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2019 - 12 - 20
在使用过程中,2bea水环真空泵分离器液位的变化将直接影响使用真空泵设备的性能。因此,为了更好地使用能够真空泵设备,减少损坏,企业应掌握降低液位方法的解决方案。  2bea水环真空泵抽吸的气体含有蒸汽,可能冷凝成水,以增加水位和电机功率。然而,更多的可能是由于水位下降(即使没有水)和泵性能急剧下降,这导致冷凝器压力的改变并影响发电机组的效率。我们通常使用机械浮球控制阀,一个控制进水,另一个控制排水,使水位保持在一定范围内。除了使用这种形式保证液位的稳定外,在事故情况下,与分离器相连通的现场磁翻板液位计上还安装了上限和下限报警开关,这些开关连接到控制室,并具有提供远程水位报警功能。液位控制也采用电磁阀补水和排水的形式。分离器上装有液位开关,输出信号控制电磁阀的补水或排放。  水环真空泵液位的降低不仅会影响真空泵设备的正常运行,还会损坏可能真空泵设备。因此,我们应该将确保操作标准化为使用,并设置适当的稳定装置,以确保内部液位的稳定。  在水环真空泵的长期使用过程中,如果出现的泵送量减少情况,引起的工作质量会降低,如果泵送量增加,真空泵设备中会有残余气体,影响真空泵设备的运行。这是要求,我们会做记录。  结构简单,要求制造精度低,易于加工。吸力均匀,运行稳定可靠,操作简单,维护方便等。然而,其应用受到受到的限制,因为当水环真空泵的真空度超过-0.09Mpa时,其泵送速度将大大降低,导致其...
2019 - 12 - 23
冷凝器是一种将汽轮机排汽冷凝成水的换热器,也称为再水化装置。冷凝器主要用于汽轮机发电厂,分为水冷冷凝器和空冷冷凝器。水冷表面冷凝器主要由外壳、管束、热水井、水室等部件组成组成。汽轮机的排汽通过喉部的进入壳体,在冷却管束上凝结成水,收集在热井中,并由凝结水泵抽出。水(也称为循环水)从进水室进入冷却管束和出水室排出。本文介绍了选择凝汽器水室使用进口真空泵的参数。  凝汽器是电厂的重要辅机之一,主要用于汽轮机电厂。除了将蒸汽轮机的废蒸汽冷凝成用于锅炉re-使用的水之外,冷凝器还可以在蒸汽轮机建立的废蒸汽处保持真空。  冷凝器由模块、水室、上下排气颈部、热水井、膨胀箱、回流管、出水装置、低压旁路和其他部件组成。组装水压试验合格后,应拆卸并交付水室和模块厂。其中,冷凝器的水室主要由外壳、大接管、方法局域网、圆法兰等组成。组成,冷凝器有八个水箱。  冷凝器水室气体的产生及影响  在冷凝器的水室空间中,有大量的气体溶解在冷却水中。当冷却水在冷凝器热交换后温度升高,虹吸作用导致压力循环水低于大气压,导致冷却水中气体溶解度降低,部分气体不可避免地被分离出来。分离出的气体不可可通过阀门排放到大气中,使得分离出的气体可能积聚在水室的顶部或循环出水管和主管发生的最高部分。当气体积聚到一定量时,可能形成气体阻力,严重影响循环水冷却的正常流量,从而降低冷凝器冷却的换热效果,导致汽轮机背压上升,热耗增加,严重造...
