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2020 - 05 - 12
今天5月12日,春余夏首、夏花绚烂的日子,“深圳恒才机电设备有限公司”举行了隆重的乔迁庆典;风雨兼程,励精图治,不断创新,随着进一步扩大,公司再次踏上了新的台阶。  丨启航的号角已响起 丨  上午7点30分,各部门员工早早就来到了公司,现场热火朝天有说有笑,会场布置井然有序,经过大伙的一番努力,公司正式入驻新办公楼。会客区、会议厅、休息区欢声笑语、人声鼎沸、场面非常热烈。  公司董事长陈总致词,对公司所有同事的辛勤付出表示感谢,并展望了公司乔迁新址之后的未来;各部门依次分别向陈总表示祝贺,大家热情交流,一同见证了这美好的时刻。  迁至新办公区,是深圳恒才公司战略性发展的一次飞跃,随着公司全面布局的完善,今年将进入一个更高速的发展时期。办公区  深圳恒才的愿景是成为受人尊敬的流体服务型企业,让客户使用到最合适的流体系统。  看今朝,我们踌躇满志,展未来,我们豪情满怀;在恒才公司乔迁之际,非常感谢长期以来对我们给予支持和肯定的广大客户及与我们长期合作的伙伴,愿我们共同进步,共同发展,共赴美好明天!
2019 - 10 - 22
水环真空泵是一种应用十分广泛的真空泵,很多人想了解水环真空泵的原理和效率的问题,今天就给大家介绍一下.  水环真空泵的原理  水环真空泵主要用于粗抽和大抽的过程,并已广泛用于化学,石油和轻工业领域。  水环真空泵具有结构简单,易于制造,运行可靠,使用方便,经久耐用等优点,可以抽出腐蚀性气体,含尘气体和气水混合物。待泵送气体的温度优选为20℃至40℃。  其中,水环真空泵是效率更高的双作用水环真空泵。工作气体温度在-10°C到+40°C之间。水环真空泵广泛用于各种工业领域,用于真空干燥和真空脱水。它特别适用于需要清洁和无油的真空泵工艺的真空系统,该工艺需要大量的水蒸气溢出和洗煤厂和选矿厂的真空过滤。  除了水环真空泵外,油环真空泵也是液环真空泵的一种。它与水环真空泵之一不同之处在于,工作流体被变压器油代替。除了密封以外,泵本身的结构与水环真空泵没有太大区别。为了使油环真空泵在适当的温度下工作,油环真空泵本身具有一个冷却油箱(也称为油分离器)。  水环真空泵是大中型机组中广泛使用的冷凝器抽吸装置。其功能是去除冷凝器中的非冷凝气体,并确保并保持冷凝器真空。 水环真空泵的工作流体的入口温度对真空度有很大影响。降低真空泵工作流体的温度可以有效地提高水环真空泵的性能。  当工作水流量,吸入口力,吸入口温度和转速恒定且真空泵的工作水入口温度高于设计水温时,真空泵的吸入能力将相...
2019 - 11 - 05
如果您想更好地使用产品,则需要对其有一个全面的了解。 水环真空泵是相同的。接下来,我将介绍如何检查水环真空泵的泄漏。您可以仔细阅读了解它,并且使用该产品会有所帮助。  1.检查冷凝器的蒸汽出口是否关闭且没有泄漏。  2.检查低压缸排气装置的安全门是否完整并且没有吸气。  3.检查水环真空泵的水位计是否损坏或泄漏。  4.检查水环真空泵是否破坏了门并且没有泄漏。  5.检查低压加热器在负压下的水位是否正常以及地漏门是否紧固。  6.检查抽气管与钢瓶之间的真空连接是否泄漏。在此,当减少负荷时漏气减少,并且在增加负荷后真空度稍微升高。  7.检查速度控制水环真空泵的重力回水是否通向冷凝器。如果回水量较小,则不能密封水封袋,应将水泵密封水返回到沟槽。  8.检查水环真空泵系统阀的水封,管,法兰或焊接接头是否紧固,尤其是膨胀水箱或锅炉起动器分离器与冷凝器管和阀端口的连接是否紧密。  如果您想更好地使用产品,则需要对其有一个全面的了解。 水环真空泵是相同的。接下来,我们将介绍水环真空泵的间隙调节知识。您可以仔细阅读以了解它,并且使用该产品会有所帮助。  水环真空泵的调节间隙没有原理。所谓的间隙是转子与泵壁之间的距离。该间隙是为了确保转子的旋转不会摩擦前壁和后壁。旧泵磨损,无法根据手册的大小进行调整。调整间隙后,通过调整轴的位置使转子运动,然后通过轴承和齿轮的定位使转子无摩擦地工作。  水环真空...
