2020
-
05
-
16
1.真空泵的工作压力应满足极限真空和真空设备工作压力的要求。例如，真空镀膜要求真空度为110-5毫米汞柱，所选真空泵的真空度至少应为510-6毫米汞柱。通常，所选泵的真空度比真空设备的真空度高一半到一个数量级。 2.正确选择真空泵的工作点。每台泵都有一定的工作压力范围，例如扩散泵为10-3 ~ 10-7兆欧。在如此宽的压力范围内，泵的泵速随压力变化，其稳定工作压力范围为510-4~510-6mmHg。因此，泵的工作点应选择在此范围内，不允许在10-8兆欧以下长时间工作。另一个例子是钛升华泵可以在10-2mHg下工作，但是其工作压力应该小于110-5mHg。 3.真空泵应能在其工作压力下排出真空设备过程中产生的所有气体。 4.真空泵的正确组合。因为真空泵具有选择性泵送，有时一个泵不能满足泵送要求，需要组合和补充几个泵来满足泵送要求。例如，钛升华泵对于氢气具有较高的泵送速度，但是不能泵送氦气，而三极溅射离子泵(或双极不对称阴极溅射离子泵)对于氩气具有一定的泵送速度，并且两者的结合将导致真空装置具有更好的真空度。此外，一些真空泵不能在大气压下工作，需要预真空;一些真空泵的出口压力低于大气压，需要一个前置泵，所以所有的泵都需要组合使用。 5.真空设备对油污染的要求。如果设备严格要求无油，应选用各种非油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择油泵，...