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罗茨真空泵启动与停车正确的操作步骤
罗茨真空泵启动与停车正确的操作步骤
2021 - 04 - 16
罗茨真空泵作为目前国内大多说工厂中都会使用的真空泵，在使用过程中会遇到启动与停车的问题，那么正确的操作步骤是什么呢?　　1、罗茨真空泵启动程序：　　(1)、启动前级泵。　　(2)、打开前级泵预抽官路商的阀门和罗茨泵进气口上的阀门。　　(3)、待系统内的压力达到罗茨真空泵的允许压力后，关闭预抽阀门，起动罗茨真空泵，如无预抽管路及阀门，则待达到起动压力后起动罗茨真空泵，此过程亦可采用压力传感器自动控制，实现整个过程的自动化。　　(4)根据真空系统的实际情况，如果不是大的真空系统，则起动前级泵后即可起动罗茨真空泵。如果是较大的真空系统，虽然带溢流阀的罗茨真空泵具有过载保护作用，但这种保护只是对电机的保护，罗茨泵本身仍可因为长时间工作在高压力下，而产生过热卡死，应待前级泵抽到一定压力后再起动罗茨泵。　　2、罗茨真空泵停车程序：　　(1)、关闭罗茨真空泵进气阀。　　(2)、从上到下逐级停罗茨真空泵，最后停前级泵，严禁搞错停车程序。　　(3)、前级泵停车后，立即向前级泵进气口放气。　　3、罗茨真空泵运转中的注意点：　　(1)、运转中必须按照罗茨真空泵的技术规格使用，在正常情况下，罗茨真空泵的入口压力在1330Pa以下，泵的最大压差不得高于其最大允许压差值。　　(2)、注意电动机负荷和泵的各部位温升，在正常运转情况下，泵的最高温升不得超过40℃，最高温度不得超过80℃。如果选用水环泵作为前级泵时...
夏天使用螺杆真空泵的时候要注意些什么?
夏天使用螺杆真空泵的时候要注意些什么?
2021 - 05 - 07
夏季室外温度本身很高。螺杆真空泵处于工作状态时，设备的温度会升高，容易造成损坏。那么夏天使用的时候要注意些什么呢?如何减少设备损坏的情况。　　如果热量难以散发出去，则螺杆真空泵的温度会升高，一旦达到极限温度，就会显示出机械故障。尽可能降低泵的工作温度，更换螺杆真空泵油，并保持通风位置或配备室内冷却设备。　　为了提高螺杆真空泵的散热功能，需要及时更换消耗品，主要是油雾分离器(排气滤芯)和机油。这两种消耗品需要及时更换。如果排气过滤器过时或存在其他质量问题，则应尽快更换。　　起初，当油出现变色，沉淀和乳化增加的现象时，它就不能停留在润滑的维持上。当机械故障频繁发生时，如果螺杆真空泵的温度过高，螺杆真空泵将显示异常噪音，注油甚至堵塞。因此，螺杆真空泵在变热之前必须彻底清洁。　　同样，在夏季，请尽可能将螺杆真空泵放在阴凉的地方，将其放置在室外时，请注意不要使其暴露在阳光下并适当降低其工作温度。
螺杆真空泵怎么提高效率
螺杆真空泵怎么提高效率
2021 - 05 - 20
当物料从吸入口进入螺杆真空泵时，它需要经过管道摩擦和其他外部因素，导致管道效率波动。此时，可以通过泵的特性来调节油管，以避免额外的损失并节省能量。　　1.缩短螺杆真空泵的管道长度　　入口和出口管的长度应最小化。但是，当水源和出口池之间的地形平坦时，缩短管道将不可避免地增加旁路，入口池和泵房中的开挖量。将小型泵站从平地安装到倾斜位置，或者将水泵安装在井中或井中，并将管道设计更改为直线布置，可以缩短管道的长度在泵房里。节省了肘部并减少了头部损失。