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2025 - 05 - 23
电子封装用水环真空泵机组具有以下优势:结构简单,制造与维护便利:水环真空泵机组结构紧凑,制造精度要求不高,容易加工,一般可与电动机直联,无需减速装置,占地面积小,操作简单且维修方便。这种设计不仅降低了设备成本,还减少了维护时间和成本。工作平稳,运行可靠:水环真空泵机组的转子和外壳之间通过水环形成密封,减少了转子旋转时的噪音,运行平稳且稳定性强。这种平稳的运行状态延长了设备的使用寿命,降低了故障率,确保了电子封装过程的连续性和稳定性。适应恶劣工况:水环真空泵机组能够在高温、低温以及恶劣环境条件下稳定运行,对气体的压缩接近等温压缩,压缩时温度变化小,泵内没有相互摩擦的金属接触面,不易发生燃烧爆炸事故。这种特性使得水环真空泵机组特别适用于处理含有微小颗粒或水分的气体,以及易燃、易爆等危险气体。密封性能好:水环真空泵机组采用水作为密封介质,具有良好的密封性能,可有效防止气体泄漏。在电子封装过程中,这有助于保持封装腔室内的真空度,提高封装质量。安全性高:水环真空泵机组无需对泵内进行润滑,转动件和固定件之间的密封由水封完成,减少了因润滑油泄漏而引发的安全隐患。同时,其稳定的运行状态和较低的故障率也进一步提高了设备的安全性。
2019 - 10 - 29
随着社会高新科技的发展,越来越多的行业对清理真空、环保等的需求更为严格,避免返油渗油的污染,因此干式螺杆真空泵得到了快速地发展。  干式螺杆真空泵主要用于高纯粹的真空加工工艺过程,可处理含可凝性蒸汽的气体,含细微细颗粒物的气体。螺杆真空泵具有低消耗能、抽速大、使用期长、免 检修等特性,因此广泛应用于石油化工、冶金工业、制药业、生物技术、造纸工业、电子光学工程等行业领域。  螺杆真空泵由电机定子、电机转子、旋片、发动机缸体、电动机等主要零部件构成,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。  由于螺杆真空泵没有真空泵物质(真空泵油、水等),通过螺杆真空泵的气体未受真空泵物质的污染。这样螺杆真空泵下冷疑部分转化成过热蒸汽下冷疑,进一步提高有 机溶剂类原材料的利用率,对螺杆真空泵下难冷疑的原材料特别有益。  通过该流程配备,螺杆真空泵排污的废气中已基本可含工业废气。另外,螺杆真空泵排尽气体通过列管式冷疑器的壳程后,噪音也大大降低。  螺杆真空泵与启动马达对比真空度低,抽供气量小,但容积精巧,便于安装,维护简单,移动方便,不环境污染,尤其在要求较高的场所使用也不错。  因此在购买螺杆真空泵时要先确定要求工作的真空度,如果需求的真度高,选的螺杆真空泵就要高过需求的真空度,不然会达不到工作标准。
2019 - 11 - 05
首先,真空泵本身泄漏  1,密封件泄漏。检查密封件,所述更换损坏的密封件的所有的密封件。  2,气镇阀垫片损坏,或拧紧。更换并拧紧垫圈气镇阀。  3,排气阀膜受损,密封不好,阀板应更换。  4,真空泵膜片推干扰的量过多,导致在真空室中泄漏的变形。应更换或修理的真空泵室。  5,由于由密封不良的真空泵油泄漏的端部表面。它应该是开放的端盖,检查有无凹凸不平杂物,清洗或修理。  其次,真空泵油问题  1,把油面高度过低,足够的油应加入到油标准中心线。  2,受污染的油,油质变坏。应该用新油更换。  3,油的等级不匹配,应该通过规定品牌真空泵油的更换。  4,油道屏障,真空室不能维持正确的油。单向阀进油通道和油,油是明确的。  5,过滤器的进气口被堵塞。拆卸过滤器应该是干净,然后把东西。  6,转子被变形或破裂失败弹簧和旋转叶片移动。整修或更换应春具有良好的产品转子旋转叶片的偏转。  7,真空泵温度过高。  1,中的溶液被抽气体温度过高。应该被允许进入加油站前冷却下来。  2,真空泵吸入体是很难磨损。拆卸硬物应该打开真空泵,修复或更换零件划伤。  3,真空泵冷却水是不够的。应该增加冷却水流量。  4,装配不当,转子轴的位移,导致片面的磨损。它应拆开检查和重新组装。  8,由于处理不良或磨损由间隙引起的过大。它应与泵室,转子,旋转叶片,罩板之间的间隙,流延预定的精度修理或更换进行检查。  9...
