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2020 - 07 - 28
水环真空泵内置有带固定叶片的偏心转子,是将水(液体)投向定子壁,水(液体)形成与定子同心的液环,液环与转子叶片一起构成可变容积的旋转可变容积真空泵。  水环真空泵(简称水环泵)为粗真空泵,所得到的极限真空为2000~4000Pa,与真空泵组合的尤针织面料真空度可达1~600Pa。 水环泵也可作为压缩机使用,被称为水环式压缩机,是属于低压的压缩机,其压力范围为1~210^5 Pa的压力。  随着水泵应用的增加,设备在运行中受到高温、高压、强腐蚀、空化作用清洗等恶劣环境的影响,经常出现磨损、腐蚀、泄漏等现象,制约企业正常生产,引起火灾、爆炸、污染等严重安全事故。 由于设备故障,导致云同步无法预料的宕机时间停产将影响生产的效率和产品品质,从而增加企业的成本投入。 据统计,大多数制造业的设备维修费用占总费用的20%-30%以上。  水环真空泵泵轴轴承位磨损修复  传动部磨损问题是生产型企业存在的普遍设备问题,且数量大、损伤频繁,其中包括各种轴类、支重轮类、减速机、马达、泵类等轴承位置、机壳、轴承室、牛鼻子槽及螺纹等部位。  解决办法:传统的熔接机加工方法容易引起材质损伤,容易引起零配件变形或断裂,有较大局限性的电镀和喷涂再机械加工方法往往需要外包,修复周期长,费用高,而且修补的材料是金属材料,根本就是磨损的原因(金属的耐冲击。  修复步骤: 1、模具加工:制作标准组合模具2,表面处理:抽油...
2020 - 08 - 04
真空泵的使用可能有一些小故障。今天我们就来谈谈真空泵切换过程中真空突然下降的原因和处理方法。我希望它对你有用!  1.原因分析  1.真空泵入口处的气动门和逆止门堵塞;  2、操作不当,未确认入口气动门已关回,停止真空泵。  2.主要现象  1.排气装置的真空度迅速下降,真空度低时报警;  2.真空泵气水分离器液位下降。  3.治疗措施  1.当真空泵停止且真空下降时,立即启动其他真空泵。  2.立即让当地人员打开气水分离器补水电磁阀旁边的手动门,向汽水分离器高水位补水。  3.如果真空仍然下降,没有逆转的趋势,让当地人员立即关闭真空泵入口的气动门和气动门前的手动门,启动真空泵。  4.当真空下降太快时,手动将负荷降低到400兆瓦以下,以防止机组触发RB。如果RB动作,应根据RB正常处理。  5.如果处理不及时,真空过低,导致汽轮机跳闸,应视为紧急停机。  4.预防措施  1、实施重大作业监控制度;  2.根据正确的切换方法进行切换,并做出所有可能的假设;  3.2bv真空泵关闭时,先关闭入口门,确认关闭后再停泵。
2020 - 08 - 12
螺杆真空泵和水环真空泵是属于真空泵,但它们之间有差异,都是产生真空的泵类,通过比较它们的差异,不仅有助于大家的选择,也有助于两者不混淆。 区别在哪里? 请听厂家的详细说明。  一、适用的情况  水环真空泵的等温压缩特性,容易燃烧、易爆炸,适应含尘的排气介质环境,但是污染排气介质,难以适应清洗工艺环境和各种介质回收工艺的螺杆真空泵无法吸引容易燃烧的爆炸性气体,含有粉尘的固体粒子气体以及凝固性气体  二、真空度  水环真空泵的真空度受作为其工作液的水的饱和蒸气压限制,单级极限真空在2000~4000Pa之间,将工作液置换为油时达到130Pa。 螺杆真空泵的极限真空度受模线与齿间隙的影响,可达1Pa,极限真空可达0.1Pa。  三、效率  水环真空泵的运行需要工作液的参与,工作效率低的螺杆真空泵工作泵室无油,气道短,气道直通,效率高于水环真空泵。  