,需要保持氮气有足够的流量和压力;需检查油位是否保持在正常油位,低于正常油位要及时补加规定的真空泵油;如果真空泵油发生乳化,需要打开气镇阀运行2小时;真如果空泵油变色,建议及时更换真空泵油,并清洗过滤网,并更换过滤器;观察真空泵是否漏油,如漏油及时停机维修。2.真空系统长期停用检查如果泵在一段时间内不使用,应关闭电源和冷却水供应;如果泵在冻干工艺结...
2018 - 11 - 19
1、选用节能水环真空泵。目前恒才公司开发应该于造纸行业的真空泵有2BV系列水环真空泵和德国品牌SPECK以及国际品牌阿特拉斯三款,近年来2BV系列水环真空泵在实验站条件下,测得抽吸干空气能达到67%的最高效率,而螺杆真空泵用于造纸厂抽吸湿空气将会有更高的效率,直接替厂家节省电源费用惊人。很多水环真空泵相关资料介绍的液环真空泵的效率仅为35%~50%的效率,显然这些资料没能跟上新技术带来的新变化。2、选用低转速水环真空泵。在选用真空泵时,应尽可能选用低转速的水环真空泵。最好能选用叶轮叶片端部的线速度在18m/s以下时对应的转速,这时候泵的效率通常会比较高。当然相对选用较高转速的泵将会付出更多的购买成本,相对于日积月累更多的能耗,在日益强调节能降耗的大背景下,显然选用低转速的节能产品是值得的。3、各真空泵点合理组合。应将真空度和空间位置相近的真空点组合在一起,用一台较大型的真空泵来抽吸,组合应考虑有利于管路布置,组合应区别各功能区,在气量相近,真空度不同时可选用带隔板的泵,比如,在上下毛布的吸水箱之间、在不同真空吸移辊之间都可以选用带隔板的泵。4、真空泵组合气量应进行换算。因气体是可压缩的,高压气体减压为低压气体时气体体积会发生膨胀。如需将真空伏辊的高真空室和低真空室组合,高真空室的真空度和气量分别为-65kPa和80m3/min,低真空室的真空度和气量分别为-40kPa和50m3/m...
2019 - 03 - 20
1、2X系列旋片式真空泵的简介:深圳恒才机电设备有限公司2X系列旋片式真空泵为康斯顿品牌,采用WEG德国电机,高抽速高极限真空度,工作噪音低于62分贝,水蒸气抽除能力强,环保,泵内装有油雾消除器排油能力强,结构紧凑,设计科学合理和轻便,客户很方便就可以安装在工业系统中。2、2X旋片真空泵系列型号参数表:3、旋片真空泵的原理: 旋片真空泵的工作原理:它的转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近,在转子槽内装有两个(或两个以上)旋片,当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触,此旋片随转子一起旋转,可将泵腔分成几个可变容积。旋片式真空泵属于低真空泵。它可以单独使用,也可以作为其他高真空泵或超高真空泵的前级泵。旋片泵多为中小型泵,产品已经系列化。旋片泵有单级和双级两种,一般多做成双级的,以获得较高的真空度。旋片泵绝大多数是单工作腔结构,常用两个径向滑片,也有用三个斜置滑片的。贯穿滑片真空泵也有应用。 4、2X型旋片式真空泵的用途及适用范围:由于21世纪科技的发展进步,真空技术无处不在,其中2X型旋片式真空泵常常应用于印刷包装、吸持、装卸、输送、吊运、实验室、医疗负压、真空热处理、粘贴等等行业中,1、2X式旋片真空泵可以用来直接获得真空度在10-3torr以下的真空作业,以及配合其它真空设备获得真空度10-3torr以上的真空作用之用。2、可以供给医疗...
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Hot News / 热点新闻
发布时间: 2026 - 07 - 20
来源: 1133
AI数据中心冷却系统磁力泵怎么选?认准德国SPECK,告别泄漏与低效焦虑随着AI大模型和智算中心的爆发式增长,单机柜功率密度正从传统的10kW向100kW甚至更高跃升。传统的风冷已逼近物理极限,液冷技术成为AI数据中心的“必选项”。然而,在液冷系统中,冷却液循环泵被称为“心脏”,其可靠性直接决定了千万级IT资产的安全。面对市场上琳琅满目的泵类产品,AI数据中心冷却系统的磁力泵究竟该怎么选?一、 选...
