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晶圆吸附选泵不用纠结:恒才水环真空泵机组比普通泵稳、比坚山泵省
2026
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08
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13
很多半导体工厂的设备采购部门,在选晶圆吸附真空泵的时候,始终陷入两难的纠结:选便宜的普通国产泵,真空度差、不稳定,用不了两年就坏,影响良率;选日本坚山的进口泵,性能确实好,但价格贵得离谱,后续维护成本高,现金流压力太大。很多工厂在两者之间反复摇摆,要么选了便宜泵用半年就后悔,要么咬咬牙买了进口泵,运行几年之后发现全生命周期成本高得吓人。深圳恒才引入德国核心技术的晶圆吸附专用水环式真空泵机组,刚好卡在两者之间的最优区间,性能远超普通国产泵,价格和长期成本远低于日本坚山的进口泵,给工厂提供了第三个更优的选择。和普通国产旋片泵相比,恒才的水环机组优势极其明显:普通国产泵的极限真空度只能到1000hPa,运行半年之后磨损加剧,真空度直接掉到600hPa以下,完全达不到晶圆吸附的高真空要求,真空度波动范围超过200hPa,很容易导致晶圆掉片碎片。而恒才的水环机组采用德国双级串联技术,极限真空度可达33hPa,长期运行真空度稳定维持在100hPa以内,波动范围控制在±5hPa,完全满足晶圆吸附的高精度要求,而且水环泵的结构天然耐磨损、耐水汽,哪怕吸入少量硅粉和清洗液,也不会出现泵体快速磨损的问题,使用寿命是普通国产旋片泵的3倍以上。普通泵一套12工位的方案采购成本虽然只要20万,但用2年就要全部更换,2年的总投入超过40万,而恒才的机组可以稳定运行8年以上,长期性价比远超普通泵。和日...
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CNC精雕机的真空吸附的使用注意事项
2018
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真空吸附是一种常见的一种真空泵应用,CNC加工加心就常常用真空泵来达到负压真空吸附。今天我们来了解一下CNC雕刻机如何运用真空吸附?真空吸附的原理,真空吸附采用真空负压来“吸附”工件以达到夹持工件的目的。如图1 所示:通气口与真空发生装置相接,当真空发生装置启动后,通气口通气,吸盘内部的空气被抽走,形成了压力为P2 的真空状态。此时,吸盘内部的空气压力低于吸盘外部的大气压力P1,即P2 1. 初次启动,用螺丝刀拨动电动机风扇,确保叶轮无卡滞; 2. 吸气口与雕刻机吸附管道连接,严格进行密封,防止泄露;3. 必须用4平方以上的线。接线时,先按照一定顺序接,真空泵应该为顺时针方向转,如果电机反转,任意调换其中的两根线即可。4.连接电动机电源,并调整运转方向与所标相符;真空泵需要的电源开关不低于100A。真空泵的电源要独立,不许和其他设备共用一个电源开关,如果出现电机转速慢或者电源开关跳闸时,应及时关闭电源检查电路是否正常。 5.向水箱内注水,直到上水位口淌水为止;...
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水环真空泵对润滑剂的要求,多久换一次好
2019
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水环真空泵对润滑剂的要求 润滑油可以说是水环真空泵机械设备的“血液”,它可以减少水环泵零件内部的摩擦并延长设备的使用寿命。 水环真空泵用于确保使用过程中的工作效率。它还需要定期润滑工作。 1,具有较低的饱和蒸气压 在水环真空泵的低压和高温工作条件下,油的低蒸气压指数很容易蒸发,以确保所需的真空度。 2,抗氧化 氧化稳定性更好,所使用的油不易氧化和变质。 3,具有适当的粘度 油的粘度太小,润滑性不能满足要求,密封性不好,粘度太大,内摩擦大,转子难以旋转,动能消耗增加,并且油温也会升高。油温升高会加速油的氧化变质。 润滑油是维护水环真空泵必不可少的项目。只有选择更好的润滑油来保养设备,才能有效地提高其工作效率和使用时间。如果选择的润滑剂不合适,则会产生相反的效果,因此在选择时一定要考虑一下。 水环真空泵多久更换一次机油? 水环真空泵设备在运行期间更加严重。问题之一是石油污染,这将导致管道阻塞。发生这种情况时,需要更换水环真空泵。当肉眼无法观察到油脂是否变质时。必须根据常识掌握一定的更换时间。 1.如果在使用水环真空泵期间检测到溶剂的气味,通常表明需要更换机油。浅棕色,深油也表明存在水。如有疑问,应及时更换机油。在小型水环真空泵中,黑色的油不一定表示该油已被污染。 2. 水环真空泵叶片的磨损时间越长,活动部件的内部座便越好。通过这种磨合将更多的碳带入油中,它可以使...
