一个容器放在自然环境中,如果不改变其内部气体压强,那么容器内外部的气体压力达到平衡状态,在数值上等于大气压。要使容器内部达到真空状态.就必须排出容器内部的气体,使内部气体压强小于外部大气压。利用机械、物理、化学或物理化学的方法,把气体从容器中排出而获得真空的设备称为真空泵。真空泵按其工作原理的不同分为压缩型(变容型)和吸附型两类。压缩型真空泵工作原理是将泵的入口端的气体压缩到出口端,水环真空泵并排出至泵外。
常见压缩型真空泵有:利用膨胀一压缩一排出过程的旋转式机械泵,利用涡轮叶片排除产体的涡轮分子泵等。吸附型真空泵的工作原理是将气体吸附在泵体内,已达到降低气体压强的目的。常见吸附型真空泵有:利用电离吸气作用的离子泵,利用物理或化学吸附作用的吸附泵、吸气泵和低温冷凝泵等。

吸附型真空泵与压缩型真空泵不同是,吸附型真空泵并不是将气体排出泵外,而是贮存在泵内,前者所能达旋片真空泵到的真空度比后者高,但抽速小,适用容器也较小。真空电阻炉采用的是压缩型真空泵,例如机械泵、罗茨真空泵以及扩散泵等。
各类真空泵都有自己的工作范围,有的泵可以直接从大气状态下开始工作,如机械泵、吸附泵,有些泵就不能直接从大气状态下开始工作,如扩散真空泵、分子泵、离子泵等,入口真空度必须达到一定数值时,才能开始工作。
真空泵机组机械密封检查的常识
1、检查时,应将旋片真空泵罗茨真空泵隔离后再进行检查。
2、先隔离阀门到旋片真空泵这段系统各可疑部位,阀门,法兰,管道焊缝转弯处并作细致的检漏工作。
3、通常用真空计法,即用毛笔蘸取酒精,丙酮等有机溶剂逐一涂抹以上可疑部位和旋片真空泵的进气口接缝等处,同时看真空计或辉光颜色的变化。当发现真空计抖动或紫色辉光变乳白色时,可判定被涂到的部位漏气。
4、在漏隙较小时,这种方法就难以察觉了,应采用更灵敏的方法检漏。
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