2019 - 12 - 26
随着我国城市化进程的加快,洪涝灾害和水环境恶化的问题也日益加剧。为了更好地处理这些问题,需要建造大量的大型泵站。流出通道作为低扬程泵站的重要组成部分,如果流出通道的流态不好,会降低泵装置的效率,甚至威胁泵站的安全运行。虹吸式出水口采用虹吸原理,截流方式简单可靠,但工程投资大,断面形状复杂,设计尺寸不当容易造成机组振动等不利现象。虹吸管广泛应用于我国大型低扬程泵站的出水渠道。因此,研究和优化旋片真空泵在泵站虹吸出口通道中的应用具有重要的理论意义和实用价值。  虹吸流道截流是国内外大型泵站常用的截流装置之一。其截止模式简单可靠。  旋片真空泵在泵站虹吸出口的应用是如何操作的?  停机时,只要真空破坏阀能及时打开,虹吸管就会被破坏。然而,由于虹吸出口单元的高启动升程和向正常运行的长时间过渡,泵单元将经常振动。为了降低启动扬程,减少水泵启动时不稳定工况的持续时间,使虹吸出口快速产生满管流量,真空泵通常在机组启动前启动,吸入虹吸出口通道中的空气,在真空度达到规定值后启动水泵。此外,当水泵在涡轮条件(发电条件)下运行时,还必须使用旋片真空泵抽出水流通道中的空气,使水流过驼峰,使水泵反向。因此,旋片真空泵是虹吸出口流道切断装置的常设设备之一,其容量选择与主泵启动前虹吸出口流道的空间大小有关。  旋片真空泵与国内同类产品相比的优势:  1.易于使用,易于安装和维护;  2.旋片真空泵配有气动阀,可...
2019 - 12 - 29
水环真空泵是造粒和挤压行业中的真空泵。使用设备时,其水箱总是喜欢起泡沫。造成这种现象的原因很多。以下将专门分析您的原因。  1、叶轮,泵体和泵盖之间的间隙增加。整理的方法是调整间隙或用新的叶轮代替。  2、填料或机械密封件的泄漏,排除方法是压紧或更换填料和机械密封件,增加水封的数量以调节间隙。  3、吸气气管通道未密封。 水环真空泵始终处于抽气状态。简单的修复方法是修复管道。  4、供水量太小。消除的方法是打开大的供水阀以增加真空泵中的供水。如果供水管堵塞,则应保持光滑。  5、 循环水箱太小,导致水箱中的水温过高或泵送容器中的温度过高,导致泵体中的温度过高使真空度不足。 增加水箱的容积以降低水温。  水环真空泵是一种广泛用于造粒和挤压行业的真空泵。面对设备水箱中的水滴现象,应及时停止机器,找出原因,采取纠正措施,并维护设备。  恒才机电真空泵厂家主要产品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN、LRP系列水环真空泵,X、GVD系列旋片真空泵,ZJ系列罗茨真空泵,GXS、DHS、VSD、GHS系列螺杆真空泵,DZS系列爪泵,中央真空系统等产品。公司代理有阿特拉斯.科普柯(atlas),司倍克speck产品.真空泵厂家恒才机电凭借多年的生产制造经验,一流的技术人员,完善的售后渠道使得产品质量多年来保持稳定可靠。恒才机电厂家期待与各位同仁合作,更多真空泵知识请继续关注我们恒才机电设备有限公...
2020 - 01 - 02
1.2BV5-111水环真空泵的基本类型和特点  根据不同的结构,水环真空泵可分为以下类型:  单级单作用水环真空泵仅指单级中的一个叶轮,单作用指每个叶轮旋转的吸入和排出。这种泵的极限真空较高,但泵送速度和效率较低。  单级双作用水环真空泵仅指单级中的一个叶轮,双作用指叶轮每次旋转时吸入和排出两次。在相同的泵送速度下,双作用水环真空泵的尺寸和重量比单作用水环真空泵小得多。由于工作室对称地分布在泵毂的两侧,作用在转子上的负载得到改善。这种泵具有较高的泵送速度和效率,但真空极限较低。  两级水环真空泵大多数两级水环真空泵由单作用泵串联而成。本质上,它是通过将两个单级单作用水环真空泵的叶轮与一个公共心轴连接而形成的。其主要特点是在较高真空度下仍具有较大的泵送速度和稳定的工作条件。  大气水环真空泵实际上是一个带有与水环真空泵串联的大气喷射器的单元。水环真空泵前串联一个大气泵,提高极限真空,扩大泵的应用范围。  与其他类型的机械真空泵相比,水环真空泵具有以下优点:  本发明结构简单,制造精度要求低,易于加工。操作简单,维护方便。  结构紧凑,泵通常与电机直接相连,转数相对较高。结构尺寸越小,位移越大。  泵室内没有金属摩擦表面,泵内不需要润滑。旋转部分和固定部分之间密封可以通过水封直接完成。  泵室内压缩气体的过程温度变化很小,可以认为是等温压缩,因此易燃易爆气体可以被去除。  由于没有排...
