真空镀膜技术是真空泵应用技术的一个重要分支，它已普遍地应用于光学、电子学、能源开发，理化仪器、建筑机械、包装、民用制品、外表科学以及科学研讨等范畴中。真空镀膜所采用的办法主要有蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流堆积镀以及分子束外延等。如果真空镀膜的目的是为了改动物质外表的物理和化学性能的话，这一技术无疑是真空外表处置技术中的重要组成局部。在元件方面，在真空中蒸发镍铬，能够制造电阻，制造电容器，蒸发硒能够得到静电复印机用的硒鼓、蒸发钛酸钡能够制造磁致伸缩的起声元件等等。真空蒸发还能够用于制造超导膜和惯性约束剧变反响用的微珠镀层。此外还能够对珠宝、钟表外壳外表、纺织品金属花纹、金丝银丝线等蒸镀装饰用薄膜，以及采用溅射镀或离子镀对刀具、模具等制造超硬膜。近两年内所兴起的多弧离子镀制备钛金制品，如不锈钢薄板、镜面板、包柱、扶手、高档床托架、楼梯栏杆等目前正在盛行。

　　真空镀膜设备不间断使用十二个月以上，里面的抽速就会变慢，这就要及时的做清洗工作，那么如何对真空镀膜设备进行全方面的维护呢?

　　首先充入大气，拆去联结水管，卸去电炉盘和喷嘴，泵腔及泵胆分三次清洗，先用汽油将清洗一遍，再用洗衣粉清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净。

　　等到晒干之后，重新加入泵油，装好泵胆，并装回机体，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。

　　真空镀膜设备每完成二百个镀膜程序以上，应清洁工作室一次，镀膜设备厂家表明用烧碱饱和溶液反复擦洗真空室内壁，注意安全不可以直接接触烧碱溶液，以免灼伤，目的是使镀上去的膜料铝与烧碱发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气，再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。

　　真空镀膜设备里面的粗抽真空泵连续工作三十天就要换新油，真空镀膜机泵油使用过久，可能抽入水分、杂质及其它原因，而使用油粘性变差，真空下降，故需要更换泵油，将泵内的旧油全部排放出来。拧回放油螺栓，加入无杂质真空油至额定量。 !