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2018 - 08 - 23
深圳恒才真空泵以清洁无污染,而且拥有较宽的抽速范围以及良好的节能、稳定、易维护等优势广泛应用于半导体行业,今天张工来给大家普及一下真空泵在半导体生业使用中不可忽视的安全问题。  半导体工艺真空主要用在蒸发,溅射,PECVD,真空干法刻蚀, 真空吸附,测试设备,真空清扫等等键合工序,半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有毒的物质气体,会对生产及人员安全造成威胁,因此,半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项:    1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道,避免超压:  半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,如SiH4与O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解会形成HCl;假设是油封式机械泵,这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质,就可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,第一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗,并在必要的时候设置过滤设备;  2、有效稀释有害气体的浓度:  半导体易产生前面所说的易燃易爆、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质,在与空气或氧接触的时候,会引起燃烧甚至爆炸;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物...
2019 - 10 - 23
关于维护水环真空泵滤芯,您可能不知道!  水环真空泵的滤芯应经常检查以避免整个设备的故障,滤芯使用一段时间后,可以及时更换,不仅达到良好的过滤效果,也将是水环。真空泵的冲击将受到影响。  通常,在打开水环真空泵之前,请检查零件是否完整和有故障,以免使用中出现问题并影响工作效率。对于过滤器滤芯,在检查完所有零件而没有任何问题之后,您可以打开水环真空泵以查看驱动电流。如果电流正常,则可以,但是如果电流减小,则可能为水环。真空泵过滤器被阻塞,这会影响电流的运行。  水环真空泵的滤芯应定期检查。如果灰尘过多,建议更换滤芯,以确保水环真空泵设备的正常运行。  教您4招,解决水环真空泵出水少  1,水环型真空泵-使用过高的扬程  所使用的水环真空泵使用不当,扬程太高或使用中的阀未正确调节,导致扬程的使用太高。  根据规定的范围使用处理方法:并适当减少其使用扬程或其他合适的规格。  2,水环真空泵-过滤器堵塞  水环真空泵的过滤器堵塞,导致水环泵水畅通无阻,出水量减少。  处理方法:去除水环真空泵的过滤器的内部和外部,以及潜水泵周围的水和碎屑。  3、水环真空泵-旋转方向相反  水环真空泵向相反方向旋转,出水量很小。  处理方法:交换水环真空泵抽出电流和电源的任何两相的位置。  4、水环真空泵-叶轮或泵盖磨损  处置方法:卸下水环真空泵,修理或更换叶轮和泵盖。  您知道水环真空泵对环境有何要求吗...
2019 - 10 - 29
水环式真空泵是催化剂生产中广泛使用的一种气体输送设备,一般与带滤机(胶带机)配套使用,利用自身形成的负压条件,抽取不凝结、不溶于水、不含有颗粒的气体,达到真空过滤的目的。  1.设备基础知识  1.1工作原理  水环式真空泵属于变容式真空泵。叶轮偏心安装在圆形泵体内,当叶轮旋转时,注入泵体内液体形成旋转的液环,液环内表面与叶轮轮毂形成一个月牙形空间,相邻叶片间泵腔容积周期性的增大和减小,实现吸气、压缩和排气的目的。  1.2设备结构  磁力泵主要由泵体、叶轮、轴、轴承、分配板、轴封、供水管路、自动排水阀等组成。  1.3主要性能指标  主要参数包括:工作液流量、排气量、最大真空度、转速、功率。  1.4设备用途  带滤机抽真空。  2.水环式真空泵开停机步骤  2.1开机前的检查与准备  (1)准备必要的开车工具:阀门钩、扳手等。  (2)检查泵的各连接部分的螺丝是否紧固,电机接地线是否良好,阀门是否灵活好用。  (3)通过供水管路向真空泵内供水冲洗,用手盘动转子,然后通过放水管路把污水排尽。  (4)点试电机的转向,确保转向正确。  2.2开机步骤  (1)打开进气阀。  (2)当自动排水阀没有水流出时,起动电机,泵运转。同时打开工作水供给阀,使真空压力表指针接近0MPa(表压)。随着泵的吸入绝对压力的下降,指针向负值偏移(读数在0~-0.003MPa之间)。  (3)如果是轴封...