2019 - 11 - 07
什么是水环真空泵       水环真空泵是液体环真空泵是最常见的一种。液环真空泵是安装在泵壳体中的多叶片转子具有偏心。当它旋转时,液体抛出和泵壳体与所述泵壳的液体环同心,形成体积排量泵和所述转子叶片的液体环旋转周期变化。当工作流体是水,所述水环泵。  水环真空泵工作原理  水环真空泵的叶轮在泵壳内偏心安装。启动前在泵气缸内灌入脱氧水(工作液)。当叶轮顺时针方向旋转时,由于离心力的作用,将液体甩至泵体壁,叶轮的转动迫使工作液沿泵壳内壁形成一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。此时,会在两相邻叶片、叶轮轮毂和液环内表面之间形成一个被工作液密闭的“气腔”。由于叶轮在泵壳内是偏心配置的,所以水环的内表面与叶轮轮毂之间形成一个月牙形空间,它被叶片分成若干容积不等的小室,每个小室的容积随叶轮转动作周期扩大和缩小,当小室容积逐渐扩大,气体由外界吸入,当小室容积逐渐缩小,使原先吸入的气体被压缩而排出。这样,叶轮每转一周,叶片与叶片间的小室容积改变一次。每两叶片间的液体好像液体活塞一样往复运动,连续不断地抽吸气体,达到抽真空的目的。  水环真空泵选型  1、应尽量选择转速较低的规格  我国水环真空泵的使用最可能是2BE 系列,属轴向吸排气单作用泵,关于同一个规格都有多种转速供抉择,当进口压力在200 hPa~600 hPa,排气压力为800 hPa~10...
2019 - 11 - 08
真空泵是非常重要的机械设备,广泛用于生产中,类型很多。您对不同类型的真空泵的工作原理了解多少?以下是为真空泵设计的几种类型的真空泵的小系列。工作原理和适应范围介绍如下。  01.螺杆真空泵  螺杆真空泵的特点:除了容积泵的共同特点外,螺杆真空泵还具有连续轴向流,脉动小,内部速度低以及混合更多空气和其他气体的可能性。应用了液体搅拌和旋转的许多应用。  适用范围:广泛应用于石油,化工,化纤,电力,海上平台工程,造船,精密机床,食品等工业领域。  02.齿轮真空泵  齿轮真空泵的特点:1.结构简单,价格低廉; 2工作要求低,适用范围广; 3个端盖和齿轮之间的各个间隙凹槽构成了许多固定的密封工作室,只能用作定量泵; 4,重量轻,工艺性能好,价格低廉,自吸性强,对油污不敏感,转速范围大,负载抗冲击,易于维护,运行可靠; 5径向力不平衡,动脉流量大,噪音大,效率低,零件互换性差,磨损后不易维修,不能用作可变泵。  适用范围:一般运输石油,润滑油等润滑液体;在机械工业中用作辅助油泵,用于中速,低压力液压系统和润滑油系统;在化学工业中可用于输送高粘度材料,例如尼龙,聚乙烯,聚丙烯和其他熔融树脂。  03.叶片真空泵  叶片式真空泵的特点:输出流量比齿轮式真空泵均匀,运行稳定,噪音小;工作压力高,容积效率也高,单作用叶片真空泵易于实现流量调节,而双作用叶片真空泵受转子径向流体压力平衡。叶片真空泵的寿...
2019 - 11 - 12
一般情况下,水环真空泵以一定转速旋转工作,如果其转速等于或接近泵转轴系统振动频率的倍数,水环真空泵就会发生猛烈的振动,即产生共振。如果转速一直停留在临界转速附近,轴的变形就将速度增大,导致损坏泵的零件,甚至整个机器的破坏。  为了避免共振现象的发生,应首先计算水环真空泵泵轴的固有频率。由于共振时泵的转速等同于临界转速,所以实质的问题是计算水环真空泵的临界转速。第一阶临界转速下,振动激烈,最为危险,所以通常主要计算第一阶临界转速。  目前,计算临界转速的方法有:瑞利法、等效重量法以及邓克尔莱方程法等。对 于 实 际 中的水环真空泵转轴,都是多阶变径轴,使用瑞利法在计算挠度时会变得非常繁琐,单一运用等效重量法和邓克尔莱方程也不能有效的解决。