真空泵：真空泵为一种抽气装置，可将真空系统中的气体抽出，使返回真空系统中的气体数量比抽出真空系统中的气体数量少。
一、真空泵的分类
根据真空泵工作原理基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型，真空泵的分类和图2不同真空泵的真空度所示。
气体输送泵分为：
变容真空泵：泵腔容积的周期性变化来完成抽气。
动量传输泵：依靠高速叶片、射流，将动量传递给气体，完成抽气。
气体输送泵主要包括：
1、液环真空泵;2、往复式真空泵;3、油封机械泵;4、罗茨真空泵;5、干式真空泵等。
气体捕集泵主要包括：
1、低温泵;2、离子溅射泵;3、分子筛吸附泵;4、钛升华泵;5、电离升华泵;6、锆铝合金吸气泵等。
真空泵的类型按真空泵用途可分为如下8部分：
(1)主泵(Main pump)：在真空系统中，用来获得所要求真空度的真空泵;
(2)粗抽泵(Roughing vacuum pump)：从大气压开始降低系统的压力到另一抽气系统开始工作的真空泵;
(3)前级泵(Backing vacuum pump)：用来维持另外一个泵的前级压力在其临界前级压力以下的真空泵;
(4)维持泵(Holding vacuum
pump)：在真空系统中，当气体量很小，不能有效的利用主前级泵。此时，可以利用容量较小的辅助前级泵来维持主泵工作或维持容器所需真空度;
(5)粗/低真空泵(Rough/Low vacuum pump)：从大气压力开始并用来获得低真空度的真空泵;
(6)高真空泵(High vacuum pump)：在高真空范围工作的真空泵;
(7)超高真空泵(Ultrahigh vacuum pump)：在超高真空范围工作的真空泵;
(8)增压真空泵(Booster vacuum pump)：安装在低真空和高真空泵之间，用来提高系统工作效率或降低前级泵容量要求的真空泵。
二、真空泵性能参量
1、抽气速率(Flow rate)：在真空泵的进气口每单位时间抽入泵的气体的体积;
2、极限压力(Ultimate pressure)：在标准测试条件下，不引入气体正常工作条件下，趋向稳定的最低压力。
3、启动压力(Stating pressure)：泵无损坏启动并且有抽气作用的压力。
4、前级压力(Backing pressure)：排气压力低于一个大气压，真空泵的出口压力。
5、最大前级压力(Maximum backing pressure)：能使泵损坏的前级压力。
6、最大工作压力(Maximum working pressure)：对应最大抽气量的入口压力。
7、抽气量(Throughout of vacuum pump)：流经泵入口的气体流量。
8、压缩比(Compression ratio)：泵出口压力和入口压力之比。