2020 - 01 - 08
水环真空泵机组配有带固定叶片的偏心转子。它是一种将水抛向定子壁,并形成与定子同心的液环的类型。旋转可变容积真空泵。让我们谈谈选择时应注意的事项。  1.确定水环真空泵  水环真空泵的类型主要取决于泵送的介质,工作所需的空气量,真空度或排气压力。  2. 水环真空泵正常工作后,有两点需要注意  1)所选真空泵的真空度应尽可能在高效区域内运行,即在要求的临界真空度或要求的排气压力范围内。避免在真空泵的大真空或大排气压力范围附近运行。  2)在该区域中运行不仅效率极低,而且非常不稳定,并且真空泵很容易产生振动和噪音。对于具有高真空度的真空泵,经常在该区域中发生气蚀。产生此现象的明显现象是真空泵中的噪声和振动。过度的气蚀会损坏泵体和叶轮等零件,从而使真空泵无法正常工作。  3.根据所需的系统抽气量正确选择真空泵  如果选择了真空泵或真空机组的类型,则需要根据系统所需的泵送量选择正确的型号。  可以看出,当水环真空泵所需的真空度或气压不高时,可以在单级真空泵中优先选择。如果真空或排气压力高,单级真空泵通常不能满足要求,或者在高真空下仍要求泵有大风量,即在较高真空下性能曲线是平坦的。使用双级真空泵。
2020 - 01 - 13
泵轴的功能是将动力传递到叶轮,并通过轴承将叶轮支撑在某个位置。您知道泵轴损坏的主要形式是什么吗?它是怎么引起的?针对这些疑问,以下真空泵维修厂家解释了泵轴损坏的原因及其维修方法,同时,我们组织了泵轴检查的步骤。我希望通过本文,每个人都能对真空泵的故障有所了解。  真空泵维修厂家解释了泵轴损坏的原因。  一、轴弯曲  轴弯曲主要发生在深井泵和多级泵中,并且这些泵的轴直径相对较大。  泵轴弯曲的原因是:转子动态不平衡过大,转子振动以及泵的基本液位太差。对于卧式多级泵,这主要是由于不适当的起动引起的中垂下垂,转子的上下部分之间的温差所引起的变形以及过度的转子不平衡和未对准引起的振动。  解决轴弯曲的主要方法是冷校准,热校准,混合校准等。  二、磨损  局部磨损通常是由轴的弯曲引起的。此外,轴承的内圈松动引起的磨损或轴承的损坏也会在轴承轴直径处发生。  泵轴检查步骤:  (1)表面检查:用煤油清洁泵轴,用砂纸打磨,并检查表面是否有沟槽和磨损。  (2)轴弯曲的检查:对于弯曲的轴,最方便的是在车床上进行高精度测量。也可以使用滚动轴承支架或V型铁支架进行测量,但是在测量过程中必须确保轴本身的水平度和轴向位置,以防止运动。  ①确定轴的测量位置。将安装的半联轴器,轴承,叶轮和其他零件作为测量点。  ②将泵轴的每个测量部分分成四分之一或更多个均匀部分。 ③在测量部分安装百分表。指示器的测量头应垂直...
