真空吸附水环式真空泵机组_半导体吸附加工真空系统

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行业资讯了解行业的最新资讯

2020 - 10 - 26

水环真空泵(简称水环泵)是粗真空泵，得到的极限真空为2000~4000Pa，串联大气喷射器达到270~670Pa。水环泵也可以作为压缩机使用。称为水环式压缩机，是低压压缩机，其压力范围为1~2×105Pa的表压。　　水环泵最初被用作吸水环泵，之后被用于石油、化学、工业、机械、矿山、轻工、医药、食品等很多工业部门。在工业生产的许多工艺中，例如真空过滤、真空引水、真空输送、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等，水环泵得到了广泛的应用。随着真空应用技术的飞跃发展，水环泵在获得粗真空方面一直受到重视。因为水环泵中的气体压缩是等温的，所以除了可以抽除易燃易爆的气体以外，还可以抽除含尘含水气体，所以水环泵的应用越来越多。　　泵体里有适量的水作为工作液。叶轮在顺时针旋转时，水被叶轮甩到周围，在离心力的作用下，水形成由泵室的形状决定的大致等厚的封闭圆环。水环的下部内表面正好与叶轮轮毂接触，水环的上部内表面正好与叶片前端接触(实际上叶片在水环内具有一定的插入深度)。此时，叶轮的轮毂和水环之间形成新月形的空间，该空间被叶轮分成与叶片数量相等的几个小空洞。以叶轮的下部为起点，叶轮在旋转前的180时，小室的容积变小，与端面的吸气口相通，此时气体被吸气，吸气结束时小室与吸气口隔绝。叶轮继续旋转时，小腔室变大变小，气体被压缩。型腔通向排气口时，气体会排出泵外。　　如上所述，...

螺杆真空泵不能正常启动的三种解决方法

2020 - 11 - 05

除了避免螺杆真空泵无法启动的问题，还需要掌握如何处理螺杆真空泵无法正常启动的问题。在这里，我们将详细介绍螺杆真空泵不能正常启动的三种解决方法。　　1.在所有正常使用期间，泵停止后不可能再次启动。通常，提取蒸汽中的冷原料留在泵体内，在常温下冷凝，导致两个电机转子之间以及电机转子与泵壳之间粘连，或者由于提取蒸汽中的烟尘过多，泵体无法转动。　　2.如果机械泵不能启动和运行，在正常情况下没有必要先拆卸泵壳。如果有脏东西，可以尝试人工翻过来。可以尝试用有机溶剂熔化来解决它们。如果实在处理不了，可以考虑拆开泵壳进行清洗。　　3.如果螺杆真空泵在第一次泵测试中被卡住而不能启动和运行，通常需要考虑是否有脏的金属材料(如螺钉、焊透等。)在管道连接和安装过程中会掉入泵内，堵塞电机转子，导致泵无法启动和运行。　　一般来说，螺杆真空泵不能正常启动。为了避免机械泵无法启动和运行，首先要注意的是确保在安装期间没有脏东西落入泵体内，在抽出烟气和冷原料蒸汽时应采取吹扫措施。

罗茨真空泵的故障处理

2020 - 11 - 17

1、故障现象：泵的抽气量不够　　产生原因;　　(1)罗茨真空泵的转速不够;(2)密封不严，在进气管路的连接处或轴封处漏气;(3)泵的转子与转子、转子外圆与泵壳，转子端面与端盖周的间隙过大，气体返流量增大;(4)环境温度或冷却水的温度过高。　　排除方法：　　(1)如泵的转速不够，且抽气量是与泵的转速成正比，则泵的抽气量就会下降。这有两种情况;一种情况是泵的转速未配备好，也就是皮带轮的直径不合适，可更换皮带轮，改变皮带轮的直径;另一种情况可能是皮带安装不当、未张紧，皮带打滑而降低了转速，这可调节电机位置，使皮带张到一定紧度。　　(2)查明何处漏气，如是连接法兰处漏气，则可能是由于连接螺钉松动，垫圈压破变质或者是法兰面加工不平;如是在轴封处漏气，则有可能是密封皮碗未装正或破裂，此时则更换皮碗并装正;若是填料密封的，可将扎进的填料掏出，更换新的，但填料的接口必须是斜面而互相搭接服贴，第一圈的接口必须与第二圈的接口错开，不能在同一位置上。　　(3)若转子与转子型面间的间隙不均匀，在转圈中处间隙大，另一处间隙小，这由于在装配时同步齿轮的啮合状况未调整好，则这对同步齿轮之一的齿轮作轮毂固定，另一个齿轮的轮毂做成可以调节的，因为两转子的外型是共轭曲面，要互相正常啮合。与此同时，外端的传动齿轮(同步齿轮)也要处于正常啮合状态，这样辐子才能正常传动。否则，即使能转动，也可能出现在转冠中，两转子间的间隙...