同时现行计算临界转速都是将叶轮载荷简化为集中载荷,当叶轮轴向长度较长时将会严重影响计算准确性。  因此,针对以上问题,本文提出并使用一种新的有效的计算方法,以解决计算转轴系统的临界转速问题。  计算原理该计算首先将阶梯轴通过当量直径来等效转换为等径轴,计算出其临界转速,同时将叶轮等效为均布载荷,利用叠加原理计算挠度,通过瑞利法可计算 出 叶 轮 载 荷 下(不 计 轴 重)的 临 界 转 速。最后运用邓克尔莱方程计算出转动机构的临界转速。  计算结果  选用某型号水环真空泵的转轴系统进行分析,利用MATLAB对数据进行计算,由 于 系 统 材料为30...
2019 - 11 - 14
我们将向您介绍螺杆真空泵在镀膜设备中的应用。在过去的十年中,由于国内经济的不断改善和人民生活水平的提高,极大地影响了涂料行业在国民经济中的地位和作用。国内市场对产品涂料的要求越来越高,市场需求也在不断增长。真空技术的应用领域包括电子技术,航空航天技术,加速器,表面物理学,微电子学,材料科学,医学,化学工业,工农业生产,日常生活等领域。真空泵镀膜的应用是真空应用的一大分支,在光学,电子,物理和化学设备,包装,机械和表面处理技术中有着广泛的应用。  真空镀膜的主要方法有:  真空溅射:当高能粒子(通过电场加速的正离子)撞击固体表面时,它们与表面上的原子和分子交换能量,导致这些原子和分子溅出。  真空蒸发:将形成薄膜的材料加热并在真空中蒸发,以将其沉积在合适的表面上。  干螺杆真空泵的优点  1、工作腔和螺杆转子表面均具有抗腐蚀涂层,可适应恶劣条件。  2、气体未在泵中压缩,适合于抽取可凝性气体。  3、无油耗,无滴落。  4、结构简单,维护方便。  5、所泵送的气体直接从泵体排出,不污染水,没有环境压力,更便于气体回收。  螺杆真空泵是真空镀膜设备生产中必不可少的设备。其主要功能是控制镀膜机的温度,以确保镀件的质量和生产效率。它的应用可以避免环境温度对自来水和冷却塔的冷却造成的不利影响,并确保涂布机高精度,高效率地工作。真空泵的冷却效果也直接影响产品的质量。随着真空镀膜行业的飞速发展,...
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2020 - 07 - 16
真空泵的使用越来越广泛,现在的真空泵无论是设计还是工作效率都适应了群众的需要,自然真空泵的应用范围越来越高,了解真空泵的修理相关知识绝对有助于我们。  首先,我们必须清楚故障的原因。真空泵最常见的故障有固定、停电、过升温、警报水、马达温度警报等。进口的真空泵确实有专用的警报代码和英语。这样,我们可以根据其标准的维护手册来处理不同的问题,但一般来说,真空泵的维护是沿着它们进行的,效果也比较好!水环真空泵  然后,根据情况当然需要不同的维护方法,但是如果转子和盖直接磨损,则需要将盖破损的地方平整后再修复转子。对于真空泵来说,维护可以说是比较简单的。  再次,真空不良,也就是真空泵粘连的主要原因,有可能是消耗品劣化引起的气体泄漏。这种情况下,可以更换该材料,此后组装技术也有可能不足。当然有必要重新组装。  另外,由于自身的材质不好,真空不良也有可能对真空转子产生影响,但一般来说,如果选择正旋片真空泵规制造商的真空泵,这种情况很少。  真空泵结垢在水环,非常普遍,尤其是在选煤厂和化工厂。  含有钙盐和镁盐的水在工业上被称为硬水。海水、井水、泉水等。由于与土壤和岩石接触,自然界中溶解了许多杂质。这些杂质大部分是碳酸钙和碳酸镁、硫酸盐和氯化物,所以它们是硬水,而雨水是软水。  水中的钙盐和镁盐很容易合成,形成不溶性碳酸盐沉淀,附着在泵部件上,形成水垢。水垢容易堵塞气孔和缝隙,并牢牢粘住零罗茨真...
2020 - 07 - 21