2020 - 05 - 06
螺杆真空泵是一种真空泵设备,也是一种用来抽取水的泵。在整个抽取过程中,它产生了一定的流量。从总数流量来看,它可以反映泵的实际应用状态。在使用前,必须进行适当的调整,以确保泵的高效率。如何调节它的水量流量?  一、螺杆真空泵供水调节方式:  当螺杆真空泵正常运行时,适当打开电源阀门,检查通道负压表的工作压力。逐渐降低电源阀油管的压力。当负压表的表针开始上升和下降时,水流量不足。再次逐渐打开电源闸阀。当负压表的表针再次稳定时,此时水流量正常。  二、螺杆真空泵供水调节常见问题:  当没有足够的水专利复审3)时,螺杆真空泵的抽真空能力将降低。如果水太多流量,将导致浪费和浪费水源,并将继续扩大泵的励磁电流。因此,当使用机械泵时,首先检查负压表是否正常工作。  因此,必须对螺杆真空泵的水流量进行有效调节。由于水流量与泵机械设备的抽真空能力和泵内的工作压力有关,如果水流量不够或太大,肯定会导致危险。因此,必须有效调节泵水流量。  进口真空泵厂家主要产品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN、LRP系列水环真空泵,X、GVD系列旋片真空泵,ZJ系列罗茨真空泵,GXS、DHS、VSD、GHS系列螺杆真空泵,DZS系列爪泵,中央真空系统等产品。联系电话18820944856
2020 - 07 - 09
真空泵的使用通常与水有关,但它仍然需要水来支持它的工作。很多时候我们是以加水的方式来做的。关于给真空泵加水的说法是什么?  真空泵运行时,需要用液体作为工作液体,基本上是选择水作为工作液体。当叶轮顺时针旋转时,水被叶轮甩来甩去。由于离心力,水形成由泵腔形状决定的大致相等的厚度封闭圆环。水环下部的内表面正好与叶轮轮毂相切。水环的上内表面正好与刀片的尖端相接触(事实上,刀片具有一定的插入深度)。此时,在叶轮轮毂和水环,之间形成一个新月形空间,该空间被叶轮分成几个具有相同叶片数的小腔。如果以叶轮下部为0为起点,当叶轮旋转180前,小腔的体积由小到大,并与端面上的吸入口连通,则气体被吸入,当吸入结束时,小腔与吸入口隔离;当叶轮继续旋转时,小腔由大变小,气体被压缩;当小腔与排气口连通时,气体从泵中排出。  当水量减少时,其工作效率将降低,这将增加能耗和运行成本。工作流体的作用不仅是抽取气体,而且是降低泵体的温度。工作流体比正常水平低得多,这将增加泵体的热值,降低泵的耐用性并增加维护成本。因此,水环真空泵运行时必须保持工作流体的正常液位,这有利于泵的正常运行、维护和降低成本。  工作流体可视为其工作动力。如果停电了,真空泵能做些什么来努力战斗呢?因此,我们平时不应该吝啬,时不时地给他们一些水,这样他们就能以好工作的形式回报我们。  恒才机电真空泵厂家主要产品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN...
2018 - 08 - 25
2018年8月17日-19日,公司实行三天全员旅游,肇庆端州3天2晚活动,我们游历了苍翠欲滴的鼎湖山,潺潺涓流山湖相映的蝴蝶溪谷、并以虔诚的心叩拜佛门净地“庆云寺“,同事们一路互相倾谈,脸上洋溢着喜悦,心境犹如被洗刷般,没有了工作的压力,围绕在我们身边的只有体现同事之间紧密团队精神的欢声笑语。次日,同事们进行游览阅江楼,参观已逾千年的文房瑰宝端砚的独特风采,领略了精心至致,坚持不懈的匠工精神;铁军独立一雄团叶挺将军的大将风范和魄力,战士们充满激情和希望的声音,艰难阻险都不怕,只要坚定信念不放松,而这一切正是正步的魅力,让我们扔掉脆弱,不忘初心砥砺前行,变得坚强成长。接着我们来到高要学宫孔庙,聆听陈总给我们讲述儒家学说,这也是我们的公司的重要文化,教导我们百行孝为先,温故而知新等为人处事的道理,也正是这种文化坚定了公司发展智慧和同事们团结一致力量的决心。 最后,项目是绕七星岩绿道骑行,一路上大家热情高涨,相互关心,骑行中充满了欢歌笑语、温情和谐,在尽兴游玩之余,深切感受到来自公司大家庭的温暖。有的同事还坚持完成了不可能骑到的终点,面对困难却能坚忍不拔进行到底的决心,也克服了有时只凭感觉行事的思维定式,没有不可能,超越自己就能够创造奇迹。此次旅游活动圆满结束,同事们的内心还将延缓着美好的记忆和愉快的心情,此次游行不仅丰富了员工的业余生活,增强了部门之间的沟通协作,还加强企业凝...