真空泵机组腐蚀应该怎样解决呢?

2020 - 11 - 27

随着技术创新性发展，真空泵机组的性能也经历了一代一代的技术改进和性能提升。在现今的施工作业活动中，真空泵机组的使用频率也获得了很大的提升。真空泵机组的使用一般处于相对恶劣的工作环境中，难免会对真空泵机组进行腐蚀，那么应该怎样解决呢?　　1、表面处理：　　彻底清除表面氧化层，用丙酮将真空泵机组待处理表面清洗干净。　　2、调和材料：　　严格按照比例进行调和，并搅拌均匀，直到与真空泵机组表面颜色没有色差。　　3、涂抹材料：　　先薄薄涂抹一层修复材料，要确保粘接及完全覆盖，不得留有空隙以防造成二次腐蚀。再将材料均匀的涂抹到修复表面，达到要求的修复厚度即可。　　真空泵机组修复完毕按照装配要求进行安装，修复保护的材料应避免受外力的敲击或撞击，如果材料影响真空泵机组装配，可采用打磨的方法处理，千万不可敲击，避免损伤其他材料。

旋片真空泵的维修方法

2020 - 12 - 09

1、首先要了解旋片真空泵的类型、特点、现在状况。了解使用要求，确定修理目标。在进行维修之前，准备好检测手段。　　2、判断故障，确诊故障。判断准，可省事。确诊要验证。　　3、排除故障，先简后繁，先易后难。无须拆卸的不拆。以减少由于缺少专用工具和操作不当引起新的损伤，减少位置变化和跑合运转时间。一般的说，拼接式转子是不可拆卸的，否则形位公差就不保，转子就报废了。　　4、有毒有害、有腐蚀性的泵，应请用户先行清洗，并告知必要的防护措施，以保障维修人员的健康。　　5、旋片真空泵故障分类　　建议把故障分为运转故障和性能故障。　　运转故障可包括泵不转，泵温太高，漏油，漏水，最大功率超标等。　　性能故障可包括极限压力、极限全压力、抽气效率、噪声、喷油、气镇性能等不达标或不能满足要求。　　6、故障判断与诊断例举　　(1)泵不转。情况不明不能先开泵，以免加重故障。用手能盘动和不能盘动。　　①泵能盘动而不转。原因可以是联轴器故障;皮带打滑;电机接线有误;电机损坏;电源没电等。　　②不能盘动或盘起来很重的，原因可以是因为起动泵温太低，泵油粘度太高;设计制造原因的停泵返油太多。油位太高引起的停泵返油太多(加油太多，或有水汽在泵中凝结，或在排气管中凝结的水流回泵中);有异物在泵内(进气管中的焊渣、氧化物;旋片弹簧等泵零件的碎屑;旋片变形卡住;发生了咬合(铜套、转子、中壁、泵盖、定子、轴承)。　　(2)泵温太高...

