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2018 - 07 - 21
2018年6月30号,恒才真空泵公司年召开了年中工作汇报和下半年计划,本次会议的主是,总结上半年“战况”并提出下半年工作计划、改进、目标和解决方案!        出席会议的人员有总经理陈总,销售、行政、财务、技术等部门领导及员工。会议由办公室主任莫主任主持。会议开始,莫主任组织大家跳舞,让公司全体员工进入轻松而热烈的氛围中。开展会议,公司办公室主任莫主任向大会作了《2018年上半年度公司工作报告》报告中总结了公司2018上半年取得的优异成绩。特别是螺杆真空泵、水环真空泵、真空系统机组、离心泵、高温磁力泵几款产品保持快速发展势头,销售同比增幅均超过56%,实现了公司规划战略性的突破,同时客户反馈好评,莫主任并对售后安装部门的耐心进行了表扬。        接下来各部门代表处和项目经理列序负责人依次发言,大家分别通过认真统计和仔细回顾后,对上半年辛勤工作和各项工作数据内容进行了详细的总结,分析工作中遇到的问题,并对2018年下半年的自我考核标准作计划。项目经理总结的内容包括各地区上半年的各项工作完成情况和团队管理工作经验。肯定了公司在市场开拓、企业文化建设以及队伍建设和市场定位等方面所做出的成绩。销售总监王经理在《2018公司工作部署》全面分析了2018年上半年的工作和取得的成绩,深刻...
2018 - 08 - 24
2018年8月17日-19日,公司实行三天全员旅游,肇庆端州3天2晚活动,我们游历了苍翠欲滴的鼎湖山,潺潺涓流山湖相映的蝴蝶溪谷、并以虔诚的心叩拜佛门净地“庆云寺“,同事们一路互相倾谈,脸上洋溢着喜悦,心境犹如被洗刷般,没有了工作的压力,围绕在我们身边的只有体现同事之间紧密团队精神的欢声笑语。次日,同事们进行游览阅江楼,参观已逾千年的文房瑰宝端砚的独特风采,领略了精心至致,坚持不懈的匠工精神;铁军独立一雄团叶挺将军的大将风范和魄力,战士们充满激情和希望的声音,艰难阻险都不怕,只要坚定信念不放松,而这一切正是正步的魅力,让我们扔掉脆弱,不忘初心砥砺前行,变得坚强成长。接着我们来到高要学宫孔庙,聆听陈总给我们讲述儒家学说,这也是我们的公司的重要文化,教导我们百行孝为先,温故而知新等为人处事的道理,也正是这种文化坚定了公司发展智慧和同事们团结一致力量的决心。 最后,项目是绕七星岩绿道骑行,一路上大家热情高涨,相互关心,骑行中充满了欢歌笑语、温情和谐,在尽兴游玩之余,深切感受到来自公司大家庭的温暖。有的同事还坚持完成了不可能骑到的终点,面对困难却能坚忍不拔进行到底的决心,也克服了有时只凭感觉行事的思维定式,没有不可能,超越自己就能够创造奇迹。此次旅游活动圆满结束,同事们的内心还将延缓着美好的记忆和愉快的心情,此次游行不仅丰富了员工的业余生活,增强了部门之间的沟通协作,还加强企业凝...
2018 - 09 - 21
2018年9月15日,深圳恒才机电设备有限公司举行快乐会议第一期。此次快乐会议由莫主任策划和担任主持,寿星最大,我们首先给本月的寿星过生日,蛋糕非常甜美。给各位员工发放中秋礼品,大家伙心里都乐开了花。接着,员工们进行才艺表演,看,我们工程朱师傅就来了曲,现场热情高昂,热烈的掌声不断。     张工讲了个与真空泵相关的笑话,让现场的气氛更加浓烈,都笑得合不拢嘴。再接着是令人振奋的积分活动,击鼓传花,积分抽奖,礼品多得抱不过来,个个玩得乐开了花。            本期快乐会议在陈总的发言中圆满结束,陈总说,感谢大家的付出,这是快乐会议的第一期,往后大家团结一致,一起努力,一期接着一期办下去……    最后,深圳恒才机电设备有限公司预祝大家中秋节快乐!阖家幸福!圆圆满满!
2018 - 05 - 21