2019 - 11 - 06
随着现代工业的不断发展,各种真空泵装置的使用频率变得越来越频繁。 水环真空泵是使用最广泛的泵送设备之一。但是,它在使用过程中常常引起返油,这也给企业的生产带来一些麻烦。那么,有什么方法可以防止水环真空泵设备返油?  1、轴封河道的静态密封件应牢固并及时更换。  2、将燃油箱和排气阀移至一侧以减少油位并减少油量。  3、 水环真空泵基座的平面应平坦,阀板应具有弹性。  4、将水环真空泵排气阀附近的油与其他油分开。油位仅略高于隔墙。  5、在油孔中添加一根管,以便油位仅略高于进油口。  6、设置水环真空泵的止返阀机构,使其在停止时自动关闭进油口。  7、设置油泵和辅助机构,以在泵停止时切断油路。  8、 水环泵端口配有充气阀。  以上是防止水环真空泵变油的方法。在实际应用中,返油现象会严重影响泵设备的使用寿命,增加故障率和维护成本,因此必须做好及时的预防。行。另外,在长时间使用或使用不当,维护不当的情况下,也容易出现返油现象,因此这两个方面也应尽力做好。
2019 - 11 - 08
经常有客户反应:真空泵在运行过程中常常出现自动跳闸的问题,遇到这种情况怎么处理呢?螺杆真空泵启动困难的6大原因及排除方法你知道吗?  真空泵跳闸原因主要有以下几点  1.电机负载。真空泵电机负载,此时电流过高,如超过电控箱设置的电流时,真空泵会自行跳闸、脱闸,此时为真空泵的正常现象,可跳高电流保护上限来解决跳闸现象。  2.真空泵长时间停用,如果停用时间过长电机负载会导致暂时性电流过高,此时封闭真空泵进气口运行使泵体加热即可。  3.真空泵电机接在两相电源上,未启动三相电源,可接通真空泵三相电源即可,如果运转十小时左右还出现跳闸、脱闸等情况,还是调整电流上限即可。  4.真空泵排气口吸入异物或杂质,电机负载,可拆开真空泵检查内部是否有故障等。  大神告诉你螺杆真空泵启动困难的6大原因及排除方法  1、螺杆真空泵启动前泵内未充满介质或泵较长时间未启动运转。  排除方法:螺杆真空泵吸入室内灌满介质,并转动泵轴。  2、螺杆真空泵泵内介质凝固  排除方法:加热螺杆真空泵,降低介质粘度。  3、螺杆真空泵的橡胶定子与转子配合过盈过大  排除方法:更换螺杆真空泵过盈适当的零件。  4、螺杆真空泵的轴封填料压得过紧  排除方法:调整螺杆真空泵填料压盖松紧。  5、螺杆真空泵输入电压过低  排除方法:调整螺杆真空泵电压正常后启动。  6、螺杆真空泵启动力矩过大  排除方法:检查并调整螺杆真空泵的...
2019 - 11 - 11
水环真空泵的工作原理:      水环真空泵是一种粗真空泵,它所能获得的极限真空受制于结构和工作环境,一般为 3~50 kPa 。水环真空泵主要由叶轮、泵体、圆盘(设有吸气口、排气口)等几部分组成。叶轮偏心安装在泵体中,当叶轮旋转时,水被抛向泵体并形成与泵体同心的水环,水环和叶轮形成一个月牙形的空间。随着叶轮的旋转,叶轮轮毂、叶片和水环形成的空腔由小变大,通过吸气口吸气,再由大变小,通过排气口排气.  水环真空泵具有结构简单、使用维修方便、气体等温压缩、适宜抽吸和压缩易燃易爆气体、可抽除含尘、含水气体等特点。  