干式真空泵是无油干式机械真空泵的简称。干式真空泵是一种不使用油、水或其他聚合物等流体作为工作介质的真空泵。这使得干式真空泵的清洁度更好，并防止油污染。因此，干式真空泵主要用于对洁净度要求较高的真空等离子清洗机，如半导体领域、生物医学领域和航空航天领域。真空等离子清洗机上最常用的干式真空泵之一是干式螺杆真空泵。
干式螺杆真空泵
干式螺杆真空泵是一种真空泵，它利用一对螺杆在真空泵壳体内高速同步反向旋转，从而产生作用力，实现抽吸和排气的功能。由于干式螺杆真空泵相互之间没有摩擦，运行平稳，噪音低，所以工作腔内不需要润滑油。干式螺杆真空泵是一种性能优异的干式真空泵，与其他真空泵相比有很多优点：
第一，干式螺杆真空泵的极限真空度很高，最高极限真空可达到1-2Pa；
第二，干式螺杆真空泵性能稳定，噪音低，故障率低，维护简单;
第三，干式螺杆真空泵的一种工作腔和螺杆转子表面均有防腐涂层，可适应恶劣工况。
深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、印刷行业、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械等工业领域应用，恒才真空泵厂家始终以稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真空解决方案、定制化中央集成真空系统。