真空泵是指使用机械，物理，化学或物理化学方法排空泵送容器以获得真空的装置或设备。一般而言，真空泵是使用各种方法来改善，产生和维持封闭空间中的真空的装置。

　　真空泵分类

　　根据真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两类，即可变容量真空泵和动量传递泵。

　　可变容量真空泵是一种真空泵，它利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气，从而达到抽气的目的。气体在离开泵腔之前被压缩。

　　动量传递泵(分子真空泵)依靠高速旋转的叶片或高速射流将动量传递给气体或气体分子，从而使气体从泵的入口连续传输到其出口。

　　可变容量真空泵分为：往复式，旋转式(旋片，滑阀，液环、浇注区，螺旋，爪形转子)和其他类型。

　　浇注区和冷刀区的设备使用可变容量的泵。下面详细描述可变容量泵。

　　可变容量泵分类

　　1、往复式真空泵

　　通过活塞在泵腔中的往复运动，气体被吸入，压缩和排出。也称为活塞真空泵。有关详细说明，请参见以下视频：

　　2、旋片真空泵

　　利用泵腔内转子零件的旋转运动，气体被吸入，压缩和排出。它大致分为以下几类：

　　1)油封真空泵

　　它是一种旋转可变容量真空泵，它使用真空泵油来密封泵中运动部件之间的间隙，并减少泵中的有害空间。该泵通常配有气镇设备。它主要包括旋转叶片真空泵，固定叶片真空泵，滑阀真空泵和摆线真空泵。

　　2)液环真空泵

　　泵壳中带有多叶片的偏心转子。当其旋转时，工作流体在泵壳处抛出，形成与泵壳同心的液环。在液环和转子叶片形成具有周期性体积变化小的几个可变容积的吸入和排出腔室。工作流体通常是水或油，因此也称为水环真空泵或油环真空泵。

　　3)干式真空泵

　　这是一个可变容量的真空泵，没有被泵中的油(或液体)密封。由于在干式真空泵的泵腔中不需要工作液体，因此适用于需要无油清洁真空环境的半导体工业，化学工业，制药工业和食品工业中的过程应用。内部工厂的研磨设备就是这种真空泵，没有液体密封。

　　4)浇注区0真空泵配有两个双叶或多叶转子，它们同时沿相反方向旋转。在转子之间以及转子与泵壳的内壁之间保持一定的间隙。

　　选择真空泵时需要注意哪些参数?

　　1、真空泵极限压力

　　泵的极限压力单位为Pa，是指泵在入口处装有标准测试盖并按照指定条件工作时的最低压力。

　　2、真空泵抽速

　　泵的泵送速率单位为立方米/秒或L/S，这意味着当泵被根据指定的条件配备了标准测试罩和工作时，气体从测试罩流量流动，并在测得的测试罩的指定位置平衡压力比。简称为泵的抽速。

　　3、真空泵吸力

　　真空泵单元为Pa立方米/秒或PA L/S。指泵入口流量处的气体。

　　4、真空泵启动压力

　　真空泵的启动压力单位为Pa，是指真空泵启动时无损坏并具有泵送作用的压力。

　　5、泵的前级压力

　　真空泵的前压力单位为Pa，是指排气压力低于一个大气压的真空泵的出口压力。

　　6、真空泵的最大前级压力

　　真空泵端口的最大前级压力单位为Pa，这意味着它超过了可能损坏泵的前级压力。

　　7、真空泵的最大工作压力

　　真空泵的最大工作压力单位为Pa，是指与最大泵送量相对应的入口压力。在此压力下，泵可以连续工作而不会劣化或损坏。

　　8、压缩比

　　压缩比是给定气体的泵出口压力与入口压力之比。

　　9、 浇注区系数

　　实际抽速在抽水通道面积上的比率与此处基于分子渗出计算的理论抽速的比率。

　　10、抽速系数

　　泵的实际泵送速度与通过泵入口处的分子渗出计算出的理论泵送速度之比。

　　11、回流速率

　　泵的回流速率的单位为g/cm2.s。它是指当泵在规定条件下工作时通过泵入口单位面积的泵流质量流量。

　　12、允许的水蒸气量

　　水蒸气的允许量单位为kg/h，是指在正常环境条件下连续运行期间气镇泵可以去除的水蒸气质量。

　　13、最大允许水蒸气入口压力

　　最大允许水蒸气入口压力单位为Pa。它是指在正常环境下，连续运行期间气镇泵可以除去的最大水蒸气入口压力。