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2020 - 04 - 09
中小型无油真空泵与大中型真空泵最显着的差别就是说在身型上的差别,中小型无油真空泵比较好运送,解决了难运送的难题,那么中小型无油泵到底是如何的?非常容易出现什么常见故障?下边就来了解一下。  小型真空泵指的就是说微型真空泵,由于体型小一般 把微型真空泵称为小型真空泵。微型真空泵(即小型真空泵)就是指:具有一进一出的抽真空嘴、排气管嘴各一个,而且在进口处可以不断产生真空泵或空气压力;排气管嘴处产生微正压力;工作中物质关键为汽体,容积精巧的一种仪器设备。  小型真空泵机械故障及解决方案:  1.罩壳裂痕裂开  真空泵因锻造、生产加工缺点,热应力及过载运作等缘故常常造成 构件出现裂痕或破裂状况。基本的修补方式是选用电焊焊接,或是是选用“冷焊”技术性,能够防止焊接应力形变,另外塬材料优良的粘合力和抗压强度、耐腐蚀等综合型能,能够最大限度地考虑各种各样机器设备构件的应用规定,进而在最少成本费的资金投入下合理确保生产制造,安全性、便捷、靠谱。  2.泵轴滚动轴承位损坏  真空泵传动系统部位损坏是广泛存在的不足,在其中包含滚动轴承位、带座轴承、滚动轴承室、健槽及外螺纹等部位,传统式方式以焊补和电刷镀喷漆主导,运用纤维材料修补,能免拆装,免机械加工。既无焊补焊接应力危害,修补薄厚都不受到限制,另外商品所具备的金属复合材料不具有的忍让性,可消化吸收机器设备的冲击性振动,防止再度损坏的将会,并大大的增加...
2019 - 10 - 22
水环真空泵一直是大家普遍使用的真空泵,在业内也收获很多的好评。很多朋友也问我怎么选择水环真空泵和怎么实现水环真空泵的自动吸水。今天就个大家解释一下。  水环真空泵的型号如何选择?  1,尝试选择较低的速度规格  1.在达到相同的抽水量的前提下,应尽可能选择低速泵。大型泵消耗的比功率较小,即效率较高。  2.另外,水环真空泵的尺寸较大是由于叶片长(即流路的长度),流体的曲率小,流线近似笔直,的流体接近缓慢变化的流,并且在流体流中产生的二次涡流为。由覆盖层引起的能量的损耗也很小。  2,考虑水温的影响  大多数补给水温度范围为25°C至35°C,因此与技术文档中的气体量相比,应适当增加泵的数量。  3,吸气阻力的影响  布置管路时,应使用较粗的吸油口气管,以减少阻力损失,并减小直角弯头,以达到提高吸油效率的目的。  4.选择正压较小的废气  1.应考虑排气压力的增加和泵室内部回流的增加对泵送量的影响。  2.随着排气压力的增加,泵的轴功率也会增加,二手驱动机的功率也应增加。选择模型时,应参考测试性能曲线和相应的技术数据,以完全满足要求。  如何实现水环真空泵的自动吸水  1.储水时,可以将水环真空泵放置在附近,并且桶的底部略高于水环真空泵的水口;也可以将其建在水环真空泵附近的泵室一侧。离开泳池时,泳池底部略微降低以形成水库。用水管将桶(或池)连接到泵体的注水孔。在关...