根据条件提高管子内壁的光滑度，可以减少管子强度的损失。　　2.合理确定螺杆真空泵的管径。　　管道直径的大小也会影响螺杆真空泵的效率。实践表明，管直径太大或太小都不经济。当管道和流星的长度固定时，如果选择大的管道直径，流量小，水头损失小，电功率小，但管道投资高;如果选择一个较小的，则情况与前一个相反。为了减少管道损失，应合理确定螺杆真空泵的进，出口管直径。如果已投入生产的管道的直径过小，则管道的压降会增加。为了提高管道的效率，请考虑根据经济直径更换管道。　　3.减少管件　　管件的局部电阻系数非常大，这会导致较大的压降，并且在运行期间必须消耗大量的能量。因此，应尽量减少内部管道不必要的附件。　　管道需要严格密封，否则会影响真空度。在更改螺杆真空泵管道时，还必须考虑到这一点，以确保连接的施工质量。
水环真空泵设备的冷却条件
水环真空泵设备的冷却条件
2021 - 06 - 04
水环真空泵在工作过程和各种操作过程中必须冷却，因为泵在运行过程中会产生一定的热量，必须随时冷却，防止泵体过热，但泵体的冷却泵需要一定的条件，在一定条件下，可以加强其冷却条件。水环真空泵设备的冷却条件?　　1、对于温度低于120的介质，一般没有专门的冷却系统，一般采用水环真空泵的介质进行温和冷却。可选择悬挂结构，使温度上限达到140-160。　　值得一提的是，对于易结晶或富含颗粒的介质，必须设置密封面清洁管道，通常在设计中留有接口。　　2. 120以上和300以内的介质，　　一般情况下，冷却室应位于水环真空泵的盖内，密封室也应与冷却液相连。当不允许制冷剂进入介质时，必须对介质进行冷却和接通，这可以用一个简单的换热器来完成。　　熟悉水环真空泵的冷却条件后，即可完成冷却。我们必须做好相应的工作。另外，在设计上，厂商必须从多个角度进行合理的设计。
螺杆真空泵出现卡死的原因
螺杆真空泵出现卡死的原因
2021 - 06 - 23
螺杆真空泵是工业生产中常用的一种机械设备。长期工作中容易出现一些故障，包括卡顿现象，会干扰设备的正常运行，给公司造成损失。　　由于某种原因，螺杆真空泵电机过载甚至无法旋转。这种现象一般称为“卡住”。真空泵卡死的原因是：弹簧损坏，转子受力不均;装配不正确，强行某一部分;由于进气过滤网、外部污垢、金属屑、玻璃屑等丢失或损坏。它们落入泵腔。另外，泵转子与旋片端面与端盖的间隙过小，摩擦生热导致旋片伸长或过热过紧，旋片硬度过高，毛刺相互挤压，在端面造成较深的划痕。　　轴套配合好，润滑油路不畅时，泵长期卡死，泵腔生锈;泵在潮湿环境中工作或去除水分。气体、泵油变成乳化液或泵油变脏甚至结垢。泵油粘度过高(冬季);转子在启动时破裂;有些泵的高低真空室气道有半圆形凹槽，顶部橡胶板太紧，堵塞中心气道等，容易造成泵卡死。这个问题通常是很危险的，因为在卡住的时候，电机会过载或者因为转子不能转动，很容易烧坏电机。即使电机没有烧坏，如果不及早停车修理，也会损坏泵腔，折断旋转叶片，扭曲转子，烧毁端面。后果永远是不好的。　　螺杆真空泵卡死总是发生在转子、转叶与端面或中间隔板之间或转子与泵腔之间。这些部件是决定真空泵最终压力的关键部件。因此，出现卡死现象，必须紧急停泵，排除故障，妥善维修。切勿重试甚至鲁莽，否则整个泵很容易被扔掉，无法修复。　　螺杆真空泵的堵转现象主要是内部设备损坏和润滑不足造成的。这与用户的定期维护...
