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2025 - 07 - 09
在电子行业实现集中抽真空,需从设备选型、系统设计、工艺流程优化及维护管理四方面系统规划,以下为具体方案与分析:一、核心设备选型:匹配工艺需求,兼顾效率与成本干式真空泵爪式泵:耐粉尘、高轴扭矩,适合刻蚀工艺等产生颗粒物的场景。螺杆泵:粗低真空段抽气效率高,适合大工艺腔体预抽真空。罗茨泵:多级结构可提升真空度,常与螺杆泵或爪式泵组合使用。适用场景:半导体制造、光伏产业、平板显示等对无油污染要求高的领域。优势:抽速范围宽、无油污染、耐腐蚀、能耗低,适用于腐蚀性气体或粉尘颗粒物的抽取。类型选择:案例:半导体制造中,L/L腔(进出样品腔)多采用多级罗茨泵,工艺处理腔则以罗茨+爪式干泵或多级罗茨干泵为主。分子泵涡轮分子泵:工业领域应用广泛,与机械泵联用可提升抽速。磁悬浮分子泵:半导体领域规模较大,无摩擦、寿命长。适用场景:高真空度需求,如半导体制造、真空镀膜、空间模拟实验。优势:通过高速旋转转子将气体分子排出,可获得极高真空度(达10⁻⁹ Pa),且对大多数气体抽取效果好。类型选择:案例:在半导体工艺处理腔中,分子泵常与干泵组合,实现低压下高抽速。低温泵适用场景:超高真空环境,如超导材料研究、低温物理实验。优势:利用低温冷凝原理,可获得极高真空度(达10⁻¹² Pa),且无油污染。限制:结构复杂、成本高,需定期释放和再生,市场规模较小(约占半导体真空泵的10%)。案例:在电...
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2018 - 05 - 30
真空系统的种类有很多,但无论哪一种真空应用设备都有一套排除被抽容器内气体的抽气系统,以便在真空容器内获得所需要的真空条件。举例来说:一个真空处理用的容器,用管道和阀门将它与真空泵连接起来,当真空泵对容器进行抽空时,容器上要有真空测量装置,这就构成了一个最简单的真空抽气系统(如图1)。如图1所示的最简单的真空系统只能在被抽容器内获得低真空范围内的真空度,当需要获得高真空范围内的真空度时,通常在图1所示的真空系统中串联一个高真空泵。当串联一个高真空泵之后,通常要在高真空泵的入口和出口分别加上阀门,以便高真空泵能单独保持真空。如果所串联的高真空泵是一个油扩散泵,为了防止大量的油蒸气返流进入被抽容器,通常在油扩散泵的入口加一个捕集器——水冷障板(如图2所示)。根据要求,还可以在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软连接管道、真空泵入口放气阀等等,这样就构成了一个较完善的高真空系统。凡是由两个以上真空泵串联组成的真空系统,通常都把抽低真空的泵叫做它上一级高真空泵的前级泵(或称前置泵),而最高一级的真空泵叫做该真空系统的主泵,即它是最主要的泵,被抽容器中的极限真空度和工作真空度就由主泵确定。被抽容器出口到主泵入口之间的管路称为高真空管路,主泵入口处的阀门称为主阀。通常前级泵又兼作予真空抽气泵。被抽容器到予抽泵之间的管路称为予真空管路,该管路上的阀门称为予真空管道阀。主泵出口到前级泵入口之间的...
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2018 - 07 - 27
什么是真空吸附?真空吸附是指把真空泵抽气口经过吸盘、管子等元件与待吸附物体衔接,此刻吸盘相似密闭容器,对吸盘抽真空,形成内部气压由常压变为负压,使用外界大气压和这个负压之间的压差效果,达到吸附住物体的目的。因此在选型真空泵时,有必要挑选真实意义上的微型真空泵,如PK、PC、VCH等系列产品等,一般真空吸附行业常选用旋片真空泵和水环真空泵作为主泵。真空吸附的计算吸附力的理论公式:S 吸盘面积(即F≈0.01×泵的最大负压×吸盘面积)F≈0.01(101-P 绝对压力 )上面的工式中,S吸盘面积:为吸盘有效面积,单位取:cm 2(平方厘米)F:理论吸附力大小,单位:Kgf(公斤力)P绝对压力:为微型真空泵的绝对真空度,单位取:KPa(千帕)从公式可以得知,吸附力的理论大小上与泵的流量没有关系,但是实际使用中与流量参数是相关的。因为气路系统不可能做到理论密封,会有一定的泄漏,在这种情况下,微型真空泵的流量越大,泄漏量所占的比例越小,越有利于泵维持较高的真空度,从而获得更大的吸附力。比如,有2台极限真空度相同的泵,1号泵流量为1L/min,2号泵流量为20L/min,同样在0.1L/min的泄漏情况下,1号泵的真空度会降低很多,因为0.1L/min的泄漏对它而言太大了。但0.1L/min的泄漏对2号泵来说不算什么,仍然可以维持较高的真空度。...
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2018 - 10 - 10
真空泵的运行前提是正确的安装,若安装不当会存在很多故障导致无法运行,那么水环真空泵每个部位应该如何安装呢?下面来向深圳恒才陈工学习一下泵的安装详细要点。一、安装水环真空泵泵体、机械密封部分将机械密封静环部分安装在泵体上安装机械密封静环部分时可用水将其湿润后用手均匀压入泵体内。注意用力不能过猛!装配后,检查机械密封静环部分与泵体是否装配得紧密。将泵体紧压在电机上,将螺栓拧紧。注意不要损坏机械密封静环部分。将垫圈安装到电机后盖中,然后将泵体、电机前盖、轴承、电机转子、内轴承盖部件安装到电机壳体中,锁紧螺栓。依次安装电机风扇、挡圈、电机护罩、螺钉。安装完成后将泵的电机风扇护罩端朝下垂直于地上,准备安装泵的其它零件。二、安装水环真空泵泵轴、轴承部分1、将泵轴及轴承整体从托架非驱动端装入托架,可以通过敲击轴承外圈使泵泵轴安装到托架中。注意:敲击轴承时应在其端面放置垫块或者套筒工具以防止损坏轴承。2、安装非驱动端轴承盖,锁紧螺栓。安装滚柱轴承的锁紧垫片及锁紧螺母旋紧在轴上,然后将锁紧垫片的锁耳弯进敲弯进螺母的凹槽内,以防止螺母松开。3、安装垫圈、驱动端轴承盖,锁紧螺栓。用手转动泵轴,泵轴转动应顺畅,若泵轴转动教紧时应稍微松动螺栓,将泵轴调节至转动较为顺畅的状态。4、安装平键,联轴器泵轴部分,联轴器压板,锁紧螺栓。三、安装水环真空泵叶轮1、将叶轮压在轴承上,应保证叶轮和泵体的前端面保留0.05~...