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发布时间: 2026 - 08 - 21
来源: 1254
从“一机一泵”到“集中供气”,恒才重新定义PCB层压真空新标准过去三十年,中国PCB行业从低端双面板制造起步,一路走到今天成为全球高端HDI板、IC载板、AI服务器主板的核心生产基地,工艺精度从毫米级进化到微米级,产品附加值提升了数十倍。但很多工厂的层压真空系统,却依然停留在几十年前“一台层压机配一台油旋片泵”的传统模式里。这套方案在产能优先的时代尚能勉强应付,却在如今高密度、高良率、绿色制造的行...
发布时间: 2025 - 07 - 11
来源: 1457
在工业行业中,将单台真空泵改造成集成真空系统,可通过多泵组合、模块化设计、辅助设备集成、智能控制与节能优化等关键步骤实现,具体改造方案如下:一、多泵组合与模块化设计泵型选择与组合罗茨泵+水环泵:罗茨泵作为前级泵初步抽气,水环泵作为次级泵进一步抽气,形成高效真空网络。例如,在PCB压合工艺中,该组合可在2-6分钟内将真空度稳定至10-30mbar,显著缩短压合周期。分子泵+机械泵:分子泵用于高真空段,机械泵(如螺杆泵或干泵)用于低真空段,适用于半导体制造等对真空度要求极高的场景。模块化设计:将不同功能的泵(如预抽泵、高真空泵、维持泵)集成于同一底座,通过管道和阀门连接,形成独立模块。例如,采用两台高速真空泵组合,抽气范围覆盖80%-240%,适应0.05Pa至大气压的真空度需求。辅助设备集成过滤与冷凝系统:在泵进气口安装过滤器,防止颗粒物和粉尘进入泵腔;设置冷凝器排除气体中的冷凝液,避免腐蚀和凝结。例如,在真空泵进气口加装除尘器,可延长设备寿命并减少维护频率。降噪与排液装置:集成消音装置于箱体内,利用底座空间减少噪音;设计一体化排液系统,避免传统消音排液装置占用大量空间。溶剂洗涤装置:针对抽吸碳氢化合物或腐蚀性气体的工艺,定期吸入溶剂洗涤液,溶解泵腔内残留介质并形成保护膜,防止腐蚀。二、智能控制与节能优化智能控制系统远程监控与故障预警:通过PLC或DCS系统实时监测真空度、温度、压力等参数,自动调整泵组运行状态。例如,在锂电池烘烤工艺中,智能控制系统可根据烘箱真空度需求自动切换泵组,实现一泵多机共用。数据记录与分析:记录设备运行日志,分析真空度变化趋势,提前发现潜在问题。例如,通过PLC系统记录分子泵运行数据,优化维护周期,降低停机风险。节能优化设计高效电机与驱动系统:更换为高效节能电机,优化电机控制系统,实现智能控制和能量回收。例如,采用变频调速技术,根据真空度需求动态调整...
