2019
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水环式真空泵的应用优势 1、 水环式真空泵的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。例如,真空涂层要求的真空度为110-5mmHg,所选的水环式真空泵的真空度应至少为510-6mmHg。通常,所选泵的真空度比真空设备的真空度高一半至一个数量级。 2、正确选择水环式真空泵的工作点。每个泵都有一定的工作压力刻度。例如,分散泵为10-3〜10-7mmHg。在如此宽的压力范围内,泵的抽速随压力而变化。约510-6mmHg。因此,泵的工作点应在此范围内选择,并且不应长时间在10-8mmHg下工作。另一个例子是钛提升泵可以在10-2mmHg的压力下工作,但其工作压力应小于110-5mmHg。 3、 水环式真空泵应能够在其工作压力下清除真空设备技术期间产生的所有气体。 4、 水环式真空泵已正确组合。由于水环型真空泵具有选择性泵送功能,因此有时不能使用泵来满足泵送要求。需要将多个泵组合在一起以相互补充,以满足泵送要求。例如,钛可以提高泵对氢气的泵浦速度,但不能泵浦氦气,而三极溅射离子泵(或两极非对称阴极溅射离子泵)对于氩气则具有一定的泵浦速度。结合起来,真空设备将获得更好的真空度。另外,某些水环型真空泵不能在大气压下运行,需要预真空。一些水环型真空泵的出口压力低于大气压,并且需要前级泵,因此需要结合使用。 5、要求真空设备造成油污染。如果设备严重要求无油,则应选择各种无油泵,例如...