螺杆真空泵磨损的处理方法有哪些

2020 - 12 - 21

螺杆真空泵由于性能优势好被大家所认可，具有耐化学腐蚀性和外表美观等优点，应用越来越普遍，下面咱们了解下螺杆真空泵磨损的处理方法有哪些吧。　　螺杆真空泵磨损的原因一般如果有碳酸钙和玻璃纤维等填料，可以加速螺杆和机筒的磨损。应控制桶的加工温度，使其接近该温度范围。在收缩和均质化部分，如果塑料的熔化状态无序且不均匀，则磨损会增加。当粒状塑料从料斗进入料筒时，它们将首先到达进料段。在喂料部分不可避免地会发生干摩擦。当这些塑料缺乏热量并且不均匀地熔化时，很容易形成筒的内壁并且螺杆的外部磨损增加。因为某些塑料是强化的，例如玻璃纤维，矿物质或其他填料。与熔融塑料相比，这些物质对金属材料的摩擦力更大。　　螺杆真空泵注塑时，如果采用高速转换来增加塑料的剪切力，也会使增强材料产生相应的撕裂纤维。撕裂的纤维含有锋利的末端，这将大大增加磨损力。当无机矿物在金属表面高速滑动时，它们的刮擦效果不小。所以速度不应该太高。螺杆在机筒中滚动，材料与机筒之间的冲突导致螺杆和机筒的工作外观逐渐磨损。螺杆直径逐渐减小，筒内孔直径逐渐增大。通过这种方式，随着螺杆和机筒的逐渐磨损，螺杆和机筒之间的直径间隙逐渐增大。由于机筒前方的机头和导流板的阻力没有变化，因此增加了挤压材料的泄漏流量，即材料流量从直径间隙增加到进给方向。塑料机械的生产减少，这反过来导致材料在桶中停留更长时间，从而导致材料差异化。在聚乙烯的情况下，通过分化产生...

超高真空的真空泵都有哪些呢?

2020 - 12 - 31

超高真空应用领域是当压力超过10^-5Pa之后就进入到了。这个时候，多数真空泵的抽气作用已经停止或者抽速很低。那这个时候用来实现超高真空的真空泵都有哪些呢?　　第一种，扩散泵。扩散泵对惰性气体有着很好的抽气作用，比如即使在10^-13Pa压力下，其对氦仍能保持稳定抽速，因此在很多的超高真空系统中得到运用。但扩散泵的返流引起的油污染限制了它的应用，同时对氢的压缩比也是限制其极限压力的一个因素。　　第二种，涡轮分子泵。涡轮分子泵是一种比较理想的清洁泵，其对分子量大的气体压缩比大，对轻的气体压缩比就小，在一些应用领域开始替代油扩散泵。超高真空应用中，影响涡轮分子泵极限压力的主要因素是入口段泵体内表面和转子零件表面的材料放气。　　第三种，溅射离子泵。溅射离子泵也是一种无油清洁真空泵，对惰性气体的抽速大。其在10^-8Pa压力以下时，由于自由电子密度减少潘宁区无法产生放电，会出现抽速降低，甚至“灭火”。　　第四种，冷冻升华钛泵。冷冻升华钛泵是将钛膜蒸发在77K以下的冷面上，拥有较大的抽速与较低的极限压力，不仅可以实现抽气的作用，同时可以减少放气与防止返流的作用，在空间模拟以及极高真空获得中不可或缺。缺点是对惰性气体抽速很小，必须与其他泵配合。　　第五种，弹道钛泵。弹道钛泵的极限压力在10^-9Pa，对惰性气体有一定抽速，但抽速不易做大，因此经常被升华泵与溅射离子泵代替。　　第六种，低温冷冻泵...

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产品名称： 元器件/五金件真空吸附水环式真空泵机组

上市日期：2023-11-10

半导体吸附加工中水环式真空泵机组可以在生产过程中提供稳定的压力环境，有助于确保工艺的稳定性和产品的一致性。减少油污染，满足半导体行对无油的严格要求，同时提高设备的可靠性和稳定性。

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水环式真空泵在半导体吸附加工中的优势有以下几点：

可以在生产过程中提供稳定的压力环境，有助于确保工艺的稳定性和产品的一致性。
负压与大气压差可以用于液体或颗粒的清除或输送，可以应用于清扫真空和工艺真空等多种半导体生产环节。
可以在生产过程中减少油污，满足半导体行业对无油的严格要求，同时提高设备的可靠性和稳定性。

产品参数

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产品名称：
元器件/五金件真空吸附水环式真空泵机组

上市日期： 2023-11-10

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真空吸附水环式真空泵机组

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Case / 案例展示

真空泵在锂电池行业中的应用

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