一、真空度要求单位(pa/mba);真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求,选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。(如:真空工艺要求100pa(绝对压力)的真空度,选用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求绝对压强高于3300Pa,则优先选择水环式真空泵作为真空装置,如果绝对压强要求低于3300Pa,则不能选择水环式真空泵,选择旋片式真空泵或更高真空级别的真空泵作为真空获得装置。 二、真空泵抽速要求单位(L/S或M3/MIN);真空泵要求抽气速率(也就是要求真空泵在其工作压力下,排出气体、液体,固体的能力),一般单位:m3/h,L/S,m3/min。具体计算方法可以参考下面公式自行计算选型。当然,真空泵的选型是一个综合过程,涉及到相关经验等因素。S=(V/t)×ln(P1/P2)其中:S为真空泵抽气速率(L/s)V为真空室容积(L)t为达到要求真空度所需时间(s) P1为初始压强(Pa)P2为要求压强(Pa)三、真空泵要抽的物体成分;1、被抽物体是气体、液体还是颗粒,如果被抽气体中含有水汽或少量颗粒性和粉尘等杂质,慎选旋片式真空泵,如果真空度要求较高,则应加过滤装置加以过滤方能使用旋片式真空泵做真空获得设备。2、要知道被抽物体是否有腐蚀(酸性还是碱性,PH值是多少?),若含有酸碱腐蚀或有机腐蚀等因素的气体,应过滤或中和处理才能选旋...
2018 - 05 - 23
双级旋片真空泵工作原理:如图所示,双级旋片真空泵主要是由定子、转子、旋片、弹簧、端盖等部分组成。转子偏心的安装于泵体内表面相切(两者间的有很小的间隙),转子里开了个槽,槽内装有旋片。当转子旋转时,旋片靠离心力和弹簧的张力使其顶端与定子内壁相接触,沿定子内壁滑动。双级旋片真空泵的详细介绍:阿特拉斯GVD系列双级油润滑旋片真空泵以真空度高,抽速快和水蒸气处理能力强而著称。旋片式真空泵结构紧凑,无振动,运行平稳,应用于各种广泛的真空领域。双级旋片真空泵的应用行业:l  冰箱和空调系统抽真空、干燥和回填l  真空干燥和真空蒸馏l  作为高真空应用的前级泵l  真空冶金l  薄膜技术l  真空冷冻干燥l  变压器和电缆干燥及浸渍、绝缘油处理l  低温容器抽真空 双级旋片真空泵技术参数:双级旋片真空泵维护保养:1.       根据需要检查油位,至少每月一次,2.       根据具体应用更换油,3-6个月,3.       每次更换油,检测并清洁入口过滤器,4.     ...
2018 - 05 - 30
真空系统的种类有很多,但无论哪一种真空应用设备都有一套排除被抽容器内气体的抽气系统,以便在真空容器内获得所需要的真空条件。举例来说:一个真空处理用的容器,用管道和阀门将它与真空泵连接起来,当真空泵对容器进行抽空时,容器上要有真空测量装置,这就构成了一个最简单的真空抽气系统(如图1)。 如图1所示的最简单的真空系统只能在被抽容器内获得低真空范围内的真空度,当需要获得高真空范围内的真空度时,通常在图1所示的真空系统中串联一个高真空泵。当串联一个高真空泵之后,通常要在高真空泵的入口和出口分别加上阀门,以便高真空泵能单独保持真空。如果所串联的高真空泵是一个油扩散泵,为了防止大量的油蒸气返流进入被抽容器,通常在油扩散泵的入口加一个捕集器——水冷障板(如图2所示)。根据要求,还可以在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软连接管道、真空泵入口放气阀等等,这样就构成了一个较完善的高真空系统。 凡是由两个以上真空泵串联组成的真空系统,通常都把抽低真空的泵叫做它上一级高真空泵的前级泵(或称前置泵),而最高一级的真空泵叫做该真空系统的主泵,即它是最主要的泵,被抽容器中的极限真空度和工作真空度就由主泵确定。被抽容器出口到主泵入口之间的管路称为高真空管路,主泵入口处的阀门称为主阀。通常前级泵又兼作予真空抽气泵。被抽容器到予抽泵之间的管路称为予真空管路,该管路上的阀门称为予真空管道阀。主...
2018 - 06 - 01
