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2019 - 07 - 19
旋片式真空泵故障现象及真空泵维修方法文字:旋片式真空泵遇到故障现象,不用担心,直接找我们的真空泵维修人员。一,旋片式真空泵烟雾和燃油喷射指旋片式真空泵在排气口操作烟雾或燃油喷射。1.冒烟,如果泵刚刚开始运转,就会有烟雾,这是正常现象。如果你吸烟很长时间,这是不正常的。真空泵维修方法:烟雾指示泵入口外部,包括管道,阀门和容器的维护。检测到泄漏后,烟雾将结束。2,注射,表明进气口外大量泄漏,甚至进气口暴露在大气中。真空泵维护方法:密封泵的进气口,使泵运转。如果没有燃油喷射,则会发生泄漏;排气阀损坏,检查排气阀是否损坏,更换排气阀。二,旋片式真空泵噪音这里指的是泵的噪音。1.当你碰到气缸时,泵在运行时会发出不规则的声音,就像金属水龙头的声音一样。这是旋转盘撞击泵体时发出的声音。这种情况主要是由成对转子叶片之间的弹簧破裂或收缩或弹出故障引起的。真空泵维修方法:打开泵检查转子弹簧是否损坏。更换弹簧。2.排气阀的噪音主要是由于泵排气阀的损坏。真空泵维修方法:更换排气阀。在旋片式真空泵的运行中,如果操作不当,经常会出现真空泵真空,烟雾,燃油喷射,油封泄漏,噪音等故障,以及真空泵油乳化泵。在这种情况下,首先,不要惊慌,等待根据故障排除关机。以上是对故障现象的总结,以及真空泵的维护方法,希望对大家有所帮助。以上是旋片式真空泵和真空泵维护方法的共用。你学到了多少?如果您想了解更多关于真空泵的信息,请关...
2019 - 07 - 25
通常,离心泵的入口管线通常大于泵的入口直径,因此泵入口的安装直径减小。这两张照片显示了不同数量的离心泵,它们也是泵的吸入口。一个选择顶部平面设计,另一个选择底部平面设计。关于端吸式离心泵进水管上偏心头的安装问题(即泵入口为水平进水口),在泵管标准教科书中,规定为:偏心不同直径水平管道上的管道直径方向(水平部分向上或向下),由没有液袋或气囊确定(在两种情况下):1.当介质从顶部泵入底部时,底部偏心,安装头部,不存在液袋;  2.当介质从底部泵送到顶部时,顶部偏心,头部安装,没有安全气囊;一般来说,它通常“达到最低水平,直至最高水平”。还有:使用浆液或固体介质应平整。在离心泵的入口和出口处改变管道直径有什么用?主要是降低管道中介质的流速,降低流速,减少管道中流动介质的摩擦。离心泵入口处的水平偏心减速器通常布置在俯视图中,但是在减速器直接连接到向上弯曲的弯头的情况下,可以使用底部平面图。减速器应靠近泵入口。顶部扁平安装的原因是为了防止气体在偏心减速器中积聚并进入离心泵,并且发生气体腐蚀泵。当水平吸入离心泵入口减少时,管道从泵的底部到顶部安装,自下而下的泵从顶部到底部安装(以防止气体在泵口处积聚,它也安装了平顶)。并且抽吸速度低于杂质的沉降速度,并安装底板。原理是没有形成气穴。空化和污水排放是影响偏心头安装的两个主要因素。一般情况下,如果没有特别说明,为了考虑防汽蚀,顶...
