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2019 - 08 - 08
在半导体蚀刻工艺中应用旋片式真空泵的目的是去除曝光和显影的光致抗蚀剂微图案中的下层材料的暴露部分,即,再现与下层材料上的光致抗蚀剂相同的图案。蚀刻是半导体制造工艺,微电子IC制造工艺和微纳制造工艺中非常重要的步骤。这是与光刻相关的图形处理的主要过程。事实上,所谓的蚀刻是狭义理解的是光刻蚀刻。首先通过光刻对光致抗蚀剂进行光刻曝光处理,然后通过其他方法进行蚀刻以去除要去除的部分。随着微制造工艺的发展,从广义上讲,蚀刻已经成为通过溶液,反应离子或其他机械手段剥离和去除材料的通用术语,并且已经成为微加工的通用术语。以下描述Si3N4蚀刻的过程:Si3N4刻蚀半导体刻蚀工艺:在903E蚀刻机中蚀刻,引入蚀刻机的气体是:CF4,NF3,He。氟自由基的作用是使氮化硅被腐蚀,产物是气体,它被旋片式真空泵抽走。为了加速腐蚀速率,可以在CF4中加入少量氧气(5%-8%),因为氧气可以抑制反应室壁中F *的损失,并且:CF4 + O2→F * + O * + COF * + COF2 + CO + ...(电离)。 COF *具有长寿命,当它移动到晶片表面时,发生以下反应以加速腐蚀速率:COF *→F * CO(电离),但加入氧气以腐蚀光致抗蚀剂以减少选择性。蚀刻是微细加工技术的重要组成部分,微电子技术的快速发展推动了微加工技术的发展。通常,蚀刻技术可分为干蚀刻和湿蚀刻。初始蚀刻主要是湿法蚀刻,但是当...
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2019 - 08 - 13
水环式真空泵是工业生产的关键产品,使用了许多工艺,并且它们用于许多无尘和无菌环境中。如:真空吸附,真空包装,真空过滤,真空抽提,液体脱气,气体回收,土壤净化,真空排水/喂料等,具体行业如下:电力行业:冷凝器真空,真空吸水,烟气脱硫,粉煤灰输送,真空排气石化:气体回收,气体排放,原油减压蒸馏,聚酯生产,PVC生产。造纸工业:粗浆洗涤,石灰泥过滤,沉淀过滤,真空脱水,真空压榨和辊辊。采矿业:真空过滤,废气回收,气体排放,沼气回收。制药工业:真空干燥,真空蒸馏,物料填充或转移,真空结晶,真空蒸发。木材加工:真空吸附,木材干燥,木材保存,原木浸渍。食品和饮料:纯净水脱气,食用油除臭,真空灭菌,湿滑,真空蒸发,真空包装。医疗设备:蒸汽灭菌,中央真空系统。其他行业:真空吸附,实验室吸尘,臭氧生产,真空挤奶等。可以看出,水环式真空泵是工业生产的核心产品,根据不同的用户分为不同的类型,需要不同应用领域的水环式真空泵应用。因此,在未来,真空泵设备的选择也非常重要。
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2019 - 08 - 16
主要模拟装置的实验内容及其对真空度的要求是航空航天工业中非常重要的内容。一般来说,普通人很难达到它,所以它更加神秘。真空泵制造商已经普及和航空。航空航天相关的真空技术应用知识。螺杆真空泵在航空工业中的应用主要用于空间环境模拟。航空航天活动基本上是在自然真空中进行的,不仅受真空环境的影响,而且受各种太阳辐射和带电粒子的影响。因此,有必要模拟类似的宇宙真空环境并进行各种测试。人类太空探索的步伐正在加快,对空间技术提出了更高的要求。空间环境模拟器是确保航天器在发射,运行和返回过程中安全运行的主要设备。真空环境是地面上的空间环境模拟器。模拟的一个重要部分。真空技术和航空航天技术之间的主要联系来自空间的环境模拟,因为诸如运载火箭,卫星,载人航天器,空间站,太空探测器和航天飞机等各种太空飞行器正在进行太空飞行。它是在宇宙的自然真空中进行的。因此,除了受到空间真空环境的直接影响外,它们还受到太阳辐射,各种带电粒子和温度的影响。这些因素会导致材料特性的变化或损坏;仪器灵敏度的失效将破坏这些飞机的工作,甚至造成宇航员的伤亡。为此,有必要建立一个模拟地面空间环境的空间模拟实验装置。因为在各种飞机之前只有通过地面的模拟实验。掌握航天器在太空工作的条件和特点,消除飞行中的各种隐患,可以保证飞机和宇航员的安全。为了满足这些要求,目前在地面上建立了各种模拟装置。螺杆真空泵具有清洁无油,抽速大,振动小,噪音低等...