水环真空泵在化工、煤矿、制药、轻工、造纸、冶金、石化、矿山、发电、食品以及废气的回收利用等行业中已成为最广泛应用的真空获得设备,特别是在航空、航天工业模拟试验中,运行安全、稳定。目前,单台水环真空泵机组的气量达到70000 m3/h 以上,功率达到1700 kW 以上。  近年来,随着国家对真空获得设备需求的发展,水环真空泵正向大型化、成套化、高真空、大抽气量方向发展。水环真空泵已发展成为成熟的、各行业发展所必需的通用设备,但目前有关水环真空泵(包括水环压缩机)实际能效值的研究很少。为了能不断地促进我国水环真空泵设备的技术进步,更好地贯彻落实国家节能减排的重大决策,推广高效节能的真空泵产品。
2019 - 11 - 13
水环真空泵(称为水环泵)是一种粗糙的真空泵,可以实现2000〜4000Pa的极限真空度和270〜670Pa的串联大气压注射器。 水环泵也可用作压缩机,称为水环压缩机,这是一种低压压缩机,压力范围为1至2 × 10 Pa表压。 水环泵最初用作自吸泵,并逐渐用于许多工业部门,例如石油,化工,机械,采矿,轻工,医药和食品。  水环真空泵由叶轮,泵体,吸排气板,形成在泵体内壁上的水水环,吸气口,排气口和辅助排气阀组成。  常见故障及排除方法  1、真空泵不够  可能的原因:电动机电源不足导致速度不足;供水不足;叶轮和分配板之间的间隙过大;机械密封损坏导致漏水;叶轮过度磨损;  处理:检查电源电压是否在电动机的额定电压范围内;增加供水量(必须控制在正确的范围内,否则电动机将因热量而过载);调整叶轮和分配板之间的间隙(通常为0.15-0.20 Mm);更换机械密封;更换叶轮;查看水口行。  2、无法启动或启动噪音  可能的原因:电机电源电压不足;电机异相;泵长时间使用不生锈。泵吸碎屑;叶轮拖动分配板。  处理:检查电源电压是否过低;检查电机接线是否牢固;如果长时间不使用泵,可以添加除锈剂或打开泵盖以去除锈;打开泵盖以清除碎屑;调整叶轮到配电盘的距离。  3、电机过热  可能的原因:电动机过载,电动机过载;电机异相;通风孔被堵塞;叶轮拖动其他组件。  处理:将供水量减少到正常范围(参见...
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2025 - 05 - 21
电子封装过程中使用水环真空泵机组,主要基于其能够满足工艺对真空环境的严格要求、具备稳定可靠的性能、适应复杂工况的能力以及符合环保与安全标准等多方面优势。以下为具体分析:一、满足电子封装工艺对真空环境的要求高真空度需求:电子封装过程中,许多工艺步骤需要在高真空环境下进行,以确保封装材料的纯净度和封装质量。水环真空泵机组能够提供稳定的真空环境,满足电子封装工艺对真空度的严格要求。低气体残留要求:在电子封装中,任何微小的气体残留都可能对封装性能产生严重影响。水环真空泵机组具有高效的抽气能力,能够迅速将封装腔室内的气体抽出,降低气体残留量,提高封装质量。二、水环真空泵机组的性能优势结构紧凑,占地面积小:水环真空泵机组通常设计紧凑,占地面积小,便于在电子封装生产线上集成和安装。运行稳定,维护方便:水环真空泵机组采用成熟的技术和可靠的设计,运行稳定,故障率低。同时,其维护也相对方便,降低了生产线的停机时间和维护成本。适应性强:水环真空泵机组能够适应不同的工况和封装材料,满足电子封装工艺的多样化需求。三、水环真空泵机组在电子封装中的具体应用封装腔室抽真空:在电子封装过程中,水环真空泵机组用于将封装腔室内的气体抽出,形成高真空环境,为后续的封装工艺提供条件。气体回收与处理:水环真空泵机组在抽气过程中,能够将抽出的气体进行回收和处理,避免对环境造成污染。与其他设备协同工作:水环真空泵机组可以与其他电...
