2019
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液环真空泵结构及工作原理液环真空泵是一种使用液体作为工作介质的粗泵。水环真空泵用作工作介质,也可以使用其他工作油,如油,硫酸和乙酸。主要使用工业水环真空泵。液环真空泵有单级,双级,单作用和双作用应用。单级和两级真空泵是指叶轮的级数;单/双动作是指叶轮/壳体的形式,单作用叶轮真空泵叶轮旋转一次,气体经过一次抽吸/排出;双作用真空泵使其叶轮旋转一周。吸入和排出两种气体。使用真空泵时,需要注意以下事项:1.真空泵的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。例如,真空涂层需要1×10-5mmHg的真空,并且所选真空泵的真空度至少为5×10-6mmHg。泵的真空通常选择为比真空设备的真空高一半数量级。2.正确选择真空泵的工作点。每个泵都有一定的工作压力范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg。在如此宽的压力范围内,泵的泵送速度随压力变化,其稳定的工作压力范围为5×10。 -4〜5×10-6mmHg。因此,泵的工作点应在此范围内选择,不应在10-8mmHg下长时间工作。另一个例子是钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压力应小于1×10-5mmHg。3.在工作压力下,真空泵应能清除真空设备过程中产生的所有气体。4.正确组合真空泵。由于真空泵具有选择性泵送,有时泵不能满足泵送要求,并且需要将多个泵组合以彼此互补以满足泵送要求。例...