发布时间: 2021 - 11 - 02
来源: 107
型材挤出成型设备之高耗水量及高能耗,如何才能解决橡塑挤出不节能、高能耗、高产能问题等?这是很多挤出行业所需要考虑的问题。恒才机电设备公司,为解决挤出成型设备的高能耗、高水耗等问题,设计了真空节能真空系统,突破以往真空系统设计,采用司倍克SPECK真空泵,改以小型真空节能系统取代中大型中央真空系统,SPECK--BluVac系列节能真空系统由此问世。这款中央真空系统应用于挤出机设备有哪些特点呢?1.高节能,从高能耗能源输出改以小型单机分段控制,避免产能变化时所产生的能源浪费,降低现行挤出成型设备能耗,平均省下高达70% 的能耗。2.改善设计,搭配SPECK专利设计的真空桶槽与智能控制器,在现有成型技术上可直接实现,在管路搭配微调,同时兼容挤出成型设备真空系统新旧设备的应用。3.操作简单,在智能控制器上简单设定真空条件数值后,系统自动运行,且在达到所设定之操作真空值时系统会自行计算负载量,并调整设备输出能耗。4.提高产能,改善质量,SPECK BluVac系列节能真空系统的应用,既能达到节能效果,还能提高设备产能和产品稳定性,进而提升客户产值,将设备产能最大化,是挤出成型设备专用的真空系统,并将型材技术应用带入次世代之领域。恒才机电所设计的中央真空系统,实现降低现行成型设备能耗,平均会省下高达70% 的能耗,该系统依照真空泵与水泵的变频电机设计搭配SPECK专利设计之真空桶槽与智能控制器,并在现有成型技术上可直接实现,不需变更任何设计,只需在管路搭配上做些微调整即可,并同时兼容新旧设备之应用。深圳恒才机电设备有限公司致力于泵浦工程,通过从设计、选型、安装、调试、维保等一站式服务,主要有水环真空泵、旋片真空泵、罗茨真空泵、螺杆真空泵、干式真空泵、真空机组配套、真空系统、真空解决方案等,为客户提供泵浦方面的优质工程方案。
发布时间: 2018 - 05 - 17
来源: 297
高温磁力泵(高温水泵)采用自然散热结构,改变了传统的水冷结构,使结构简单体积小,节约运行费用,性能好,所以被广泛应用于石油、化工、冶金、矿山、造船、电力、农业、国防、国防等多个行业中,有着重要的作用。那么如何正确使用高温磁力泵呢,下面小编总结了高温磁力泵的正确调试方法和噪音出问题的两点供参考:一、调试高温磁力泵的方法有:1、高温磁力泵应水平安装,开车前应检查冷却箱之润滑油的油位,若油位过低时应及时补充。开泵前,首先应打开冷却水回路,进水管阀门的开启度应根据泵正常工作后冷却出水管的温度进行调节。2、当抽吸液面高于果轴心线时,起动前打开吸入管道阀门即可,若抽吸液面低于泵轴心线时,管道需配备底阀。3、泵使用前检查,电机风叶转动要灵活,无卡住及异常声响,各紧固件要紧固。4、检查电机旋转方向是否与磁力泵转向标记一致。5、电机启动后,缓慢打开排出阀,待泵进入正常工作状态后,再将排出阀调到所需开度。6、高温磁力泵在停止工作前,应先关闭排出阀门,然后切断电源,再关闭冷却水管阀门。二、使用过程中高温磁力泵出现较大噪音,应该注意哪些?  目前,市场上所有品牌的各型号磁力泵的工作参数均不一样,如果按照最原始的设计,直接更换不同品牌不同型号的磁力泵,由于泵的压力和流量等参数都不相同,会使高温磁力泵的工作点不稳定,从而引发噪音,甚至损坏高温磁力泵。    泵体内介质不纯,含有大量杂质,或者未按照要求使用,使泵在运转过程中陶瓷轴体发生损坏、断裂等现象,从而使泵体无法正常运转,产生较大噪音。  建议对设备的介质进行过滤等处理,保证介质纯净无杂质,同时对于设备以及泵按照要求使用、做好保养措施,从而保证高温磁力泵的使用寿命和性能。  根据以前客户反映,客户实例如下,拆卸泵发现泵腔内含有大量的可见固体杂质:  介质含有杂质或不按要求使用会对轴等部件造成损坏,使用过程中须严格按照厂家使用手册中标准使用...