真空蒸馏是使一些具有很高的沸点化合物化合物沸腾,降低化合物沸腾时的压力,一但压力降低到化合物的蒸汽压(在一定的温度下),化合物就开始沸腾,蒸馏作用就可进行的技术,且以真空汽化器的形式常见于实验室。真空蒸馏工艺在石油化工中使用较普遍,与大气压下蒸馏相比,它有许多特点,使沸点降低;分解聚合物危险性小,能够低温处理;容易加热,热损失小;空气中的氧、水蒸气等成分的影响减小湘对挥发度大;平衡关系改变(如共沸点消失等) 按蒸馏系统操作压力的不同,真空蒸馏可分为: ①减压蒸馏常见的减压蒸馏过程,大多在104Pa以上的压力范围内操作。减压蒸馏机理与常压蒸馏差不多,常压蒸馏装置形式基本上可用。 ②粗真空蒸馏压力范围为1.O*104Pa-2.7x102Pa,气体的流动属粘滞态。在这个压力范围内进行蒸馏操作是容易实现的。 ③低真空蒸馏压力范围为2.7*102Pa-1.OPa,此时气体接近过渡流状态,对真空蒸馏装置的选型、设计、制造、安装、操作等都有较为严格的要求。 ④准分子蒸馏压力范围为1.0-1.0*10-2Pa,此时,气体分子的平均自由程与蒸馏器尺寸相近,气体呈过渡流状态。 ⑤分子蒸馏操作压力在1.33*10-2Pa以下。在分子蒸馏或准分子蒸馏装置中,气体的流动为分子的自由运动,也就是说,可以忽视该系统中的其它分子的碰撞和干扰,此时,蒸馏过程受来自液面的蒸发所支配。 真空蒸馏装置: 1、间...
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2018 - 07 - 21
2018年6月30号,恒才真空泵公司年召开了年中工作汇报和下半年计划,本次会议的主是,总结上半年“战况”并提出下半年工作计划、改进、目标和解决方案!        出席会议的人员有总经理陈总,销售、行政、财务、技术等部门领导及员工。会议由办公室主任莫主任主持。会议开始,莫主任组织大家跳舞,让公司全体员工进入轻松而热烈的氛围中。开展会议,公司办公室主任莫主任向大会作了《2018年上半年度公司工作报告》报告中总结了公司2018上半年取得的优异成绩。特别是螺杆真空泵、水环真空泵、真空系统机组、离心泵、高温磁力泵几款产品保持快速发展势头,销售同比增幅均超过56%,实现了公司规划战略性的突破,同时客户反馈好评,莫主任并对售后安装部门的耐心进行了表扬。        接下来各部门代表处和项目经理列序负责人依次发言,大家分别通过认真统计和仔细回顾后,对上半年辛勤工作和各项工作数据内容进行了详细的总结,分析工作中遇到的问题,并对2018年下半年的自我考核标准作计划。项目经理总结的内容包括各地区上半年的各项工作完成情况和团队管理工作经验。肯定了公司在市场开拓、企业文化建设以及队伍建设和市场定位等方面所做出的成绩。销售总监王经理在《2018公司工作部署》全面分析了2018年上半年的工作和取得的成绩,深刻...
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2018 - 05 - 21
一、真空度要求单位(pa/mba);真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求,选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。(如:真空工艺要求100pa(绝对压力)的真空度,选用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求绝对压强高于3300Pa,则优先选择水环式真空泵作为真空装置,如果绝对压强要求低于3300Pa,则不能选择水环式真空泵,选择旋片式真空泵或更高真空级别的真空泵作为真空获得装置。 二、真空泵抽速要求单位(L/S或M3/MIN);真空泵要求抽气速率(也就是要求真空泵在其工作压力下,排出气体、液体,固体的能力),一般单位:m3/h,L/S,m3/min。具体计算方法可以参考下面公式自行计算选型。当然,真空泵的选型是一个综合过程,涉及到相关经验等因素。S=(V/t)×ln(P1/P2)其中:S为真空泵抽气速率(L/s)V为真空室容积(L)t为达到要求真空度所需时间(s) P1为初始压强(Pa)P2为要求压强(Pa)三、真空泵要抽的物体成分;1、被抽物体是气体、液体还是颗粒,如果被抽气体中含有水汽或少量颗粒性和粉尘等杂质,慎选旋片式真空泵,如果真空度要求较高,则应加过滤装置加以过滤方能使用旋片式真空泵做真空获得设备。2、要知道被抽物体是否有腐蚀(酸性还是碱性,PH值是多少?),若含有酸碱腐蚀或有机腐蚀等因素的气体,应过滤或中和处理才能选旋...
2018 - 05 - 23