2018 - 05 - 21
一、真空泵真空度要求单位(pa/mba);真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求,选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。(如:真空工艺要求100pa(绝对压力)的真空度,选用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求绝对压强高于3300Pa,则优先选择水环式真空泵作为真空装置,如果绝对压强要求低于3300Pa,则不能选择水环式真空泵,选择旋片式真空泵或更高真空级别的真空泵作为真空获得装置。 二、真空泵抽速要求单位(L/S或M3/MIN);真空泵要求抽气速率(也就是要求真空泵在其工作压力下,排出气体、液体,固体的能力),一般单位:m3/h,L/S,m3/min。具体计算方法可以参考下面公式自行计算选型。当然,真空泵的选型是一个综合过程,涉及到相关经验等因素。S=(V/t)×ln(P1/P2)其中:S为真空泵抽气速率(L/s)V为真空室容积(L)t为达到要求真空度所需时间(s) P1为初始压强(Pa)P2为要求压强(Pa)三、真空泵要抽的物体成分;1、被抽物体是气体、液体还是颗粒,如果被抽气体中含有水汽或少量颗粒性和粉尘等杂质,慎选旋片式真空泵,如果真空度要求较高,则应加过滤装置加以过滤方能使用旋片式真空泵做真空获得设备。2、要知道被抽物体是否有腐蚀(酸性还是碱性,PH值是多少?),若含有酸碱腐蚀或有机腐蚀等因素的气体,应过滤或中和处理才...
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Hot News / 热点新闻
发布时间: 2025 - 12 - 13
来源: 900
在PCB线路板生产中,将分散的小泵集中起来抽真空可通过采用集中真空泵系统替代分散小泵实现,该方案在效率、能耗、稳定性、维护成本及环保性等方面均优于传统分散小泵串联方式,具体实施要点如下:一、集中真空泵系统的核心优势效率提升:多台真空泵组协同工作,通过优化管道设计,可在2-6分钟内将真空度稳定抽至10-30mbar的合格范围,远超单台旋片真空泵或串联泵组的工作效率。节能显著:集中控制与泵组优化运行使...
发布时间: 2020 - 07 - 24
来源: 69
真空泵的耐腐蚀问题,我看见很多的问题。 我认真看了所有的解答之后,受益匪浅,学到了很多东西。 我们是一个专门研究真空泵腐蚀问题的工作团队,经过了10多年的积累和实践,今天在这里写干货,帮助被真空泵腐蚀问题困扰的朋友们解决一些问题。  为什么有些问题需要解决,因为世界上没有完美的材料,一种材料可以耐各种强酸、强碱,也可以耐溶剂,还可以耐高温、耐磨,材料的强度还很高,说是真的很骄傲。 因此,对于各种情况的特点,正确的选择并不昂贵,科学合理的选择才是适合自各儿情况的真空泵才是王道。 而且,耐腐蚀在理论和实践上有明显的差异,每个使用单位的使用情况不同,各厂商也有各自独特的优点和立场。  真空泵随着人类工业近百年的发展,已经是非常成熟的技术和产品,但真空泵被酸性瓦斯气体腐蚀,使寿命大幅缩短,是使行业极为苦恼的问题。  真空泵叶轮因腐蚀损坏  那么,真空泵的耐腐蚀为什么这么难呢?  一、腐蚀种类多样,化学、电化学腐蚀与物理腐蚀并存  首先,真空泵多由金属材料制成,但金属耐腐蚀是天然的弱点,引用《腐蚀手册》,腐蚀是材料由环境引起的破坏,其种类多种多样。 在泵的运行环境下,金属材料要经受化学、电化学、物理的多种交叉腐蚀,而且至少有一种。  泵用金属材料面临的腐蚀种类  物理腐蚀主要是指空化作用,空化作用发生在高流速液体且有压力变化的环境中。 气泡破裂时产生冲击波压力,撕裂金属粒子,可引起设备变形。 无论选择哪种材料的真空泵,如果前期的选定有错误,如果选择吸引量过大的真空泵,或者后期使用中进行不恰当的操作,都会产生空化作用!  二、泵内介质的高流速加速腐蚀  《腐蚀手册》有典型案例,用碳钢管道输送浓度7%的硫酸,管道流速为0.0007~0.0026m/s,碳钢管道长期耐腐蚀,但碳钢泵输送相同的硫酸,泵的寿命只有72小时。 因为碳钢泵的流速已经达到23.08m/s,当你查《腐蚀手册》时,有的材...
