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2022 - 07 - 27
锂电池抽真空为什么不再选用旋片真空泵?爪式泵罗茨泵真空系统方案应用优势:1、其真空系统方案代替其他品牌300M3/h油旋片泵,更高效的锂电含电解液抽真空,其他品牌真空泵系统只能带3台锂电封装机,且维修概率较高2、阿特拉斯DZS150爪泵与ZRS500组合干泵系统可以带5台锂电封装机3、从设备价格对比,比250M3/h干式螺杆泵更划算4、爪式泵与罗茨泵机组非常适合锂电或其它含杂质蒸气等真空应用5、外配深圳恒才特制的真空除酸除雾罐DZS150爪式泵与ZRS500罗茨两泵组合机组,代替了油旋片真空泵使用,高效率,更节能,寿命长!深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,通过从设计选型安装调试维保等一站式服务, 为客户解决真空泵应用、真空工艺改善问题,恒才机电通过与阿特拉斯、SPECK、NASH、CNST等国际知名品牌的合作,提供优质的真空泵、真空泵机组、真空泵系统方案等。
2022 - 09 - 07
通俗的讲就是:物体所受到的压强越大越难以汽化或升华,反之就越容易被汽化或升华。这里的难易就是指的是温度高低。实际应用高压锅煮饭,高压加氢反应,真空浓缩,真空干燥等都是利用沸点和压强的关系的应用实例。  真空概念:真空相对于1标准大气压而言,低于1标准大气压的叫做真空,它是相对于1标准大气压而言低多少的数值。通常我们习惯叫做真空度-0.098MPa是错误的,正确叫法是真空度0.098MPa,表压-0.098MPa。  绝对压力,体系压力相对于完全真空的压力。与真空的关系是绝压=1atm-真空度。  真空是如何产生的?  由制造真空的设备不断的将容器或设备内的气体抽出,使得容器或设备内部气体越来越稀薄,造成真空。当容器或设备内部有液体被汽化是,真空度、汽化速度和加热速度是一组动态的平衡关系,相互制约,相辅相成。    真空泵保养维护注意事项  真空度在空抽容器或设备内部低,处理程序。①检查所有的放空口都关闭好,所有阀门都已关好。②检查所有密封口的密封情况, ③检查水温是否过高或冷却水是否开启 ④检查滑阀泵润滑油是否清洁,油位是否正常。检查设备是否需要进行维护和保养。  容器或设备内部有物料,真空度越来越低。①检查放空口阀门是否完全关闭。②检查密封面是否密封好。③水温或润滑油变得很脏。④汽化量过大,导致真空度下降。有其它的系统在使用这个系统的真空。  冬天气温低于5℃时,需要安排将不使用...
2022 - 11 - 01
医药生产厂家有4种类型或组合:散装产品、半成品、活性成分和FDA批准医药产品。在医药生产中,涉及到真空分离粗抽、有机溶剂低真空回收、高沸点热敏材料高真空蒸馏、固体杂质去除真空过滤、粉末中间体或产品真空干燥等多种真空分离工艺。在所有这些过程中,真空采集设备是必不可少,所采用的粗低真空设备多数都是水环式真空泵、旋片式真空泵及螺杆真空泵还有罗茨真空泵和干式真空泵等。(可用于医疗器械、制药行业的干式真空泵)以下是真空泵在制药行业的4个主要应用过程:1、蒸馏,蒸馏就是将两种及以上具有不同温度、压力、成分和相态的层面或部分分离开来。随着蒸馏塔趋向均衡,各部分具有不同的浓度,可以从混合物种分离出来。蒸馏塔提供将不同液体成分分离开来的气压,通过改变真空度和温度进行分离。水环真空装置能够去除系统中的不凝结物,水和轻质烃,并通过蒸馏塔对原料进行分离处理对从蒸馏塔顶部排出的气体进行冷凝,液体返回蒸馏塔,进行进一部分离,典型应用于脂肪酸、单组份甘油盐酸、维他命(A、E)、油、脂、石蜡、杀虫剂和可塑剂等。2、结晶,结晶过度的饱和液体蒸发和冷却形成晶体,便于携带,储存和销售。对于这种应用,真空泵是理想的选择,它们可以在所有压力下使用来控制蒸发和冷却速度,并通过降低液体沸点来降低成本。3、干燥,干燥是一个低成本和低温程序。它通过减少真空度从固体中蒸发液体,生物成分或活性成分不被破坏,降低或氧化。医疗和生物制品的...