2018 - 05 - 23
双级旋片真空泵工作原理:如图所示,双级旋片真空泵主要是由定子、转子、旋片、弹簧、端盖等部分组成。转子偏心的安装于泵体内表面相切(两者间的有很小的间隙),转子里开了个槽,槽内装有旋片。当转子旋转时,旋片靠离心力和弹簧的张力使其顶端与定子内壁相接触,沿定子内壁滑动。双级旋片真空泵的详细介绍:阿特拉斯GVD系列双级油润滑旋片真空泵以真空度高,抽速快和水蒸气处理能力强而著称。旋片式真空泵结构紧凑,无振动,运行平稳,应用于各种广泛的真空领域。双级旋片真空泵的应用行业:l  冰箱和空调系统抽真空、干燥和回填l  真空干燥和真空蒸馏l  作为高真空应用的前级泵l  真空冶金l  薄膜技术l  真空冷冻干燥l  变压器和电缆干燥及浸渍、绝缘油处理l  低温容器抽真空 双级旋片真空泵技术参数:双级旋片真空泵维护保养:1.       根据需要检查油位,至少每月一次,2.       根据具体应用更换油,3-6个月,3.       每次更换油,检测并清洁入口过滤器,4.     ...
2018 - 07 - 25
暑假期间,开车出去游玩都会很堵,像周六日出去海边玩,车子堵起来会走走停停。那天出去玩,我发现一辆车很特别,一辆轻型商用车,这辆车不像一般轻卡车那样不规则的怠速抖动,非常安静。只听到驾驶室里传来悦耳的音乐,隔着显眼的福耀玻璃,看到了轻卡车司机淡定的笑容。车子开始缓缓移动,这时我看到了车尾显眼的 ——“比克纯电动车”。科普柯工业真空科普柯真空事业部北区出售团队,在2018月刚与比克新能源轿车有限公司签订了两台阿特拉斯·高效变频驱动喷油螺杆真空泵的出售合同。    作为我国最具发展潜力的自主新能源轿车出产企业之一,公司是以电动轿车动力体系集成技能为核心的新能源轿车研制、制作及出售的整车出产企业。公司致力于电动轿车的研制及技能创新,使用全球抢先的轻量化车身技能及其制作工艺、高效制动能量收回体系、安全节能电动空调体系、整车功能验证、动力电池热管理体系等产品及技能,用心打造符合我国及国际市场的电动轿车产品。  GHS VSD+螺杆真空泵可靠性与高效能完胜  镜头回到2016年的深秋,郑州阿特拉斯·科普柯的授权代理商在惯例拜访中发现郑州比克工厂在注液工艺中运用的某国产品牌双级旋片泵损坏率很高,该工艺需求的真空度为50-100mBarA。代理商在与阿特拉斯·科普柯北区出售经理咨询、探讨之后,引荐客户运用阿特拉斯·科普柯GHS VSD+高效变频驱动喷油螺杆真空...
2018 - 10 - 09
真空可分为4级:  粗真空 (RV):  1000 - 1 mbar  中真空 (MV):  1 - 10-3 mbar  高真空 (HV):  -3 - 10-7 mbar  超高真空 (UHV):  -7 mbar真空的度量单位:国际制单位:  mbar + Pa   1 mbar = 100 Pa = 1 hPa其它单位:  N/m²  1 N/m² = 1 Pa = 0,01 mbar  Torr  1 Torr = 1,33 mbar  mmHG  1 mmHG = 1 Torr = 1,33 mbar  Atmosphere  1 atm = 1013 mbar  Micron  1 μ = 0,001 Torr = 0,00133 mbar  PSI  1 psi = 0,069 bar         % Vacuum  1 % Vacuum = 10 mbar
2018 - 12 - 05