2019 - 07 - 29
进口真空泵应在安装前按如下方式准备:(1)在安装部件之前,应完成清洁过程。其意思是去除加工过程中金属部件染色的油污,污垢,助焊剂和其他杂质,防止安装后进口真空系统内部产生气源。将去污染粉末去污染并用热水洗涤,然后用热空气干燥,最后用有机溶剂干燥。(2)安装前检查零件,并立即拆除有泄漏的零件,以防止泄漏的零件装在系统上,这对真空系统的调试不方便。(3)检查进口真空泵阀等部件的特性是否符合设计要求。(4)根据电气图检查电路是否完整。开关是指开路位置,相关测试仪器是否处于零点,接地线是否接地,以及操作是否安全。安装进口真空泵系统时需要注意的特殊问题是安装需要与泄漏检测工作紧密结合。该过程是安装机械泵并首先泵送空气,然后在需要真空度后安装主泵,从不安装系统。做好漏气检测,否则如果发生泄漏,将给安装工作带来不便。同时,在安装过程中,必须特别注意静密封法兰上的橡胶圈和法兰密封面。该标记可防止安装后漏气。
2019 - 08 - 01
今天,我们公司的小编向您介绍真空泵维修的真空度不稳定性。首先,我们来看看极限真空是什么。极限真空是指泵在稳定运行时可以达到的最小真空压力。泵打开后不久,泵可以达到最低压力范围。在真空泵运行一段时间后,泵温度将升高并导致润滑剂。饱和蒸气压和粘度变化等性能参数和极限真空压力都有一定的小波动,但经过一段时间的运行后,其趋于稳定的真空压力值。这个稳定的值是我们通常所说的真空泵的最终压力。真空泵维修用真空泵的极限真空不稳定性有哪些影响因素?真空泵压力的不稳定性有很多因素,例如泵送时间,润滑油,泵本身的加工精度,泵部件之间的间隙调整以及有害空间。1.真空泵油对真空泵的影响对于真空泵油的高度,即泵的循环油量。旋片泵的循环油量也大,密封效果越好,极限压力越低;但是,由于真空泵运行过程中旋片泵的真空泵油中的空气和水蒸气的释放极限压力,所以循环油的量不尽可能大,应该有一个合适的值。其中,在理想条件下(油不释放空气和水吞咽气体),循环油量与极限压力之间的关系,即真空泵油越高,极限压力越低;主要考虑的是在真空泵油和极限压力下释放空气和水蒸气。随着循环油量的增加,这种关系越来越高。当油量达到一定值时,极限压力最低,然后随着油量的增加而增加。随着真空泵油的上升,油的饱和蒸气压也增加,挥发的气态油也增加,这大大增加了旋片泵的极限压力,因此应尽可能降低油的温度。减少旋片泵的极限压力。目前使用的方法主要包括泵油的水...
2019 - 08 - 06
真空泵是化学生产中的常见类型的设备,其通过泵送容器以获得并保持真空而获得。罗茨真空泵和其他相关设备构成真空系统,主要用于化学过程控制或将封闭管道中的材料从一个地方运输到另一个地方。目前,大多数使用的真空泵是卧式往复真空泵和水环真空泵。正在使用。上述真空泵具有某些缺点。因为在化学过程控制过程中,随着反应的进行,对真空度的要求从高到高逐渐降低,并且上述真空泵的电动机总是在额定功率下运行。如果刚刚开始反应,则给出泵送系统。一方面,较高的泵送速率将导致反应系统中的有机溶剂被报告,另一方面,操作难以控制。如果在反应的初始阶段需要较低的真空度,通常通过将真空缓冲缸上的排气阀打开到一定角度来解决。因此,由于真空泵吸入大量空气,生产现场非常嘈杂。同时,电动机功率未被充分利用,导致功率浪费。针对上述现象,选用罗茨真空机组取代上述真空泵。运行一段时间后,W型卧式往复真空泵和水环真空泵的缺陷得到了较好的解决,节电效果明显。随着经济的不断发展,罗茨真空泵机组也发展迅速。罗茨真空泵机组已在中国得到广泛推广和应用。1.目前,国内外几乎所有大小型高真空和中等真空系统都配备罗茨真空泵,以缩短抽水时间,提高生产效率。因此,罗茨泵必须在占领国内市场的基础上尝试进入国际市场。在市场上,有必要进一步降低国产罗茨真空泵的振动和噪音,彻底解决轴封漏油问题,提高泵的外观质量,提高泵的平稳性和清洁度;2,为了满足不同极限真空的要...