2019 - 11 - 05
所谓的水环真空泵是一种粗真空泵,它可以获得2000〜4000Pa的极限真空度和270〜670Pa的串联大气压注射器。 水环泵也可以用作压缩机,称为水环压缩机,它是压力范围为1至2 × 105 Pa的低压压缩机。  使用水环真空泵的优势  结构简单,制造精度不高,易于加工。结构紧凑,泵的转数高,通常可以直接与电动机连接,而无需减速器。因此,在结构尺寸小的情况下,可以获得大的位移,并且占地面积小。压缩气体基本上是等温的,即,压缩气体过程的温度变化很小。  由于水环真空泵腔中没有金属摩擦表面,因此无需润滑泵,并且磨损很小。旋转构件与固定构件之间的密封可以通过水封直接完成。吸力均匀,运行稳定可靠,操作简便,维修方便。  一,水环真空泵型号的确定  水环真空泵的类型主要取决于运行所需的空气量,真空度或排气压力。  水环使用真空泵时,请注意以下两个方面:  1.要求尽可能在高效率区操作,即在临界真空或临界排气压力范围内。  2.避免在最大真空或最大排气压力附近操作。在该区域内操作不仅效率极低,而且操作不稳定,容易产生振动和噪音。对于高真空度的真空泵,在该区域经常会发生气蚀现象,这种现象的明显迹象是泵中的噪音和振动。空化会损坏泵体和叶轮等零件,从而使泵无法工作。  根据上述原理,当泵所需的真空或气压不高时,可以首先在单级泵中选择。如果真空度或排气压力高,则通常不满足单级泵的要求,或者要...
2019 - 11 - 06
材料的选择是决定产品性能和使用寿命的主要因素。这通常是相同产品之间差异很大的主要原因。因此,对水环真空泵材料的要求通常很高。今天,我们将解释水环真空泵的材料要求和绕组方法。  水环真空泵的材料要求是什么?  1、必须具有足够的机械强度和刚度,以确保外壳能够承受较大的气压,并且在加热和烘烤过程中不会变形。  2、化学稳定性好。 水环真空泵的材料应具有很强的抗氧化和抗腐蚀能力,并且不会与真空泵中的工作介质和过程中的放气反应。  3、在工作温度和烘烤温度下,饱和蒸气压足够低。  4、热稳定性好。在系统的整个工作温度范围内保持良好的真空和机械性能。  5、真空容器内的设备应在工作真空和工作温度下保持良好的工作性能。  6、另外,水环真空泵的材料应具有良好的延展性,可切削性和焊接性能,并且可以轻松加工成复杂的外壳形状。  7、良好的气密性。在工作过程中应将其保持在高真空环境中,因此壁的材料不应具有多孔结构,裂缝或其他形成渗漏的缺陷,并且渗透率和除气率应低。  以上是水环真空泵的材料要求。水环泵设备的材料要求比较高的原因,或者因为它是在高真空状态下工作,环境特殊,所以应用领域适用于各种工作设备。对性能的要求也比较高,因此在生产过程中,必须认真进行其工作。  水环真空泵的具体绕组方法是什么?  1、分散的圆形铜线绕组。由于水环真空泵的简单结构和卷绕过程,因此卷绕过程非常繁琐。 散下线绕组端短,使...
2019 - 11 - 08
真空泵使用某种方法抽空容器以获得真空的装置是一种改善,产生并维持密闭空间中的真空的装置。真空泵油具有很好的氧化稳定性,不容易变质,可以减少油脂的形成,并且无需长时间使用即可更换。  真空泵油具有出色的耐腐蚀性,可使真空泵不易生锈。由于这种油的特殊性质,在真空泵的表面上会形成一层膜,以充分保护真空泵,并且由于油的特殊性,可以轻松使用真空泵油。分离水以达到真空的目的。  真空泵油的使用还可以大大提高泵的使用寿命并节省使用成本,这就是真空泵具有专用真空泵油的原因。在真空泵中,真空泵油不仅用作获得真空的介质,而且还润滑,冷却和密封机械摩擦点。  