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2023 - 03 - 18
塑胶片材挤出工艺专用罗茨水环真空系统,这是一款由罗茨真空泵串联水环真空泵组成的真空机组,深圳恒才的罗茨水环真空机组除了在机组结构设计特别之外,采用的真空泵也是节能环保类型的。罗茨水环真空系统的罗茨真空泵选用的是康斯顿三叶罗茨泵,比二叶罗茨动力更足,运行效率更高;而选用的水水环真空泵则是司倍克品牌的,上偏心工作,节能减耗,闭环运作,还是不锈钢材质,以防止腐蚀或水锈等问题。而今天要讲的这款是带大水箱的罗茨水环真空机组,专门用于塑胶片材挤出行业,罗茨水环真空机组配置了真空过滤系统及冷却水箱,可控制机组运行时间长了温度过高,还可保证真空度稳定,这对工作效率提高,对产品质量生产也有保障。这款真空机组是采用闭环循环水结构设计,有效节约水资源,耗能低,304不易腐蚀,更适合塑胶行业环保要求,更多真空方案请私信。深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、印刷行业、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械等工业领域应用,恒才真空泵厂家始终以稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真空解决方案、定制化中央集成真空系统。
2024 - 02 - 22
环水式真空泵也叫水环真空泵,是一种高效的真空抽取设备,广泛应用于各种工业领域。司倍克的泵其独特的设计使得环水式真空泵在水处理、食品加工、制药等行业具有广泛的应用前景。环水式真空泵有哪些明显特点?环水式真空泵的结构紧凑,体积小,安装方便,可以快速地集成到现有的工艺流程中。它的工作原理是利用环水作为工作介质,在泵体内产生负压,从而抽取气体和液体。由于环水具有优良的润滑性能和冷却性能,因此可以有效地降低泵的磨损和热量,提高泵的使用寿命和可靠性。环水式真空泵还具有低噪音、低振动、低维护等优点。它的高效性能和可靠性使得它可以连续工作,大大减少了停机时间和维修成本。同时,环水式真空泵的能耗低,节能效果显著,为企业节约了能源成本。德国司倍克环水式真空泵,采用上偏心设计,减少阻力、减少腐蚀概率,更利于节能省电环保。总之,德国speck环水式真空泵,它在水处理、食品加工、制药等行业具有广泛的应用前景。它的出现为工业生产带来了极大的便利,提高了生产效率和产品质量。未来,随着科技的不断发展,环水式真空泵将会在更多的领域得到应用,为人类的生产和生活带来更多的便利和效益。
2024 - 05 - 27
电子元件真空吸附的真空泵选型是一个涉及多个因素的复杂过程,需要综合考虑多方面因素以确保选型的准确性和适用性。首先,了解被吸附电子元件的特性是至关重要的。这包括元件的尺寸、重量、形状以及表面特性等。这些特性将直接影响真空泵的选择,因为不同的泵型在处理不同特性的元件时具有不同的效率和可靠性。其次,我们需要考虑真空泵的性能参数。其中,真空度是一个关键指标,它决定了真空泵能够提供的真空环境的质量。根据电子元件吸附的要求,我们需要选择能够提供足够低真空度的泵型。此外,抽气速率也是一个重要的性能参数,它决定了真空泵在给定时间内能够抽取的空气量。对于需要快速吸附电子元件的应用场景,具有高抽气速率的真空泵是理想的选择。另外,真空泵的耐用性和稳定性也是不可忽视的因素。在长时间运行或高负载情况下,真空泵需要保持稳定的性能,以确保电子元件吸附的连续性和可靠性。因此,在选择真空泵时,我们需要关注其材料质量、制造工艺以及售后服务等方面,以确保其能够满足实际应用的需求。最后,我们还需要考虑成本因素。虽然性能和质量是选型过程中的重要考虑因素,但成本也是不容忽视的。在选择真空泵时,我们需要综合考虑其性能、质量以及价格等因素,以找到性价比最高的解决方案。综上所述,电子元件真空吸附的真空泵选型是一个需要综合考虑多方面因素的过程。通过了解被吸附元件的特性、考虑真空泵的性能参数、关注耐用性和稳定性以及考虑成本因素,我们可...