2019 - 08 - 09
目前,国内外常用的烟气脱硫方法大致可分为三种类型:湿法废弃工艺,湿法回收工艺和干法工艺。其中,旋片式真空泵在烟气中的应用为节能做出了巨大贡献。当烟气脱硫时,产生石膏浆,需要通过旋片式真空泵脱水,形成石膏产品;过滤产生的一些杂质,水蒸气和少量水将进入真空泵,Punok旋片式真空泵以水为工作。组件之间的介质和间隙可以在工作条件下有效运行,满足客户的使用需求,是用户的理想选择。烟气脱硫是指从烟道气或其他工业废气中除去硫氧化物(SO2和SO3)。烟气脱硫,在FGD技术中,根据脱硫剂的种类,可分为以下五种方法:CaCO3(石灰石)基钙法,MgO基镁法,Na2SO3基钠法,NH3基氨法,有机碱法有机基础法为什么需要对烟气进行脱硫?脱硫是指在燃烧前从燃料中除去硫和在烟气排放之前的脱硫过程。这是防治空气污染的重要技术措施之一。随着工业的发展和人民生活水平的提高,对能源的渴求也在增加,燃煤烟气中的二氧化硫已成为空气污染的主要原因。减少二氧化硫污染已成为当今大气环境管理的重中之重。许多用于烟气脱硫的旋片式真空泵已广泛应用于工业中,对各种锅炉和焚烧炉废气的处理具有重要的现实意义。具体应用应详细分析,从投资,运行和环境保护等方面选择合适的真空脱硫技术。随着科学技术的发展,旋片式真空泵在烟气脱硫技术中的应用是开发新型烟气脱硫技术的重要途径。由于其独特的特性,它易于使用,易于安装和维护;无油泄漏,无喷油,对工...
2019 - 08 - 14
在特定机器/产品(例如汽车和冰箱)的最终组装阶段,制造商需要在产品出厂前用产品填充流体系统。为了提高液体灌装速度,员工应该做的第一件事就是使用真空技术(通常是旋片式真空泵)来快速排空流体系统内的空气。同时,必须在灌装过程结束时安装额外的真空系统,以避免过量填充和精确测量液体体积。本文主要介绍了旋片式真空泵在流体系统中的应用优势。流体系统是流体机械的重要组成部分;在机械工程领域中,流体系统是指与一维流体网络相关的组件和流体的集合。流体系统通常包括阀门,液体泵(或气体压缩机),管道,诸如接头,孔和喷嘴的部件也可包括一些不规则形状的腔室和通道。旋片式真空泵的关键点是什么?1.旋片真空泵用于泵送清洁气体,不能泵送有毒,易燃,易爆,腐蚀性气体,溶剂和粉末。如易燃气体,特殊或高浓度强酸和强碱性气体,含有国家特殊化学品的特定成分。这些气体容易发生轴承故障。2.进气温度必须3.要泵送含有水蒸汽的气体,打开气镇阀并泵送气体。泵送气体的水蒸气含量需要为23克/天或更低。如果超过此限制,将缩短气镇阀的使用寿命。4.旋片式真空泵禁止在腐蚀性,易燃,易爆气体或蒸汽环境中工作,否则会引起爆炸,火灾等危险。5.禁止一两个人移动此泵。由专业人员进行处理,安装,配置,接线,操作,维护和检查,否则可能导致电击,伤害或损坏泵甚至真空室的风险。6.禁止继续使用损坏的泵,否则会有诸如人身伤害,触电甚至损坏泵系统等危险。7....
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Hot News / 热点新闻
发布时间: 2026 - 08 - 21
来源: 1243
从“一机一泵”到“集中供气”,恒才重新定义PCB层压真空新标准过去三十年,中国PCB行业从低端双面板制造起步,一路走到今天成为全球高端HDI板、IC载板、AI服务器主板的核心生产基地,工艺精度从毫米级进化到微米级,产品附加值提升了数十倍。但很多工厂的层压真空系统,却依然停留在几十年前“一台层压机配一台油旋片泵”的传统模式里。这套方案在产能优先的时代尚能勉强应付,却在如今高密度、高良率、绿色制造的行...