2022 - 12 - 05
罗茨水环真空机组由多台康斯顿罗茨泵及司倍克水环泵组成,具有抽速大、真空度高等优势,适合PCB真空压合机应用。罗茨水环真空机组在PCB压合工艺的应用特点:1、康斯顿罗茨真空泵特点是启动快,耗功少,运转维护费用低;2、罗茨真空泵抽速大、效率高,在100~1帕压力范围内有较大抽气速率,能迅速排除突然放出的气体;3、以水做密封,可以循环利用成本低,对环境无污染;4、罗茨真空泵对被抽气体中所含的少量水蒸汽和灰尘不敏感;5、司倍克水环真空泵叶轮偏心安装,与泵腔无接触无磨损;6、维修周期长5年以上,无需专人维护,几乎无易损件;深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,为客户提供专业真空设备及真空解决方案,康斯顿国产真空泵、阿特拉斯进口真空泵、司倍克水环真空泵、进口离心泵、真空泵售后维保等一系列真空服务。
2023 - 03 - 06
胶粘剂行业的无油干式螺杆真空机组应用于胶粘剂行业的无油干式螺杆真空泵机组工作原理如下:其主要功能是对胶粘剂行业生产中的粉尘和颗粒物进行分离,把气体中夹带的微粉和高分子挥发物等有害物质进行清洗和冷凝处理;再把油气分子和未过滤干净的粉尘、高分子物质等进一步捕集和过滤,过滤后的气体再由真空泵抽出。无油干式螺杆真空机组使用优势:极限压力小于-0.1MPa,最大设计流量280立方米每小时,额定电机功率7.5KW,关键点在于螺杆真空机组生产过程中的垃圾可在线清理;大通道,滤芯的更换时间长,更换方便、快捷;无油干式螺杆真空泵机组节能、环保,生产效率高。深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、印刷行业、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械等工业领域应用,恒才真空泵厂家始终以稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真空解决方案、定制化中央集成真空系统。
2024 - 01 - 26
关于司倍克水环真空泵的设备,今天来讲讲。这款水环真空泵来自德国司倍克,深圳恒才机电是其华南的司倍克代理商,这款水环泵的结构设计独具匠心,与传统水环真空泵不同的是,采用了上偏心结构,这不仅提高了工作效率,还大大降低了能耗。司倍克上偏心水环真空泵的节能减耗功能是比较可观的。相较于传统真空泵,司倍克水环真空泵在运行时能节省高达30%的能源,且产生的噪音极低,很大的改善了工作环境,助力环保节能。那么德国司倍克水环真空泵工作原理是什么呢?司倍克水环真空泵主要是利用水作为工作介质,在泵体内形成一个封闭的水环,随着泵的运转,水环内的水不断进行循环,从而产生负压吸力。这样一来,它就能轻松地把气体抽走啦!而且,因为水具有很好的冷却效果,所以泵在运行过程中温度控制得非常好,不会出现高温导致性能下降的问题。上偏心的真空泵的应用范围可广了。它适用于各种需要抽气和真空处理的行业,比如化工、制药、食品加工等等。而且,因为它的低噪音设计,特别适合用在需要安静环境的场所,比如医院、实验室等等。说到这里,你是不是已经对司倍克水环真空泵动心了呢?如果你正在为高能耗、大噪音而烦恼,那么这款真空泵绝对是你的不二之选!深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、水处理、引水、半导体工业、光电、制药工业、印刷行业、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械、石材等工业领域应用,恒才真空泵厂家始终以稳定的真空系统...
