真空泵在其工作压力下，应及时排出真空设备过程中产生的所有气体。真空泵的正确组合。因为真空泵具有选择性泵送，有时一个泵不能满足泵送要求，需要组合和补充几个泵来满足泵送要求。例如，钛升华泵对于氢气具有较高的泵送速度，但是不能泵送氦气，而三极溅射离子泵(或双极不对称阴极溅射离子泵)对于氩气具有一定的泵送速度，并且两者的结合将导致真空装置具有更好的真空度。
真空泵不能在大气压下工作，需要预抽真空。一些真空泵的出口压力低于大气压，需要前置泵。因此，所有泵都需要组合使用。真空设备对油污染的要求。如果设备严格要求无油，应选用各种非油泵，如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择油泵，并采取一些防止油污染的措施，如增加冷阱、挡板、油阱等。也能满足清洁真空的要求。
真空泵应安装在坚实的地面上，周围应留有足够的空间，便于检查、维护和保养。基础应保持在真空泵底座下方的水平位置。建议在底座的四个角上安装缓冲橡胶或螺栓，以确保真空泵的平稳运行和低振动。
真空泵与系统之间的连接管道应密封可靠。对于小型真空泵，金属管道连接垫圈应由耐油橡胶制成。对于小型真空泵，应采用真空软管连接。管道直径不应小于真空泵的吸入直径，管道应短，弯头少。真空泵密封环境的具体操作如下:
1、机械密封装置;
(1)动环和静环的表面应光滑干净，无划痕，密封面的平整度应保持在0.87um以内.
(2)水环真空泵密封装置处的轴径向跳动应小于0.03毫米
(3)弹簧无裂纹、锈蚀等缺陷，弹簧两端面与中心线的垂直度偏差应小于5/1000，同一机械密封中弹簧之间的自由高度差不应大于0.5 mm
(4)动环和静环密封端面的钢包偏差不大于0.02毫米，两个端面的不平行度不大于0.04毫米
2.浮环密封装置:
(1)支撑环、浮动环和浮动环安装在轴上的部分应光滑无损;浮动环和支撑环的密封端面应进行彩色涂层检查，并要求接触良好。
(2)浮动环同轴套管的总径向间隙一般为0.15-0.25毫米
(3)文字轴承环和轴套的径向间隙应均匀。
(4)支撑弹簧应无缺陷，同组浮环支撑弹簧的自由高度偏差不得大于0.5毫米。机械真空泵的漏油主要位于轴封、放油孔、油窗、油箱等处。主要原因是磨损时间过长，密封损坏或装配不良，螺钉未压紧时受力不均匀。当在某个地方发现漏油时，维修工人和操作人员应立即采取措施。他们不应该想当然地认为“小问题”是无害的，就让它去吧。否则，从长远来看，泵会泄漏或损坏。解决漏油并不难，只需先排干泵油，拆卸漏油处并更换密封即可。轴封泄漏的解决方案以前也有介绍。排油孔、铅板、橡胶纸板、耐油真空橡胶板等泄漏。可作为垫片更换，并可处理油窗等其他密封处的漏油