四、配套  水环真空泵的工作液在工作中不断消耗,随着水温的上升,抽气性能降低,因此需要配备冰水机、循环泵、冷却水塔等,不断补充冷却水。另外,对于环保的要求,需要追加建设污水处理设备的螺杆真空泵,在通常的条件下需要将其他设备.  五、稳定性  水环真空泵抽气性能易受温度影响,不稳定,抽气介质可能与工作液反应,容易腐蚀设备,故障率高的螺杆真空泵温度影响小,稳定性高,无油无水,采用防腐涂层,寿命更长,故障率更高  螺杆真空泵和水环真空泵的不同,可以...
2020 - 08 - 20
真空技术可应用于塑料工业的各种过程,如脱气、干燥和转移。真空泵在塑料行业中的应用:挤出机脱气、真空成型、发泡、干燥和气力输送装置。  真空泵的应用  挤出机脱气  在加工过程中,热塑性塑料在挤出机中熔化,并在挤出机的螺纹部分脱气。真空装置用于从熔体成分中提取气体和蒸汽。所有低分子物质被泵出,以获得最理想的热塑性塑料质量,具有光滑的形状、较高的强度、较好的绝缘性能和较低的气体产生速度。  凝固台  塑料材料进入凝固台上的连续部分在挤出机中熔化和脱气。通常,这些部分在管道中,或者在窗户、线槽和医疗管道的各种技术部分中。塑料材料被拉进模具。为了冷却和润滑,在模具内侧和连续工件之间形成水膜,真空泵稳定地排出空气。  气力输送装置  在生产的不同阶段,塑料球形材料必须从一个地方转移到另一个地方(如从储罐转移到干燥器)。采用气力输送装置可自动实现,并可加速。管道从起点延伸至终点,并连接至真空泵或压缩机。  由于要运输的材料,管道中的空气被“装载”。与飓风相比,根据风速,它能搅动树叶,或有台风的强度,甚至能把屋顶从房子上掀掉。根据货物的重量和管道的长度,系统的设计可以使真正的台风变强,甚至可以把屋顶从房子上掀下来。根据货物的重量和管道的长度,系统的设计可以使真空泵(真空传输)或压缩机(压力传输)产生足够的风速来拾取物料并将其输送到目的地,而不会将它们留在管道中。  由于用于输送塑料球形物料的气力...
2020 - 08 - 27
一、真空泵选型中,确定的产品需保证能顺利抽出工艺过程中释放出来的各种气体。真空泵的应用工艺中,气体介质多种多样,易燃易爆的、易凝结的、易化反、易腐蚀的等,选用的真空泵就需保证适用性。例如,工艺过程会产生大量水蒸气,选用的真空泵就必须适合抽水蒸气。  二、真空泵的极限真空度,必须高于工艺生产要求的真空度,至少要高一个数量级,并且设备适合在要求的工作真空度范围内工作。真空泵的极限真空度是泵抽速为零的时候所能达到的真空度。因此为保证真空泵在工作真空度内的抽速,就需要满足其极限真空度要大于工作真空度,并且在区间内需要有较大的抽速。  三、真空泵的抽速要大于工艺过程中的最大放气量。为保证真空度,真空泵选型中涉及工艺过程中持续放气的,真空泵或者真空系统的抽速要满足大于工艺过程中的最大放气量。如果在系统设有冷阱或档板等,则加阱或挡板之后的有效抽速应大于工艺过程中最大放气量。如果工艺过程中会出现突然大量放气,则系统的有效抽速还要适当加大,通常加大到最大放气量的2—3倍。  四、真空泵选型中,选用的真空泵其工作介质和制造材料须满足工艺要求。真空泵应用,尤其是在医药、化工、电池等领域,抽取的介质往往是具有腐蚀性的气体,这时就要求设备要有相应的防腐措施。如酸碱气体需要有对应的防腐涂层或泵的材质改用不锈钢防腐蚀;带有灰尘或颗粒的气体时,要在泵入口前加除尘器、过滤器或泵本身对其有耐受性等等。  五、需连续生...
2020 - 09 - 11