双级旋片真空泵工作原理:如图所示,双级旋片真空泵主要是由定子、转子、旋片、弹簧、端盖等部分组成。转子偏心的安装于泵体内表面相切(两者间的有很小的间隙),转子里开了个槽,槽内装有旋片。当转子旋转时,旋片靠离心力和弹簧的张力使其顶端与定子内壁相接触,沿定子内壁滑动。双级旋片真空泵的详细介绍:阿特拉斯GVD系列双级油润滑旋片真空泵以真空度高,抽速快和水蒸气处理能力强而著称。旋片式真空泵结构紧凑,无振动,运行平稳,应用于各种广泛的真空领域。双级旋片真空泵的应用行业:l  冰箱和空调系统抽真空、干燥和回填l  真空干燥和真空蒸馏l  作为高真空应用的前级泵l  真空冶金l  薄膜技术l  真空冷冻干燥l  变压器和电缆干燥及浸渍、绝缘油处理l  低温容器抽真空 双级旋片真空泵技术参数:双级旋片真空泵维护保养:1.       根据需要检查油位,至少每月一次,2.       根据具体应用更换油,3-6个月,3.       每次更换油,检测并清洁入口过滤器,4.     ...
2018 - 05 - 30
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2018 - 06 - 01
真空蒸馏是使一些具有很高的沸点化合物化合物沸腾,降低化合物沸腾时的压力,一但压力降低到化合物的蒸汽压(在一定的温度下),化合物就开始沸腾,蒸馏作用就可进行的技术,且以真空汽化器的形式常见于实验室。真空蒸馏工艺在石油化工中使用较普遍,与大气压下蒸馏相比,它有许多特点,使沸点降低;分解聚合物危险性小,能够低温处理;容易加热,热损失小;空气中的氧、水蒸气等成分的影响减小湘对挥发度大;平衡关系改变(如共沸点消失等) 按蒸馏系统操作压力的不同,真空蒸馏可分为: ①减压蒸馏常见的减压蒸馏过程,大多在104Pa以上的压力范围内操作。减压蒸馏机理与常压蒸馏差不多,常压蒸馏装置形式基本上可用。 ②粗真空蒸馏压力范围为1.O*104Pa-2.7x102Pa,气体的流动属粘滞态。在这个压力范围内进行蒸馏操作是容易实现的。 ③低真空蒸馏压力范围为2.7*102Pa-1.OPa,此时气体接近过渡流状态,对真空蒸馏装置的选型、设计、制造、安装、操作等都有较为严格的要求。 ④准分子蒸馏压力范围为1.0-1.0*10-2Pa,此时,气体分子的平均自由程与蒸馏器尺寸相近,气体呈过渡流状态。 ⑤分子蒸馏操作压力在1.33*10-2Pa以下。在分子蒸馏或准分子蒸馏装置中,气体的流动为分子的自由运动,也就是说,可以忽视该系统中的其它分子的碰撞和干扰,此时,蒸馏过程受来自液面的蒸发所支配。 真空蒸馏装置: 1、间...
2018 - 06 - 06
真空干燥机系由制冷系统、真空系统、加热系统、电器仪表控制系统所组成。主要部件为干燥箱、凝结器、冷冻机组、真空泵、加热/冷却装置等。真空干燥的过程就是将干燥物料置放在密闭的干燥室内,用真空系统抽真空的同时对被干燥物料不断加热,使物料内部的水分通过压力差或浓度扩散差到表面,水分子在物料表面获得足够的动能,在克服分子间的相互吸引力后,逃逸到真空室的低压空间,从而被真空泵抽走的过程。 真空泵是真空干燥最主要组成部份,那么真空干燥机的真空泵使用注意事项有哪些呢,我们就一起来了解吧!1、一般情况下,真空干燥机真空泵工作2000小时后应进行检修,检查桷胶密封件老化程度,检查排气阀片是否开裂,清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件,如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗,并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。2、有条件的对真空干燥机管中同样进行清理,确保管路畅通。3、检查真空干燥机真空泵管路及结合处有无松动现象。用手转动真空泵,试看真空泵是否灵活。4、经常检查油位位置,不符合规定时须调整使之符合要求。以真空泵运转时,油位到油标中心为准。5、经常检查油质情况,发现油变质应及时更换新油,确保真空泵工作正常。真空干燥机真空泵在工作第一个月内,经100小时更换润滑油,以后每个500小时,换油一次。6、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑,由用...
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真空泵在半导体行业中使用一定不可忽视安全问题?