发布时间: 2021 - 11 - 02
来源: 184
型材挤出成型设备之高耗水量及高能耗,如何才能解决橡塑挤出不节能、高能耗、高产能问题等?这是很多挤出行业所需要考虑的问题。恒才机电设备公司,为解决挤出成型设备的高能耗、高水耗等问题,设计了真空节能真空系统,突破以往真空系统设计,采用司倍克SPECK真空泵,改以小型真空节能系统取代中大型中央真空系统,SPECK--BluVac系列节能真空系统由此问世。这款中央真空系统应用于挤出机设备有哪些特点呢?1.高节能,从高能耗能源输出改以小型单机分段控制,避免产能变化时所产生的能源浪费,降低现行挤出成型设备能耗,平均省下高达70% 的能耗。2.改善设计,搭配SPECK专利设计的真空桶槽与智能控制器,在现有成型技术上可直接实现,在管路搭配微调,同时兼容挤出成型设备真空系统新旧设备的应用。3.操作简单,在智能控制器上简单设定真空条件数值后,系统自动运行,且在达到所设定之操作真空值时系统会自行计算负载量,并调整设备输出能耗。4.提高产能,改善质量,SPECK BluVac系列节能真空系统的应用,既能达到节能效果,还能提高设备产能和产品稳定性,进而提升客户产值,将设备产能最大化,是挤出成型设备专用的真空系统,并将型材技术应用带入次世代之领域。恒才机电所设计的中央真空系统,实现降低现行成型设备能耗,平均会省下高达70% 的能耗,该系统依照真空泵与水泵的变频电机设计搭配SPECK专利设计之真空桶槽与智能控制器,并在现有成型技术上可直接实现,不需变更任何设计,只需在管路搭配上做些微调整即可,并同时兼容新旧设备之应用。深圳恒才机电设备有限公司致力于泵浦工程,通过从设计、选型、安装、调试、维保等一站式服务,主要有水环真空泵、旋片真空泵、罗茨真空泵、螺杆真空泵、干式真空泵、真空机组配套、真空系统、真空解决方案等,为客户提供泵浦方面的优质工程方案。
发布时间: 2018 - 05 - 14
来源: 427
水环式真空泵的工作原理大家都知道,是气体由管路经阀门进入水环泵或压缩机,然后经导气弯管排入气水分离器中,经气水分离器排气管排出。水环式真空泵使用行业广泛,如电子、电池化工、塑胶、造纸、包装印刷、线路版压合、CNC、石油、制药、食品等各行业中,主要工艺有真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等等,那么购买水环式真空泵的时候应该注意哪些问题呢?下面总结了8点不可忽视的重要参数:                                              1、水环式真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。2、针对被抽气体选择相应的水环真空泵。如气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体,应考虑在泵的进气管路安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。3、水环式真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。4、水环式真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响,若工艺过程不允许,应选择无振动的真空泵或者采取防振措施。5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应选各种无油泵。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施。6、水环式真空泵排除的油蒸汽对环境的影响。如果环境不允许有污染,可以选无油水环式真空泵,或者把油蒸汽排到室外。7、正确地组合水环式真空泵。有的水环式真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的出口压强低于大气压,需要前级泵,因此需要把泵组合起来使用。8、水环式真空泵的价格、运转及维修费用。&...
发布时间: 2018 - 05 - 11
来源: 394
最近接受到模温机行业客户的一些咨询,模温机的使用中出现高温油泵漏油的情况,却找不到原因,下面小编来说一下高温油泵漏油应该从哪里着手,以及出现泵漏油的情况有哪些,应该如何正确使用模温机和高温油泵? 第一,要特别注意曲高温油泵轴前端和后端的油封处是否漏油。曲轴的前端油封破裂损坏、老化或曲轴带轮与油封接触面磨损,会引起曲轴前端漏油。曲轴后端的油封破裂损坏,或后主轴承盖的回油孔过小,回油受阻,会引起曲轴后端漏油。另外还应注意凸轮轴后端油封是否漏油。油封老化、破裂漏油应及时更换。除此之外,还要检查发动机润滑系各零部件是否存在外漏现象。       第二,如果高温油泵前后油封处漏油,甚至前后气缸盖罩、前后气门挺杆室、机油滤清器、油底壳衬垫等多处有机油渗出,但又找不到明显的漏油处,应该检查曲轴箱通风装置,清理曲轴箱通风管道,尤其是检查PCV阀是否由于积炭和结胶卡滞是否造成工作不良。如果曲轴箱通风不良很可能会导致曲轴箱内压力升高,从而出现多处机油渗漏现象。       第三,如果机油滤清器及一些机油管路的接头处经过紧固后还是漏油,应该注意检查机油压力是否过高,机油限压阀是否工作不良。在模温机的运用过程中,往往很多不恰当的操作会影响机组的运用性能,有些客户更严重的可能会损坏模温机高温油泵机组.从维修部门经验看,由以为操作不恰当所引起的模温机作业仍是占相当大的比重.因此,总结出一部分运用中应该留意的事项,希望引起重视:  1、模温机的管路需要定时清洗,特别是体系进口的过滤器网罩,最好一个月清洗一次.  2、定时查看模温机高温水泵/高温油泵是否漏油,有需要的话,泵轴封也是需要定时更换的.  3、定期查看模温机加热管,如果有积水垢的话,能以用较细的砂纸轻轻摩擦加热管表面...