发布时间: 2020 - 07 - 23
来源: 143
液环真空泵通常可以用水作为工作液,也可以使用六乙二醇、甲苯等液体作为工作液。 每种液体在一定温度下都有相应的饱和蒸汽压力。 液环真空泵工作时,吸气室与被抽真空系统连通,吸气室形成的真空(绝对压力)越接近工作液的饱和蒸汽压力,在该区域的液环内表面产生气泡的程度越高,成为沸腾状态。 随着叶轮的旋转,夹在相邻的两片叶片之间的气泡进入一旦压缩到达排出区域,气泡就会被压碎破裂。 液环内表面气泡的产生、破裂现象称为液环真空泵的微咸水腐蚀现象。  气蚀作用降低了液环真空泵的抽真空能力,产生震动和噪音,破坏了边缘表面和叶片。 那么,如何防止气蚀作用的产生呢?  1 .降低工作液的温度  液环真空泵在运转中,排出的气体会带出一定量的工作液,因此需要向泵室内连续供给工作液,使其正常工作。 腔室内供给的工作液温度越低,饱和蒸汽压力越低。  假设真空泵的工作点为80mbar (绝对压力),水温越高,工作点的绝对压力和水的饱和蒸汽压力的差越小,真空泵容易产生气蚀作用。 因此,以液环真空泵的工作点为一定值为前提,通过降低工作液温度,能够达到防止微咸水腐蚀的效果。  2 .降低吸入瓦斯气体温度  如果吸入气体的温度过高,当气体与泵内的液体接触时,压缩热及气体自身的热量传递给液体,使液环的温度上升,即使泵室内的液体的饱和蒸汽压力上升。 相反,如果降低吸入瓦斯气体温度,则能够降低液环温度,能够降低泵室内的液体的饱和蒸汽压力。  3 .使液环真空泵在安全区域工作  选择液环式真空泵时,请综合考虑工作点与工作液温度的关系,使真空泵在汽蚀安全领域运行。  以水为工作液时,下图为水温对液环真空泵排气量的影响曲线。  由界限线划分的两个区域,左侧为汽蚀区,右侧为运行安全区。 真空泵的工作点(绝对压力,mbar )是横轴,纵轴是水温对真空泵排气性能的影响系数。 工作点和水温校正曲线的升交点落入微咸水腐蚀区后,真空泵发生...