发布时间: 2018 - 05 - 14
来源: 296
水环式真空泵的工作原理大家都知道,是气体由管路经阀门进入水环泵或压缩机,然后经导气弯管排入气水分离器中,经气水分离器排气管排出。水环式真空泵使用行业广泛,如电子、电池化工、塑胶、造纸、包装印刷、线路版压合、CNC、石油、制药、食品等各行业中,主要工艺有真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等等,那么购买水环式真空泵的时候应该注意哪些问题呢?下面总结了8点不可忽视的重要参数:                                              1、水环式真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。2、针对被抽气体选择相应的水环真空泵。如气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体,应考虑在泵的进气管路安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。3、水环式真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。4、水环式真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响,若工艺过程不允许,应选择无振动的真空泵或者采取防振措施。5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应选各种无油泵。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施。6、水环式真空泵排除的油蒸汽对环境的影响。如果环境不允许有污染,可以选无油水环式真空泵,或者把油蒸汽排到室外。7、正确地组合水环式真空泵。有的水环式真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的出口压强低于大气压,需要前级泵,因此需要把泵组合起来使用。8、水环式真空泵的价格、运转及维修费用。&...
发布时间: 2018 - 05 - 11
来源: 284
最近接受到模温机行业客户的一些咨询,模温机的使用中出现高温油泵漏油的情况,却找不到原因,下面小编来说一下高温油泵漏油应该从哪里着手,以及出现泵漏油的情况有哪些,应该如何正确使用模温机和高温油泵? 第一,要特别注意曲高温油泵轴前端和后端的油封处是否漏油。曲轴的前端油封破裂损坏、老化或曲轴带轮与油封接触面磨损,会引起曲轴前端漏油。曲轴后端的油封破裂损坏,或后主轴承盖的回油孔过小,回油受阻,会引起曲轴后端漏油。另外还应注意凸轮轴后端油封是否漏油。油封老化、破裂漏油应及时更换。除此之外,还要检查发动机润滑系各零部件是否存在外漏现象。       第二,如果高温油泵前后油封处漏油,甚至前后气缸盖罩、前后气门挺杆室、机油滤清器、油底壳衬垫等多处有机油渗出,但又找不到明显的漏油处,应该检查曲轴箱通风装置,清理曲轴箱通风管道,尤其是检查PCV阀是否由于积炭和结胶卡滞是否造成工作不良。如果曲轴箱通风不良很可能会导致曲轴箱内压力升高,从而出现多处机油渗漏现象。       第三,如果机油滤清器及一些机油管路的接头处经过紧固后还是漏油,应该注意检查机油压力是否过高,机油限压阀是否工作不良。在模温机的运用过程中,往往很多不恰当的操作会影响机组的运用性能,有些客户更严重的可能会损坏模温机高温油泵机组.从维修部门经验看,由以为操作不恰当所引起的模温机作业仍是占相当大的比重.因此,总结出一部分运用中应该留意的事项,希望引起重视:  1、模温机的管路需要定时清洗,特别是体系进口的过滤器网罩,最好一个月清洗一次.  2、定时查看模温机高温水泵/高温油泵是否漏油,有需要的话,泵轴封也是需要定时更换的.  3、定期查看模温机加热管,如果有积水垢的话,能以用较细的砂纸轻轻摩擦加热管表面...
