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晶圆减薄真空吸附为什么要用水环真空泵系统

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深圳恒才真空引水机组优势

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VG水环真空泵替代sk水环真空泵用于真空引水

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行业资讯了解行业的最新资讯

2019 - 10 - 21

在2BV水环真空泵的工作过程中，气体的过程是等温的，因此在压缩和提取易燃易爆气体时，不易爆炸，因此得到了更广泛的应用。　　那么，在使用过程中，水环真空泵压力不足，该怎么办?　　1，2BV水环真空泵未充满水或排气不正确：　　解决方案：检查真空泵的外壳和入口管路中是否都充满液体。　　2，速度太低：　　解决方案：检查电动机接线是否正确，电压是否正常或涡轮压力是否正常。　　3，系统磁头过高：　　解决方案：检查系统的头部(特别是摩擦损失)。　　4，2BV水环真空泵吸程过高：　　解决方案：检查现有网头(进水管太小或太长会导致较大的摩擦损失)。　　5，叶轮或管道被阻塞：　　解决方案：检查障碍物。　　6，旋转方向错误：　　解决方案：检查旋转方向。　　7，空气或入口管线中有泄漏：　　解决方案：检查进气管路中是否有气穴和/或漏气。　　8，2BV水环真空泵填料函中的填料或密封件已磨损，空气泄漏到真空泵壳体中：　　解决方案：检查填料或密封件，并根据需要更换以检查润滑是否正常。　　9，泵送热或挥发性液体时吸头不足：　　解决方案：请咨询制造商以增加吸头。　　10，2BV水环真空泵底阀太小：　　解决方案：安装正确尺寸的底阀。　　11，底部阀门或入口管未深浸：　　解决方案：向制造商咨询正确的浸入深度，并使用挡板消除涡流。　　12，2BV水环真空泵叶轮间隙过大：　　解决方案：检查间隙是否正确。　　13，叶轮损坏：　...

旋片真空泵故障如何判断和诊断

2019 - 11 - 01

旋片真空泵故障如何判断和诊断　　1，旋片真空泵不旋转。如果情况未知，则无法先打开泵，以免加剧故障。可以用手移动，不能移动。　　旋片真空泵可以不旋转而旋转。原因可能是耦合错误。皮带打滑;电机接线错误;电机损坏;电源已耗尽。　　B，不能被驱动或沉重，原因可能是因为起动泵温度太低，泵油粘度太高;设计和制造原因使泵停止供油过多。如果油位过高，泵将返回过多的油(太多的油或水蒸气会凝结在泵中，或者在行气管中冷凝的水会回流到泵中);泵中有异物(在气管中)焊渣，氧化物;泵零件的碎屑，例如旋片弹簧;旋片变形;咬死(铜套，转子，中间壁，泵盖，定子，轴承)。　　2，旋片真空泵的温度过高。这意味着在低位排气门附近测得的最高油温超过了使用手册中指定的值。随着泵温度的升高，泵油的粘度急剧下降，并且泵油的饱和蒸汽压升高，因此泵的极限压力升高，泵吸效率降低;橡胶零件容易老化;热膨胀使操作可靠。泵温度过高的原因可能是泵环境温度过高，进气温度过高，进气冷却装置出现故障，泵长时间连续运行，介质压力过高高;水冷泵冷却水不足，循环水设计效果不佳。水控制阀无效。　　3，漏油。它可能发生在轴封，燃油箱和旋片真空泵零件的密封面，放油塞，油迹，油孔隔板，定子零件和支架的通孔连接以及气镇中阀门(例如2X-8)。可能是由于密封件老化，安装不当，损坏失败，表面不平整，杂质，粗糙度和铸件松动引起的。如果在停止泵后回油，则油将进入气镇阀。如...