发布时间: 2020 - 07 - 23
来源: 111
阿特拉斯螺杆真空泵正确安装是非常重要的,不注意安装要求会导致机器的异常运行,甚至带来额外的高额维护费用。因安装不良导致的机器故障不在保修范围内。  本影片中收集的安装实例从多个方面介绍了螺杆真空泵的正确安装方法。  到达前安装真空泵的注意事项  1.安装平面图介绍。  2.真空泵室环境。  3.螺杆真空泵房通风系统的安装要求。  4.真空泵进排气管的安装要求。  5.真空泵供电系统的安装要求。  6.真空泵供水系统的安装要求。  1.1安装参考真空泵手册安装平面图。  2.1螺杆真空泵室应配备起重设备。  提升设备的极限提升重量必须大于真空泵主机的重量。  在移动和提升设备之前,请仔细阅读手册中的操作说明,以免损坏机器。  2.2螺杆真空泵室应宽敞且通风良好。  3.1没有通风设施的机房不能安装真空泵。  如果真空泵室内没有通风设计,机器排出的热量会促使室内温度迅速上升,室内的高温会导致真空泵的高温;  3.2螺杆真空泵各方向应留有足够的空间。  预留空间用于安全、日常检查和维护。具体数据请参考各种型号的安装图纸。  4.1从系统到真空泵的管道安装。  管道应尽可能短,弯头应减少。  从系统到真空泵的真空压降应小于10%。  4.2真空截止阀应安装在真空泵的入口处。  需要在每个真空泵前安装一个真空切断阀,将真空泵与系统分开,以便于维护和测试。  真空罐需要安装在真空泵之前,真空罐的选择需要咨询阿特拉科普柯机械销售。  请咨询阿特拉科普柯当地服务中心,了解多个真空泵的平行安装。  4.3进气管和排气管与机器之间应使用软连接。  机器的进气管和排气管需要安装软连接,这可能会损坏机器。  4.4真空泵排气管的安装。  真空泵的排气管上不能安装阀门来防止背压。  排气管也应安装在远离真空泵的倾斜位置,或者使用滴管防止冷凝水回流到储液罐。  4.5真空泵管道和阀门的安装要求。  一...
发布时间: 2020 - 07 - 23
来源: 110
液环真空泵运行时,由于各种原因会产生噪声,那么如何解决噪声呢?  1.液环真空泵-安装弹簧隔离器:  (1)弹簧的选择  弹簧的直径不得小于其额定载荷高度的0.8倍;  弹簧必须有一定的额外行程,涡街流量表至少是额定静态挠度的一半;  弹簧的水平刚度至少与钢的直线度一样好,以保证阻尼器的稳定性。  (2)液环真空泵-弹簧隔离器的选型  液环真空泵一般采用自支撑弹簧减震器,结构简单,成本低廉;弹簧暴露在外面,因此可以随时观察弹簧的状态,并且要更换的弹簧是预先设定的,以避免由于弹簧生锈而造成的过度损坏,导致液环真空泵的突然沉降,导致液环泵设备的损坏和管道的撕裂。  (3)液环真空泵-弹簧阻尼器的挠度选择  一般来说,制造商弹簧阻尼器的额定挠度(弹簧的额定压缩量)一般为25MM(从大约3-4HZ的频率值开始),这可用于650转/分的液环真空泵的隔振。当速度低于650时,建议使用偏差为40或更小的弹簧隔离器。  2、液环真空泵-安装坚固的底座  液环真空泵是满足更严格振动标准的更好选择。当增加坚固的基座时,最好使用弹簧隔离器。  3.液环真空泵-安装橡胶隔振器  橡胶隔离器通常由氯丁橡胶或天然橡胶制成。通常,使用压缩橡胶阻尼器。对于轻型液环真空泵,可以选择剪切橡胶减震器。  常见的降噪方法包括安装隔振器和惰性基座。在降低液环真空泵噪声之前,首先要分析噪声产生的原因,然后根据具体原因采取相应的解决方案,以达到合适的效果。
发布时间: 2020 - 07 - 23
来源: 127