发布时间: 2018 - 05 - 09
来源: 362
一般真空泵选型的最基础的三个重要参数,抽气量,真空度和压强。抽气量:抽气量是真空泵抽速的一个衡量因素。一般单位用L/S和m3/h来表示。是弥补漏气率的参数。不难理解,理论下抽一个相同体积的容器,为什么抽气量大的真空泵很容易抽到我们所需的真空度,而抽气量小的真空泵很慢甚至无法抽到我们想要的真空度?因为管路或者容器始终不可能做到绝对不漏气,而抽气量大的弥补了漏气所带来的真空度下降的因素,所以,大气量的很容易抽到理想真空度值。这里建议,在计算出理论抽气量的情况下,我们尽量选择高一级的抽气量的真空泵。抽气量具体计算公式以下会介绍。真空度:处于真空状态下的气体稀簿程度,通常用真空度表示。从真空表所读得的数值称真空度。真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值,从表上表示出来的数值又称为表压强,业界也称为极限相对压强,即: 真空度=大气压强-绝对压强(大气压强一般取101325Pa,水环式真空泵极限绝对压强3300Pa;旋片式真空泵极限绝对压强约10Pa)。极限绝对压强:绝对压强即所测内部压强比”理论真空(理论真空压强值为0Pa)”高多少压强。它所比较的对象为理论状态的绝对真空压强值。由于工艺所限,我们无论如何都不能将内部压强抽到绝对真空0Pa这个数值,因此,真空泵所抽的真空值比理论真空值要高。所以当用绝对真空表示时,数值前面无负号。极限相对压强:相对压强即所测内部压强比“大气压”低多少压强。表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值。由于容器内部空气被抽,因此,内部的压强始终低于容器外部压强。所以当用相对压强或者表压强表示的时候,数值前面必须带负号,表示容器内部压强比外部压强低。当然除了这三个最基础的真空泵参数,还有一些真空泵选型的更细参数也需要注意,例如被抽的介质含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体等等。因此我们在选择真空泵时一定要认真细致,符合自身要求,这样才能达到效率...
发布时间: 2018 - 05 - 04
来源: 267
一、高温磁力泵介绍:高温磁力泵(磁力驱动泵)主要由泵头、磁力传动器、电动机、连接底板等几部分零件组成。磁力泵磁力传动器由外磁转子、内磁转子及不导磁的隔离套组成当电动机带动外磁转子旋转时,磁场能穿透空气隙和非磁性物质,带动与叶轮相连的内磁转子作同步旋转,实现动力的无接触同步传递,将容易泄露的动密封结构转化为零泄漏的静密封结构。由于磁力泵泵轴、内磁转子被泵体、隔离套完全封闭,从而彻底解决了“跑、冒、滴、漏”问题。 二、高温磁力泵的选型1、在选择高温磁力泵时,须根据介质种类,介质的密度,使用温度高低,扬程要求,以及介质的粘度情况来选型。同时根据不同型号磁力泵的流量和压力,对应更改设备的结构和设计,如改变进液量、分流、分压等措施,使高温磁力泵处于最佳工作点即可解决噪音问题,同时也可以增加高温磁泵的使用寿命和性能。2、以上为德国SPECK品牌高温磁力泵型号参数表,仅为部分标准款,高温磁力泵可接受水温最高220℃,油温最高350℃,也可接受标准以及非标定做!
发布时间: 2018 - 04 - 28
来源: 219
2018年劳动节放假安排:4月29日(星期天)至5月1日(星期二)5月2日(星期三)恢复上班。 劳动节的来历:节日源于美国芝加哥城的工人大罢工,为纪念这次伟大的工人运动,1889年的第二国际成立大会上宣布将每年的五月一日定为国际劳动节。  劳动节的高速免费吗?今年五一放假期间,高速公路继续免费,免费时间为4月29日0点-5月1日24点。 深圳恒才机电“五一”祝福生活—因劳动而富裕;生命—因劳动而精彩;心灵—因劳动而美丽;爱情—因劳动而甜蜜;人生—因劳动而有价值;深圳恒才机电设备有限公司全体员工祝各位客户“五一”劳动节快乐!
发布时间: 2018 - 04 - 27
来源: 319
真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术,真空镀膜设备是镀膜工业上的一个重要部分。借一真空镀膜企业家的话,真空镀膜表面技术就是为客户的产品做“美容”---外观更丰富多彩、更亮丽。真空镀膜技术已广泛的应用在如:装饰品、刀具、模具等金属切削工具、光学仪器、集成电路制造、太阳能利用、平板显示器、建筑玻璃和汽车玻璃、防伪技术、飞机防护涂层、信息存储领域、传感器等等 真空镀膜常用的真空泵有如下几种: 一、真空镀膜旋片真空泵真空镀膜中选的旋片真空泵主要由泵体(静子)和转子组成。在转子槽中装有两块以上的旋片,有些泵旋片间还装有弹簧。转子偏心地装在泵腔内,其外缘与泵腔顶部表面的间隙为2~3微米。转子旋转时,在离心力等作用下,旋片沿槽作往复滑动并与泵腔内壁始终保持接触,将泵腔分成两个或几个可变容积的工作室。转子顺时针方向旋转时,与吸气口相通的吸气腔容积由零逐渐增大,腔内气体压力降低,被抽气体便从吸气口源源不断地吸入。同时,与排气口相通的排气腔容积由大变小,吸入腔内的气体被压缩,待气体压力高于大气压力时,推开排气阀排出大气。转子连续转动,泵便不断抽气。 二、真空镀膜罗茨真空泵真空镀膜中罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘,v0空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间v0中去,使气体压强突然增高。当转子继续转动时,气体排出泵外。罗茨泵在泵腔内,有二个'8'字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮...