真空泵油性能介绍  ·低蒸气压  ·合适的粘度和良好的粘度温度特性  ·良好的热氧化稳定性  ·良好的耐腐蚀性和抗乳化性  ·更高的闪点  ·极限压力低  为了节省成本,一些制造商使用液压油和机油代替真空泵油。看来节省了成本。实质上,由于真空泵油具有粘度,饱和蒸气压和抗氧化性的要求,因此增加了生产成本。  用其他油替代可能会导致真空泵的性能下降。不同的油粘度和抗氧化性能可能会损坏真空泵,从而增加真空泵的维护成本并缩短真空泵的使用寿命。因此,不可能用其他润滑油代替,只能用性能相同的类似真空泵油代替。
2019 - 11 - 11
工作在10-5Pa以上的超高真空机组具有扩散泵,分子泵超高真空机组和无油超高真空机组。该机组具有以下特征:  1.主泵的最高真空度很高,在10-7〜10-8pa以上。  2.可以承受200〜450°C的高温烘烤。  3.主泵回油的分压非常低。  4.对泵送气体具有较强选择性的主泵应配备足够大的辅助泵。  5.要求真空室,管道,阀等的材料的气体输出率低,气体泄漏率小。  (1)扩散泵超高真空机组  以扩散泵为主泵的超高真空机组的极限真空度为10-7〜10-8Pa。  为了减少来自扩散泵前级的气体向后扩散和机械泵油的反向扩散对极限真空的影响,可以在前级使用抽速小的扩散泵降低扩散泵的压缩比,减少小扩散。如果将钛升华捕集器添加到扩散泵的入口,则可以进一步降低来自扩散泵的氮气的分压,并且可以获得10-11 Pa的超高真空。  (2)分子泵超高真空机组  以分子泵为主泵的超高真空机组的极限真空度为10-8Pa,具有启动快,油污少的特点。  增加机组中的液氮捕集器可以提高抽速。水冷疏水阀位于机械泵的出口,以防止油蒸气进入系统。  (3)无油超高真空机组  不使用油作为工作流体且未用有机材料密封的真空机组称为无油超高真空机组。常用的主泵有低温泵,钛泵,溅射离子泵等,它们可以达到10-7〜10-8Pa的极限真空度。与抽油机相比,具有以下优点:  1.可获得清洁的真空,无污染源。  2.当启...
2019 - 11 - 13
真空泵是使用机械,物理,化学或物理化学方法排空泵送容器以获得真空的装置。通常,真空泵是一种使用各种方法来改善,创建和维持封闭空间中的真空的设备。  根据真空泵的工作原理,真空泵基本上可分为两类,即集气泵和输气泵。广泛用于冶金,化工,食品,电子涂料等行业。接下来,小编为您介绍最完整的真空泵的使用和维护方法!  一、真空泵的使用  1、超过70度的,测定干抽速度。干燥更复杂,通常不检查。  2、机械真空泵,需要冷却水。在启动机器之前,请在启动之前通入冷却水。冷却水的出水温度不应超过30度。  3、连续真空泵和泵系统的管道应尽可能短且粗。管道的内径不应小于真空泵入口的直径,以免由于干管道的阻力而导致抽速。  4、为了保持工作室的清洁卫生,有利于员工的身体健康。该管道用于将废气直接引至外部。  5、当真空泵长时间不工作或环境温度较低时,可能会导致启动困难。此时,真空泵的吸入口应向大气开放,滑轮应充分旋转(非贾接电源),以使真空泵在启动前旋转数周。连接真空泵,您可以继续移动电机几次,然后将真空泵腔中的油排入燃油箱以启动,否则,可以使用辐射加热或红外灯直接加热真空泵直至可以移动。  6、在使用前,请检查机械真空泵油是否在窗口的油标位置。同时,必须检查电动机皮带轮的旋转方向。观察者面对皮带轮,皮带轮应沿顺时针方向旋转。如果以相反的方向旋转,则可以更换相电源中的任何两相连接器。否则,旋片式真空泵将...