精细化工中的旋片真空泵装置

2019 - 11 - 06

如今，精细化工已成为世界化学工业发展的战略重点之一，也是化学工业激烈竞争的焦点之一。真空技术广泛用于精细化工生产中，并且需要在真空条件下实现许多工艺操作，例如真空过滤，真空蒸发，真空蒸馏，真空浸渍，真空干燥等。真空泵是一种可以在特定空间内抽气以获得真空的装置。在实践中所需的真空压力范围非常宽，通常在1×105和1.33×10-13 Pa之间。因此，有必要使用各种抽气原理，并使用结构和抽速不同的真空泵。这里仅描述了旋片式真空泵在精细化学品中的最常见应用。　　精细化工产品包括以下11个产品类别　　1.杀虫剂;2.染料;3.油漆(包括油漆和油墨); 4.颜料; 5.试剂纯度高; 6.信息化学品(包括光敏材料，磁性材料等可以接受电波的化学品); 7.食品和饲料添加剂; 8.粘合剂; 9.催化剂和各种助剂; 10.化学系统生产的化学药品(API); 11.高分子聚合物中的功能高分子材料(包括功能膜，偏光材料等)。　　旋片真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵，工作压力范围为1.01×105〜1.33×10-2Pa。旋片泵是低真空泵，主要是中小型泵。它可以单独使用或串联使用以获得更高的真空度。它也可用作其他高真空泵或超高真空泵的前级泵。　　精细化工行业旋片式真空泵的精制　　原油塔真空系统——通常是真空蒸馏，溶剂脱蜡，其他真空蒸馏塔和火炬气...

牧场中采用罗茨真空泵提高效率

2019 - 11 - 07

以前，国内牧场使用水环真空泵和旋片真空泵。旋片式真空泵价格便宜且易于安装，但具有噪声高，润滑油消耗高的缺点。水环真空泵的缺点是它消耗大量电力，效率低且噪声高。为了解决此问题，建议逐步改善牧场以使用罗茨真空泵。那么，罗茨真空泵对牧场有什么影响?让我们来看看它。　　罗茨真空泵是挤奶机的重要组成部分，因此选择正确的罗茨真空泵及其工作的稳定性直接关系到产奶量，牛奶质量，奶牛乳房的发炎率，和挤奶效率。　　随着全球城市人口的增长，牧场不仅需要面对对牛奶和奶制品的需求的增长，而且还面临着对更高牛奶质量，动物健康和更高生产标准的需求。了解牧场面临的挑战，并为成功的农场运营提供全面的解决方案。　　挤奶机由挤奶机和真空装置组成。利用真空装置产生的抽吸效果，模拟牛(绵羊)的吸吮作用，并吸出牛(绵羊)牛奶。　　罗茨真空泵可以稳定运行24小时，抽气能力强，效率高，无污染。适用于大型挤奶设备，维护少，可靠性高，无油润滑和密封，价格相对合理。如果没有正确选择真空泵，如果发生故障，整个挤奶设备将瘫痪，这将影响牧场的挤奶，从而造成严重的经济损失。可以看出，选择罗茨真空泵对于挤奶设备和牧场至关重要。　　因为罗茨真空泵在牧场中的应用具有非常重要的作用，所以真空泵制造商已就罗茨真空泵采取了一些预防措施，希望大家能记住。　　1、关闭前油封机构泵气镇阀(操作如汽油镇中前级油封机中的如汽油镇阀)。　　2、关闭罗茨真空泵进气门...