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2019 - 08 - 28
无油真空泵根本不使用油。因此,它们是所有需要干净真空环境的操作的理想选择。实验室,分析和化学工业只是其中的一部分。该真空泵还可用于医疗机械自动线,食品加工机械,中西医药厂,医院手术室等。在需求量很大的地方,无油真空泵不仅可靠地完成工作,而且还能减少振动和噪音。本文旨在介绍一种用于干燥,清洁真空的无油真空泵。真空是全球革命性的定制真空解决方案,代表着德国工艺,权威建议和可靠服务。得益于真空产品,各种前瞻性的高端工艺已成为可能。在需求量很大的地方,无油真空泵不仅可靠地完成工作,而且还能减少振动和噪音。该真空泵是干燥和清洁真空的最佳选择。制造工艺或真空泵技术如太阳能电池,半导体,DVD和中空玻璃以及涂覆的高应力机床或玻璃的情况很多。真空在研发和环境技术以及分析仪器和汽车工业中也发挥着重要作用。无油真空泵产品的优点:1.绝对干燥,无油的真空环境2,隔膜使用寿命长3,振动小,噪音低4,安全系数高5.通过简单的隔膜和阀门更换,易于维护6.全球范围的双电压电机或直流驱动器虽然进口无油真空泵具有各种优点,但仍需要注意购买无油真空泵的注意事项。购买无油真空泵时,首先要确定工作所需的真空度。如果需求很高,选择的真空泵应高于所需的真空度。否则,将无法满足真空要求。要求。第二个是无油真空泵的抽速,比选择时所需的抽速稍大,因此可以更好地满足需要。最后,看看提取的气体是否具有腐蚀性,腐蚀性气体是否会腐蚀泵,必...
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2019 - 09 - 03
如何选择实验室中使用的真空泵是困扰许多用户的问题。使用真空泵后,很多用户会遇到真空计,观察到真空度不够(吸力不够),抽速太慢,而且用于相对封闭的房间。当使用泵时,存在诸如噪音过大或油雾的各种问题。而这些问题往往与选择有更大的关系。在实验室中常用的是单级旋片式真空泵。其性能稳定,耐用,功能强大,废气无油雾,噪音低,振动小。因此,在实验室中应用单级旋片式真空泵是非常合适的。一般用户可能无法理解进口单级旋片式真空泵的参数与实际使用效果之间的关系。一般来说,用户在购买实验室真空计时主要考虑以下因素:1.使用环境是否需要确保无污染:由于设计原则,有些真空泵需要使用其他介质来辅助泵的运行,如油旋片真空泵和水循环真空泵,需要倒出泵油并分别连接水源。使用泵油时,油雾会排放到空气中,污染环境;并且泵必须连接到水源,因为它需要连接到水源。一些需要在细胞室洁净室中吸出细胞培养上清液的顾客不能使用这些产品。在这种情况下,应选择无油真空泵,并插入此类产品。2.哪些仪器和设备一起使用:不同的设备使用不同,有些需要更高的真空,如真空蒸馏;有些需要较高的抽速,如真空干燥箱,需要考虑罐体的内部容积;而真空吸滤的应用更为复杂。有必要检查过滤的滤液容量,液体中的颗粒物质含量,然后根据不同的条件选择合适的真空或抽速。3.配套设备的体积:设备的体积和真空泵的抽速参数是相关的。例如,当与一般的1000ml真空过滤瓶一起使用时...
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发布时间:2023-12-28
罗茨鼓风机在线路板能起到什么作用?真空吸附固定线路板可以使用罗茨鼓风机吗?答案是可以的。深圳恒才机电设备有限公司在电子行业的真空应用已经很有经验,真空设备技术也非常成熟了。我们为线路板真空吸附、固定工...
来源:
发布时间:2023-12-20
深圳恒才机电根据客户要求,提供了新型真改造方案:中央真空系统,罗茨水环真空机组中央真空系统(罗茨水环真空机组),采用多台真空泵组集中抽真空,建设独立泵房,共享一套真空系统、共享一条抽真空管;真空泵组分...
来源:
发布时间:2023-12-14
在塑胶行业内,许多大公司开始淘汰传统真空设备,对于油污染大、真空度不稳定、不能过滤杂质水汽的真空泵组,都开始做出真空改造升级。今天分享的客户是从网上看到我们的真空改造案例,从而咨询的,我们的真空泵系统...
来源:
发布时间:2023-12-13
在精雕机上,真空吸附工件可以确保工件在加工过程中稳定固定,提高加工精度和效率。客户原有的真空泵设备真空度不稳定,吸附功能断断续续,影响高速生产和元件加工的精密度,因此提出了改造升级真空泵系统——水环式...
来源:
发布时间:2023-12-12
半导体芯片精雕机搭配真空泵应用,主要通过真空泵系统吸附工艺进行生产,恒才机电根据客户的需求,提供真空泵选型、设计真空机组、安装真空系统等服务,最终形成了一套真空度稳定、生产效率高的水环式真空机组,以水...
来源:
发布时间:2023-08-31
螺杆真空泵在半导体行业中有着广泛的应用。这是因为螺杆真空泵具有稳定的抽气性能,能够提供清洁、无油、低温和高温真空环境,非常适合半导体工业的需求。以下是螺杆真空泵在半导体行业中的一些应用:气相沉积和蚀刻...
来源:
发布时间:2023-07-13
在烟草行业中,真空泵通常用于以下几个方面的应用:烟叶干燥:真空泵可以用于烟叶干燥过程中的真空抽取。通过将烟叶置于真空环境中,可以快速去除水分,加速烟叶的干燥过程,提高生产效率和产品质量。包装和封口:在...
来源:
发布时间:2023-07-11
真空泵在陶瓷行业中有广泛的应用。以下是一些常见的应用领域:陶瓷成型:在陶瓷成型过程中,需要将粉末或浆料注入模具中,并通过真空抽取使其充分填充模具空腔,确保成型品的细节和质量。真空泵可以通过排除空气,减...
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