发布时间: 2020 - 02 - 25
来源: 175
如果旋片真空泵运行不正常,往往会出现问题,如旋片真空泵真空度下降、喷油、冒烟、油封漏油、噪音等情况,以及真空泵油在泵内乳化等。如果出现这种情况,首先不用担心,今后就按照故障逐一等待关机扫描。这里有一些解决问题的方法。  1.旋片真空泵吸油和喷油:这意味着旋片真空泵在工作时在排气口吸油或喷油。  1、吸烟时,如果泵刚刚开始工作,有冒烟现象,恢复正常,如果长时间吸烟不正常。如何处理:烟雾表示修理泵进气口外的管道、阀门和容器。泄漏检测将在未来处理,吸烟将结束。涡街流量米  2、燃油喷射,说明进气口外有许多泄漏点,甚至进气口都暴露在大气中。如何处理:密封泵的进气口,使泵工作,如果没有油注入,澄清泄漏点;排气阀片损坏,检查排气阀片是否损坏,更换损坏的排气阀片。  2.旋片真空泵的噪声:这里指的是泵的噪声。  1.当钢瓶被敲击时,泵发出不规则的噪音,像金属撞击金属的声音。这是转子撞击泵体时发出的声音。这种情况主要是由于配套旋转板之间的拉簧断裂造成的,可能是收缩或弹出故障造成的。处理方法:翻转泵,看看螺旋弹簧是否损坏。更换弹簧。  2、排气阀片发出噪音,首先是泵排气阀片损坏。如何处理:更换排气阀片。  3.旋片真空泵真空度下降:指目前测得的旋叶真空泵真空度低于工厂目标或以前使用的真空度。真空度低有很多原因。以下是一些基本条件。  1.这次添加的旋片真空泵油的商标与原来的不同。不同品牌的真空泵油有不同的结果,因为不同品牌的油的全蒸汽压不同。处理:根据货物的型号标准更换正确的新真空泵油。  2.另一个原因是由真空泵油形成的真空度低,即真空泵油被乳化和脱色,并且可能太脏。处理:排空泵内的所有真空泵油,更换同类型的真空泵油,并处理泵内泵送气体进入中的水蒸气和杂质。  3.泵送气体的温度可能过高。处理方法:降低泵送气体的温度或增加相应的热交换器。  4.泵中的油道可能不平滑,并且一定量的油没有保留...
发布时间: 2020 - 02 - 25
来源: 270
离心泵出口的止回阀的作用就是防止出口管路中的液体倒流形成水锤造成泵内叶轮损伤。  止回阀的安装与泵的多少无关,止回阀主要为了在泵停止运行后,防止液体回流,使泵倒转,从而造成损坏泵的事故,并且为了防止液体倒流对其他储罐等的损坏(从高位罐倒流会造成罐补抽坏)。因此最好加上止回阀。  如果能保证停泵前先关闭出口阀,且出口阀不内漏或损坏,也可以不安止回阀。  离心泵出口止回阀门'止回阀'的选型  一般的泵站工程情况,对于泵出口止回阀的选择,应遵循以下原则;  1、对泵出口管路口径较小的管路,即DN ≤50mm时,应选用升降式止回阀。  2、对泵出口管路口径DN50mm的管路,应选用旋启式止回阀旋启式止回阀可以水平或垂直安装。旋启式止回阀阀瓣绕转轴作旋转运动,其流体阻力一般小于升降式止回阀,它适用于较大口径的场合,安装位置不受限制,通常安装于水平管路,它适用与较大口径的场合。根据阀瓣的数目可分为单瓣旋启式、双瓣旋启式及多瓣旋启式三种。单瓣旋启式止回阀一般使用与中等口径的场合。大口径管路选用单瓣旋启式止回阀时,为减小水锤压力,最好采用能减小水锤压力的缓闭止回阀。双瓣旋启式止回阀适用与大中口径管路。对夹双瓣旋启式止回阀结构小、重量轻,是一种较快的止回阀;多瓣旋启式止回阀适用与大口径管路。  离心泵出口止回阀的安装  ① 旋启式止回阀一般安装在水平管道上:对于口径DN~80mm的止回阀,也可安装在垂直或向上倾斜的管道上。  ② 直通式升降式止回阀应安装在水平管道上;立式升降式止回阀必须安装在垂直管道上,介质为自下而上流动。  ③ 由于止回阀容易损坏,因此,应靠近泵出口安装止回阀,在止回阀上部设有切断阀(一般用球阀或闸阀),方便检修。  ④ 为便于止回阀拆卸前泄压,对于止回阀本身不带放净阀的,应在止回阀与切断阀之间加装泄压用放净阀。  防止水力冲击对止回阀密封面损坏的保护措施...
