一、超高真空插板阀：

此阀门分为手动、气动、电动三种驱动，在结构设计上合理，在外形上美观，并具有动作平稳、体积小、使用可靠、密封性能好和寿命长等优点，能广泛应用于超高真空设备中。阀门以手转动手柄为动力，通过传动杆推（拉）动连杆机构，带着驱动体沿轴向运动，驱动体通过摆杆或钢珠与阀板连接，完成阀板开启及关闭动作。阀门的介质为空气及非腐蚀性气体。

二、超高真空插板阀特点

轴封有波纹管密封和氟橡胶密封两种可选择，其它密封件为氟橡胶，无润滑剂设计；

阀体采用不锈钢内部焊接，漏率小；

阀体采用加强筋结构，体积小、重量轻，外形美观；

采用双导轨轴承滚轮机构，运动平稳；阀板整体式结构，支撑力均匀。

三、超高真空插板阀性能指标

类型： 插（闸）板阀 

驱动方式： 手动、气动、电动

阀体材料： 不锈钢 

适用真空： 超高真空 

适用范围：

1×10-5Pa～1.2×105Pa（全部氟胶圈密封）

1×10-6Pa～1.2×105Pa（波纹管密封）

阀体和阀座漏率：1.3×10-7Pa·L·s-1

首次保养循环次数：100，000次

安装位置：任意

打开时插板上的压差：≤3×103Pa任意方向

阀体烘烤温度：打开时≤200℃；关闭时≤150℃

超高真空插板阀阀门位置指示：

手动驱动：带有启闭位置指示（机械式）

气动驱动：带有启闭位置指示开关（磁性开关）

电动驱动：带有启闭位置指示开关（微动开关）