2024 - 04 - 15
挤出真空设备特点是什么?挤出真空泵设备是一种广泛应用于各种工业领域的设备,具有许多独特的特点和优势。本文将从挤出真空泵设备的工作原理、结构特点、应用领域以及维护保养等方面进行详细介绍,以帮助读者更好地了解和应用该设备。挤出真空设备特点是什么?一、工作原理挤出真空泵设备的工作原理主要是利用机械力将气体排出,从而形成真空。具体而言,该设备通过旋转的叶轮或活塞等机构,将气体从进气口吸入,经过压缩和排出,最终达到降低容器内部压力的目的。挤出真空泵设备具有抽速快、真空度高等特点,能够满足不同工业领域对真空度的要求。二、结构特点1. 紧凑设计:挤出真空泵设备通常采用紧凑的设计结构,使得设备体积小、重量轻,方便安装和移动。同时,紧凑的设计还有助于减少设备的能耗和噪音,提高设备的运行效率。2. 耐用性强:挤出真空泵设备采用优质的材料和先进的生产工艺,具有较强的耐用性和稳定性。设备在长时间运行过程中,能够保持良好的性能和稳定性,降低维护成本。3. 易于维护:挤出真空泵设备的结构简单明了,易于维护和保养。设备的各个部件都可以方便地进行拆卸和更换,使得维护过程更加简单快捷。三、应用领域挤出真空泵设备广泛应用于各种工业领域,如化工、制药、食品、冶金、电子等。在这些领域中,挤出真空泵设备主要用于实现真空干燥、真空蒸馏、真空浸渍、真空镀膜等工艺过程。同时,该设备还可以用于真空包装、真空吸附等作业,提高生产效率...
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2020 - 12 - 28
离心泵运行期间产生振动和噪声的常见原因如下:  1.离心泵底座不稳定或底脚螺栓松动解决方法:加固底座并拧紧螺栓。  2.叶轮损坏,部分堵塞或叶轮本身不平衡解决方案:修理或更换叶轮,清除碎屑或调整平衡测试。  3.滑动轴承的油环可能断裂或卡住解决方法:校正并拉直泵轴,修理或更换轴承。  4.单级离心泵的联轴器不是同心的解决方法:正确的同心度。  5.吸水管口的浸入深度不足或进水管密封不良水泵吸入空气解决方法:增加浸入深度并修复密封不良的地方。  6.如果发生汽蚀现象,解决方法:找到引起汽蚀现象的原因并进行处理。
2021 - 01 - 08
随着冬季温度的降低,很多场合的水环泵由于气温的原因停止使用,这个时候水环泵的检修和保养变得尤为重要,以下就由小编给大家分享一下冬季水环泵的维修和保养方法。  1.水环泵停用后,要放尽水环泵和管路内的剩水,并把外部泥土清洗干净,以免上冻后积水结冰把泵体和水管胀裂。  2.水环泵的底阀、弯管等铸铁件,应当用钢丝刷把铁锈刷净,然后先涂上防锈漆后再涂上油漆,待干燥后再放入机房或贮存室通风干燥的地方保存。  3.用皮带传动的,皮带卸下来后用温水清洗擦干后挂在干燥、没有阳光直接照射的地方,也不要存放在有油污、腐蚀物及烟雾的地方。无论在何种情况下,都不要使皮带沾上机油、柴油或汽油等油类物质,不要涂松香和其他粘性的物质。  4.检查滚珠轴承,如内外套磨损、旷动、滚珠磨损或表面有斑点都要更换。对不需要更换的可用汽油或煤油将轴承清洗干净,涂上黄油,重新装好。  5.检查水环泵的叶轮是否有裂痕或小孔,叶轮固定螺母是否松动,如有损坏应修理或更换。若叶轮磨损太多或已打坏,一般应更换新叶轮。局部损坏可进行焊补,也可以用环氧树脂砂浆修补叶轮,修复后的叶轮一般应进行静平衡试验。检查叶轮减磨环处间隙,如超过规定值,应修理或更换。  6.对弯曲或磨损严重的泵轴,应当修复或更换,否则会引起转子的不平衡和有关部件的磨损。  7.卸下来的螺丝浸泡在柴油里用钢丝刷刷洗干净,并涂上机油或黄油,重新安装起来或者用塑料布包好后放好...