发布时间: 2018 - 05 - 09
来源: 481
一般真空泵选型的最基础的三个重要参数,抽气量,真空度和压强。抽气量:抽气量是真空泵抽速的一个衡量因素。一般单位用L/S和m3/h来表示。是弥补漏气率的参数。不难理解,理论下抽一个相同体积的容器,为什么抽气量大的真空泵很容易抽到我们所需的真空度,而抽气量小的真空泵很慢甚至无法抽到我们想要的真空度?因为管路或者容器始终不可能做到绝对不漏气,而抽气量大的弥补了漏气所带来的真空度下降的因素,所以,大气量的很容易抽到理想真空度值。这里建议,在计算出理论抽气量的情况下,我们尽量选择高一级的抽气量的真空泵。抽气量具体计算公式以下会介绍。真空度:处于真空状态下的气体稀簿程度,通常用真空度表示。从真空表所读得的数值称真空度。真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值,从表上表示出来的数值又称为表压强,业界也称为极限相对压强,即: 真空度=大气压强-绝对压强(大气压强一般取101325Pa,水环式真空泵极限绝对压强3300Pa;旋片式真空泵极限绝对压强约10Pa)。极限绝对压强:绝对压强即所测内部压强比”理论真空(理论真空压强值为0Pa)”高多少压强。它所比较的对象为理论状态的绝对真空压强值。由于工艺所限,我们无论如何都不能将内部压强抽到绝对真空0Pa这个数值,因此,真空泵所抽的真空值比理论真空值要高。所以当用绝对真空表示时,数值前面无负号。极限相对压强:相对压强即所测内部压强比“大气压”低多少压强。表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值。由于容器内部空气被抽,因此,内部的压强始终低于容器外部压强。所以当用相对压强或者表压强表示的时候,数值前面必须带负号,表示容器内部压强比外部压强低。当然除了这三个最基础的真空泵参数,还有一些真空泵选型的更细参数也需要注意,例如被抽的介质含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体等等。因此我们在选择真空泵时一定要认真细致,符合自身要求,这样才能达到效率...
发布时间: 2018 - 05 - 04
来源: 377
一、高温磁力泵介绍:高温磁力泵(磁力驱动泵)主要由泵头、磁力传动器、电动机、连接底板等几部分零件组成。磁力泵磁力传动器由外磁转子、内磁转子及不导磁的隔离套组成当电动机带动外磁转子旋转时,磁场能穿透空气隙和非磁性物质,带动与叶轮相连的内磁转子作同步旋转,实现动力的无接触同步传递,将容易泄露的动密封结构转化为零泄漏的静密封结构。由于磁力泵泵轴、内磁转子被泵体、隔离套完全封闭,从而彻底解决了“跑、冒、滴、漏”问题。 二、高温磁力泵的选型1、在选择高温磁力泵时,须根据介质种类,介质的密度,使用温度高低,扬程要求,以及介质的粘度情况来选型。同时根据不同型号磁力泵的流量和压力,对应更改设备的结构和设计,如改变进液量、分流、分压等措施,使高温磁力泵处于最佳工作点即可解决噪音问题,同时也可以增加高温磁泵的使用寿命和性能。2、以上为德国SPECK品牌高温磁力泵型号参数表,仅为部分标准款,高温磁力泵可接受水温最高220℃,油温最高350℃,也可接受标准以及非标定做!