2024 - 07 - 16
罗茨真空泵作为一种常见的真空设备,在工业生产中扮演着重要的角色。然而,它并不是一种可以单独使用的设备,而是需要与其他设备配合使用才能达到最佳的真空效果。那么,罗茨真空泵为什么不能单独使用呢?接下来,我们将从罗茨真空泵的工作原理、性能特点以及实际应用等方面进行详细分析。一、罗茨真空泵的工作原理罗茨真空泵是一种容积式真空泵,它通过两个相互啮合的转子在泵腔内进行旋转运动,将气体从进气口吸入并在泵腔内进行压缩,最后通过排气口排出。这种泵的工作原理决定了它在某些情况下无法单独使用。二、罗茨真空泵的性能特点1. 抽气量大:罗茨真空泵具有较大的抽气量,能够满足工业生产中对高真空度的需求。2. 压缩比高:由于罗茨真空泵采用容积式压缩方式,其压缩比相对较高,有利于气体在泵腔内的压缩和排出。3. 结构简单:罗茨真空泵的结构相对简单,易于制造和维护。4. 适用范围广:罗茨真空泵可用于各种气体和蒸汽的抽取,具有广泛的适用性。然而,尽管罗茨真空泵具有以上优点,但它也存在一些限制,使得它不能单独使用。三、罗茨真空泵不能单独使用的原因1.极限真空度限制:罗茨真空泵虽然具有较高的抽气量和压缩比,但其极限真空度相对较低。在某些需要极高真空度的场合,如半导体制造、真空镀膜等领域,罗茨真空泵无法满足要求。因此,在这些场合中,罗茨真空泵通常需要与其他类型的真空泵(如分子泵、离子泵等)配合使用,以提高系统的极限真空度。2....
2024 - 09 - 18
罗茨真空泵一般是搭配前级泵使用,比如水环真空泵、螺杆真空泵、旋片真空泵等,那么为什么罗茨泵不能单独使用,深圳恒才机电设备有限公司来讲述一下罗茨真空泵不能单独使用的原因。1. 极限真空度限制:罗茨真空泵虽然具有较高的抽气量和压缩比,但其极限真空度相对较低。在某些需要极高真空度的场合,如半导体制造、真空镀膜等领域,罗茨真空泵无法满足要求。因此,在这些场合中,罗茨真空泵通常需要与其他类型的真空泵(如分子泵、离子泵等)配合使用,以提高系统的极限真空度。2.对气体种类的敏感性:罗茨真空泵对气体的种类和成分较为敏感。在抽取含有大量可凝性气体(如水蒸气、有机溶剂蒸汽等)的场合中,罗茨真空泵容易出现堵塞和损坏现象。因此,在这些场合中,罗茨真空泵通常需要与其他辅助设备(如冷凝器、吸附器等)配合使用,以去除可凝性气体并保护泵体。3.启动和停止过程中的问题:罗茨真空泵在启动和停止过程中需要一定的时间来实现稳定的真空状态。如果单独使用罗茨真空泵进行抽气,那么在启动和停止过程中可能会出现真空度波动较大的情况,影响系统的稳定性和生产效率。因此,在实际应用中,罗茨真空泵通常需要与其他设备(如缓冲罐、真空阀门等)配合使用,以减小真空度波动并提高系统的稳定性。罗茨真空泵的应用实例以某化工厂为例,该厂在生产过程中需要抽取大量的可凝性气体。为了解决这个问题,该厂采用了罗茨真空泵与冷凝器、吸附器等辅助设备配合使用的方案。...
2024 - 12 - 11
深圳恒才机电作为其在深圳地区的官方代理商,凭借专业的技术团队、完善的服务体系和丰富的行业经验,为深圳及周边地区的客户提供了优质的产品和服务。司倍克水环真空泵以其独特的工作原理和结构设计,在众多真空泵产品中脱颖而出。其核心特点在于:1. 高效节能:采用先进的水力设计和制造工艺,使得泵在运行过程中能耗更低,效率更高。这不仅降低了企业的运营成本,也符合当前全球倡导的绿色低碳发展理念。2. 稳定可靠:水环真空泵的设计考虑了多种工况下的稳定运行,其内部结构简单,维护方便,即使在恶劣的工作环境下也能保持良好的工作状态,大大延长了设备的使用寿命。3. 适应性强:该泵能够处理含有固体颗粒、水蒸汽及腐蚀性气体的介质,广泛应用于化工、制药、食品、造纸等多个行业,展现出极强的适应性。4. 噪音低:通过优化结构设计,司倍克水环真空泵在运行过程中产生的噪音得到了有效控制,为操作者提供了更加舒适的工作环境。司倍克水环真空泵的应用领域几乎涵盖了所有需要真空技术的工业部门。在化工行业中,它用于真空蒸馏、真空干燥等工艺过程;在制药领域,则用于真空浓缩、真空过滤等环节;此外,在食品加工、造纸、环保等行业,水环真空泵同样发挥着不可替代的作用。特别是在需要处理腐蚀性或含有固体颗粒的气体时,司倍克水环真空泵更是成为了首选设备。深圳恒才机电作为司倍克水环真空泵在深圳地区的官方代理商,不仅拥有完善的产品线,更在售前咨询、安装调...