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超高真空机组的特征
2019
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工作在10-5Pa以上的超高真空机组具有扩散泵,分子泵超高真空机组和无油超高真空机组。该真空机组具有以下特征: 1.主真空泵的最高真空度很高,在10-7〜10-8pa以上 2.可以承受200〜450°C的高温烘烤。 3.主泵回油的分压非常低。 4.对真空泵送气体具有较强选择性的主泵应配备足够大的辅助泵。 5.要求真空室,管道,阀等的材料的气体输出率低,气体泄漏率小。 (1)扩散泵超高真空机组 以扩散泵为主泵的超高真空机组的极限真空度为10-7〜10-8Pa。 为了减少来自扩散泵前级的气体的反向扩散和机械泵油的反向扩散对极限真空的影响,可以在前级使用抽速小的扩散泵降低扩散泵的压缩比,减少小扩散。如果将钛升华捕集器添加到扩散泵的入口,则可以进一步降低来自扩散泵的氮气的分压,并且可以获得10-11 Pa的超高真空。 (2)分子泵超高真空装置 以分子泵为主泵的超高真空装置的极限真空度为10-8Pa,具有启动快,油污少的特点。 增加装置中的液氮捕集器可以提高抽速。水冷疏水阀位于机械泵的出口,以防止油蒸气进入系统。 (3)无油超高真空机组 不使用油作为工作流体且未用有机材料密封的真空机组称为无油超高真空机组。常用的主真空泵有低温泵,钛泵,溅射离子泵等,它们可以达到10-7〜10-8Pa的极限真空度。与抽油机相比,具有以下优点 1.可获得清洁的真空,无污染源...
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真空泵的密封材料介绍
2020
-
05
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21
随着工业技术和密封技术的发展,真空泵广泛应用于电力、化工、石油等行业,对泵密封的密封和可靠性要求越来越高。泵的密封在整个设备的运行中起着重要的作用,泵密封系统的泄漏将严重影响设备的正常运行。特别是高温高压泵的发展,使得泵的密封更加严格。 密封材料 1.橡胶石棉盘根 橡胶石棉盘根XS 250(极端工作温度250),橡胶石棉盘根XS 350(极端工作温度350) 适用介质:蒸汽、水和碱性溶液。 2.油浸石棉盘根 油浸石棉盘根YS 250(极限使用温度250),YS350(极限使用温度350):该产品的突出特点是盘根含有润滑油,摩擦系数小,压缩量大。 适用介质:蒸汽、空气、工业用水和重石油产品。 3.聚集四氟乙烯石棉盘根,的SMF 工作温度:-100 ~ 250,适用介质:弱酸、强碱等腐蚀性介质。 4.油浸棉麻盘根的YMM 极限使用温度:120,适用介质:河水、自来水、地下水、海水等。 5.聚集四氟乙烯纤维压缩包装 聚四氟乙烯纤维压缩包装,产品分为六个品牌。 在使用过程中,首先允许少量的填料泄漏。在填料处于相对稳定的状态一段时间后,调整填料压盖。开始时不要压得太紧,以免包装烧坏。 6.碳纤维编织密封填料 碳纤维编织密封填料是一种高强度、高模量的新型材料。它具有强度高、弹性模量大、耐高温、耐化学腐蚀、导热性好、热膨胀系数低、自润滑等优点。 在初始操作期间,...
食品加工真空解决方案之智能液环真空泵
来源:
智能液环真空泵
发布时间:
2020
-
04
-
02
LRP 700-1000 VSD+ 采用变速驱动 (VSD) 技术的智能液环真空泵。 作为液环技术迈出的又一大步,LRP 700-1000 VSD+ 系列非常适合多雨、潮湿和肮脏环境中的应用,这些应...
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制糖厂干式爪泵替换水喷射真空泵解决方案
来源:
恒才机电
发布时间:
2019
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19
对于很多没有进过制糖厂,不清楚制糖工艺的人来说,根本搞不清楚真空泵在制糖厂中的应用.今天我们借着这个机会给大家介绍一下。在制糖行业中一直有用真空泵的习惯,在煮糖,蒸发,吸滤机,真空引水等方面更是广泛使...
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应用于干燥剂行业的水环真空机组
来源:
真空泵厂家
发布时间:
2018
-
09
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大家看到下面这两张图片,就是我们在干燥剂行业的一家公司安装的水环真空泵机组,这个水环式机组的功率和真空度能够满足企业的生产要求,深圳恒才机电提供真空机组方案设计、安装、售后维护等一系列服务,根据客户现...
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