发布时间: 2020 - 02 - 25
来源: 197
性价比高、技术可靠性强、使用寿命长是旋片真空泵多年来得到广泛应用的重要因素。旋片真空泵具有油润滑和密封结构,因此影响旋片真空泵可靠性和使用寿命的最重要因素是泵内蒸汽和化学物质的侵蚀以及润滑剂的老化。  1.蒸汽提取  大多数旋片真空泵制造商将详细解释设备在百帕时的蒸汽容差或克/小时时的蒸汽容量。这些信息指的是水蒸气。当气动阀打开且真空泵处于工作温度时,如果入口压力低于给定值,泵送的水蒸气不能冷凝。在干燥过程中,泵的尺寸不是由根据蒸汽量的泵速决定的,而是由每单位时间收集的水量决定的。因此,必须用关闭的真空侧阀和打开的空气压力阀预热泵约15至30分钟,以达到其最佳工作温度(油)(约70-80℃)。只有在正确的操作温度下,蒸汽才能通过打开的气动阀泵出。高真空阀门的延迟开启可以很容易地集成到控制系统中。  泵压过程完成后,建议打开气动阀,让真空泵继续运行约15分钟,这样泵体内剩余的蒸汽可以通过排气装置排出。该过程再生工作流体,以防止停滞腐蚀和可能的泵故障。  必要的泵前和泵后操作可通过定时工具轻松集成到控制器中。如果系统需要低于1至2百帕极限压力的空气压力,则需要两级旋片真空泵。值得注意的是,两级旋叶真空泵的蒸汽容限和蒸汽容量将低于单级泵。  2.工作流体  使用旋叶式真空泵时,工作流体(即真空泵油)主要负责三个重要功能:密封、润滑阀门和轴承、传导铝壳上的压缩和摩擦热以冷却泵体。  用传动装置和润滑剂保持油位是所有油封旋转叶片泵和真空泵的重要预防性维护和日常维护。如果油位下降过低,泵系统将无法再润滑。由于缺乏润滑,泵系统的运行将被阻塞,最终导致泵故障。油位过低也会妨碍压缩热的最佳消散。泵过热会导致工作流体快速老化。缺乏润滑和形成油碳最终会导致泵故障。因此,必须确保泵的油位不能低于观察镜的中间位置。  需要定期检查工作流体的颜色、粘度和污染物。如果工作液中的水分含量超过5%,就会呈现...
发布时间: 2020 - 02 - 25
来源: 167
旋片真空泵的噪声通常是指当泵的温度稳定时,在极限真空下测得的噪声水平。它包括泵本身的噪音和电机的噪音。对于用户来说,它还关注旋片真空泵温度不稳定时的启动阶段的噪声、不同入口压力下的操作噪声以及气体开启镇流器的操作噪声。因此,应该考虑许多因素。  根据声音产生的位置,旋片真空泵的噪音可分为以下几个方面:  (1)转子对缸体的冲击,泵的剩余容积和排气死区中的压力油的声音产生;  (2)排气阀片对阀座和支架的冲击;  (3)箱内回声和气泡破裂;  (4)轴承噪声;  (5)大量气体和油冲击挡油板产生的噪音;  (6)其他。如传动噪声、风冷泵风扇噪声等。  (7)电机噪声,这是一个关键因素。  对旋片真空泵设计和处理方案的建议如下:  1.旋转板对气缸壁的影响  如果使用不当的设计、制造或材料导致转子板滑动不顺畅,或者因为存在死气隙,不可压缩的油导致转子板头部不总是靠近气缸壁,这将导致转子板撞击气缸壁。因此,采用圆弧面分隔进出口的结构是合适的。用排气导槽消除死区。采用线分离结构时,排气终点到切点的距离应尽可能缩短。对于70l/s以下的旋叶泵,考虑到旋叶的实际厚度,建议取7 ~ Lomm,大泵取大值。当其过近时,由于转子转子槽的存在和只有一条窄条与转子头接触,一旦转子旋转到切点,密封效果不好,这将影响泵送速度甚至泵的极限压力。可以看出,这种结构不能完全消除排气死区,限制了降噪水平。  应该指出,转子和槽之间的间隙过大会降低性能。因此,必须保证合理的公差配合和形位公差值,注意转子板的热膨胀,避免转子板与槽之间的擦伤,注意油的冷油粘度,设计足够的转子板弹簧力。采用圆弧面分离时,转子中心的附加偏心值不宜过大。否则,当转子穿过两个圆弧时,它将倾向于在交点处脱离气缸壁,从而产生冲击噪声。一般来说,小泵只有0.20 ~ 0.25毫米,而大泵可以适当增加。  排气死区中的压力油和剩余容积中的压力油...