2025 - 06 - 21
在光电产线中,用螺杆真空泵替代真空发生器串联抽真空主要基于螺杆真空泵在抽气效率、真空度稳定性、能耗、运行可靠性、维护成本及环保性等方面的显著优势,以下为具体分析:抽气效率与真空度稳定性螺杆真空泵:螺杆真空泵具有较高的抽气效率,能够在短时间内达到所需的真空度。其工作原理是通过螺杆的旋转来压缩和排出气体,从而形成真空。这种机械式的抽气方式使得螺杆真空泵在抽气过程中能够保持稳定的真空度,不易受到外界因素的干扰。真空发生器串联:真空发生器通常是通过压缩空气来产生真空,其抽气效率相对较低,且真空度的稳定性较差。在串联使用时,多个真空发生器之间的协同工作可能更加复杂,难以保证整体抽气系统的稳定性和效率。能耗与运行成本螺杆真空泵:虽然螺杆真空泵的初期投资可能较高,但其运行成本相对较低。螺杆真空泵在抽气过程中能耗较低,且能够长时间稳定运行,减少了因设备故障或停机而带来的生产损失。真空发生器串联:真空发生器在运行过程中需要消耗大量的压缩空气,且随着串联数量的增加,能耗也会相应增加。此外,真空发生器的使用寿命相对较短,需要频繁更换,进一步增加了运行成本。运行可靠性与维护成本螺杆真空泵:螺杆真空泵的结构相对简单,运行可靠,维护成本较低。其螺杆和泵体之间的间隙较小,能够减少气体的泄漏,提高抽气效率。同时,螺杆真空泵的润滑系统也相对简单,减少了因润滑不良而导致的设备故障。真空发生器串联:真空发生器在串联使用...
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Hot News / 热点新闻
发布时间: 2026 - 10 - 16
来源: 1256
半导体晶圆减薄真空吸附方案:深圳恒才集中抽真空系统在半导体晶圆减薄、研磨、抛光等工艺中,真空吸附的稳定性直接影响晶圆平整度、吸附均匀性和生产良率。深圳恒才机电设备有限公司针对半导体晶圆减薄工况,提供集中抽真空真空泵系统方案,可满足多工位稳定吸附、粉尘杂质过滤、低噪音运行及灵活移动安装等需求。方案特点集中抽真空:一套系统为多个减薄工位提供稳定真空,减少分散配置,降低设备占地和管理难度;稳定真空吸附:...
发布时间: 2018 - 11 - 30
来源: 482
医疗负压吸引系统是恒才机电设备有限公司的环保真空设备机组,它投入使用为临床提供了安全保障,提高了医疗部门的管理效率,也为医院在服务中减少成本的投入。那在使用过程中会偶尔遇见一些问题,那如何去解决呢?今天,恒才机电分析医疗负压吸引系统问题的三个重点。1.负压吸引系统出现压力不足的问题。一般压力不足的原因①吸引管道出现长时间腐蚀导致漏气②吸引终端长时间插拔出现漏气解决办法:定期打扫管道周边卫生,保持干燥环境。更换吸引瓶或更换吸引瓶端口的橡胶垫等。2.负压吸引系统出现漏水情况。一般水泵漏水原因①铸件有砂眼②粘合胶老化③金属老化出现裂纹④水质问题解决办法:应及时更换零部件、进行重新粘合、封堵砂眼、进行拆卸清除水垢。 3.应对医用中心负压吸引出现的问题时应制定应急处理措施。如遇到一些机器故障不能够及时排除时,第一时间给厂家售后联系,及时沟通确保负压设备的安全运行。名操作人员,通过电话、微信等通讯手段处理简单故障。机械情急状况,公司会立刻派工程师携带备件直接上门服务。 最后重点提醒,负压吸引系统要一备一用,医疗行业一定要确保安全运行,机械设备要有备用,加强医院医用中心负压系统建设和管理,一方面为临床救治安全提供了保障;另一方面,系统的稳定运行,一般都要做到一备一用,或者一用多备。
发布时间: 2018 - 11 - 30
来源: 386
德国SPECK品牌公司于2018年度年终大盘点于12月18日开始,因涉及公司年度审计等工作,于12月18日起停止发货,深圳恒才机电作为SPECK的华南代理商将与此同步,若有特别需求请各位新老客户尽早联络,谢谢!