螺杆真空泵故障原因和故障排除

2019 - 11 - 11

下面的螺杆真空泵厂家介绍螺杆真空泵故障原因和故障排除　　(1)螺杆真空泵的温度高，1.抽气体温度过高。应允许冷却气体进入真空泵之前2.,使抽吸泵本体是很难磨损。拆卸硬物应该打开真空泵，修理或更换零件划伤，3，冷却水泵足够大多数。应该增加冷却水流量，4.装配不当，转子轴的位移，导致片面的磨损。它应拆开检查和重新组装。　　(2)螺杆真空泵油的问题，1.油位过低。足够的油应加到油标中心线，2.污染的油，油质变坏。应该用新油更换，3.油的牌号不匹配。应该通过预定级真空泵油来代替，4.油路不同，真空室不能维持正确的油。单向阀进油通道和油，油保持光滑。　　(3)螺杆真空泵本身漏气：1.密封圈漏气。应检查所有密封部位的密封情况，更换破损的密封圈，2.气镇阀垫圈损坏：或未拧紧。应更换垫圈并拧紧气镇阀;3.排气阀片损坏，密封不好。应更换气阀片;4.真空泵中隔板压入时过盈量太大，造成真空泵腔变形而漏气。应修整真空泵腔或更换，5.由于真空泵的端面油密封不良造成漏气。应拆开端盖，检查是否有杂物或不平整，并进行清洗或修理。　　(4)变形或破裂，并且弹簧转子旋片移动失败。整修或更换应的弹簧行程中，转子旋片的具有良好的产品。　　(5)进气口过滤器堵塞。拆卸过滤器应该是干净，再装上去。　　(6)由于由间隙处理不良或磨损过大。应该与泵室，转子，旋片，罩板之间的间隙进行检查，浇铸预定的精度修理或更换。　　(7)摩擦热...

水环真空泵使用注意事项

2019 - 11 - 13

水环真空泵是使用液体作为工作介质的粗泵。水被用作工作介质，称为水环真空泵。其他人可以使用油，硫酸和乙酸作为工作介质。工业水环真空泵的应用大部分。　　使用真空泵时，需要注意以下事项：　　1、真空泵的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。例如，真空镀膜需要的真空度为1 × 10-5mmHg，所选真空泵的真空度必须至少为5 × 10-6mmHg。通常将泵的真空选择为比真空设备的真空高一半数量级。　　2、正确选择真空泵的工作点。每个泵都有一定的工作压力范围，例如：扩散泵为10-3〜10-7mmHg。在如此宽的压力范围内，泵的抽速随压力而变化，其稳定的工作压力范围为5 × 10-4〜5 × 10-6mmHg。因此，泵的工作点应在此范围内选择，并且不应在10-8mmHg的环境下长时间工作。另一个例子是钛热升华泵可以在10-2mmHg的压力下工作，但其工作压力应小于1020mm 10-5mmHg。　　3、真空泵应该能够在真空设备的工作压力下清除真空设备过程中产生的所有气体。　　4、正确组合真空泵。由于真空泵具有选择性泵送功能，因此有时一个泵无法满足泵送要求，因此需要组合多个泵以相互补充才能满足泵送要求。例如，钛升华泵对氢的抽吸速度很高，但是不能被抽吸，而三极溅射离子泵(或两极非对称阴极溅射离子泵)对于氩气则具有一定的抽吸速度。当结合使用时，真空装...

水环真空泵转速变慢的5大原因

2019 - 11 - 14

有时使用水环真空泵，您会发现操作效率特别低。这可能是因为设备的速度太低，导致泵送能力差。您应该如何找到低速?是什么原因?让我们仔细研究一下设备运行时速度太慢的原因。　　1、水环真空泵动力机维护错误　　电机绕组烧毁后的维护中，匝数，线径和接线方法可能与以前有所不同，或者由于维修过程中完全维修的失败而可能改变速度。　　2、传动皮带磨损　　有许多大型真空泵使用皮带传动。长时间后，皮带会由于磨损而松动，这会导致打滑并降低速度。　　3、设备本身的机械故障　　叶轮和泵轴之间的紧固螺母松动，或者由于长期使用而导致泵轴变形和弯曲。这将导致水环真空泵的叶轮位置移动，直接接触泵体并发生摩擦，或者轴承出现。损坏，这些很可能会降低速度。　　4、水环真空泵安装不正确　　两个皮带轮之间的中心距离太小或两个轴之间的平行距离，或者皮带的紧侧附着在上侧，所以包角太小，计算两个皮带轮的直径错误地，并且两个轴之间的偏心率很大。它还会改变速度。　　5、人为因素　　原始电机损坏后，很多水环真空泵设备都配备了另一个不合适的电机。这将导致流量减少，升力低或什至没有水。　　上面介绍了五个水环真空泵使用率过低的原因。通常，有许多我们在使用过程中产生问题原因。我们没有去仔细的检查。我们有必要进行各种调查，然后确定原因，才能解决问题。