旋片真空泵可以泵出密封容器中的干燥气体,如果配有气体镇流装置,还可以泵出一定量的可冷凝气体。然而,它不适合泵出含有太多氧气、对金属有腐蚀性、与泵油发生化学反应以及含有微粒灰尘的气体。那么,应该如何检查旋片真空泵的油位呢?  检查旋片真空泵的油位。油位应在旋片真空泵油标的中心。如果油位过低,排气阀无法密封,从而影响真空度。油位过高,这将导致启动时燃油喷射。  1.旋片真空泵运行前,取下三角带水环真空泵,校正电机转向,然后开始避免喷油。  2.运行中,油位略有上升,这是正常现象。当油量不足时,使用真空泵油并从注油孔添加。应过滤油,以避免异物进入堵塞油孔。如果电磁阀安装在旋片真空泵的泵口,它应与泵同时运行。  3.当旋片真空泵开始启动时,按一次或两次点动启动按钮,使泵腔内的油压达到油箱,然后正式启动运行。当环境温度较高时,旋片真空泵油温升高,粘度降低,饱和蒸汽增加,导致极限真空降低。因此,应加旋片真空泵强通风和散热。在停止旋片真空泵之前,应关闭吸入口的阀门以与真空系统隔离,然后应停止泵以检查旋片真空泵的极限真空,并应采用压缩真空计。真空计应直接与旋片真空泵的泵口连接,在运行30分钟内达到极限真空。  运转中的旋片真空泵,如果进行了不适当的操作,旋片真空泵的真空度会降低,经常会发生冒烟、喷油、油封漏油、噪音等现象,以及泵内真空泵油的乳化等现象。万一发生这种情况时,首先不要恐慌,瘫痪后配合故...
2020 - 07 - 24
螺杆泵实质上也是齿轮泵,适合于工作母机或精密机械设备的油压系统。 一般使用2个螺杆泵或3个螺杆泵,有立式和卧式两种安装方式。  1.选择螺杆泵的原则  选择策略:根据泵的特性和特性进行选择。 例如,是否适于固体粒子或含有无润滑性液体的输送  选择螺杆泵的步骤如下所示:  (1)选择螺杆泵向厂家订货时,一般提出螺杆泵的技术要求,发送介质的种类和标准编号,发送介质的最高、最低温度和介质的最高最低黏性系数。 安装结构类型为卧式还是立式,安装尺寸或作业环境为露天、防爆、“三防”或一般或输送最大、最小流量输送最高最低压力真空,可提高使用时对泵的旋转方向压力脉动、噪声、振动、马达种类及转速的要求。  (2)根据螺杆泵订货技术的要求,从手册中检测出相应规格的螺杆泵。  (3)用螺杆泵需要的流量和压力值,检测泵主动螺杆的顶圆尺寸和泵需要的转速。  (4)调查能够从手动吸取真空的高度值是否满足需求,一头地确定主动螺杆的顶圆直径尺寸和泵的转速。  (5)根据制造商的型号规定说明,必要的泵得到最后决定的型号规格。  2.螺杆泵的安装  安装螺杆泵时,请注意以下事项:  (1)在第一次启动螺杆泵之前,请检查泵的油封是否良好,检查泵在运输中是否破损,驱动螺杆是否均匀旋转,没有粘着现象。  (2)出入通讯端口必须进行漂亮地清洗,配合泵入通讯端口的入油管必须根据需要加入密封剂,以避免漏气。  (3)在马达和泵的...
2020 - 07 - 29
真空泵的原理是,在泵壳内偏心收容具有多翼的转子,当其旋转时,将液体投入泵壳形成与泵壳同心的液环,液环和转子翼形成容积周期变化的旋转可变容量真空泵。 真空泵广泛应用于电子、电池化学工业、塑料、造纸、包装印刷、生产线版压接、CNC加工中心等各行业,如果泵的使用不当,将会发生哪些需要特别注意的问题,请查看售后服务部的总结。  在真空泵的取水使用中,由于操作错误,真空泵不能排水的原因如下。  (1)如果真空泵的转速不足或反转,马达就会烧坏。  (2)循环水不流动或者水管道堵塞,阀门没有打开。  (3)循环水量过大,循环水倒流。  (4)提起泵密封箱(通称盘根),上水管线和耳朵皮等有漏气。  (5)提升真空泵出口的阀门没有关闭。  (6)从真空泵盘泄漏空气,泵的磨损加重或破损。  真空泵故障原因及排除方法  1.真空泵的温度过高。  被抽出瓦斯气体的温度过高。 蒸发制冷瓦斯气体后,在进入真空泵内。  真空泵的蒸发制冷水流最不足。 请加大冷却水流量。  吸入坚硬物体,使真空泵体磨损。 拆卸真空泵,去除硬物,修理或更换有伤痕的零配件。  组装不当,转子轴心位移,可能导致单面磨损。 请分解检查,重新组装。  2.真空泵油有问题。  油脏,油质变差,必须更换新油。  油位太低。 到油标中心线加油量。  油路不连通,真空泵腔内无法保持适当的油量,因此请检查油路及油阀的供油量,使油路顺畅。  油品牌不合...