螺杆真空泵是采用两根螺杆,在泵体内同时开展高速反向旋转而形成的抽气排气装置,油封式真空泵升级产品,可以排出含有水蒸气和少量粉尘的气体,在国内制药、化工、半导体等行业.  但是,许多企业在使用螺杆真空泵时不太重视产品的操作规范,有些不良的操作习惯可能导致设备无法正常使用,或者在长时间使用中损坏设备的部件,因此规范干燥机的操作非常必要,产品的各方面的操作  为了加快螺杆真空泵的应用能力,在操作细节上,体现出产品的优点,按照使用规范,增大员工的培训,按照严格的操作方法,提高产品的整体  因此,规范操作规程,对螺杆真空泵的使用和寿命的延长起到了良好的作用,而且提高了生产安全的重要性,保证了使用者自身的安全,有效地提高了设备的实用性,体现了产品实力的保障。  螺杆真空泵的操作需要规范,大家必须具备专业素养和专业知识。 为了机器的寿命,更为了自己的安全,希望大家严格遵守。
2020 - 10 - 11
螺杆真空泵需要定期清洗,因为真空泵在长期运行中会产生一些灰尘,而且它的孔也是灰尘容易进入的地方,清洗的地方可能是费点劲,但是如果它孔中的灰尘长时间不清洗,就会堵塞,从而影响真空泵的使用,所以应该及时清洗真空泵。清孔应该怎么做?  1.由于螺杆真空泵利用冲击钻机成孔,水桩中的泥浆是打桩时自制的,所以水桩中的泥浆完全可以代替主管泥浆做抽吸工作。  2.导管与孔底的距离约为20-30厘米,水沉入连接导管的橡胶管导管的深度应为钻孔水头至出浆口高度的1.5倍。  3.导管中的水位通过螺杆真空泵真空抽吸泥浆而降低。导管与桩内水位形成连通装置,使桩内水从导管底部快速流入导管,导管通过导管口对桩底沉积层施加向上的压力,将桩底沉积物压入导管,然后进入将橡胶管打开,通过橡胶管排出。  虽然螺杆真空泵的清孔处理有点难清理,但是学习了以上知识后操作起来会简单很多。不要盲目使用真空泵,忽视对真空泵的清洁,这会对真空泵的使用产生不良影响。(提醒一定要找专业的工作人员进行哦)。
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2020 - 10 - 30
螺杆真空泵是一种目前用途较多的泵体,其应用领域遍布各个行业,其中在塑料产品加工行业可作为挤出机除气装置、气体输送装置、气体抽取和压缩装置来使用,我们通过以下的资料来详细的了解一下这方面的知识:  挤出机除气加工过程中,热塑型塑料在挤出机内熔化,并在挤压器螺杆部分进行脱气处理。螺杆真空泵用来从熔化的物中抽出气体和蒸汽成分。抽出所有低分子物质,以获得理想的热塑型塑料质量,具有平滑外形、更高的强度、更好的绝缘性能和较低的气体产生速度。  定型台在挤出机内熔化和脱气的塑料材料进入定型台上的连续截面。典型截面有管材,门窗料、线槽和医用管材等。塑料材料被抽入塑模内。为了进行冷却和润滑,在塑模内侧和连续工作件之间形成一个水膜,由螺杆真空泵稳定的抽空空气。  发泡EPS泡塑生产中,首先采用螺杆真空泵将预膨胀聚苯乙烯颗粒吸入模具,然后利用蒸汽对其增压。最后进行聚合,并被发泡成泡塑制品。为了避免在这个过程中发生变形,对于大型制品件,很容易超过3到4分钟。制品必须进行冷却。在这些制品的发泡装置中采用真空泵冷却,以确保其不会变形,而且其中的水分很快得到蒸发。蒸发过程吸收制品热量,加快了冷却过程。  文中介绍了几种螺杆真空泵在塑料工业中的具体应用。使用这种泵可获得清洁的高真空和超高真空环境,因此不会影响加工出的塑料产品的质量,这是螺杆泵区别于其他真空泵的一个主要特征,同时也是许多行业选用它的原因。
2020 - 11 - 11