浅析石化/化工行业中真空泵的应用

作者: 真空泵
时间: 2019-12-19
浏览: 521

  安全,无污染的气体控制:真空和压缩系统可以处理各种变量,例如进气流量,爆炸性气体混合物,肮脏的摩擦气体混合物以及不可预测的气流。具有独特的全面供应范围,包括真空泵,压缩机和混合动力系统,它适用于大管路0工业系统的许多应用。通常,它可以根据用户的需求一起提供具有多种功能的集成系统,并提供专有的技术咨询。


浅析石化/化工行业中真空泵的应用

  气体回收

  在油气工业中,无论是上游生产还是下游精炼,都会向大气排放气体,气体回收是从储罐中回收烃类气体的过程。可以通过消除真空并压缩储罐中的气体来实现气体回收。 水环泵可用于回收,液化然后再利用乙烷气体。为此或在此过程中,使用了旋片式压缩机,该压缩机包括通过分离器分离出不可冷凝的气体,并将该气体压缩到销售管线中进行分配。

  瓦斯气体回收

  气体回收可被描述为炼厂排污系统或生产中的气体回收。由于其成分,该气体通常被认为是废气。由于HC气体,通常会燃烧掉这些气体。

  很多时候,一些可用的高质量气体被烧尽,这些气体具有一些残余的BTU值。这种气体一旦分离,便可以从低压压缩机中回收并压缩到大管路压缩机中。这些往复式压缩机压缩了回收的气体,将其压缩到发电设备中,进行处理,并可以将其用于联合发电。

  这里采用“将废物变成珍宝”的概念,因为将大多数要燃烧的气体再循环是经济的,并且被用作能源和收入的来源。尽量减少不必要的燃烧气体不仅对环境有益,而且解决了收入和机会问题。

  燃气升压

  燃气增压涉及使用增压压缩机将天然气输送到可能在回收和压缩期间使用的发动机。

  强化的石油回收

  加强采油的上游工艺,包括消除油井的真空,以减轻油井的压力,让油更自由地流动,并提高产油量。同时,它还包括杂散气体,仅是杂散或井口气体的回收。同时,在采油点通常在油井表面使用油/气分离器。

  气体收集

  上游程序涉及抽空和压缩几个油井,然后将气体收集到支管或储罐中。该过程通常由真空泵或低压压缩机完成,该真空泵或低压压缩机将气体压入高压管线压缩机(通常是往复式压缩机)进入气体处理设备进行处理。浅析石化/化工行业中真空泵的应用

  原油稳定

  通过使用水环泵或压缩机排放溶解的气体并稳定实际的蒸气压,可以使原油稳定。根据环境温度的变化,可以消除原油罐的真空度,降低排气口的压缩程度,从而可以提高原油罐的安全性。

  原油真空蒸馏

  通过常压蒸馏或真空蒸馏,可以将燃料加工为汽油和其他碳氢化合物燃料。

  这种用法包括将真空设备应用于原油蒸馏塔。热和真空的联合作用可以根据不同的沸点将原油分为不同的成分。目的是提取较轻的成分,例如汽油。真空蒸馏比常压蒸馏具有更高的效率。

