1.真空:在真空科学中，真空指的是给定空间内低于大气压的气体状态。人们通常称这种稀薄气体状态为真空状态。

　　2.真空度:顾名思义，真空度就是真空度。真空下气体的厚度通常表示为“高真空”和“低真空”。高真空意味着“好”，低真空意味着“差”。所谓的“真空”是指在给定空间内压力低于101325百帕(即大约1013百帕的标准大气压)的气体状态。在真空状态下，气体的稀薄程度通常用气体的压力值来表示。显然，压力值越小，气体越稀薄。

　　3.真空泵极限压力:真空泵能达到的最低压力。

　　4.极度真空:真空容器在充分抽气后稳定在一定的真空度。这种真空度被称为极度真空。通常真空容器需要12小时的气体精炼，然后抽真空12小时，最后一小时每10分钟测量一次，取10次的平均值作为极限真空值。

　　5.大气压力:地球表面周围厚厚的一层大气对地球表面或表面物体施加的压力称为大气压力。

　　6.标准大气压力:指标准大气条件下海平面的大气压力。1标准大气压=760毫微克=101325帕

　　7.绝对压力和相对压力:直接作用在容器或物体表面的压力称为绝对压力，绝对压力值以绝对真空为起点。用压力计、真空计、U形管和其他仪器测量的压力称为表压或相对压力。

　　8.标准条件:通常指温度为0℃，压力为101325帕(1标准大气压，760毫米汞柱)的条件。以便在比较气体体积时有一个统一的标准。除非另有说明，气体的密度是指在标准条件下所说的密度。

　　9.泵送速率:在一定的压力和温度下，单位时间内从泵入口泵出的气体量称为泵送速率。泵速的简称。

　　10.主泵:在真空系统中，用来获得所需真空度以满足特定工艺要求的真空泵。

　　11.前级泵:一种真空泵，用于保持某一真空泵的前级压力低于其临界前级压力。例如，安装在罗茨真空机组罗茨真空泵前面的旋叶泵或液环泵就是前级泵。

　　12.真空计:用来测量真空的仪器。

　　13.真空系统:是由真空泵、真空计、真空容器和真空阀、冷阱等部件组成的抽气装置。根据一定的要求，通过真空管道，具有所需的抽气功能。它的功能是在指定的时间和空间内获得真空，保持真空，并保证系统中某一工艺过程或物理过程的实施。

　　14.饱和蒸汽:当液体在有限的空间内蒸发时，液体分子通过液面上方的空间进入变成蒸汽分子。因为蒸汽分子处于湍流热运动中，它们相互碰撞，并与容器壁和液体表面碰撞。当与液体表面碰撞时，一些分子被液体分子吸引并返回到液体中成为液体分子。在蒸发开始时，进入空间中的分子数量多于返回液体中的分子数量。随着蒸发的继续，空间中蒸汽分子的密度不断增加，因此返回液体中的分子数量也增加。当单位时间内空间中的分子数进入等于返回液体中的分子数时，蒸发和冷凝处于动态平衡状态。此时，虽然蒸发和冷凝仍在进行，但空间中蒸汽分子的密度不再增加，此时的状态称为饱和状态。处于饱和状态的液体称为饱和液体，其相应的蒸汽是饱和蒸汽，但最初只是湿饱和蒸汽，只有在蒸汽中的水分完全蒸发后才是干饱和蒸汽。蒸汽从不饱和到湿饱和再到干饱和的过程温度不会增加。如果蒸汽在干饱和后继续加热，温度将上升并变成过热蒸汽。

　　15.饱和蒸汽压:蒸气压指的是在液体(或者固体)的表面存在着该物质的蒸气，这些蒸气对液体表面产生的压强就是该液体的蒸气压。 比如，水的表面就有水蒸气压，当水的蒸气压达到水面上的气体总压的时候，水就沸腾。我们通常看到水烧开，就是在100摄氏度时水的蒸气压等于一个大气压。蒸气压随温度变化而变化，温度越高，蒸气压越大，当然还和液体种类有关。一定的温度下，与同种物质的液态(或固态)处于平衡状态的蒸气所产生的压强叫饱和蒸气压，它随温度升高而增加。