发布时间: 2020 - 02 - 25
来源: 234
疫情还没完全结束,  复工安全管理你知道怎么做吗?  关注人的问题  一是员工安全问题。员工复工,疫情防控压力也随之增大。企业应给员工提供复工指南,办公室防疫手册,要提醒员工做好4个防疫准则,戴口罩、勤洗手、勤通风、同事之间保持距离。  二是岗位缺员问题。受疫情影响,假期延长,停工企业外地员工返回后不能立即到岗,导致一线生产职工人力不足。建议企业组织人资、生产、设备、安全部门对岗位人力满足情况和人员安全生产能力进行一次评估,按照关键岗位员工到岗情况,确定复工时间。  三是人员心理问题。许多员工复工返岗后自由散漫的心还没有收回来,心思并没有真正回到工作岗位上,容易发生“三违”行为。建议企业在复工复产期间,安全管理人员要经常深入生产现场提醒与监督,同时严格落实领导干部带班制度,抓好反“三违”管理。  关注员工的复产问题,  还有我们的生产“复工设备”  一起来了解吧~  关注设备,实施管理  对装置开泵前的设备调试和吹扫、置换、气密试验等重要作业,以及装置开停泵流程、设备运转、公用工程启动等重要步骤,实施责任人签字确认制度,进行安全条件审核确认。  加强设备设施的管理。  一是检查设备的检验周期是否符合要求,  二是对管道、弯头减薄等设备腐蚀要进行一次风险识别判断;  三是动静设备存在的隐患是否得到消除;  四是报警联锁等是否完备在用、好用、管用。  看完泵的实施管理  还有泵的正确“操作方式”  一起记住它吧~  关注机械泵的维护  ①真空泵设备的启动,停用多日的真空泵启动时,请不要直接启动,应该先转动电机风叶至少三圈后再启动。如果连续启动三次后还停止机器,并用手盘动主机 ,再次启动机器!这样操作,可有效避免开机时供油不及时机头卡死的现象。  ②真空泵设备的停车,真空泵设备在进行停车的时候,要注意(如进气管有阀门)关闭进气管上的阀门,之后也就应该要关闭供水管,且要注意疾速关停...
发布时间: 2020 - 02 - 24
来源: 292
罗茨真空泵是一种机械真空泵,具有一对同步高速旋转的鞋底形转子。该泵不能单独泵送空气。前级需要配备油封、水环等。直接排放空气。其结构和工作原理与罗茨鼓风机相似。其吸入口与真空容器或真空系统的主泵相连。真空泵的转子和转子之间以及转子和泵壳之间没有接触。  间隙一般为0.1 ~ 0.8毫米;不需要用油润滑。转子轮廓包括圆弧、渐开线和摆线。渐开线转子泵体积利用率高,加工精度容易,因此转子型线多为渐开线。罗茨真空泵的转速可达3450~4100转/分。抽气速率为30-10000升/秒(1升=10-3米);  罗茨真空泵是一种机械真空泵,具有一对同步高速旋转的鞋底形转子。该泵不能单独泵送空气。前级需要配备油封、水环等。直接排放空气。其结构和工作原理与罗茨鼓风机相似。其吸入口与真空容器或真空系统的主泵相连。真空泵的转子和转子之间以及转子和泵壳之间没有接触。  间隙一般为0.1 ~ 0.8毫米;不需要用油润滑。转子轮廓包括圆弧、渐开线和摆线。渐开线转子泵体积利用率高,加工精度容易,因此转子型线多为渐开线。罗茨真空泵的转速可达3450~4100转/分。抽气速率为30-10000升/秒(1升=10-3米);单级的极限真空为6.5×10-2帕,双级为1×10-3帕。  罗茨泵的极限真空不仅取决于泵本身的结构和制造精度,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,罗茨泵可以串联使用。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的连续旋转,泵送的气体从空气入口被吸入转子和泵壳之间的空间v0,然后通过空气出口排出。由于v0空间在吸入后完全关闭,泵室内的气体不会被压缩和膨胀。然而,当转子的顶部围绕排气口的边缘转动并且v0空间与排气侧连通时,由于排气侧的高气体压力,一些气体冲回到空间v0中,导致气体压力突然增加。当转子继续旋转时,气体离开泵。罗茨泵在泵室中,有两个“8”形转子安装在一...