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真空技术离我们的生活有多远？

2019 - 03 - 18

真空技术对我们的普通生活究竟有多大影响？开始今天的课堂前让小编带您快速回顾下真空技术的发展史1643年，意大利物理学家托里拆利发现，真空和自然空间有大气和大气压力存在。1650年，德国的奥托·冯·格里克制成活塞真空泵。1850年和1865年，先后发明了汞柱真空泵和汞滴真空泵。20世纪初，真空电子管出现，促使真空技术向高真空发展。1940年以后，真空应用扩大到核研究、真空冶金镀膜和冷冻干燥等方面，真空技术开始成为一个独立的学科。真空技术距离我们的现代生活有多远？今天小编就带您三分钟走进我们生活中真空技术。 07:00早晨，相信大部分人醒来做的第一件事就是摸手机（有木有被小编说中）。手机中存有上千个半导体元件，这些半导体元器件的制造都离不开真空泵的技术。 07:30准备早饭。电水壶，烤面包机，微波炉，这些小家电的背后都有真空技术的默默贡献。 08:00带上智能手表穿戴设备，揣上车钥匙出门。穿戴设备内含大量半导体元器件。不夸张的说，没有真空的世界，电子产品就不不存在。 08:10开车前往公司。汽车中仪表盘，挡风玻璃，LED 车灯，甚至汽车尾气处理，都有真空技术的影子。 09:00到达公司办公室，办公室内几乎所有的交易都是依赖电子设备，亦离不开真空技术的贡献。例如PC，电话，投影仪，移动储存设备，空调设备。 ...

造纸行业选择水环真空泵的六大重点？

2018 - 06 - 11

水环真空泵很热门，被广泛应用于各个行业中，今天来说一说，在造纸行业生产中，怎么选择合适的水环真空泵，很多客户说选型水环真空泵很复杂，其实我们只要坚持以下几项原则，就能比较容易实现水环真空泵的合理配置，做出正确的选型，下面来一起看一下吧。第一、选用节能水环真空泵。目前国内外市场上适用于造纸行业使用的水环真空泵有2BE,2BV,VG等几个系列，通过这几年针对粗低真空行业水环真空泵新产品开发，水环真空泵的效率取得了较大幅度的提高。我公司近年来代理德国SPECK品牌VG系列水环真空泵，在实验站条件下，测得抽吸干空气能达到67%的最高效率，用于造纸厂抽吸湿空气将会有更高的效率，德国的机械技术确实高效节能，新技术也带来的新变化。　　第二、选用低转速水环真空泵。水环真空泵的效率与转速有直接的关系，泵的气量与转速成一次方的关系，在转速偏高规定时轴功率却与转速成近似二次的关系。当转速提高10%时气量也提高10%，而轴功率却增加20%左右，所以在选用真空泵时，应尽可能选用低转速的水环真空泵。最好能选用叶轮叶片端部的线速度在18m/s以下时对应的转速，这时候泵的效率通常会比较高。当然相对选用较高转速的泵将会付出更多的购买成本，相对于日积月累更多的能耗，在日益强调节能降耗的大背景下，显然选用低转速的节能真空泵是值得的。第三、各真空点组合合理。应将真空度和空间位置相近的真空点组合在一起，用一台较大型的真空泵...