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2018 - 08 - 25
2018年8月17日-19日,公司实行三天全员旅游,肇庆端州3天2晚活动,我们游历了苍翠欲滴的鼎湖山,潺潺涓流山湖相映的蝴蝶溪谷、并以虔诚的心叩拜佛门净地“庆云寺“,同事们一路互相倾谈,脸上洋溢着喜悦,心境犹如被洗刷般,没有了工作的压力,围绕在我们身边的只有体现同事之间紧密团队精神的欢声笑语。次日,同事们进行游览阅江楼,参观已逾千年的文房瑰宝端砚的独特风采,领略了精心至致,坚持不懈的匠工精神;铁军独立一雄团叶挺将军的大将风范和魄力,战士们充满激情和希望的声音,艰难阻险都不怕,只要坚定信念不放松,而这一切正是正步的魅力,让我们扔掉脆弱,不忘初心砥砺前行,变得坚强成长。接着我们来到高要学宫孔庙,聆听陈总给我们讲述儒家学说,这也是我们的公司的重要文化,教导我们百行孝为先,温故而知新等为人处事的道理,也正是这种文化坚定了公司发展智慧和同事们团结一致力量的决心。 最后,项目是绕七星岩绿道骑行,一路上大家热情高涨,相互关心,骑行中充满了欢歌笑语、温情和谐,在尽兴游玩之余,深切感受到来自公司大家庭的温暖。有的同事还坚持完成了不可能骑到的终点,面对困难却能坚忍不拔进行到底的决心,也克服了有时只凭感觉行事的思维定式,没有不可能,超越自己就能够创造奇迹。此次旅游活动圆满结束,同事们的内心还将延缓着美好的记忆和愉快的心情,此次游行不仅丰富了员工的业余生活,增强了部门之间的沟通协作,还加强企业凝...
2018 - 05 - 21
一、真空泵真空度要求单位(pa/mba);真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求,选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。(如:真空工艺要求100pa(绝对压力)的真空度,选用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求绝对压强高于3300Pa,则优先选择水环式真空泵作为真空装置,如果绝对压强要求低于3300Pa,则不能选择水环式真空泵,选择旋片式真空泵或更高真空级别的真空泵作为真空获得装置。 二、真空泵抽速要求单位(L/S或M3/MIN);真空泵要求抽气速率(也就是要求真空泵在其工作压力下,排出气体、液体,固体的能力),一般单位:m3/h,L/S,m3/min。具体计算方法可以参考下面公式自行计算选型。当然,真空泵的选型是一个综合过程,涉及到相关经验等因素。S=(V/t)×ln(P1/P2)其中:S为真空泵抽气速率(L/s)V为真空室容积(L)t为达到要求真空度所需时间(s) P1为初始压强(Pa)P2为要求压强(Pa)三、真空泵要抽的物体成分;1、被抽物体是气体、液体还是颗粒,如果被抽气体中含有水汽或少量颗粒性和粉尘等杂质,慎选旋片式真空泵,如果真空度要求较高,则应加过滤装置加以过滤方能使用旋片式真空泵做真空获得设备。2、要知道被抽物体是否有腐蚀(酸性还是碱性,PH值是多少?),若含有酸碱腐蚀或有机腐蚀等因素的气体,应过滤或中和处理才...
2018 - 07 - 23
现在,越来越多塑料制造商已深入的体会到运用模温机控制模具的温度对塑料制品成型的重要性。如果选用的模温机与产品成型的温度需求相吻合,可大大提高产品的质量,进而削减产品的运转本钱。不同质料性能不同,他们有着不同的加工工艺特色,模具温度对工件表质量流动性、收缩率、注塑周期的影响,是塑料加工制造中有必要操控的要素。研讨显现,24%的废品是由模具温度不妥所致。为此,在注塑,吹塑到挤塑的各种塑料加工领域中广泛采用了模温操控系统,已将模具加热到工作温度,并使模具温度保持在必定的精度范围。选择模具温度操控器时,以下各点是首要的考虑要素; :泵的大小和能力,内部喉管的尺寸,加热能力,冷却才能,操控方式。如何计算模温机:工式:求加热器功率或冷冻功率 KW=W×△t×C×S/860×T  W=模具重量或冷却水KG  t=所需温度和起始温度之间的温差。  C= 比热油(0.5),钢(0.11),水(1),塑料(0.45~0.55)  B、求泵的大小  需了解客户所需泵浦流量和压力(扬程)  P(压力Kg/cm2)=0.1×H(扬程M)×α(传热媒体比重,水=1,油=0.7-0.9)  L(媒体所需流量L/min)=Q(模具所需热量Kcal/H)/C(媒体比热...