如今,各种真空泵的发展越来越受真空应用的影响。普通真空泵不能满足清洁,无油和耐腐蚀的要求。因此,近年来,螺杆真空泵市场需求很大,并且真空产品已经更新。在当今情况下,许多真空系统已被清洁的螺杆真空泵系统取代。那么在使用螺杆真空泵的时候需要注意哪些方面。  螺杆真空泵在2000工作小时后,必须进行检查。检查橡胶密封圈的老化程度,检查排气阀是否破裂,清洁沉积在阀和排气阀座上的污垢,清洁真空泵整个腔体内的零件,例如转子,旋转叶片,弹簧等通常用汽油清洗并干燥。清洁橡胶部件后,用干布擦拭。清洁和组装时,请小心轻放,并注意不要撞伤  通常,当新的真空泵泵送干净的干燥气体时,建议在工作100小时后更换一次真空泵油。机油中没有发现黑色金属粉尘后,可以适当延长机油更换周期。  如果螺杆真空泵发出异常声音,请立即停止并检查原因。  在运行过程中,轴承温度不应超过环境温度35,最高温度不应超过80。  在寒冷的冬季使用螺杆真空泵时,在将其停止后,旋开泵体底部的放油螺塞,以排出介质并防止结冰和破裂。  螺杆真空泵工作时,每100小时更换一次润滑油,然后每500小时更换一次润滑油。
2020 - 11 - 24
真空泵一般的为机械真空泵,往复式真空泵、机械增压泵、油封机械泵、滑阀式真空泵、滑片式真空泵。真空泵油是针对水环真空泵,旋片真空泵等的性能要求专门调制的特种润滑油,应针对低、中、高真空的工作条件来选择相应的油品。  真空泵工作原理就不说了,说真空泵油。在真空泵设备运转时,转子上滑片或滑阀环贴着定子的内壁滑动,为了避免划伤,需要有物质来进行润滑。能滑动,说明定子和转子之间有间隙,为了避免空气的进入,需要有物质来进行密封。在高速旋转的转子和定子摩擦时会产生大量的热,需要有物质带走热量来降温。以上三点,是真空泵油的三大基本作用,润滑、密封、散热。  罗茨真空泵每次添加机油都须停车,影响生产。从结构中可以发现,同步导向齿轮箱与罗茨泵泵腔是通过内部的油封来密封的,罗茨泵运转后在泵腔内形成一定的真空度,齿轮箱与泵腔会产生压差,在压差的作用下润滑油会顺着油封进入泵腔,只有当齿轮箱与泵腔内的压力平衡时,润滑油才会停止进入。  随着罗茨真空泵长时间运转,齿轮箱的润滑油会逐渐被吸入泵腔内,显示油液低于标准液位,这时必须停机,从润滑油添加孔加注机油,否则齿轮箱内的润滑油会因大气与泵腔内产生的压差,迅速吸入到泵腔内。  针对这种情况,考虑采取连通齿轮箱与罗茨真空泵入口的方式来平衡压差,使泵腔与齿轮箱保持相同的真空度。在润滑油添加孔处安装一个特制的大型油杯,油杯为聚四氟乙烯车削而成,为避免因油杯孔泄漏导致真空...
2020 - 12 - 04
一、管道泄漏。有时管道会因为不同的原因泄漏。这个时候就需要找专业的人来检查一下是不是因为这个原因。如果是,迅速修复焊接,避免造成更多泄漏。  二、真空泵厂家告诉你,也可能是泵有内部泄漏,说明泵本身有问题。我们应该找出漏洞在哪里,然后焊接来修复漏洞。  三、真空泵供水温度高。当泵长期使用并连续运行时,这种现象很容易出现在设备本身。这时候需要紧急停车,让设备休息几分钟,降温。  四、另外,真空泵的真空压力是一样的。不同的是流量。如果力不够,简单的办法就是把吸盘做大。  五、如果吸附过程中漏气量大,应通过增加真空泵来增加流量;如果强度不够,就要加大吸附面积;如果吸附面积大时薄板变形,应该有多个吸附口。  那么今天的讲解就先到这里了,以上就是今天的全部内容,相信大家对真空泵吸力不足的原因及解决方法也了解了。如还想了解更多关于真空泵维修的相关问题咨询我们。
2020 - 12 - 16