2020 - 08 - 05
真空热处理被当代热处理界称为高效、节能、无污染的清洁热处理。真空热处理零件具有不氧化、不脱碳、不脱气、不脱脂、表面质量好、变形小、综合力学性能高、可靠性好(重复性好、寿命稳定)等一系列优点。因此,真空热处理在国内外得到了广泛的重视和应用。并将真空热处理的普及程度作为衡量一个国家热处理技术水平的重要标志。真空热处理技术是近四十年来热处理技术发展的热点,也是先进制造技术的重要领域。在这里,我们将告诉您在用真空对真空泵进行热处理时应该注意的几点:  一、当用真空泵处理钛合金时,不应使用氮气作为冷却气体,因为钛和氮气会在高温下反应生成金氮化钛。  二、真空泵的活动连接部分用O型橡胶圈密封,该部分用水冷却。  三、真空泵工件在真空中淬火,应使用真空淬火油,这种油具有较低的饱和蒸汽压。  四、真空炉的维护应处于真空或纯氮气状态,防止不使用时吸入水分。  五、国内真空炉压力上升速率应不超过1.33帕/小时,国外一些企业规格为0.67帕/小时  六、真空加热以辐射为主,工件应坚持在炉内的间距。  七、在真空泵加热工件的过程中,炉内数据会放气,使真空度下降。  八、真空回火、真空退火、真空固溶处理和真空时效的加热温度一般与常规处理相同。  九、真空回火炉应有快速冷却装置。冷却水的压力应大于0.2兆帕流量,并应可调。  十.冷却气体:钢一般用纯度为99.995%的氮气,高温合金用纯度为99.999%的...
2020 - 08 - 14
真空泵轴是转子的主要部件。轴配有叶轮、轴承和其他部件。它由真空泵主体中的轴承支撑,用于高速旋转以传递扭矩。  用于真空泵的泵轴的材料通常不是35钢,大多数钢是由45钢或40Cr通过热处理制成的。真空泵的维护是一项系统工程,对泵轴不同程度的损坏有不同的解决方法。以下是一些常见的问题:  1.更换真空泵的泵轴:如果泵轴有下列情况之一,更换新的泵。  泵轴损坏;表面磨损严重,达到硬泵轴的强度,或严重滚动等缺陷无修复价值;泵轴弯曲严重,无法纠正。  2.泵轴的修理:在检查真空泵时,在拆下泵轴后,检查各相关轴颈的裂纹、表面缺陷、尺寸精度和弯曲程度,以确定修理方案。  可以用百分表在普通窗户上检查塌陷的弯曲量。网格量不应超过0.06毫米。如果大于该值,应将其拉直。方法如下:  (1)螺旋压小指。如果弯曲较大,可在主梁平台或螺旋压力机上进行。当矫直是直的,画点是向上的。对于大直径和直线度的轴,在矫直加热范围为20-40毫米之前,当前弯曲位置应通过气焊加热。在这个范围内,包裹石棉绳或中空玻璃棉。加热应该缓慢且均匀。焊嘴为6号或7号,空气流速约为130-160米/秒。当温度达到600-650时,可将焊嘴取下并保温,然后拉直。放学后,停止加热,然后让它慢下来到温室,然后测量两个弯道是否在规定的范围内。  (2)点热。待加工的矫直真空泵轴应放置在带有两个V形铠装的平台上,最高涂层点朝上,直径为5 mm的...
2020 - 08 - 21
1.适宜的粘度和良好的粘温特性:液环真空泵室的内容积不断变化形成排气作用,润滑油需要适宜的粘度和粘温特性。  2.极低的蒸汽压:这是真空润滑油的一大特性,因为真空泵对真空度的要求很高,一般使用石蜡类窄馏分润滑油,扩散真空泵也可以使用蒸汽压低的硅油或其他合成油。  3.良好的耐腐蚀性和耐乳化性:如果是真空泵的腐蚀性气体,会与油发生化学反应,腐蚀泵内的零件,使空气中含有水蒸气冷凝水,引起润滑油的乳化和金属腐蚀,要求润滑油具有良好的耐腐蚀性和耐乳化性。  4.良好的热氧化稳定性:由于滑板和泵体的高速摩擦,油温上升,油品容易氧化分解,特别是扩散泵在高温环境下工作,使系统内的蒸汽压上升,降低真空度。因此要求润滑油具有良好的热氧化稳定性。  5.低临界压力:临界压力是润滑油的重要使用性能指标。此外,为了不影响润滑油的饱和蒸气压,水环真空泵在使用中请勿含有轻量成分。
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如何设计真空泵机组?