德国speck进口真空泵使用恒才100#真空泵油,具有适宜的化学稳定性和热稳定性,耐水解,与密封材料的相容性很好。 进口真空泵油的性能要求:1.高温下饱和蒸汽压要低,易挥发成份要少。饱和蒸汽压是真空泵油较关键的指标之一。在恒温的密闭容器中,当汽液两相到达动态均衡时的压力称谓饱和蒸汽压。油品的饱和蒸汽压要尽量低,在泵的最高工作温度下,仍要具有足够低的饱和蒸汽压,并要低于真空泵规则的极限压强。在60℃温度条件下至少要到达6.5×10-5  kPa(因温升每上升20℃,饱和蒸汽压大约要下跌一个数量级)。 2.最低水含量和吸水性。极限全压力:由皮拉尼计或热偶真空计测出真空泵一切物质(气体)产生压强的总和。国外目前注重全压强的测试指标。极限分压力:用水银紧缩式真空计(麦氏计)测得的泵的极限空气分压力,双级旋片泵分压力应为≤6×10-5 kPa。极限全压力与极限分压力差值请求不大于一个数量级。二者之间的差值越大,真空泵油中含有的挥发成分就越多,油品的性质就越差。 3.要有一定粘度,且随温度变化小(粘度温升曲线平滑)。真空泵油需求具有适合的粘度,在低温下能使真空泵疾速启动,在高温下真空泵油能具有良好的密封性,在泵内真空泵油具有较低的温升。不含有轻质的易挥发组分,降低运用过程中真空泵的返油率。 4.润滑性能好,机械应力...
2019 - 03 - 29
德国SPECK品牌高温油泵常常应用到各个行业中,如塑料,造纸,CNC等等,那么高温油泵在使用前后需要准备哪些工作呢?下面,深圳恒才机电张工总结了四大点高温油泵在使用前后需要做的工作,我们一起来学习了解一下。一、在使用高温油泵前要对热载体炉进行清洁工作1、做好对热载体炉房的清洁和卫生工作,高温油泵应做到炉房内不得堆积杂物。2、加热炉房应该保持良好的照明条件。3、要对除尘器以及出灰箱进行清灰处理,一般的高温油泵每班应清灰二至三次。4、油、气炉应该经常进行擦除燃烧表面的油污及其积灰,高温油泵特别是立式的气炉,顶部会因温度较高,严禁放置一些易燃物品。5、要保持热载体炉及其设备的外观清洁度,高温油泵要清除外部的积灰,这样不仅可以给高温油泵创造干净卫生的环境,而且还更易于观察设备运转状态,以及可以时发现设备的隐患。二、在使用前要对高温油泵进行检查工作1、检查高温油泵使用情况及其高位槽导热油的温度,要严禁超过70℃,这样是为了防止结焦和泄漏。2、对高温油泵本体及燃煤炉炉膛、炉排以及其附属设备进行巡回检查,要及时发现产生的问题,并要采取相对应的措施。3、燃煤加热炉的炉膛不应该出现冒火和吸风现象。炉子高温导热齿轮油泵钢结构状态以及砌体和炉门应该完好,时刻保持炉膛严密性。3、检查各项设备运转情况,传动情况应无杂声响。燃煤炉排调速箱上煤机卷扬机械减速前润滑油应充足渣机和引风机应充满润滑油,应于引风机冷却...
2019 - 06 - 21
旋片式真空泵组装的时候需要注意些什么呢,下面是深圳恒才张工为大家捋的8个要求,一起来了解一下吧!1、旋片式真空泵的电机转子平衡现象是否符合规定,2、旋片式真空泵叶片与电机转子之间的协作空地,3、旋片式真空泵的泵轴即电机转子轴机器设备前,要判断它是否变型、弯折了,4、真空泵泵浦电机转子与轴承位的同轴度是否到达须要,5、真空泵轴承与轴承端盖之间的空地調整,6、几回额封密缓冲赔尝布置的缩紧量是否到达须要,7、真空泵封密部件空地的調整,8、连轴器的同轴度是否符合须要,真空泵油在应用中的改变 真空泵油在应用中遭受了温度、空气、危害介质、机械设备剪切、金属材料催化、等的效果,其构成中的基础油会发作氧化、裂化、聚合等反响,功能逐渐变差。      真空泵的组装也是非常重要的工程,可以在组装前先看明介绍或电话咨询真空泵厂家专业人员进行指导安装。
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水环真空泵怎么用才能更节能