2018 - 09 - 25
一般地,单台罗茨真空泵的压缩比较小,为了使罗茨真空机组能达到更高的真空度和更大的抽气速率,便采用多台罗茨真空泵与前级泵串联组成罗茨真空机组来满足高真空的要求, 那么,罗茨真空机组如何选型呢?下面恒才陈工为大家分享关于罗茨真空机组的选型知识。       一、罗茨真空泵与前级泵的抽速比罗茨泵真空机组的罗茨泵与前级泵的抽速比的选择是很重要的。因为罗菠泵的压缩比很有限。这一压缩比决定着前级泵的容越,因压缩比是两者抽速的反比。一般压缩比在2~10内选取。另外应当考虑对预抽时问的要求。真空设备是作为辅助设备应用于各种机械设备中的.如果正常工作时间远比预抽时间,可选较小的前级泵(压缩比可大些),若真空窒较大.而且要求很快预抽,就用较大的前级泵。有时为了更好地发挥设备的效率,机组前装有一台较大的预抽泵,在正常工作后停掉它,而用较小的前级泵维持,这样做是为了节约功率。       二、罗茨真空机组的工作压力应该满足真空设备的极限真空及工作压力要求。对罗茨真空泵机组的极限压力的要求,也是选择前级泵必须考虑的,对极限真空度要求较高(达1×10-3 Pa~1×10-2Pa压力)一般选用双级旋片式油封机械泵或双级滑阎机械泵作为前级泵。极限真空度要求在(1×10-2Pa~1...
2018 - 12 - 03
21世纪,现代高级公寓需要一种新生活方式。民以食为天,现在外面就餐很多会让人担心不卫生,有时候想吃的某样菜可能也没有,也少了乐趣,而能上得厅堂还有精力下得了厨房的人屈指可数,在职场上奋力打拼,要是一回公寓便有新鲜的美味佳肴在等候,那这样的公寓是很多高级白领希望拥有的。ATLAS(阿特拉斯)高品质“真空泵” 与深圳恒才机电“中央真空吸附系统”合并智能家居实现了这样的需求,此真空系统应用于现代高级公寓中,高级白领下班途中利用手机APP,便可以获得丰盛的美餐;有了智能系统,人人都可以实现一键就餐,而管理人员无需现场操作与查看,通过手机设备就可以查看的种运行状况和日常保养。(图1为智能家居真空系统)图1   智能家居真空系统的原理:智能家居真空系统是作一项传送技术,它将食材按时间和比例吸取,并放到指定位置,吸附力均匀而且可以随意控制大小;可以实现柔性装夹,可以进行超清洁吸运,装夹和卸件,再用智能“真空吸附系统”来实现调节、控制和监管。 (图2中央真空清扫系统)图2中央真空清扫系统即真空吸附系统,原理和家居智能系统差不多,是为客户订做的一款集真空泵,储罐,电源控制器,真空传感器于一体的真空系统;该真空系统具有性能稳定,结构坚固,客户只需要接上电源,直接将垃圾吸入进入到储罐便可。有效地为客户节省能源,中央真空清扫系统完全免除了垃圾的烦恼,真正地节能环保,...