在单作用水环真空泵的零件损坏中,轴的损坏占有很大的比例。泵轴的损坏包括弯曲、出现裂纹和折断。  水环真空泵轴损坏的原因及修理方法  泵轴弯曲的原因多半是由于袖的刚度不够,加之叶轮有较大的不平衡,运行时产生变形所致。轴的弯曲方向和大小可以用下述方法测量:  将轴平放在支承上,将两支承点(可以是泵轴中心孔,也可以是轴颈部位)调至等高,在轴上选择几个等距断面,在轴旋转一圈中用千分表分别测掀四个方向(即每周转动90°时测量一次)上的径向跳动,作好记录。根据此数据可以求得四个方向上的弯曲数值,用图解法可以找到最大弯曲的方向和大小,这样就可以进行矫直了。  泵轴的裂坟和折断的部位,往往发生于局部应力集中的地方,比如键槽边缘处、直径突变处等。损坏的原因往往由于振动促使疲劳破坏。  如果泵轴出现疲劳裂纹(即将折断的先兆),应及时予以更换。如果由于客观因素暂时无法更换而需继续使用时,临时的补救办法是对裂纹进行补焊。使用补焊后的泵轴时,要经常注意补焊区的变化,以免发生事故。  单作用水环真空泵在使用中,经常出现的故障是泵轴的折断(特别是较大气量的泵)。折断面一般都垂直于轴心线,十分整齐象刀切一样,整个断面大部分光滑并呈金属光泽,小部分较粗糙。显然,这就是疲劳破坏所致的断裂特征。  水环真空泵轴损坏的原因及修理方法。  导致疲劳破坏的主要原因是,由于泵轴在运转过程中,泵腔内气体对泵轴的作用力所...
2020 - 12 - 28
离心泵运行期间产生振动和噪声的常见原因如下:  1.离心泵底座不稳定或底脚螺栓松动解决方法:加固底座并拧紧螺栓。  2.叶轮损坏,部分堵塞或叶轮本身不平衡解决方案:修理或更换叶轮,清除碎屑或调整平衡测试。  3.滑动轴承的油环可能断裂或卡住解决方法:校正并拉直泵轴,修理或更换轴承。  4.单级离心泵的联轴器不是同心的解决方法:正确的同心度。  5.吸水管口的浸入深度不足或进水管密封不良水泵吸入空气解决方法:增加浸入深度并修复密封不良的地方。  6.如果发生汽蚀现象,解决方法:找到引起汽蚀现象的原因并进行处理。
2021 - 01 - 08
随着冬季温度的降低,很多场合的水环泵由于气温的原因停止使用,这个时候水环泵的检修和保养变得尤为重要,以下就由小编给大家分享一下冬季水环泵的维修和保养方法。  1.水环泵停用后,要放尽水环泵和管路内的剩水,并把外部泥土清洗干净,以免上冻后积水结冰把泵体和水管胀裂。  2.水环泵的底阀、弯管等铸铁件,应当用钢丝刷把铁锈刷净,然后先涂上防锈漆后再涂上油漆,待干燥后再放入机房或贮存室通风干燥的地方保存。  3.用皮带传动的,皮带卸下来后用温水清洗擦干后挂在干燥、没有阳光直接照射的地方,也不要存放在有油污、腐蚀物及烟雾的地方。无论在何种情况下,都不要使皮带沾上机油、柴油或汽油等油类物质,不要涂松香和其他粘性的物质。  4.检查滚珠轴承,如内外套磨损、旷动、滚珠磨损或表面有斑点都要更换。对不需要更换的可用汽油或煤油将轴承清洗干净,涂上黄油,重新装好。  5.检查水环泵的叶轮是否有裂痕或小孔,叶轮固定螺母是否松动,如有损坏应修理或更换。若叶轮磨损太多或已打坏,一般应更换新叶轮。局部损坏可进行焊补,也可以用环氧树脂砂浆修补叶轮,修复后的叶轮一般应进行静平衡试验。检查叶轮减磨环处间隙,如超过规定值,应修理或更换。  6.对弯曲或磨损严重的泵轴,应当修复或更换,否则会引起转子的不平衡和有关部件的磨损。  7.卸下来的螺丝浸泡在柴油里用钢丝刷刷洗干净,并涂上机油或黄油,重新安装起来或者用塑料布包好后放好...
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深圳真空系统的基本概念整理