干式真空泵水流量问题
干式真空泵水流量问题
2021 - 07 - 08
随着干式真空泵的使用率越来越广泛，其质量也在不断提高。由于其特点和优点，被大家广泛使用。为了让每个人都变得更好，我们将掌握干式真空泵水流量有什么问题?　　干式真空泵的应用范围很广，取得了显着的效果。一些发电机组更常用于供水和排水。改进干式真空泵的设计具有环保节能的优点。一般情况下，设备故障率很低，但仍需定期维护保养，以确保泵的优良性能。电源选用干式真空泵。如果整个运行过程中没有电源或出水流量不大，则泵会出现常见故障。干式真空泵的所有正常常见故障都是由常见故障引起的，它们解决问题。建议客户先检查当前运行的泵流量的功率与正常运行的泵流量的全功率的差异.低于正常运行时间，将生产离心叶轮。泵叶轮止回阀损坏、堵塞等问题。如果电流量和以前一样大，那就是垫圈、管子和泵壳的泄漏。如果正常运行时流量的电量高于流量的电量，很明显是备件损坏。另外，如果电缆损坏，水流量会像往常一样大，但电流量会有所改善，客户可以一一查找原因。和故障检测。建议客户进行定期检查，按时保持真空泵干燥，并做好记录，方便下次定期检查和维护。如不能解决问题，可作为维修人员节省维修的参考。　　以上就是干式真空泵流量的问题，大家可以了解一下，并在整个应用过程中按照正确的操作步骤来达到很好的实际效果。如果大家不能，请谅解，如果您可以拨打电话咨询，我们会根据您的具体规定给您有效的建议，避免盲目跟随实际操作造成不必要的不便。
水环真空泵选型的2个要点
水环真空泵选型的2个要点
2021 - 08 - 21
水环真空泵选型的2个要点在选择水环真空泵时应注意哪些问题，本文详细讲解了水环式真空泵的2个选择方法。一、根据所需的气量选择真空泵初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用水环真空泵的型号。关于真空泵的抽速选择及抽气时间计算可参照：真空计算公式。二、水环真空泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。1、尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。2、应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。这里补充一点真空泵工作时，还要注意以下两个方面，以便更好的维护水环真空泵的正常使用寿命。深圳市恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域，给客户提供稳定的真空系统解决方案，专业真空设备和真空系统设计、工程、售后等服务，更多真空泵应用案例、行业真空解决方案欢迎致电我们。
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如何防止水环真空泵​设备爆鸣
如何防止水环真空泵​设备爆鸣
2019 - 11 - 18
一些用户在使用2BV水环真空泵时会遇到排气爆破的情况。这种现象对设备的操作有非常不好的影响，甚至可能损坏设备本身。因此，当出现此类问题时，应及时进行相关检查，并采取相应的预防措施，以防止问题再次发生。那么，如何防止水环真空泵设备爆鸣?　　一、洗涤和缓冲　　在设备前增加一个水洗和缓冲罐可以有效地消除吸入的残留液体，对混合空气也有一定的冷却作用。但是，在实际工作中，经常会出现以下两种现象：首先，当储罐中的残留液体量少时，少量的液体会被吸入泵体中，并且材料会在高温下碳化。其次，当残留液体量很大时，如果不及时排出，2BV水环真空泵很可能会吸入液体并产生冲洗泵，从而导致大的设备事故。因此，工人在生产过程中需要有强烈的责任心，并及时排出残留的液体，以免发生事故。　　二、废气控制　　防止2BV水环真空泵爆鸣，加强废气控制是一项非常重要的安全技术措施。从真空泵排出的废气主要是含有大量甲醇蒸气的混合气体。根据醉酒罐的理化特性和工作习惯，在缓冲罐之前，首先安装一套或几套冷凝装置(通常使用约-10°C的冰盐水)冷凝混合气体;其次，在总排气装置010中，在141455上还安装了一个冷凝单元以冷凝废气，从而将废气中的甲醇蒸气浓度降低到爆鸣下限以下，并保护环境。但是，在冷凝过程中，应适当控制冷凝水的流量。如果流量太小，凝结效果可能会很差。如果流量太大，可能由于过度冷凝而堵塞管道，从而影响真空效果。　...
