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2025 - 07 - 09
在电子行业实现集中抽真空,需从设备选型、系统设计、工艺流程优化及维护管理四方面系统规划,以下为具体方案与分析:一、核心设备选型:匹配工艺需求,兼顾效率与成本干式真空泵爪式泵:耐粉尘、高轴扭矩,适合刻蚀工艺等产生颗粒物的场景。螺杆泵:粗低真空段抽气效率高,适合大工艺腔体预抽真空。罗茨泵:多级结构可提升真空度,常与螺杆泵或爪式泵组合使用。适用场景:半导体制造、光伏产业、平板显示等对无油污染要求高的领域。优势:抽速范围宽、无油污染、耐腐蚀、能耗低,适用于腐蚀性气体或粉尘颗粒物的抽取。类型选择:案例:半导体制造中,L/L腔(进出样品腔)多采用多级罗茨泵,工艺处理腔则以罗茨+爪式干泵或多级罗茨干泵为主。分子泵涡轮分子泵:工业领域应用广泛,与机械泵联用可提升抽速。磁悬浮分子泵:半导体领域规模较大,无摩擦、寿命长。适用场景:高真空度需求,如半导体制造、真空镀膜、空间模拟实验。优势:通过高速旋转转子将气体分子排出,可获得极高真空度(达10⁻⁹ Pa),且对大多数气体抽取效果好。类型选择:案例:在半导体工艺处理腔中,分子泵常与干泵组合,实现低压下高抽速。低温泵适用场景:超高真空环境,如超导材料研究、低温物理实验。优势:利用低温冷凝原理,可获得极高真空度(达10⁻¹² Pa),且无油污染。限制:结构复杂、成本高,需定期释放和再生,市场规模较小(约占半导体真空泵的10%)。案例:在电...
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2018 - 05 - 30
真空系统的种类有很多,但无论哪一种真空应用设备都有一套排除被抽容器内气体的抽气系统,以便在真空容器内获得所需要的真空条件。举例来说:一个真空处理用的容器,用管道和阀门将它与真空泵连接起来,当真空泵对容器进行抽空时,容器上要有真空测量装置,这就构成了一个最简单的真空抽气系统(如图1)。 如图1所示的最简单的真空系统只能在被抽容器内获得低真空范围内的真空度,当需要获得高真空范围内的真空度时,通常在图1所示的真空系统中串联一个高真空泵。当串联一个高真空泵之后,通常要在高真空泵的入口和出口分别加上阀门,以便高真空泵能单独保持真空。如果所串联的高真空泵是一个油扩散泵,为了防止大量的油蒸气返流进入被抽容器,通常在油扩散泵的入口加一个捕集器——水冷障板(如图2所示)。根据要求,还可以在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软连接管道、真空泵入口放气阀等等,这样就构成了一个较完善的高真空系统。 凡是由两个以上真空泵串联组成的真空系统,通常都把抽低真空的泵叫做它上一级高真空泵的前级泵(或称前置泵),而最高一级的真空泵叫做该真空系统的主泵,即它是最主要的泵,被抽容器中的极限真空度和工作真空度就由主泵确定。被抽容器出口到主泵入口之间的管路称为高真空管路,主泵入口处的阀门称为主阀。通常前级泵又兼作予真空抽气泵。被抽容器到予抽泵之间的管路称为予真空管路,该管路上的阀门称为予真空管道阀。主...
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2018 - 07 - 27
什么是真空吸附?      真空吸附是指把真空泵抽气口经过吸盘、管子等元件与待吸附物体衔接,此刻吸盘相似密闭容器,对吸盘抽真空,形成内部气压由常压变为负压,使用外界大气压和这个负压之间的压差效果,达到吸附住物体的目的。因此在选型真空泵时,有必要挑选真实意义上的微型真空泵,如PK、PC、VCH等系列产品等,一般真空吸附行业常选用旋片真空泵和水环真空泵作为主泵。真空吸附的计算吸附力的理论公式:S 吸盘面积(即F≈0.01×泵的最大负压×吸盘面积)F≈0.01(101-P 绝对压力 )上面的工式中,S吸盘面积:为吸盘有效面积,单位取:cm 2(平方厘米)F:理论吸附力大小,单位:Kgf(公斤力)P绝对压力:为微型真空泵的绝对真空度,单位取:KPa(千帕)从公式可以得知,吸附力的理论大小上与泵的流量没有关系,但是实际使用中与流量参数是相关的。因为气路系统不可能做到理论密封,会有一定的泄漏,在这种情况下,微型真空泵的流量越大,泄漏量所占的比例越小,越有利于泵维持较高的真空度,从而获得更大的吸附力。比如,有2台极限真空度相同的泵,1号泵流量为1L/min,2号泵流量为20L/min,同样在0.1L/min的泄漏情况下,1号泵的真空度会降低很多,因为0.1L/min的泄漏对它而言太大了。但0.1L/min的泄漏对2号...
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2018 - 10 - 10
真空泵的运行前提是正确的安装,若安装不当会存在很多故障导致无法运行,那么水环真空泵每个部位应该如何安装呢?下面来向深圳恒才陈工学习一下泵的安装详细要点。一、安装水环真空泵泵体、机械密封部分将机械密封静环部分安装在泵体上安装机械密封静环部分时可用水将其湿润后用手均匀压入泵体内。注意用力不能过猛!装配后,检查机械密封静环部分与泵体是否装配得紧密。将泵体紧压在电机上,将螺栓拧紧。注意不要损坏机械密封静环部分。将垫圈安装到电机后盖中,然后将泵体、电机前盖、轴承、电机转子、内轴承盖部件安装到电机壳体中,锁紧螺栓。依次安装电机风扇、挡圈、电机护罩、螺钉。安装完成后将泵的电机风扇护罩端朝下垂直于地上,准备安装泵的其它零件。二、安装水环真空泵泵轴、轴承部分1、将泵轴及轴承整体从托架非驱动端装入托架,可以通过敲击轴承外圈使泵泵轴安装到托架中。注意:敲击轴承时应在其端面放置垫块或者套筒工具以防止损坏轴承。2、安装非驱动端轴承盖,锁紧螺栓。安装滚柱轴承的锁紧垫片及锁紧螺母旋紧在轴上,然后将锁紧垫片 的锁耳弯进敲弯进螺母的凹槽内,以防止螺母松开。3、安装垫圈、驱动端轴承盖,锁紧螺栓。用手转动泵轴,泵轴转动应顺畅,若泵轴转动教紧时应稍微松动螺栓,将泵轴调节至转动较为顺畅的状态。4、安装平键,联轴器泵轴部分,联轴器压板,锁紧螺栓。三、安装水环真空泵叶轮1、将叶轮压在轴承上,应保证叶轮和泵体的前端面保留0.05...