由于真空泵油供应不及时或市场上缺乏合适的品种,在使用真空泵油时,有时会出现换油和混油的问题,包括国产油和进口油、国产油中不同类型的油、同一种油的不同厂家或品牌、使用中的新油和旧油等。  目前,许多用户在选择代用油或混合真空泵油时有很大的随意性。但是,应该注意的是,不同类型的真空泵油具有不同的物理和化学性质,其化学组成、粘度、酸值、各种添加剂(抗磨剂、防腐剂、抗氧化剂、防锈剂)等主要成分和指标直接影响机器部件的运行。如果混在一起,其性能会发生变化,这不仅影响机器零件的使用寿命,有时甚至会因润滑不当而造成事故。因此,在更换或混合油品时,应遵守并仔细选择以下原则。  一、真空泵油的替代原则  1.请尝试使用相同类型的真空泵油或具有相似性能和相似添加剂类型的泵油。  2.粘度应相等,替代真空泵油的粘度不应超过原油粘度的25%。一般来说,粘度稍高的泵油应优先替代。  3.质量是高而不是低,即选用高质量的真空泵油作为替代品,对设备润滑是可靠的。同时,它还可以延长使用寿命,这在经济上是合算的。  4.选择替代泵油时,还应注意设备的环境和工作温度。对于工作温度变化较大的机械设备,替代油的粘温性能较好;对于在低温下工作的机械,替代油的凝固点应比工作温度低10;对于在高温下工作的机械,应考虑代用油的闪点应较高,氧化稳定性也应满足使用要求。  二、混合真空泵油的原理  1.正常情况下,应尽可能避免使用不同品牌、不同制造商、新旧泵油。  2.在下列情况下,真空泵油可以与:混合  (1)原机器设备仍使用同一厂家的同类产品或高质量泵油与低质量泵油混合;  (2)当泵油粘度等理化性质需要调整时,可将同一厂家、不同品牌的产品混合使用;  (3)可以混合不同类型的泵油,如果已知两种泵油在没有添加剂的情况下混合,或者其中一种添加有添加剂,或者两种油都添加有添加剂但不相互反应,但是高质量泵油的质量会降低。当空泵...
发布时间: 2020 - 07 - 23
来源: 131
一旦投入使用的水环真空泵设备出现故障,将导致无法正常工作。因此,每个企业都非常重视设备的维护,以免发生故障。即便如此,我也不知道读者有没有什么共同的疑问,那就是,当你匆匆忙忙的时候,失败的概率会增加。即使企业使用不同的设备,它们产生的故障问题基本上是相似的。例如,我们今天要讨论的水环真空泵不能启动。  当启动失败时,可能意味着设备按正常、规范的操作流程启动后无法工作,汽车不能着火,手机不能启动,空调不能冷却等。水环真空泵启动失败也是如此,影响了企业的工作效率。因此,当我们遇到这种情况时,如何应对,以及如何在相对较短的时间内恢复设备的使用,是我们接下来要关注的重点。  第一次检查  首先要检查电源是否正常,如接头连接是否松动;开关触点是否合适;保险丝是否熔断;三相电源是否不平等。当判断故障是由开路、接触不良、保险丝熔断和缺相引起时,应立即修理。  第二次检查  检查水环真空泵本身是否有机械故障,如:包装是否太紧;叶轮与泵体之间是否有杂物,杂物是否被卡住,是否造成堵塞;泵轴、轴承和减漏设备是否生锈;泵轴严重弯曲等。水环真空泵机械故障的相应解决办法是放松填料;疏散和清洁导流通道;拆卸泵体,清除杂物和铁锈;拆下泵轴,根据泵轴的弯曲程度选择是否修理或更换新的泵轴。  总结  当水环真空泵不能启动时,我们应该做的第一件事就是找出故障的原因。因为只有确定了原因,我们才能用正确的方法解决问题,所以我们必须养成善于总结日常生活中遇到的各种错误的习惯,这样将来处理这样的问题就容易多了。此外,技术人员应制定详细的定期检查清单,定期水环真空泵维护和维修他们负责的设备,如果有问题就解决问题,如果没有问题就预防问题,并且不能保证防止所有问题的发生,但应尽力保护公司的利益。
发布时间: 2020 - 07 - 22
来源: 88