水环真空泵正确的开泵操作
水环真空泵正确的开泵操作
2019 - 11 - 19
水环真空泵应在正常使用之前进行泵送。仅可使用泵使机器正常工作。使用时，必须在开始泵操作之前掌握某些技能。顺滑顺畅，这里简要介绍水环真空泵正确的开泵操作。。　　一、准备水环真空泵　　1、确认已安装泵入口处的压力表和出口分离器上的压力表。使用真空计和压力计，并在蒸汽分离器上应用气动自动补水以及排水阀和液位计。关闭蒸汽分离器底部的排气阀;请与电工和钳工联系，以确保电动机的转向与泵的转向一致。确认工具(扳手，听诊，抹布，油壶)是否齐全，并确认泵已正确接地并确认。泵的泵固定螺栓没有松动，并且使用冷却器的循环冷却水来确认平稳的回流。慢慢打开泵的出口阀以打开1/3阀的位置，转动汽车，检查法兰是否泄漏。　　2、机组注水该泵属于密闭型循环系统。系统的补充水通过蒸汽分离器的水重新注入泵体内。打开泵后，打开蒸汽分离器注水阀以填充泵体。当泵底部看到三个排放塞中的水后，拧上排放塞并关闭蒸汽分离器注水阀以停止填充泵体，使泵中的水刚好在排放塞上方。　　二、水环真空泵运行　　1、关闭气管道路上的阀门，打开供水闸阀，并向水环真空泵供水。当自动排水阀中的液体流出时，关闭入口闸阀并打开电动机。　　2、打开进气门。　　3、当自动排水阀没有水流出时，启动电动机，然后水环真空泵运行。同时，打开供水闸阀，使进水真空压力表的指针接近0Mpa(表压为无真空)。当水环真空泵的吸入绝对压力下降时，指针会移至负值(读数介于0到-0.00...
旋片真空泵工作原理
旋片真空泵工作原理
2019 - 11 - 21
旋片真空泵(称为旋片真空泵)是油封的机械真空泵。它的工作压力范围是101325〜1.33 × 10-2(Pa)是一种低真空泵。它可以单独使用，也可以用作其他高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛用于冶金，机械，军事，电子，化工，轻工，石油和医药的生产和科研部门。　　旋片真空泵可以去除密封容器中的干燥气体，如果安装了气镇装置，则可以去除一定量的可冷凝气体。但是，它不适用于去除氧气含量过高，对金属有腐蚀性，对泵油具有化学反应性并且含有粉尘的气体。　　旋片真空泵是真空技术中最基本的真空采集设备之一。旋片真空泵主要是中小型泵。旋片真空泵有单级和双级两种。所谓两级是指串联连接两个单级泵。通常，将其分为两个阶段以获得更高的真空度。旋片真空泵的抽速与入口压力之间的关系如下：在入口压力为1333 Pa，1.33 Pa和1.33 × 10-1(Pa)时，抽速值不得较低超过泵的额定抽速的95%，50%和20%。　　旋片真空泵主要由泵体，转子，旋片，端盖，弹簧等组成。转子偏心地安装在旋片真空泵的腔体中，转子的外圆周与泵室的内表面相切(两者之间有很小的间隙)，并且两个转子叶片安装在转子中插槽。旋转时，旋片的顶端通过离心力和弹簧的拉力保持与泵室的内壁接触，转子的旋转带动旋片沿泵的内壁滑动泵室。　　如图所示，两个旋片将转子，泵室和两个端盖围成的月牙形空间分成三个部分A，B和C。当转子沿箭头...
高温水泵是什么?高温水泵有哪些优点?
高温水泵是什么?高温水泵有哪些优点?
2019 - 11 - 23
泵分有很多种。在不适用的地方，为了节省成本，使用错误的泵，会产生相反的效果，花费更多的成本。今天带来了生产高温水泵的原因和优势。　　在石油，化工，制药，电子等许多领域，越来越多的制造商要求其所输送的介质具有无泄漏的处理环境。迫切需要为高温水泵生产选择理想的泵类型，新技术和新材料。新技术成功解决了高温水泵隔离套和叶轮损坏的技术问题，性能得到进一步提高。　　高温水泵在生活中的主要功能是用于输送高温热水的介质输送工具。这里提到的高温介质是具有50℃或更高温度的介质。那么，能够处理这些介质的高温泵的优点是什么?　　高温水泵的优势主要体现在水泵的细节上。　　第一是高温水泵的动力源为全铜电机，稳定可靠的铜电机使水泵稳定运行，水泵也能达到该参数给定的扬程。　　第二是高温水泵的点电缆。该电缆是国家标准等级的点电缆。它具有优异的耐油性，耐水性，耐磨性，耐老化性，耐酸碱性，耐腐蚀性和不燃性。性能，使泵的寿命增加，同时又确保了水的安全性。　　第三是进口的轴承。该轴承及其对等物可以减少轴承损耗，使用寿命也很长，而且非常耐磨。　　第四是高温水泵的流路叶轮。整个叶轮的抗堵塞性能特别好!这对于泵送包含大颗粒和长纤维的介质非常有益。而且不会有干扰。　　第五是高温水泵机械密封的O形圈。该盘管的主要材料由氟橡胶制成，可以确保泵在120°C内正常运行。　　高温水泵解决了许多制造商的需求。随着当前技术的成熟和技...