国产水环真空泵和进口水环真空泵的区别？

2018 - 08 - 08

一、德国SPECK品牌VG30,VG55水环真空泵，采用气体传输真空泵原理，使用高品质材料，密封机轴设计消除了泄露，更有牙口和法兰型两种接口，适用于不同客户的要求，整泵为小型体质节省空间，易于空装。德国SPECK 进口水环真空泵性能参数表：二、康斯顿（CNST）品牌2BV6水环真空泵是利用西门子技术，自主开发的具有国际领先水平的真空泵。其广泛应用于电子、电池化工、塑胶、造纸、包装印刷、线路版压合、CNC加工中心等各行业中，从铸铁到不锈钢各种材质可供选择。国产水环真空泵性能参数表：以上就是进口水环真空泵和国产水环真空泵的参数对比，如有更多技术问题请联系张工13928410990.我们一起来探讨.

如何选型真空机组？

2018 - 10 - 18

大部份行业用到真空机组，那么真空机组的类型有哪些呢，怎么组合选型？真空机组一般依据主泵的类型来命名，比如水环真空机组，水环罗茨机组，螺杆真空机组等等，依据产品特点来进行分类，如含油真空机组与无油真空机组；常见的是，是按真空使用规模来分，可分为低真空机组、中真空泵机组、高真空机组及超高真空机组，下面和恒才公司一起来了解一下吧。真空机组类型：1.低真空机组，作业压力高、排气量大，多用于真空运送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥机真空脱气等。低真空机组常用的主泵，容积式真空泵中的往复泵、水环泵、油封机械泵、螺杆真空泵、湿式罗茨泵以及喷射泵、分子筛吸附泵等这些直排大气型的真空泵都可以担任，但依据被抽气体的清洁程度、湿度及其他条件，需装备除尘器、气水油水分离器、枯燥阱等设备。2.中真空机组，适用于需求大抽速和获得中真空的各种真空体系中，如镀膜机、真空冶炼、真空热处理及医药化工、电工焊接等职业。以往中真空机组由罗茨真空泵+油封机械泵、罗茨真空+水环真空泵以及双罗茨真空泵这样的组合居多。跟着螺杆真空泵这样的无油真空泵的鼓起，罗茨真空泵+螺杆真空泵这样的无油真空机组也逐步增多，适应性更广。3.高真空机组,作业于分子流状态下，作业压力区间在10-2～10-6Pa，排量小、抽速大，一般情况下主泵由扩散泵、分子泵、钛提高泵以及低温冷凝泵等来承担，因为它们无法直接在大气下作业，因而必须装备前级泵、...

三叶罗茨真空泵与二叶罗茨真空泵对比？

2018 - 12 - 24

三叶罗茨真空泵与二叶罗茨真空泵性能对比：项目ITEM条件TESTING CONDITIONZJ300二叶罗茨真空泵ZJ300 Bi-lobe Roots vacuum pumpZJ300三叶罗茨真空泵ZJ300 Tri-lobe Roots vacuum pump抽气性能Pumping performance同等转速Equivalent speed电机转次吸2次气Two suctions and discharges in a turn电机转一次吸3次气Three suctions and discharges in a turn温升Temperature rise同等压差Equivalent pressure50-60C25-35C允许极限压差Allowable limit pressure difference同等工况Equivalent working condition6000- 8000pa10000- 12000pa密封性能Sealing performance同等工作真空Equivalent working vacuum两个密封点Two sealing points三个密封点Three sealing points压缩比Compression ratio大气压下Atmospheric pressure5~68.5-9机械性能Mechanical performance...