发布时间: 2018 - 11 - 19
来源: 421
1、选用节能水环真空泵。目前恒才公司开发应该于造纸行业的真空泵有2BV系列水环真空泵和德国品牌SPECK以及国际品牌阿特拉斯三款,近年来2BV系列水环真空泵在实验站条件下,测得抽吸干空气能达到67%的最高效率,而螺杆真空泵用于造纸厂抽吸湿空气将会有更高的效率,直接替厂家节省电源费用惊人。很多水环真空泵相关资料介绍的液环真空泵的效率仅为35%~50%的效率,显然这些资料没能跟上新技术带来的新变化。2、选用低转速水环真空泵。在选用真空泵时,应尽可能选用低转速的水环真空泵。最好能选用叶轮叶片端部的线速度在18m/s以下时对应的转速,这时候泵的效率通常会比较高。当然相对选用较高转速的泵将会付出更多的购买成本,相对于日积月累更多的能耗,在日益强调节能降耗的大背景下,显然选用低转速的节能产品是值得的。3、各真空泵点合理组合。应将真空度和空间位置相近的真空点组合在一起,用一台较大型的真空泵来抽吸,组合应考虑有利于管路布置,组合应区别各功能区,在气量相近,真空度不同时可选用带隔板的泵,比如,在上下毛布的吸水箱之间、在不同真空吸移辊之间都可以选用带隔板的泵。4、真空泵组合气量应进行换算。因气体是可压缩的,高压气体减压为低压气体时气体体积会发生膨胀。如需将真空伏辊的高真空室和低真空室组合,高真空室的真空度和气量分别为-65kPa和80m3/min,低真空室的真空度和气量分别为-40kPa和50m3/min,那么应先将低真空室的气量换算到-65kPa时的气量,换算气量为84.4m3/min((101.3-40)/(101.3-65)x50=84.4),那么应选的泵的气量应为164.4m3/min,而不是选择气量为130m3/min气量的泵。5、真空泵选用应要考虑管路。从各真空元件抽吸过来的气体在管路中流动会有一定的管路损失,这部分管路损失将造成气体的压力降低,体积膨胀。在管路尺寸设计合理的情况下...
发布时间: 2018 - 11 - 16
来源: 552
真空机组的分类?真空机组一般根据主泵的类型来命名,然后可根据产品特点来进行分类,如含油真空机组与无油真空机组;更常见的,是按真空应用范围来,可分为低真空机组、中真空泵机组、高真空机组及超高真空机组。1.低真空机组工作压力高、排气量大,多用于真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥机真空脱气等。低真空机组常用的主泵,容积式真空泵中的往复泵、水环泵、油封机械泵、螺杆真空泵、湿式罗茨泵以及喷射泵、分子筛吸附泵等这些直排大气型的真空泵都可以胜任,但根据被抽气体的清洁程度、湿度及其他条件,需配置除尘器、气水油水分离器、干燥阱等设施。2.中真空机组适用于需要大抽速和获得中真空的各种真空系统中,如镀膜机、真空冶炼、真空热处理及医药化工、电工焊接等行业。以往中真空机组由罗茨真空泵+油封机械泵、罗茨真空+水环真空泵以及双罗茨真空泵这样的组合居多。随着螺杆真空泵这样的无油真空泵的兴起,罗茨真空泵+螺杆真空泵这样的无油真空机组也逐渐增多,适应性更广。3.高真空机组工作于分子流状态下,工作压力区间在10-2~10-6Pa,排量小、抽速大,一般情况下主泵由扩散泵、分子泵、钛升华泵以及低温冷凝泵等来承担,由于它们无法直接在大气下工作,因此必须配置前级泵、预抽泵等,特殊情况下为防止气压波动还需要配置维持泵与储气罐等。4.超高真空机组工作压力区间在10-6~10-10Pa,需要主泵的极限真空要在10-7~10-8Pa以上且在工作压力区间内保证相应的抽速,如溅射离子泵、涡轮分子泵等,而且对系统组成的材料要求能经受200~450℃高温烘烤并保证低漏气率与出气率等。真空系统可以抽哪些气体?1.真空系统工艺过程中产生的气体:它包括工艺过程中材料放出的气体以及工艺需要而引入的气体,同时真空系统中液体或固体蒸发的气体也包含其中。不同的工艺过程以及不同的被处理材料,这部分气体的量的计算都是不同的。  ...