真空泵广泛应用于冶金、化工、食品、电子涂料等行业。真空泵有很多种。不同的型号和规格用于不同的过程。选择合适的真空泵将使效率最大化。那么如何正确选择真空泵呢?  1.首先,充分了解泵送气体的成分。  了解泵送气体的成分,气体中是否含有可冷凝蒸汽,是否有颗粒粉尘,是否有腐蚀性等。选择真空泵时,必须了解气体成分,并为泵送的气体选择相应的泵。如果气体含有蒸汽、颗粒和腐蚀性气体,应考虑安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。在泵的入口管道上。  2.真空泵排出的油蒸汽是否对环境有影响。  真空泵排出的油蒸汽对环境的影响。如果环境不允许被污染,你可以选择无油真空泵,或将油蒸汽排放到室外。  3.真空设备部件的材料要求。  例如,酸性和碱性气体需要有相应的防腐,泵的材料需要不锈钢防腐;如果设备严格要求无油,应选用各种无油泵,如水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,你可以选择有一个油泵,并增加一些防止油污染的措施,如增加冷阱,挡板,油阱等。这也可以满足清洁真空的要求。  4.真空泵工作时产生的振动。  真空泵运行过程中产生的振动是否对工艺和环境有影响。如果过程不允许,选择无振动的泵或采取防振措施。  5.真空泵的极限真空度  真空泵选择中的极限真空度是泵速为零时可以达到的真空度。真空度必须高于工艺生产所需的真空度,至少高一个数量级,并且设备适合在所需的工作真空度范围内工作。  6.真空泵的精确组合。  由于真空泵的选择性抽吸,有时一个泵不能满足抽吸要求,需要组合和补充几个泵来满足抽吸要求。例如,钛升华泵对氢有较高的泵送速度,但不能泵送氦,而三极管溅射离子泵(或双极非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的泵送速度。如果两个泵结合起来,真空装置将获得更好的真空度。另外,有些真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;一些真空泵的出口压力低于大气压力,所以它们需要预抽,所以它们都需要组合泵。...
发布时间: 2020 - 07 - 22
来源: 97
螺杆真空泵是20世纪90年代初出现的理想泵。由于其泵速范围宽、结构简单紧凑、泵腔内无摩擦元件、能耗低、无废液排放、运行成本低,已广泛应用于半导体、光伏、化工、制药、石化、空间模拟、低压风洞等领域。  目前,各种真空泵的发展越来越受到真空应用的影响,传统的真空泵系统已经不能满足清洁、无油、耐腐蚀、可冷凝的抽汽和恶劣工况下运行的要求。因此,近年来,干式真空泵发展迅速,并且通过真空获得的产品已经更新。  螺杆真空泵的特征  螺杆真空泵:的工作原理一对同步齿轮带动螺杆反向旋转,螺杆与泵室之间有一定的间隙,没有任何金属对金属的接触。因此,当螺杆旋转时,泵送的气体从空气入口被吸入,并被排放到空气出口。  早期的螺杆真空泵具有相同的螺距。为了降低能耗和泵腔内的温度,后来开发了变螺距螺杆真空泵。其中一个螺丝是由两个不同螺距的螺丝拼接而成,另一个是螺距不断变化的螺丝杆真空泵,螺丝是由一种整体材料制成的。  螺杆真空泵的特征如下  变螺距结构,比等螺距螺杆节能30%,排气温度更低;  泵送气体在泵腔中的距离很短,并且被快速排出;  泵送的气体很少在泵室内搅拌;  小颗粒不易积聚;  它能夹带液体、可冷凝物和微小颗粒;  低振动和噪音;  泵腔中的残留物很容易清除。  干式螺杆真空泵使用中的注意事项  使用干式螺杆真空泵的注意事项如下:  1.螺杆真空泵背压  螺杆真空泵通常的排气压力为大气压力,在匹配电机功率不变的情况下,最大允许背压为0.3巴。如果螺杆真空泵在高背压下运行,将会导致诸如较低的抽吸速度、较差的极限真空和较高的排气温度等问题。  2.进气温度  螺杆真空泵的进气温度为15~60,在此温度范围内,泵可以长时间连续工作。进气温度超出此范围,因此应采取必要的措施。  3.冷却水温度  给定的冷却水温度为20 流量,冷却水的最高允许温度为32,但冷却水必须适当增加流量。  4.处理液体和...