屠宰场中旋片真空泵用在哪里
屠宰场中旋片真空泵用在哪里
2019 - 11 - 27
在许多屠宰场(例如牛和猪)，旋片真空泵用于清除碎屑并清除脂肪和其他无用的零件。在该过程中中，旋片真空泵像真空吸尘器一样在低真空下连续运行，将脂肪，碎屑或目标产品回收到容器中。有时同时使用真空和蒸汽可减少细菌的量(蒸汽可大量杀死细菌)。骨髓去除系统也使用真空。疯牛病危机后屠宰场采取了一项新措施，即在动物分裂之前需要去除骨髓，以预防和消除1岁以上牲畜的疯牛病。旋片真空泵的制造商打算介绍在屠宰场中旋片真空泵用在哪里。　　屠宰废水的主要来源是从屠宰过程中排放的一系列废水。废水的主要特征是：高浓度的悬浮固体和高浓度的有机污染物。在屠宰过程中中排出了一定量的血液，头发和骨头碎片。粪便，肠子和脂肪。这些废水直接排放，影响周围居民的健康。　　真空技术产品系列：　　单级旋片真空泵，双级旋片真空泵，无油活塞式真空泵，微型压缩机，罗茨真空泵，真空机组和真空系统，真空泵油，真空泵配件等　　在屠宰场中中，使用旋片真空泵清除骨髓，碎屑，家禽内脏并清除特殊危险物质。　　污泥处理工艺方案的选择　　1)污泥特性分析　　通过该污水处理过程中产生的污泥主要是沉淀池的污泥和气浮池的浮渣。　　2)污泥处理工艺方案比较　　污泥是污水处理过程的产物，是整个污水处理站的重要组成部分。处理的目的是减少污泥的水分含量，减少污泥的体积，达到稳定的性能，并为进一步处置创造条件。　　3)污泥整体处理工艺的选择　　污泥处理的一般过程是：浓缩...
深圳真空泵厂家讲解罗茨真空泵工作原理及其结构特点
深圳真空泵厂家讲解罗茨真空泵工作原理及其结构特点
2019 - 11 - 28
罗茨真空泵是一种双转子的容积式真空泵。在泵腔内有两个形状对称的转子，转子形状有两叶、三叶和四叶的。两个转子彼此朝相反方向旋转，由轴端齿轮驱动同步转动。转子彼此无接触，转子与泵腔壁也无接触，其间通常有0.15~1.0mm的间隙，泵腔靠间隙来密封。　　由于罗茨泵泵腔内无摩擦，转子可高速运转，一般为1500~3000r/min，而且不必用润滑油，可实现无油清洁的抽气过程。泵的润滑部位仅限于轴承和齿轮，以及动密封处。泵没有往复运动部件，故可实现良好的动平衡。因而，罗茨泵运转平稳，转速高，尺寸小可获得大的抽速。　　目前国内外的罗茨泵，多数为卧式结构，泵的进气口在上，排气口在下，这种卧式结构重心低，高速运转时稳定性好。罗茨泵的两个转子是通过一对高精度的齿轮来实现其相对同步旋转的。　　泵的传动多为直联式的，大泵则有皮带传动的。电动机与传动齿轮，多设在转子轴的两侧，安装拆卸方便。主动轴传递的扭矩较大，轴要有足够的强度和刚度，轴与转子要固结牢靠。罗茨泵的密封很关键，主动轴外伸部分、两个转子的轴承与泵腔之间设有动密封，泵腔与各端盖设有静密封。　　为了避免罗茨泵的误操作，一般多设有旁路溢流阀。根据对罗茨泵的特殊需要，也有将油的齿轮箱，轴承等部件与泵腔做成分离式结构的。　　在罗茨泵的压缩过程中产生的热量被传到转子和泵体上。转子很难将热量传至泵外，而泵体的热量很容易被散失到周围大气中。因而转子与泵体之间就出...