发布时间: 2018 - 11 - 14
来源: 528
碳氢行业集成式真空机组的特点:1、统一专业布局,对真空系统进行了集中优化,省却了工厂的加工和组装工作,免除不当安装带来的使用问题;2、各个单元可以方便拆卸,易于维护;3、多个保护监测点,能实时监测和发现并反馈问题,易于发现故障点,方便维护人员及时处理,简化操作,便于维护保养;4、本真空系统具有进气降温、除杂过滤、汽液分离、降噪、提高系统抽速(比平常快10%-20%)等多重作用;5、综合回收处理器,具有高效的碳氢回收能力,其排放含量低于5ppm;碳氢清洗行业空泵:
发布时间: 2018 - 11 - 12
来源: 474
高温泵可以无接触地透过非磁导体(隔离套)进行动力传输,这种传动装置称为磁性联轴器。电动机通过联轴器和外磁钢联在一起,叶轮和内磁钢联在一起。在外磁钢和内磁钢之间设有全密封的隔离套,将内、外磁钢完全隔开,使内磁钢处于介质之中,电动机的转轴通过磁钢间磁极的吸力直接带动叶轮同步转动,因此高温泵它的优缺点有,      1. 高温泵其主要优点:由于传动轴不需要穿入高温泵泵泵壳,而是利用磁场透过空气间隙和隔离套薄壁传动扭矩,带动内转子,因此从根本上消除了轴封的泄漏通道,实现了完全密封;传递动力时有过载保护作用;除磁性材料与磁路设计有较高要求外,其余部分技术要求不高;高温泵的维护和检修工作量小。  2.高温泵其主要缺点:磁力驱动泵的效率比普通离心泵低;对防单面泄漏的隔离套的材料及制造要求较高;磁力驱动泵由于受到材料及磁性传动的限制,因此国内一般只用于输送100℃以下、1.6MPa以下的介质;由于隔离套材料的耐磨性一般较差,因此磁力驱动泵一般用于输送不含固体颗粒的介质;联轴器对中要求高,对中不当时,会导致进口处轴承的损坏和防单面泄漏隔离套的磨损。  3.高温泵国外温度:一般国外,像SPECK品牌温度达350度最高,模温机常用高温磁力泵为220度-350度。 高温油泵作为一种优质的热油循环泵和作载热体输送泵,是热交换设备中的理想配套用泵,可输送不含固体颗粒的高温液体。高温油泵可从从管路布置以及操作运转条件、液体性质、液体输送量、装置扬程这几个参数来选型,1.高温泵液体装置系统的管路布置条件指的是送液高度送液距离送液走向,吸如侧最低液面,排出侧最高液面等一些数据和管道规格及其长度、材料、管件规格、数量等,以便进行系梳扬程计算和汽蚀余量的校核。2.高温泵操作条件操作条件的内容很多,如液体的操作T饱和蒸汽力P、吸入侧压力PS(绝对)、排出侧容器压力...
发布时间: 2018 - 11 - 10
来源: 686
真空吸附是一种常见的一种真空泵应用,CNC加工加心就常常用真空泵来达到负压真空吸附。今天我们来了解一下CNC雕刻机如何运用真空吸附?真空吸附的原理,真空吸附采用真空负压来“吸附”工件以达到夹持工件的目的。如图1 所示:通气口与真空发生装置相接,当真空发生装置启动后,通气口通气,吸盘内部的空气被抽走,形成了压力为P2 的真空状态。此时,吸盘内部的空气压力低于吸盘外部的大气压力P1,即P2      1.    初次启动,用螺丝刀拨动电动机风扇,确保叶轮无卡滞;    2.    吸气口与雕刻机吸附管道连接,严格进行密封,防止泄露;3.  必须用4平方以上的线。接线时,先按照一定顺序接,真空泵应该为顺时针方向转,如果电机反转,任意调换其中的两根线即可。4.连接电动机电源,并调整运转方向与所标相符;真空泵需要的电源开关不低于100A。真空泵的电源要独立,不许和其他设备共用一个电源开关,如果出现电机转速慢或者电源开关跳闸时,应及时关闭电源检查电路是否正常。    5.向水箱内注水,直到上水位口淌水为止;    6.打开向泵内注水阀门,并等待三分钟,确保工作液流入泵内。    7.真空泵在每天工作之前要进行补水,雕刻机在雕刻完每一块板时要把雕刻的阀门关闭,再上另一块板,不要切断真空泵电源,如果切断真空泵电源不关闭雕刻机阀门会导致真空泵的真空度变小。    8.启动电动机,真空泵开始工作,吸附台面产生吸附效果...