发布时间: 2018 - 04 - 27
来源: 452
真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术,真空镀膜设备是镀膜工业上的一个重要部分。借一真空镀膜企业家的话,真空镀膜表面技术就是为客户的产品做“美容”---外观更丰富多彩、更亮丽。真空镀膜技术已广泛的应用在如:装饰品、刀具、模具等金属切削工具、光学仪器、集成电路制造、太阳能利用、平板显示器、建筑玻璃和汽车玻璃、防伪技术、飞机防护涂层、信息存储领域、传感器等等 真空镀膜常用的真空泵有如下几种: 一、真空镀膜旋片真空泵真空镀膜中选的旋片真空泵主要由泵体(静子)和转子组成。在转子槽中装有两块以上的旋片,有些泵旋片间还装有弹簧。转子偏心地装在泵腔内,其外缘与泵腔顶部表面的间隙为2~3微米。转子旋转时,在离心力等作用下,旋片沿槽作往复滑动并与泵腔内壁始终保持接触,将泵腔分成两个或几个可变容积的工作室。转子顺时针方向旋转时,与吸气口相通的吸气腔容积由零逐渐增大,腔内气体压力降低,被抽气体便从吸气口源源不断地吸入。同时,与排气口相通的排气腔容积由大变小,吸入腔内的气体被压缩,待气体压力高于大气压力时,推开排气阀排出大气。转子连续转动,泵便不断抽气。 二、真空镀膜罗茨真空泵真空镀膜中罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘,v0空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间v0中去,使气体压强突然增高。当转子继续转动时,气体排出泵外。罗茨泵在泵腔内,有二个'8'字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮...
发布时间: 2018 - 03 - 19
来源: 442
常常有客户为选型真空泵的问题来寻问,其实选用真空泵时主要根据泵的抽气速率和极限真空度两个指标。极限真空度由生产工艺条件决定,这是不难知道的,然而在选用时对于真空泵的抽气能力,常常缺乏数据,以致束手无策。下面小编介绍一些计算方法供工作中参考。真空泵的抽气量应该包括:从生产过程中放出的不凝性气体,冷却水释放的溶解空气,过程中流体的饱和蒸汽压的当量位,以及从设备和管道连接不严密处漏入的空气。但是,由于过程中放出的不凝性气体量一般很小,可以忽略不计,故关键组成是最后两项。一、真空系统渗漏的空气量可用以下四种方法中的任一种加以确定:1、根据真空系统设备和管道的总体积;2、根据真空系统所装配的设备和管道附件;此法虽比较保守,但所得结果可适应空气渗漏量有较大波动的情况,对操作是适宜的。3、还可根据真空设备、管道及其他附件衬垫的接缝长度,按每米漏入的空气量为0.05~0.07[公斤/小时]计算,然后加倍即成。二、那么选择真空泵的一些参数条件:1、真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。2、每种泵都有一定的工作压力范围,因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。3、真空泵在其工作压力下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。4、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响,若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。5、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸汽,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。6、当选择油封真空泵时,要考虑真空泵排出来的油蒸汽(油烟)对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,应该选无油真空泵,或者把油蒸汽排到室外。7、选择真空机...