发布时间: 2018 - 03 - 19
来源: 313
常常有客户为选型真空泵的问题来寻问,其实选用真空泵时主要根据泵的抽气速率和极限真空度两个指标。极限真空度由生产工艺条件决定,这是不难知道的,然而在选用时对于真空泵的抽气能力,常常缺乏数据,以致束手无策。下面小编介绍一些计算方法供工作中参考。真空泵的抽气量应该包括:从生产过程中放出的不凝性气体,冷却水释放的溶解空气,过程中流体的饱和蒸汽压的当量位,以及从设备和管道连接不严密处漏入的空气。但是,由于过程中放出的不凝性气体量一般很小,可以忽略不计,故关键组成是最后两项。一、真空系统渗漏的空气量可用以下四种方法中的任一种加以确定:1、根据真空系统设备和管道的总体积;2、根据真空系统所装配的设备和管道附件;此法虽比较保守,但所得结果可适应空气渗漏量有较大波动的情况,对操作是适宜的。3、还可根据真空设备、管道及其他附件衬垫的接缝长度,按每米漏入的空气量为0.05~0.07[公斤/小时]计算,然后加倍即成。二、那么选择真空泵的一些参数条件:1、真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。2、每种泵都有一定的工作压力范围,因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。3、真空泵在其工作压力下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。4、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响,若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。5、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸汽,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。6、当选择油封真空泵时,要考虑真空泵排出来的油蒸汽(油烟)对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,应该选无油真空泵,或者把油蒸汽排到室外。7、选择真空机...
发布时间: 2026 - 04 - 03
来源: 980
在半导体封装晶圆吸附工艺中,选择真空泵需综合考虑真空度、抽速、洁净度、兼容性、稳定性及成本等因素,以下是具体选择建议:一、明确工艺需求真空度要求:晶圆吸附工艺通常需要较高的真空度,以确保晶圆能够牢固地吸附在工作台上,避免在加工过程中发生位移。一般来说,真空度要求在-90kPa至-95kPa(约10050mbar绝压)之间。抽速要求:抽速决定了真空泵建立真空环境的速度。在晶圆吸附工艺中,需要快速建立稳定的真空环境,因此抽速是一个重要的考虑因素。抽速一般要求≥50m³/h/工位。洁净度要求:半导体制造对洁净度要求极高,真空泵在运行过程中不能产生颗粒物污染,以免影响晶圆质量。兼容性要求:真空泵需要能够耐受晶圆加工过程中产生的各种工艺气体,如光刻胶蒸汽、腐蚀性气体等。稳定性要求:真空泵需要能够连续稳定运行,以满足24小时不间断生产的需求。二、选择真空泵类型在半导体封装晶圆吸附工艺中,常用的真空泵类型包括干式螺杆泵、爪泵、罗茨泵等。这些泵型具有无油、耐粉尘、抽速大等特点,适合用于粗低真空环境。干式螺杆泵:具有结构简单、维护方便、抽速稳定等优点,且能够耐受一定的腐蚀性气体。爪泵:同样具有无油、耐粉尘的特点,且抽速较大,适合用于需要快速建立真空环境的场合。罗茨泵:通常与干泵串联使用,能够提升真空度至1Pa级,满足更高真空度的需求。三、考虑具体参数与性能极限真空度:选择能够达到所需真空度的真空泵,一般要求极限真空度低于工艺要求的真空度一个数量级以上。抽速范围:根据工艺需求选择合适的抽速范围,确保真空泵能够快速建立稳定的真空环境。颗粒物控制:选择具有高效颗粒物过滤系统的真空泵,确保排气口颗粒物浓度符合行业标准要求。材料兼容性:确保真空泵的材料能够耐受工艺气体,避免产生腐蚀或污染。稳定性与可靠性:选择具有长寿命、低故障率的真空泵,减少生产线停机时间。四、关注能耗与运行成本能耗:选择能...
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