  排气压缩

  从原油蒸馏塔和其他精制设备排出的非冷凝轻质烃类气体被收集在一个共用的容器中,并通过管道排出以燃烧或排出至压缩机。根据所需的排气压力,压缩机以一定的燃烧值压缩排气并将其燃烧以回收能量。这个过程通常很短,而能量的回收对于环境保护非常重要。

  蒸汽回收/增气

  这不同于相对固定且不变的废气回收。典型的应用是收集水箱通风口。严格控制真空度以保护水箱。通常,排气压力较低。气体通常返回过程或液化后返回储罐。

  过滤/脱蜡

  过滤或脱蜡是指在烃基油生产中收集蜡组分。去除油中的蜡成分可以改善油的质量和适用性。 水环泵连续消除了可能包含氮气和冷冻MIBK氮气的盘式或鼓式过滤器的真空。如果需要更高的真空度,则将机械风扇和水环泵组合安装。

浅析石化/化工行业中真空泵的应用

  废气回收

  在火炬气/废气回收装置中,水环压缩机是理想的选择。主要原因之一是气体压缩基本上是等温的,其温度约为30摄氏度至50摄氏度。这可以避免由于高温而在使用其他类型的压缩机时可能遇到的尾气在压缩机中聚合的现象。

  聚酯生产

  在聚酯生产中,反应塔中所需的真空可以使用由蒸汽喷射器和水环泵组成的复合真空系统获得。与其他应用不同,乙二醇(EG)可以直接用作真空泵的工作流体,以促进整个真空系统的安全可靠运行。

  PVC生产

  在生产聚氯乙烯(PVC)的过程中,反应中残留的氯乙烯单体(VCM)首先由水环真空泵抽出并送至储气罐;然后通过水环压缩机将其加压到0.7MpaA。左和右,以液体形式储存在VC回收罐中,以进行进一步反应。

  氯气包装

  在氯碱工厂的氯气包装过程中,使用高出口压力水环压缩机可以大大降低成本并避免环境污染。



浅析石化/化工行业中真空泵的应用


  其他

  水环真空泵,真空装置和压缩机装置(包括耐腐蚀系列)在大管路0 /化学工业中得到了广泛的应用,远远超过上述范围。

  另一个例子:

  循环气体压缩,变压吸附(PSA),液氯生产,乙炔,氢气等易燃易爆气体压缩,原油真空蒸馏中的塔顶真空系统,氯等有毒和腐蚀性气体压缩,真空结晶,干燥,真空过滤,各种物料的真空输送。


其他案例 / Other case
2026 - 08 - 31
点击次数: 5359
PCB压机真空系统升级:恒才罗茨水环集中抽真空方案破解能耗与环保难题在PCB(印制电路板)制造行业中,层压压合工序是决定产品良率与性能的核心环节。长久以来,行业内普遍采用“一台压机配一台油旋片泵”的“一对一”分散式真空方案。然而,随着PCB产品向高附加值、高密度方向演进,这种传统模式逐渐暴露出致命缺陷:几十台泵同时运行时,故障概率呈指数级累加,运维人员疲于奔命;油润滑结构不仅导致车间油烟弥漫,更存...
2026 - 08 - 31
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晶圆真空吸附系统升级:恒才水环机组护航与进口替代新路径在半导体制造与电子封装领域,晶圆的搬运、封装与测试对真空吸附系统的稳定性要求近乎苛刻。传统分散式的真空方案不仅能耗高、维护频繁,更致命的是真空度波动极易导致晶圆微移位甚至掉片,造成昂贵的报废损失。针对这一行业痛点,深圳恒才机电设备有限公司凭借成熟的集中式水环真空泵机组系统,为晶圆产线提供了高可靠、低能耗的底层保障,同时也为半导体企业提供了替代日...
2026 - 08 - 31
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一、 案例背景与行业痛点随着人工智能(AI)与大数据的爆发式增长,数据中心正加速迈向高算力、高密度的新时代。以谷歌TPU集群等为代表的大规模算力中心,单机柜功率不断攀升,传统的风冷技术已逼近物理极限,液冷成为必然趋势。然而,在液冷系统的运行中,核心痛点极其致命:泄漏风险。数据中心内部密布着昂贵的AI芯片、服务器与精密配电设备,任何微小的冷却液泄漏都可能导致设备短路、宕机甚至引发火灾,造成不可估量的...
2026 - 07 - 27
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广东惠州一家年产1万吨改性PP的造粒厂,之前用12台传统油旋片泵,运行了5年,一直被几个老问题困扰:粒子空心毛刺多,良品率只有86%,每吨粒子只能卖7800元,比行业均价低300元;真空泵每月电费7.2万,一年下来电费就要86万;每月清理泵腔、换泵油、换叶片的维护费就要8000元,一年近10万;去年还因为排气粉尘不达标,被环保部门罚款了6万元,一年下来真空泵相关的隐形成本就超过100万,工厂的利润...
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