2021 - 01 - 26
影响水环真空机组价格的因素有哪些?一种产品的价格波动通常都有多方面因素的影响,水环真空机组也不例外,真空机组价格也是会随着市场、原材料等因素的变化而波动,深圳恒才机电设备厂家建议多了解影响价格的因素,可以更好的去挑选合适的真空机组。水环真空机组价格波动的因素:1、制作成本原材料上涨,比如一台水环真空机组原材料钢材的价格上涨时,产品的制作成本提高了,水环真空机组价格也可能随着变动。2、真空机组品牌品牌不同,选择不同真空机组品牌,品牌影响力、设备质量也各不相同,也这是真空机组价格不同的因素之一。3、产品类型虽然都是真空机组的名称,但同一种产品,不同的类型,真空机组价格也不同。4、生产工艺每个工厂的真空机组设备质量不同,水平参差不齐,有得真空机组质量、工艺也是影响设备价格高低的一种。5、市场影响产品的销售旺季,在产品销售比较多的季节,价格就会高一点,反之则会低一点,当然这个影响相对会比较少见。深圳恒才机电设备公司专业研发生产制造真空设备及真空系统,多年丰富经验表示真空机组的价格除了受自身制作成本外,还要考虑到多方面因素,所以我们在实际挑选该产品时要根据上述因素作参考,从而选择出具有性价比的产品。深圳恒才机电设备有限公司全方位的服务:从设计、选型、安装、调试、维保等一站式服务, 为你全面解决真空方面的难题;全系列的产品:产品从粗真空到高真空, 从螺杆真空泵、水环真空泵、油旋片真空泵、干式真...
2021 - 03 - 04
真空设备产品可分为五类:  (1)真空采集设备:产生,增强或维持真空的设备。包括各种用于粗,低,中,高和超高的真空泵和真空装置。 A.机械真空泵:旋片泵,往复泵,滑阀泵,罗茨泵,分子泵和液环泵。 B.蒸汽真空泵:蒸汽喷射泵,增压泵和扩散泵等。 C.气体捕集真空泵:钛溅射离子泵,低温泵,分子筛吸附泵和铝锆吸气泵等。 D.真空机组:由真空产生,真空测量和真空控制等组件组成的各种机组。  (2)真空施涂设备真空环境(大气中处于气态),各种施涂设备A,真空镀膜机:蒸发镀膜机,带磁控管的溅射镀膜机,离子镀膜机和等离子化学沉积设备等。 B.真空熔炉:电阻炉,电子束炉,电弧炉,感应炉和单晶炉等。 C.真空热处理炉:淬火炉,回火炉,退火炉,渗碳炉,渗氮炉,金属化炉等。 D.其他真空设备:冷冻干燥设备,蒸馏设备,净化设备,浸渍设备,果蔬保鲜设备,运输设备,空间模拟设备,包装机和铸钢脱气设备等。 (3)真空测量仪器:一种测量大气以下的气体和蒸汽压力的仪器。 A.低真空计(测量范围105-102Pa)。 B.中真空压力表(测量范围10-1-10-1Pa)C,高真空压力表(测量范围10-1-10-5Pa)。 D.超高真空压力表(测量范围10-5 Pa)。  (4)真空检漏仪是一种仪器,用于检测真空系统或部件中的泄漏位置或泄漏率。包括高频火花检漏仪,卤素检漏仪和氦质谱检漏仪。  (5)真空阀,用于安装流量的...
2021 - 03 - 23
很多人对于真空泵的选型并不了解,在选型前要清楚了真空度、绝对压强、相对压强这几个参数,才能进入真空泵的正式选型。  1、工艺要求达到的真空度  真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求,选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。一般如果要求绝对压强高于3300Pa,则优先选择水环式真空泵作为真空装置,如果绝对压强要求低于3300Pa,则不能选择水环式真空泵,选择旋片式真空泵或更高真空级别的真空泵作为真空获得装置。  2、工艺要求的抽气量(抽气速率)  真空泵要求抽气速率,一般单位:m3/h,L/S,m3/min。具体计算方法可以参考下面公式自行计算选型。