旋片真空泵组装时注意的几个问题？

2019 - 04 - 12

1、要观察旋片真空泵轴即转子轴设备前要判定它是不是弯曲、变形， 2、检查旋片真空泵的转子平衡状况是不是符合标准， 3、检查旋片真空泵的叶片与转子之间的协作空地， 4、几回额密封缓冲赔偿安排的紧缩量是不是抵达需要， 5、旋片真空泵的泵浦转子与轴承位的同心度是不是抵达需要， 6、旋片真空泵的轴承与端盖之间的空地调整， 7、密封部位空地的调整， 8、联轴器的同轴度是不是符合需要真空泵油在运用中的改变真空泵油在运用中受到了温度、空气、金属催化、机械剪切、有害介质等的效果，其组成中的基础油会发作氧化、裂化、聚合等反响，功能逐步变差。以上几点就是深圳恒才陈工总结的对旋片真空泵组装时需要注意的问题点，如有更多真空知识方面的咨询，欢迎联系陈工，与您一起探讨！

导热油泵抽空的原因？

2019 - 06 - 28

导热油泵的抽空有两个主要条件，即气蚀引起的抽空和气体侵入引起的抽空。在气蚀的抽空条件下，只要输送介质的工作压力低于工作温度下的饱和蒸汽压力，它就会翻滚并构成排空，而不一定都是真空。典型的例如轻烃泵密封件被抽空。在气体侵入的疏散条件下，气体侵入主要有以下几条路径。一是内部气体进入离心式热油泵，如管道中收集的裂解气。另一种是外部空气进入离心机热油泵，主要是一个减压系统，空气通过泵和管道的法兰或压盖进入泵内;在这种情况下，泵可以构成负压。但实际上，即使形成负压，泵表面之间的压差也不会超过1Kg/cm2（轴的直径为Φ45~70mm）。考虑到抽空，大气压力可以作用在动静环整个投影面积上，但是在具体计算之后，已知表中的压力差不能大于弹簧力来推开密封表面。

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螺杆真空泵抽水不彻底

日期： 2020-08-31

来源:

浏览次数: 205

　　螺杆真空泵是油封式真空泵的更新产品，真空泵抽水时抽水不完全的情况很多，这个现象到底是怎么回事，下面介绍螺杆真空泵抽水不完全的原因吧。

螺杆真空泵抽水不彻底

　　1、自我要素：

　　真空泵工作前没有足够的水，好像从通风口泄漏，但由于没有旋转泵轴，空气没有完全排出，一部分空气残留在吸气管和泵体上。

　　2、人为因素：

　　螺杆真空泵抽水不完全，许多用户损坏了原配电机，擅自搭配其他电机运行，结果流量小，扬程低，无水。

　　螺杆真空泵工作时，如果抽水作业出现不能彻底的问题，我们应及时进行原因分析，分析彻底后，进行相应的方法检查，并在使用时人为控制，以保证更好的使用。

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发布时间： 2025 - 07 - 23

旋片真空泵机组360度轮移动方便携带

高效抽气能力：旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动，周期性改变泵腔容积，实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒，单级泵极限压力可达1帕，双级泵更可低至6.5×10⁻²帕，能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计：机组小车采用一体化撬装结构，将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内，占地面积小，便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计（如电机直联驱动）进一步减轻了设备重量，提升了便携性。移动灵活便捷：小车底部配备移动轮，支持快速搬迁与多工位切换，尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换，确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠：旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计，确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑，同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器，可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔，保障设备长期稳定运行。维护简便经济：机组小车结构简单，维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油（首次工作满150小时后换油，之后每500小时换油）与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作，确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善：设备配备双重密闭系统（充气式电磁阀+机械止回阀）与排气过渡器，可防止气体倒流与油雾排放，避免晶圆污染或设备损坏。同时，其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统，防止油返入被抽系统，保障操作安全。适应性强：旋片真空泵机组小车可单独使用，也可与其他高真空泵（如分子泵）组成真空机组，以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如，在晶圆键合工艺中，可先通过旋片泵快速抽至低真空，再切换至分子泵实现超高真空环境，提升工艺效率。经济性高：机组小车采用无油设计（...

发布时间： 2025 - 07 - 22

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螺杆真空泵抽水不彻底