日期: 2018-08-23
来源:
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    深圳恒才真空泵以清洁无污染,而且拥有较宽的抽速范围以及良好的节能、稳定、易维护等优势广泛应用于半导体行业,今天张工来给大家普及一下真空泵在半导体生业使用中不可忽视的安全问题。

    半导体工艺真空主要用在蒸发,溅射,PECVD,真空干法刻蚀, 真空吸附,测试设备,真空清扫等等键合工序,半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有毒的物质气体,会对生产及人员安全造成威胁,因此,半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项:

真空泵在半导体行业中使用一定不可忽视安全问题?

 

1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道,避免超压:

半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,如SiH4与O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解会形成HCl;假设是油封式机械泵,这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质,就可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,第一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗,并在必要的时候设置过滤设备;

2、有效稀释有害气体的浓度:

半导体易产生前面所说的易燃易爆、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质,在与空气或氧接触的时候,会引起燃烧甚至爆炸;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围;

3、注意氧气的浓度:

空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及爆炸风险。所以一些情况下需注意氧的浓度,采用惰性气体来稀释,防止浓度过高;假设是油封机械泵可能还需要采用一些惰性的与氧相容的真空泵油,并及时更换油滤和油品:

4、防止温度过高:

比较容易理解这点,半导体在真空泵的应用中,有害气体比较多,而无论是干式真空泵还是油封机械泵,泵腔内温度过高,高温下易燃易爆及有毒气体就会容易发生危险;

以上几个方面就是半导体真空泵应用中最主要的几个安全事项,一定不可忽视,张工说小问题对运转、产量、效率和安全都有联系,我们应该延长真空泵的使用寿命,努力协调平衡,保证效率与安全。

 


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