当然,真空泵的选型是一个综合过程,涉及到相关经验等因素。  S=(V/t)×ln(P1/P2)  其中:S为真空泵抽气速率(L/s)  V为真空室容积(L)  t为达到要求真空度所需时间(s)  P1为初始压强(Pa)  P2为要求压强(Pa)  3、判定被抽物体的成分  第一、被抽物体是气体、液体还是颗粒,如果被抽气体中含有水汽或少量颗粒性和粉尘等杂质,慎选旋片式真空泵,如果真空度要求较高,则应加过滤装置加以过滤方能使用旋片式真空泵做真空获得设备。  第二、要知道被抽物体是否有腐蚀,若含有酸碱腐蚀或有机腐蚀等因素的气体,应过滤或中和处理才能选旋片式真空泵。  第三、被抽物体是否对橡胶或者油品有污染?针对不同的被...
2021 - 04 - 05
真空泵是许多科学和技术的主要力量,并为许多实验室应用设备的运行提供了必要的条件。不幸的是,如果泵长时间暴露于酸性或有机化学烟雾中,则会引起一些实际的维护问题。尤其是对于油密封的旋片泵,使油暴露于化学蒸汽中会导致油变质或分解,从而影响真空泵油雾分离器的功能。  许多应用需要高度真空,因此需要旋片泵。这些高真空泵对于安装真空泵油雾分离器必不可少。  1:认真阅读说明手册  购买泵后,应仔细阅读手册,检查操作注意事项,根据手册中的建议选择合适的真空泵油,并根据泵的型号选择真空泵油烟过滤器。该手册通常建议更换机油的时间。  2:对泵进行预热  在将泵连接到真空系统之前,先将其运行20-30分钟。考虑安装手动阀以促进预热过程。  3:切勿堵塞泵出口  泵出口被堵塞,这将导致泵停止工作。在最坏的情况下,泵中的超压可能会松开油镜玻璃周围的密封,导致泄漏并需要维修。安装真空泵油雾分离器,使空气流动更平稳。  4:使用入口冷阱保护泵免受腐蚀性蒸汽的影响  入口处的冷阱不仅可以保护泵免受腐蚀性蒸汽的侵害,还可以减少泵上的蒸汽负荷,因此可以更有效地工作。确保溶剂的温度足够低,例如使用液氮(对于挥发性很强的溶剂)。  5:处理可冷凝蒸气时,请使用气镇  真空泵的气镇使用空气将冷凝水通过泵推向出口。对于具有高蒸汽负荷和腐蚀性气体的应用,混合泵(隔膜泵/旋转叶片组合)将使储油罐保持真空状态,不断从泵油中蒸馏出...
2021 - 04 - 15
水环真空泵主要用于粗真空、抽气量大的工艺过程中。在化工、石油、轻工、医药及食品工业中得到了广泛地应用,如真空过滤、真空送料、真空浓缩、真空脱气等。  单级水环泵的极限压力可达8~2×103Pa,双级水环泵的极限压力可达1×102Pa,排气量为0.25~500m3/h。  水环泵按不同结构可分成如下几种类型:  1、单级单作用水环泵:单级是指只有一个叶轮,单作用是指叶轮每旋转一周,吸气、排气各进行一次。这种泵的极限真空较高,但抽速和效率较低。  2、单级双作用水环泵:单级是指只有一个叶轮,双作用是指叶轮每旋转一周,吸气、排气各进行二次。在相同的抽速条件下,双作用水环泵比单作用水环泵大大减少尺寸和重量。由于工作腔对称分布于泵轮毂两侧,改善了作用在转子上的载荷。此种泵的抽速较大,效率也较高,但极限真空较低。  3、双级水环泵:双级水环泵大多是单作用泵串联而成。实质上是两个单级单作用的水环泵的叶轮共用一根心轴联接而成。它的主要特点是在较高真空度下,仍然具有较大的抽速,而且工作状况稳定。  4、大气水环泵:大气水环泵实际是大气喷射器串联水环泵的机组。水环泵前面串联大气泵是为了提高极限真空,扩大泵的使用范围。  水环泵和其它类型的机械真空泵相比有以下优点:  1、结构简单,制造精度要求不高,容易加工。操作简单,维修方便。  2、结构紧凑,泵一般与电动机直联,转数较高。用较小...
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真空泵漏气原因必要关注问题