日期: 2019-10-24
来源:
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  水环真空泵一直非常关注粗糙真空的获得,例如真空过滤,真空水转移,真空蒸发等。它已广泛用于工业生产的许多过程中。

水环真空泵怎么用才能更节能


  为了节约能源,有必要尽可能地节约能源。我们如何使用水环真空泵来节能?

  1. 水环真空泵对角安装,以减小弯头或蜗壳,使水口面向水池。

  2.缩短水环真空泵管道,拆除1米长的钢管,并在10小时内节省0.21千克柴油。

  3.扩大水环真空泵的出口管直径。例如,将15米长的4米长水管替换为15厘米长的管道,并节省10公斤柴油10小时。

  4.如果可以保持进水清洁,则可以卸下水环真空泵过滤器。

  5.更换水环真空泵口环,调整轴向间隙,以防止叶轮口环和轴向间隙不合适。使用时,请根据水环真空泵的出厂说明进行调整。注意要求,避免不当操作损坏设备

  6.应及时清洗水环真空泵设备管路堵塞:异物残留在进水管,叶轮或导流壳的流路中,会降低水环真空泵的出水量

  7.防止吸入水环真空泵。当进入空气中时,水量将大大减少。检查密封件,及时发现问题。

  8.采用联轴器直接驱动代替平皮带可以提高水环真空泵的传动效率

  9.取消使用“防空炮”式出水口,这将增加水环真空泵的能耗。

水环真空泵怎么用才能更节能


  上述水环真空泵的节能方法可以通过减小阻力或缩短工作距离来节能,但是节能的前提是不损害设备的正常运行。


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深圳恒才新型真空引水机组是一款集高效引水、智能控制与强大过滤功能于一体的先进设备,以下从核心配置、性能优势、应用场景及维护管理四个方面进行详细介绍:一、核心配置:德国工艺与智能控制的融合德国SPECK水环真空泵高效稳定:采用德国SPECK品牌水环真空泵作为主泵,利用水作为工作介质,通过叶轮旋转形成水环,实现气体的吸入、压缩和排放。其结构紧凑、运行平稳,适用于抽吸含水蒸气、腐蚀性气体或微小颗粒的混合气体,满足泥水、粉尘等复杂工况需求。耐腐蚀性强:泵体材质可选不锈钢或特殊合金,适应不同水质和化学环境,延长设备使用寿命。低噪音设计:通过优化水环形成与气体流动路径,降低运行噪音,改善操作环境。西门子触摸屏控制系统智能化操作:配备西门子触摸屏,实现设备启停、参数设置、状态监控、故障报警等功能的集成化操作。用户可通过界面直观查看真空度、流量、温度等关键参数,并一键调整运行模式(如手动/自动切换)。远程管理:支持与上位机或云端平台连接,实现远程监控与数据分析,提升运维效率。安全保护:内置过载、过热、缺相等多重保护功能,确保设备安全运行。二、性能优势:快速引水与高效过滤的双重保障1-3分钟快速引水高效抽气能力:水环真空泵在短时间内建立高真空度(通常可达-0.098MPa以上),迅速排除系统内空气,形成负压环境,实现快速引水。大流量设计:泵体流道优化,减少阻力损失,确保在引水过程中维持高流量,缩短引水时间。搅拌型过滤器配置直接过滤泥水混合物:过滤器内置搅拌装置,通过旋转叶片打散沉淀物,防止泥沙、粉尘等固体颗粒沉积堵塞,同时利用水环的剪切力将颗粒分散在水中,实现高效过滤。微粒状固体过滤:滤网精度可根据需求定制(如50-200目),有效拦截沙石、微粒等杂质,避免其进入泵体或管道,保护设备免受磨损。排水便捷:过滤器设计有反冲洗功能或快速拆卸结构,可定期清理滤网或排出沉积物,维护简单,降低停机时间。...
发布时间: 2025 - 07 - 23
高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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