发布时间: 2018 - 11 - 08
来源: 513
不锈钢真空泵在使用的过程中,有时候会出现困油和困水,输不出介质的问题,遇上这样的问题我们应该怎么解决呢?下面就为您介绍一下。  (进口不锈钢真空泵图)不锈钢真空泵困油问题?       不锈钢真空泵要能连续地供油,就要求齿轮啮合的重叠系数e大于1,当出现同时有两对齿轮啮合的瞬间,在两对齿轮的齿向啮合线之间形成了一个封闭容积,一部分油液也就被困在这一封闭容积中,齿轮连续旋转时,这一封闭容积便逐渐减小,到两啮合点处于节点两侧的对称位置时,封闭容积为最小,齿轮再继续转动时,封闭容积又逐渐增大,直到容积又变为最大。        在封闭容积减小时,被困油液受到挤压,压力急剧上升,使轴承上突然受到很大的冲击载荷,使泵剧烈振动,这时高压油从一切可能泄漏的缝隙中挤出,造成功率损失,使油液发热等。当封闭容积增大时,由于没有油液补充,因此形成局部真空,使原来溶解于油液中的空气分离出来,形成了气泡,油液中产生气泡后,会引起噪声、汽蚀等一系列恶果。以上情况就是不锈钢真空泵的困油现象。这种困油现象极为严重地影响着不锈钢真空泵的工作平稳性和使用寿命。        为了消除困油现象,在不锈钢真空泵的泵盖上铣出两个困油卸荷凹槽。卸荷槽的位置应该使困油腔由大变小时,能通过卸荷槽与压油腔相通,而当困油腔由小变大时,能通过另一卸荷槽与吸油腔相通。两卸荷槽之间的距离,必须保证在任何时候都不能使压油腔和吸油腔互通。 (进口不锈钢真空泵图)不锈钢真空泵出水量少原因?不锈钢真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。不锈钢真空泵出水量少是运用中常见的一个问题,这种情况会形成效率降低,招致这种现象的详细缘由如下:1、主要缘由是所运用的不锈钢真...
发布时间: 2018 - 11 - 03
来源: 649
阿特拉斯螺杆真空泵应用于锂电池行业:                         阿特拉斯DZS真空泵用于输送行业:                 阿特拉斯螺杆真空泵用于包装行业:阿特拉斯螺杆真空泵用于真空夹持:     阿特拉斯双级旋片真空泵应用于抽空行业:
发布时间: 2018 - 11 - 03
来源: 749
半导体工艺真空主要用在蒸发,溅射,PECVD,真空干法刻蚀, 真空吸附,测试设备,真空清扫等等键合工序,半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有毒的物质气体,会对生产及人员安全造成威胁,因此,半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项:  1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道,避免超压:  半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,如SiH4与O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解会形成HCl;假设是油封式机械泵,这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质,就可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗,并在必要的时候设置过滤设备。  2、半导体真空泵有效稀释有害气体的浓度:  半导体易产生前面所说的易燃易爆、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质,在与空气或氧接触的时候,会引起燃烧甚至爆炸;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围.  3、真空泵注意氧气的浓度:  空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及爆炸风险。所以一些情况下需注意氧的浓度,采用惰性气体来稀释,防止浓度过高;假设是油封机械泵可能还需要采用一些惰性的与氧相容的真空泵油,并及时更换油滤和油品。  4、防止真空泵温度过高:  比较容易理解这点,半导体在真空泵的应用中,有害气体比较多,而无论是干式真空泵还是油封机械泵,泵腔内温度过高,高温下易燃易爆及有毒气体就会容易发生危险。  当我们在使用真空...
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