日期: 2020-07-14
来源:
浏览次数: 85

  一般真空泵漏气是由以下几点情况引发的。

  1)真空泵密封不严:拧紧所有的联接螺栓,拧紧填料压盖,紧紧地包缠管道及仪表与其它部件连接的地方。或者更换垫片、填料。对于空气泄漏之处,还可以涂上油石灰等作为临时的补救措施。

  2)轴承歪斜:这种现象使叶轮倾斜地装在泵体中。对于单作用泵而言,其轴向间隙不均匀,叶艳旋转时,必然会有一部分与侧盖摩擦水环真空泵,擦伤侧盖和叶轮端面,使轴向间隙增大。压缩腔气体在通过增大了的间隙时,大量地泄漏到吸入腔里去,使真空度或排气压力降低。这时就要将轴承拆下来进行修理,然后再进行正确地安装。

真空泵漏气原因必要关注问题


  3)前后侧盖不同心:可能真空泵的前后侧盖有着较大的不同轴度,后果与轴承歪斜的相同。

  4)真空泵发热:真空泵温度升高,饱和蒸汽压也随之升高,这样就会降低真空度,但这对旋片真空泵排气压力是没有什么影响的。

  应用真空泵技术时,真空泵制造商认为有必要关注以下几个问题

  1.产品的共晶点和共熔点

  产品的共晶点是产品材料中的水分全部冻结时的产品材料温度,真空干燥技术的冻结温度参照材料的共晶点设定,为了使产品完全冻结,产品材料的冻结温度通常设定为比该共晶点低5~10。产品的共熔点是指冻结的产品从冰晶开始熔化时的温度罗茨真空泵。通常,在干燥食品材料时,加热温度不能高于产品材料的熔点。否则,会直接影响冻干产品的含水量和质量。

  2.设定调整真空度

  维持干燥真空时的真空度的能量约占冷冻干燥总能量的1/4,真空度越低能量传递越有效,同时水蒸气的扩散阻力增加,能量消耗增加。在升华干燥过程中,必须根据冷阱温度优化最佳真空度。冷冻干燥机的真空度取决于捕集温度和真空泵性能。

  深圳恒才机电设备有限公司是一家集生产,销售,售后服务为一体的销售性企业。公司主导产品有:水环真空泵,旋片真空泵,螺杆真空泵,罗茨真空泵,离心泵,高温油泵。公司通过与阿特拉斯、SPECK、NASH、CNST等国际知名品牌的合作。为客户提供多种真空设备和真空系统的设计、工程、售后等服务。http://www.cnst-pumps.com/


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高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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