发布时间: 2026 - 04 - 03
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在半导体封装晶圆吸附工艺中,选择真空泵需综合考虑真空度、抽速、洁净度、兼容性、稳定性及成本等因素,以下是具体选择建议:一、明确工艺需求真空度要求:晶圆吸附工艺通常需要较高的真空度,以确保晶圆能够牢固地吸附在工作台上,避免在加工过程中发生位移。一般来说,真空度要求在-90kPa至-95kPa(约10050mbar绝压)之间。抽速要求:抽速决定了真空泵建立真空环境的速度。在晶圆吸附工艺中,需要快速建立稳定的真空环境,因此抽速是一个重要的考虑因素。抽速一般要求≥50m³/h/工位。洁净度要求:半导体制造对洁净度要求极高,真空泵在运行过程中不能产生颗粒物污染,以免影响晶圆质量。兼容性要求:真空泵需要能够耐受晶圆加工过程中产生的各种工艺气体,如光刻胶蒸汽、腐蚀性气体等。稳定性要求:真空泵需要能够连续稳定运行,以满足24小时不间断生产的需求。二、选择真空泵类型在半导体封装晶圆吸附工艺中,常用的真空泵类型包括干式螺杆泵、爪泵、罗茨泵等。这些泵型具有无油、耐粉尘、抽速大等特点,适合用于粗低真空环境。干式螺杆泵:具有结构简单、维护方便、抽速稳定等优点,且能够耐受一定的腐蚀性气体。爪泵:同样具有无油、耐粉尘的特点,且抽速较大,适合用于需要快速建立真空环境的场合。罗茨泵:通常与干泵串联使用,能够提升真空度至1Pa级,满足更高真空度的需求。三、考虑具体参数与性能极限真空度:选择能够达到所需真空度的真空泵,一般要求极限真空度低于工艺要求的真空度一个数量级以上。抽速范围:根据工艺需求选择合适的抽速范围,确保真空泵能够快速建立稳定的真空环境。颗粒物控制:选择具有高效颗粒物过滤系统的真空泵,确保排气口颗粒物浓度符合行业标准要求。材料兼容性:确保真空泵的材料能够耐受工艺气体,避免产生腐蚀或污染。稳定性与可靠性:选择具有长寿命、低故障率的真空泵,减少生产线停机时间。四、关注能耗与运行成本能耗:选择能...
发布时间: 2013 - 12 - 12
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在现如今的真空泵市场上,进口真空泵的种类丰富,因为从使用效果上不难发现,进口装置上效果是非常不错的,所以现在客户们对于进口真空泵的需求也在日益增大。知名的进口真空泵品牌有诸如阿特拉斯(Atalas Copco)真空泵、德国司倍克(SPECK)真空泵、普旭(Busch)真空泵、莱宝(LEYBOLD)真空泵、爱德华(EDWARDS)真空泵、贝克(BECKER)真空泵、里其乐(Rietschle)真空泵等。进口真空泵的性能及其他方面虽好,但是涉及到维修及售后服务,最好是找一个专业的厂家,有些不专业的真空泵维修人员不但不能解决技术问题,还会造成进口真空泵的二次损坏。    但在维修之前,我们还是要尽量做好保养的工作,对进口真空泵正确的保养可减少进口真空泵维修的难度,深圳恒才机电给使用进口真空泵的企业提供一些建议,供大家参考:  1.首次安装进口真空泵时,应检查电机是否正转,也就是电机与泵内转子转向一致,一般电机上方标有电机正常运转方向。  2.长时间停机启动真空泵前,应断续多次启动真空泵。  3.在使用完真空泵后,应对真空泵进行放油处理。  4. 如果是旋片真空泵,应安装在清洁、干净的环境里,不宜有杂物、粉尘、水源、温度过高的区域。  5.在真空泵运转时油温不应高于75度,如故障原因请即时联系真空泵厂家。  6.如果真空泵有吸入杂质、粉尘、水份、化学物质等潜在危险,应该在真空泵进气口位置加装精密过滤器,如果杂质、粉尘、水份量过大,必须加装储蓄罐进行过滤,以防止粉尘以及水份化学物质等杂质进入真空泵。  7.应定期更换真空泵油,一般3-6个月进行一次更换,如发现泵油乳化、碳化等情况,还应及时更换真空泵专用油。  8.真空泵的正常运转中,应保持泵内真空泵油不低于油标线,应在油镜2/3处,加油时,严禁与不同牌号、型号真空泵油混合使用。  9. 如果真空泵需24小时运转,必须每半年对真空泵进...
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