日期: 2019-06-27
来源:
浏览次数: 163

  一、 设计真空泵机组的条件

  1、真空室的已知参数,

  如放气的表面积和真空室的体积,所需的最大吸气量和极限真空度,预抽时间和达到极限真空的抽气时间等.

  2、真空室内的气体源情况,

  真空室内的大气,真空室内表面放气,真空室的动密封处、静密封处的漏气,壳体渗透气体,被处理材料放出的气体,工艺过程需要而引入的气体,

  3、真空室内的特殊要求,

  工艺过程中是否产生尘灰、金属喷溅、腐蚀性气体、水蒸气等,真空室内是否要求无油、无振动等。

  

如何设计真空泵机组?


  二、真空机组设计计算的一般程序

  A.真空室内总放气量的计算;

  B.确定真空室的有效抽速;

  C.粗配主泵和粗配前级真空泵;

  D.根据要求选择阀门、捕集器、除尘器等真空元件;

  E.绘制真空系统装配草图,确定各部分的尺寸;

  F.梢确(复核)计算各真空泵的参数,如果粗选的真空泵达不到要求,就需要重新选泵和配泵,直到满足各参数要求为止;

  G.绘制真空系统装配图;

  H.绘制零件图,绘制施工图。

  这八条设计计算步骤是非标准设计不可缺少的。随着真空设备的不断发展,随着各种新型的真空机组的不断出现,真空系统设计过程会不断简化.现在已有定型真空机组,若可以直接选择定型真空机组来获得所需真空系统,便可省去麻烦的真空系统设计。


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深圳恒才新型真空引水机组是一款集高效引水、智能控制与强大过滤功能于一体的先进设备,以下从核心配置、性能优势、应用场景及维护管理四个方面进行详细介绍:一、核心配置:德国工艺与智能控制的融合德国SPECK水环真空泵高效稳定:采用德国SPECK品牌水环真空泵作为主泵,利用水作为工作介质,通过叶轮旋转形成水环,实现气体的吸入、压缩和排放。其结构紧凑、运行平稳,适用于抽吸含水蒸气、腐蚀性气体或微小颗粒的混合气体,满足泥水、粉尘等复杂工况需求。耐腐蚀性强:泵体材质可选不锈钢或特殊合金,适应不同水质和化学环境,延长设备使用寿命。低噪音设计:通过优化水环形成与气体流动路径,降低运行噪音,改善操作环境。西门子触摸屏控制系统智能化操作:配备西门子触摸屏,实现设备启停、参数设置、状态监控、故障报警等功能的集成化操作。用户可通过界面直观查看真空度、流量、温度等关键参数,并一键调整运行模式(如手动/自动切换)。远程管理:支持与上位机或云端平台连接,实现远程监控与数据分析,提升运维效率。安全保护:内置过载、过热、缺相等多重保护功能,确保设备安全运行。二、性能优势:快速引水与高效过滤的双重保障1-3分钟快速引水高效抽气能力:水环真空泵在短时间内建立高真空度(通常可达-0.098MPa以上),迅速排除系统内空气,形成负压环境,实现快速引水。大流量设计:泵体流道优化,减少阻力损失,确保在引水过程中维持高流量,缩短引水时间。搅拌型过滤器配置直接过滤泥水混合物:过滤器内置搅拌装置,通过旋转叶片打散沉淀物,防止泥沙、粉尘等固体颗粒沉积堵塞,同时利用水环的剪切力将颗粒分散在水中,实现高效过滤。微粒状固体过滤:滤网精度可根据需求定制(如50-200目),有效拦截沙石、微粒等杂质,避免其进入泵体或管道,保护设备免受磨损。排水便捷:过滤器设计有反冲洗功能或快速拆卸结构,可定期清理滤网或排出沉积物,维护简单,降低停机时间。...
发布时间: 2025 - 07 - 23
高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
发布时间: 2025 - 07 - 22
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