一、矩形超高真空插板阀概述

此系列阀门为气动驱动方式，在结构上设计合理，外形上美观，并具有动作平稳、冲击振动小、使用可靠、密封性能好和寿命长等优点，是半导体行业中真空设备自动化首选阀门之一。阀门是以压缩空气推动气缸为动力，通过传动杆推（拉）动连杆机构，带着驱动体沿轴向运动，驱动体通过摆杆与阀板连接并带动阀板开启及关闭动作。阀门的介质为空气及非腐蚀性气体。

二、矩形超高真空插板阀特点

采用多摆杆均匀分布支撑结构，阀板受力均匀，阀门开启冲击振动小，噪声低；

四滚轮支撑运动机构，动作平稳，运动噪声小；

动密封采用波纹管密封，其它密封件为氟橡胶，密封可靠；

阀体采用不锈钢内部焊接，漏率小；

在更小的体积上，一次性通过更多的工件，合理使用了空间。