最近有些等离子清洗机的客户寻问客户技术的问题，今天就来探计一下。

等离子体是气体分子在真空、放电等特殊场合下产生的物质，用真空泵实现一定的真空度，等离子体在电磁场内空间运动，并轰击被处理物体表面，从而达到表面处理、清洗和刻蚀的效果。在真空等离子清洗机的使用过程中，如果有真空抽不了，真空度无法维持，抽真空时间也变长等的问题，应该是真空泵怠工了！今天恒才陈工用案例给我们分享一些维护保养小常识，仅供参考：

现象：真空泵抽空能力下降，经测试真空泵在无负载状态下极限真空为8Pa；真空泵进行拆解保养后，真空泵在无负载状态下极限真空小于1Pa。

维护保养的过程：对带回真空泵进行拆解保养及保养后性能测试，在拆解后发现真空泵腔体内有很多杂质堆积，真空油混浊且粘稠度较高，各级旋片出现不同程度磨损，止逆阀损坏、排气阀片断裂，详细阐明如下：
    
         1、真空泵抽气滤网有大量杂质沉积，网孔出现堵塞：

2、真空泵腔室内有大量杂质沉积和粘附，杂质会随真空泵的运行而流动，易造成真空泵转子卡死、真空泵各级旋片划伤及损坏、封堵油路、排气阀片断裂等情况，影响真空泵的抽空能力甚至导致真空泵转子等主要部件损坏。

因大量杂质已经粘附于腔室内，一般清洗难以去除，需采用化学试剂浸泡清洗和物理打磨的方法去除。经确认，腔体内杂质以胶渣沉积物为主，其他成分无法确定，还需与客户进行技能讨论进行深化了解。

3、排气阀片开裂，如下为换下的新旧的排气阀片对比图：  

排气阀片在真空泵内起到单向阀的作用，开裂后排气阀片单向阀作用失效，导致真空泵无法正常抽真空，之后真空泵抽真空能力下降。

    4、真空泵油位监视玻璃已经出现腐蚀及杂质附着的情况，无法清晰的对真空泵腔室内的油位进行观察。

真空泵油混浊且粘稠度较高，主要原因与腔室内大量杂质沉积和真空油更换周期较长有关，如下为真空泵腔室内放出的真空油及加入的新油对比。

5、真空泵内各级旋片出现不同程度磨损及划伤，真空泵一级旋片旁边摩擦面弧度已经被磨平，导致旋片合作间隙变大，影响抽真空能力。

6、真空泵转子抽排气滤网已经损坏，出现一定程度的腐蚀情况

7、真空泵腔体密封圈已经损坏，不能继续使用可能会造成漏油现象。

8、真空泵止逆阀已经损坏，导致抽真空下降。

离子清洗机的真空泵需进行定期的拆解维护保养：

1、真空泵内腔体及转子清洗、抛光；抽气滤网清洗；

2、真空泵转子抽排气滤网更换；

3、真空泵排气阀片更换；

4、真空泵油更换；

5、真空腔体密封圈更换。

6、真空泵一级旋片、二级旋片、小旋片更换；一级旋片及二级旋片各一幅（两片），小旋片为一片；

7、真空泵油位监视窗玻璃更换；

8、真空泵止逆阀更换。

以上就是陈工对等离子行业中真空泵维护应用分享，大家学习后有任何的技术问题或者见解都可以网站留言，陈工会与您一起探讨真空技术问题，争取更大的利益最大化。