发布时间: 2020 - 02 - 24
来源: 206
半导体工艺真空主要用于键合工艺,如蒸发、溅射、等离子体化学气相沉积、真空干法刻蚀、真空吸附、测试设备、真空清洗等。半导体生产制造过程中容易产生易燃、易爆、有毒物质和气体,对生产和人员安全构成威胁。因此,半导体真空泵应用中的几个安全注意事项如下:  1.定期清洁真空泵和其他附件、过滤器和管道,以避免过压。  在半导体真空泵的应用中,当介质在介质提取过程中通过反应室和真空泵时,介质的组成可能极其复杂。例如,四氯化硅和氧气在泵口形成二氧化硅,而四氯化钛水解形成盐酸。假设是油封机械泵,这些气体物质也可能与泵油发生反应。这些变化假定形成颗粒、可冷凝物或腐蚀性介质,它们可能阻塞真空泵或管道系统,影响真空泵的性能,导致压力上升或过压,并造成更大的风险。因此,有必要及时清理,必要时设置过滤设备。  2.有效稀释有害气体的浓度  半导体容易产生上述易燃、易爆和有毒的有害气体。因此,在半导体真空泵的应用中,当提取这些介质时,有必要防止在真空泵或排气过程中发生一些不可控的反应。例如,当与空气或氧气接触时,SiH4、PH3、AsH3、B2H6和其他物质会引起燃烧甚至爆炸。当空气中氢的混合比例达到一定程度和温度时,也会发生燃烧。这些都取决于物质的数量及其与环境压力和温度的关系。因此,当半导体真空泵抽取这些介质时,在压缩之前,需要惰性气体如氮气将这些气体稀释到当前条件下的安全范围。  3.注意氧气的浓度  如果空气中的氧气浓度过高,也会发生燃烧和爆炸的危险。因此,在某些情况下,应注意氧气的浓度,并应使用惰性气体稀释氧气,以防止浓度过高。假设油封机械泵可能需要使用一些惰性氧兼容的真空泵油,并及时更换滤油器和油品。  4.防止温度过高  理解这一点更容易。在半导体在真空泵中的应用中,有许多有害气体。但是,无论是干式真空泵还是油封机械泵,如果泵腔内温度过高,易燃、易爆和有毒气体在高温下很容易产生危险。  当...
发布时间: 2020 - 02 - 24
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当确定真空系统的配置时,设备能够达到的极限压力取决于从系统外部到系统内部的总泄漏率Qo和由虚拟泄漏形成的总“泄漏”率∑Q1以及泵送系统的有效泵送速度的总和。  真空技术中的泄漏孔指的是小孔、缺陷或间隙,以及可渗透元件或气体泄漏装置,当密闭容器内外的气体压力或浓度不同时,这些元件或气体泄漏装置允许气体从容器壁的一侧泄漏到另一侧。由于泄漏孔尺寸小、形状复杂,不能用几何尺寸来表示,因此其尺寸一般用等效电导或泄漏率(称为“泄漏率”)来表示,单位为pa·l/s。  焊缝是真空制造过程中最容易出现漏孔的区域之一。  常见的焊缝外观缺陷和其他缺陷,如未熔合、未焊透、夹渣、气孔、裂纹和内应力等,是超高真空系统中漏孔或虚漏源的隐患。为了最大限度地减少焊接缺陷并便于检查,超高真空要求焊接零件尽可能将焊缝放置在真空侧,大气侧焊缝仅用作断续强化焊缝,而最大数量的焊缝可在制造阶段单独测试,并在最终组装前进行校正。由于一些零件的横截面尺寸较小,内壁的焊接受到限制,一些零件只能使用大气侧焊缝。焊缝应一次焊接,以避免两次焊接造成的有害空间。因此,有必要保证单面焊和双面成形的良好效果。  此外,应该指出的是,由于压力差、振动、热循环和其他原因在接头中产生的应力和应变可能导致包含缺陷的焊缝中出现裂纹,从而对焊缝造成损坏,或者焊缝在使用过程中可能被腐蚀,这可能形成泄漏点。  因此,所采用的焊接方法必须能够使焊缝的泄漏率满足这些条件下的技术要求。  目前,不锈钢广泛用于超高真空容器。应该说不锈钢的可焊性和可焊性都很好。为什么要提出超高真空容器对焊缝的要求?原因是超高真空容器要求很低的泄漏率,这也对焊缝的密封性能提出了严格的要求。微小泄漏难以检测、修复和消除。实践证明,非超高真空容器常用的压力检漏方法不能满足超高真空容器的漏率要求,即在压力检测找不到漏点的情况下,氦质谱检漏仍可能发现漏孔,不能满足漏率要求...