2019 - 03 - 25
医疗负压系统的性能特点跟工作原理深圳恒才机电医疗负压系统是多台水环真空泵组合成高效率真空机组,从而获得真空的真空泵设备,以真空罐作为真空存储设备的整一套真空系统。 医疗负压系统的工作原理:首先设定真空系统的上下限值(比如上限值设定为-0.08MPa,下限值设定为-0.06MPa),启动系统后,其中一台真空泵开始工作,直到真空罐内真空度高于上限值-0.08MPa,此时真空泵自动停止运行,真空罐内真空由自动逆止阀自动截止,如因工作需求真空罐内真空度降至低于下限值-0.06MPa时,另一台真空泵自动启动,直到真空罐内真空度抽到上限值-0.08MPa为止,如此循环反复自动运行,使真空罐内真空度始终保持在上、下限值之间。 对于频繁使用真空源而所需抽气量不太大的场合下,使用真空负压站系统比直接使用真空泵大大节约了能源,并有效提高了真空泵的使用寿命。医疗负压系统的性能特点: (1)真空负压站自第一次启动后,全部运行过程可以实现全自动控制。其工作过程中,真空系统内各处的真空度始终在其允许范围内上下波动,其波动范围可根据用户要求进行调整。若出现真空度低于调定值时,报警器将发出警告。(2)真空负压站在无人操作情况下对系统进行自动控制,在停电时可自动封闭真空系统。(3)真空负压站配备一台汽水分离器,从而可以节约水源并减少环境污染。 以上就是深圳恒才机电公司医疗负压系统的介绍...
2019 - 06 - 20
深圳恒才康斯顿品牌罗茨水环真空泵机组由两台以上真空泵设备组成,它的前级泵选用的是水环真空泵,多台泵组对于使用更有利,有效克服了单台水环泵使用时的极限压力差,提高了工作效率,另外它的使用还具有以下优势:一、罗茨水环真空泵机组抽气效率高,      泵的启动快速消耗少,效率高,泵抽速大、操作维护成本低,对被抽气体中所包含的一些尘和水蒸汽不敏感,它在100~1Pa的极限压力规模以内有较大抽气效率。 二、罗茨水环真空泵机组操作极限真空度高、平稳、振小、噪声低。      因为真空泵的传送部件使用坚固的消隙构造,真空泵可在高压差下长期操作。泵起动快,能在短时间内到达极限真空。所以真空泵的腔内无相互转动的零件,不需要用油润滑,防止了油蒸汽对系统的污染。三、罗茨水环真空泵机组选水环用泵作为前级泵比其它真空泵更为有优势,      它克制了独台水环真空泵使用时极限压力差,在一定的压力下抽气效率低的劣势,一起保留了罗茨泵能敏锐操作,有较大抽气效率的特点。   罗茨水环真空泵机组的组合还可依据客户具体的现场使用情况,以及使用工艺来确定使用什么参数的泵组成,更好的满足生产需求,提高生产的工作效率。
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真空泵机组换油处理操作

日期: 2019-08-05
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无论是真空泵机组还是其他任何机械设备,它都离不开润滑油,因为润滑油可以有效地帮助设备更好地工作。但是,这种润滑剂不能长期保持其功能。它需要根据装置的使用来改变油。因为长时间工作后,机组的油品质会受到各种外部因素的污染,否则如果及时更换新的润滑油,会对机组造成损坏。因此,下面的小编谈谈一些处理事项,机组进行换油操作,帮助大家更顺利地工作。

真空机组

1.当真空泵装置换油时,首先应注意泵应从真空系统中取出。

2.之后,底盘电机的末端应升高。打开排油塞以排油,转动装置,保持排气口,让腔室中的所有脏油从排油口排出,然后从进气口添加新油。油100-500ML连续旋转5-10 rpm或更多进行内部清洁,此操作3-5次。

3.取出油后,盖上油塞,将泵平放,分别从进气口和油孔加入新油,换油。    

4.当真空泵装置换油时,不建议长时间启动电机。此时,排气阀将过于剧烈和疲劳。

5.真空泵机组换油时,还应禁止使用煤油,汽油,酒精等进行泵的非拆卸清洗。

6.如果泵停止时间较长,则应注意拆下排气罩,并将排气塞关闭进气口并排水。

每个人都需要知道润滑油对真空泵机组的影响是非常好的,不仅可以减少机组内部零件的磨损,还可以使零件运行平稳灵活,但如果润滑油被污染和充满杂质,那么这些好的效果会变坏,增加部件的磨损,使它们无法正常工作等等。因此,在更改设备的操作时,每个人都必须正确和小心。


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发布时间: 2025 - 07 - 23
高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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