日期: 2019-12-30
来源:
浏览次数: 47

  真空系统已广泛用于化学生产中,但是有关真空系统基本概念的信息较少,而且缺乏一定的系统性。本文将总结其基本概念,以及选择真空泵时要注意的因素。

  关于真空系统的基本概念,请整理以下内容。

深圳真空系统的基本概念整理


  1、真空度

  真空度是指封闭空间中气体的压力小于外部大气压的程度,其值也在零和大气压之间,但其含义与绝对压力相反。当真空度为零时,表示密闭空间处于常压状态。当真空度等于大气压时,表明密闭空间中没有物质处于全真空状态。

  2、最大真空

  最大真空度,有些称为极限真空度,有些称为极限真空度。它们都是真空泵抽气时可达到的最小绝对压力值,并且是真空泵的基本过程性能参数。单位互不相同。选择时请注意单位换算。

  3、抽速

  它主要包括定量,流量和抽速。在给定温度下,给定数量的气体分子所占据的空间量与气压有关。 流量是指每单位时间通过真空系统的一部分的气体量。抽气速率是指真空泵每单位时间从封闭空间抽出的气体量。封闭空间中的气体量与其绝对压力有关。

  4、封闭空间的提取率

  封闭空间的抽气率是指将某个空间抽成一定真空时所需的抽气率。它是泵送气体离开并离开封闭空间的速率。主要影响因素有:

  ①泄漏到封闭空间的外部空气量。尽管某些封闭空间的空气泄漏很少,但几乎没有一个是完全气密的。实践证明必须考虑漏气量。

  ②泄漏的空气中饱和的可冷凝蒸气量。对于具有气液两相的封闭空间,在抽气以产生真空时,液面上的可冷凝蒸汽也将被抽出,因此必须考虑这些可冷凝蒸汽的量。

  ③生产过程中释放的空气和不凝性气体量。

  5、真空抽速

  真空泵的抽气率是指真空泵本身的抽气率,即真空泵入口处的抽气量。它是真空泵的另一个基本过程性能参数。

深圳真空系统的基本概念整理


  最后,我总结了选择真空泵时需要注意哪些因素。选择过程中,需要预先确定真空系统的系统设计,以确定管道,阀门,配件和仪器的规格和数量,检查系统的空气泄漏,确定管路中的流体压力损失和流体传导能力。真空管道,并将其与计算得出的结果进行比较。将封闭的真空空间的压力和抽气速度结合起来,以确定真空泵的极限真空度和真空泵的抽气速度。综合考虑后,选择合适的真空泵。

  恒才机电真空泵厂家主要产品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN、LRP系列水环真空泵,X、GVD系列旋片真空泵,ZJ系列罗茨真空泵,GXS、DHS、VSD、GHS系列螺杆真空泵,DZS系列爪泵,中央真空系统等产品。公司代理有阿特拉斯.科普柯(atlas),司倍克speck产品.真空泵厂家恒才机电凭借多年的生产制造经验,一流的技术人员,完善的售后渠道使得产品质量多年来保持稳定可靠。恒才机电厂家期待与各位同仁合作,更多真空泵知识请继续关注我们恒才机电设备有限公司。联系电话400-8625533,手机13928410990。


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发布时间: 2025 - 07 - 23
高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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