发布时间: 2020 - 02 - 24
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旋片真空泵运行中的注意事项  旋片式真空泵的转子以一定的偏心距离安装在泵壳内,并靠近泵壳内表面的固定表面。两个(或更多)旋片安装在转子槽中。当转子旋转时,旋片可沿其径向槽来回滑动,并始终与泵壳内壁接触。旋片与转子一起旋转,将真空泵室分成几个可变容积。操作旋片真空泵时注意以下事项:  1、检查油位,停止油泵油至油标中心为宜。过低不能将油密封到排气阀上,影响真空度。如果过高,在大气中启动时会导致燃油喷射。在运行过程中,油位有所上升,这是正常现象。油应为指定品牌的清洁真空泵油,从注油孔加入。加注后,应拧紧螺塞。应过滤油,以避免异物进入堵塞油孔。  2.泵可以在大气压或任何真空度下一次启动。如果电磁阀安装在泵端口,则应与泵同时运行。  3.当环境温度过高时,油温将升高,粘度将降低,饱和蒸汽压将升高,这将导致极限真空降低,尤其是热电偶测得的全压力。如果加强通风和散热或提高泵油性能,极限真空可以得到改善。  4.应根据压缩水银真空计检查真空泵的极限真空。如果压力表经过充分的预测试,泵的温度达到稳定的水平,泵的端口直接连接到压力表,并且在运行的30分钟内将达到极限真空。总压力表测量的值与泵油、真空计和调节误差有关。有时误差甚至可能非常大,只能用于参考。  5.如果相对湿度较高,或者泵送气体中含有较多的可冷凝蒸汽,在连接泵送容器后,宜在移动20~40分钟后打开空气压力阀,关闭空气压力阀。停泵前,可打开气动阀空载运行30分钟,以延长泵油的使用寿命。  旋片真空泵的故障处理  如果旋片真空泵运行不正常,往往会出现故障,如旋片真空泵真空度下降、喷油、冒烟、油封漏油、噪音等。以及真空泵油在泵内乳化的现象等。在这种情况下,首先不要惊慌,关机后再逐一消除。以下是一些故障排除方法。  一、旋片式真空泵的烟雾和喷油:指运行中从旋片式真空泵排气口喷出的烟雾或喷油。  故障1,抽烟。如果泵刚开始运转时有烟,这...
发布时间: 2020 - 02 - 24
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旋片真空泵长时间使用后,会出现真空下降、密封处漏油、真空泵旋转停滞甚至“卡死”、严重油污、真空泵室生锈、旋叶撞击声大、硬物落入真空泵室划伤真空泵室、真空泵过热等异常现象。  此时,必须拆卸和清洗真空泵。该方法包括以下步骤:  (1)切断电源,从真空系统中取出真空泵,  (2)用重力法或加压法排放和收集污油,避免污染环境;  (3)取下皮带和皮带轮键(双级旋叶真空泵包括皮带);  (4)先拆下低真空端,拆下后端盖,然后拆下低真空转子、旋转板、弹簧等。  (5)取下前端盖,取出高真空转子、旋转板、弹簧等。  (6)取下观察镜、排气阀、排气盖等。  (7)用汽油彻底清洁去除的金属部件,并用酒精脱水。橡胶部件可以用15%的氟化氢溶液煮沸以去除油。对于有毛刺或铁锈的零件,可以使用油石或金相砂纸轻轻打磨,以去除锈斑和毛刺。清洁后的零件必须干燥。  (8)组装时,先安装后级,托起弹簧和旋转板,安装到转子上,然后将前端盖安装到真空泵室内,安装定位销,均匀对称地拧紧螺钉。组装后,旋转应灵活且均匀。安装前转子和后端盖后,安装排气阀(排气阀片应与阀座紧密连接)和其他部件,如气体镇流装置等。  真空泵维护注意事项,总结真空泵维护知识:  (1)定期检查油位是否低,以及干油标记线。如果有低干油标记,应及时加油。杏会影响真空泵的真空度。油量不能太多,否则会造成起动困难和喷油困难等问题。  (2)应注意真空泵的正常运行、有无任何特殊噪音、机器的过载运行以及电机真空泵的温度过高。  (3)水冷真空泵应防止冷却水中断,真空泵温度不得超过70度。如果环境温度低且干燥5度,真空泵中的冷却水应在停机后排出,以防止真空泵冻结和破裂。  (4)真空泵应通过皮带保持清洁。真空泵上不得放置其他物体。  (5)注意皮带松紧是否合适。如有必要,调整或更换。  (6)真空泵油应每年定期更换1~3次。用于真空熔炼的机械真空泵每月...
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