在深圳选购水环真空泵时应考虑哪些方面？
在深圳选购水环真空泵时应考虑哪些方面？
2019 - 12 - 04
(1)选择水环真空泵　　所谓的水环真空泵是使用水作为液环的液环泵。将水用作液环具有许多优点，例如价格便宜，易于获得并且不污染环境。但是，还有一个很大的缺点，因为水的全蒸汽压力使水环真空泵的吸入压力很高。此时，如果将蒸气压低的液体用作液环，则可以提高泵的极限真空度。如果机组中罗茨泵的较大排气压力为10托，则在将水用作液环时，必须添加一个常压泵作为罗茨泵的前级泵。如果将矿物油用作液环，则没有必要。大气泵可以用作前级泵，可以简化设备。　　(2)机组性能和罗茨泵承诺的排放压力　　设备的性能很大程度上取决于所承诺的罗茨泵排放压力。此接受值越低，水环真空泵将用作前级泵的可能性就越小。如果罗茨泵的许诺值是1〜10 Torr，则无论单级或多级水环真空泵如何，极限压力都比该值高得多，因此不可能将其与这个罗茨泵。类常压泵。如果罗茨泵排放压力的承诺值大于100 Torr，则前级水环真空泵也可以用作罗茨泵前级泵的前级泵，这将大大扩大前级泵。　　(3)用例　　某种化纤产品的生产过程是：将低分子聚合物制成带状切片镗孔(使用罗茨泵-水环真空泵机组进行真空干燥)-牵伸-牵伸，加热-纺织-产品。　　重要的步骤之一是干燥5×5×5(mm)的切片以进行拉丝。拉丝过程中的理想情况是使水分含量为零。实际上，这个目的无法实现。因此，要求水分含量为0.02%以下。如果水分含量超过此要求，则在高温高压下拉丝会...
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旋片真空泵组装时注意的几个问题？

日期： 2019-04-12
来源:
浏览次数: 178

1、要观察旋片真空泵轴即转子轴设备前要判定它是不是弯曲、变形，

2、检查旋片真空泵的转子平衡状况是不是符合标准，
3、检查旋片真空泵的叶片与转子之间的协作空地，
4、几回额密封缓冲赔偿安排的紧缩量是不是抵达需要，旋片真空泵组装时注意的几个问题？
5、旋片真空泵的泵浦转子与轴承位的同心度是不是抵达需要，
6、旋片真空泵的轴承与端盖之间的空地调整，
7、密封部位空地的调整，
8、联轴器的同轴度是不是符合需要真空泵油在运用中的改变真空泵油在运用中受到了温度、空气、金属催化、机械剪切、有害介质等的效果，其组成中的基础油会发作氧化、裂化、聚合等反响，功能逐步变差。

以上几点就是深圳恒才陈工总结的对旋片真空泵组装时需要注意的问题点，如有更多真空知识方面的咨询，欢迎联系陈工，与您一起探讨！    
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旋片真空泵机组360度轮移动方便携带
旋片真空泵机组360度轮移动方便携带
高效抽气能力：旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动，周期性改变泵腔容积，实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒，单级泵极限压力可达1帕，双级泵更可低至6.5×10⁻²帕，能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计：机组小车采用一体化撬装结构，将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内，占地面积小，便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计（如电机直联驱动）进一步减轻了设备重量，提升了便携性。移动灵活便捷：小车底部配备移动轮，支持快速搬迁与多工位切换，尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换，确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠：旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计，确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑，同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器，可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔，保障设备长期稳定运行。维护简便经济：机组小车结构简单，维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油（首次工作满150小时后换油，之后每500小时换油）与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作，确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善：设备配备双重密闭系统（充气式电磁阀+机械止回阀）与排气过渡器，可防止气体倒流与油雾排放，避免晶圆污染或设备损坏。同时，其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统，防止油返入被抽系统，保障操作安全。适应性强：旋片真空泵机组小车可单独使用，也可与其他高真空泵（如分子泵）组成真空机组，以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如，在晶圆键合工艺中，可先通过旋片泵快速抽至低真空，再切换至分子泵实现超高真空环境，提升工艺效率。经济性高：机组小车采用无油设计（...
发布时间： 2025 - 07 - 22
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