发布时间: 2020 - 07 - 22
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真空泵对真空等离子清洗机的真空度、抽真空时间以及整个设备的处理效果有着重要的影响,因此选择合适的真空泵对真空等离子清洗机的质量至关重要。真空等离子清洗机中常用的真空泵有两种,即油式真空泵和干真空泵。今天,我们将介绍等离子清洗机用真空泵的类型和特点,以及选择真空泵时的注意事项。  油式真空泵  油式真空泵是用油密封、润滑和冷却的真空泵的总称。真空等离子清洗机中最常用的油式真空泵之一是旋片真空泵。  旋片真空泵  旋片真空泵是一种油封式机械真空泵,其主要部件包括泵体、转子,旋片、端盖、弹簧等。旋片真空泵有两种类型:单级和双级。双级旋叶真空泵是等离子清洗机中常用的设备。所谓的双级旋片真空泵在结构上串联两个单级泵。  旋片真空泵的泵腔内偏心安装有转子,转子的外圆与泵腔的内表面相切。同时,两个带弹簧的旋片安装在转子槽中。当转子旋转时,旋片的顶端通过离心力和弹簧力与泵腔内壁保持接触,转子的旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。旋片真空泵使用两个旋片将泵腔分成三部分。由于转子是偏心安装的,三个部分的空间会随着转子,的旋转而变化,压差被用来达到抽气的目的。  旋片真空泵主要用于小腔体(80L以下)或真空等离子清洗机中真空泵机组的前级泵。  旋片真空泵具有以下优点:  一、旋片真空泵在抽出空腔内的干燥气体的同时,可以抽出一定量的可冷凝气体和气水混合物;  二、结构相对简单,维护方便;  三、是体积小,重量轻,便于安装和移动;  第四,振动小,噪音低;  第五,价格相对较低。  干式真空泵  干式真空泵是无油干式机械真空泵的简称。干式真空泵是一种不使用油、水或其他聚合物等流体作为工作介质的真空泵。这使得干式真空泵的清洁度更好,并防止油污染。因此,干式真空泵主要用于对洁净度要求较高的真空等离子清洗机,如半导体领域、生物医学领域和航空航天领域。真空等离子清洗机上最常用的干式真空泵之一是干式螺杆真空泵。  干...
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罗茨泵的优势  1.罗茨真空泵运行稳定,噪音低,振动小,极限真空高。泵的传动部分采用了强抗侧隙结构,因此泵可以在高压汽车下长时间运行。最佳真空度可以在短时间内达到。因此,泵室内没有滑动部件,不需要油润滑,防止了油蒸汽对系统的污染。  2.快速启动、低功耗、低运行和维护成本、高泵送速度、高效率、对泵送过程中包含的少量水蒸气和灰尘不敏感,以及在100至1Pa压力范围内的高泵送压力速率。  3.罗茨真空泵运转平稳,具有泵速高的优点。  关闭罗茨真空泵:的注意事项  1.关闭前级油封机械的泵气镇阀(例如,前级油封机械的泵气镇阀在气镇打开的情况下运行)  2.关闭罗茨真空泵;的进气阀  3.首先停止罗茨真空泵,然后停止前级真空泵。严禁在停工程序中出错;  4.在停止前级泵的同时,立即释放前级泵进气口的空气;  5.关闭冷却水进水阀;  6.如果需要长时间停止使用,或为了防止冬季冻裂,打开排水阀,排出固定端冷却水套中的剩余水;  罗茨真空泵噪音的成因  一、电机噪音  风机噪声一般较大,据分析应是由塑料风机变形引起的;第二,使用劣质轴承产生的轴承噪音。  二、罗茨真空泵内部零件噪音  1.转子碰撞  转子与转子,转子与泵体、转子与侧盖的碰撞噪音主要原因是:轴刚度不足、转子与轴上齿轮的径向位移、齿轮间隙过大或过小、轴承轴向间隙过大等。  2.罗茨真空泵齿轮  除了齿轮本身的加工精度外,影响齿轮噪声的因素还包括安装齿轮的两个转子轴的平行度。  3.轴承  除了轴承本身的精度外,缺乏设计也可能导致轴承噪音的增加,如轴承内外圈干涉过大、轴刚度不足、润滑油供应不足、灰尘、水、腐蚀性气体和液体等的污染。  罗茨泵在运行过程中发出的噪音基本上是由内部零件之间的碰撞和磨损造成的,这些容易产生噪音的零件也相对容易磨损,所以在设备检修和维护时,对其零件进行维护是很重要的。
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