光电行业真空发生器之中央真空系统螺杆真空泵应用

作者:
时间: 2021-06-23
浏览: 341

光电行业真空发生器及小型旋片真空泵的节能改造方案,深圳恒才机电中央真空系统螺杆真空泵应用案例。


中央真空系统方案应用之前的状况:

1.惠州某光电公司,原有生产工艺需要用到真空有两个车间,通过真空发生器及小型旋片真空泵获得真空,而使用真空的生产设备有固晶机、分光机、编带机。

2.光电工厂真空发生器及旋片真空泵使用现状为高耗能、车间直接散热现场温度高、生产成本高。


螺杆真空泵系统,中央真空系统应用



深圳恒才中央真空系统应用之后的状况:

1、根据实际需求制定了中央真空系统,采用了阿特拉斯GHS900 VSD+ 螺杆式真空泵替换了旋片真空泵,耗电降低为 15KW*8000=120000KWh。 

2、改造后原有28KW旋片真空泵不再在车间散热,系统排热,降低车间中央空调负荷,总 降负量为6.3KW*8000h=50400KWh(取代45KW空压机+28KW小型真空泵)

3、设备按年运行时间8000小时计算,未改造前584000KWh,改造中央真空系统120000KWh,节能率79%,(实际更小,因为新系统使用了变频技术)


中央真空系统应用优势



深圳恒才机电设备有限公司是通过与阿特拉斯、SPECK、NASH、CNST等国际知名品牌的合作, 为客户提供优质的真空设备和专业的真空系统设计、售后,更多真空泵行业应用、真空机组配套方案、真空系统解决方案等,欢迎致电13928410990


其他案例 / Other case
2026 - 08 - 31
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PCB压机真空系统升级:恒才罗茨水环集中抽真空方案破解能耗与环保难题在PCB(印制电路板)制造行业中,层压压合工序是决定产品良率与性能的核心环节。长久以来,行业内普遍采用“一台压机配一台油旋片泵”的“一对一”分散式真空方案。然而,随着PCB产品向高附加值、高密度方向演进,这种传统模式逐渐暴露出致命缺陷:几十台泵同时运行时,故障概率呈指数级累加,运维人员疲于奔命;油润滑结构不仅导致车间油烟弥漫,更存...
2026 - 08 - 31
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晶圆真空吸附系统升级:恒才水环机组护航与进口替代新路径在半导体制造与电子封装领域,晶圆的搬运、封装与测试对真空吸附系统的稳定性要求近乎苛刻。传统分散式的真空方案不仅能耗高、维护频繁,更致命的是真空度波动极易导致晶圆微移位甚至掉片,造成昂贵的报废损失。针对这一行业痛点,深圳恒才机电设备有限公司凭借成熟的集中式水环真空泵机组系统,为晶圆产线提供了高可靠、低能耗的底层保障,同时也为半导体企业提供了替代日...
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一、 案例背景与行业痛点随着人工智能(AI)与大数据的爆发式增长,数据中心正加速迈向高算力、高密度的新时代。以谷歌TPU集群等为代表的大规模算力中心,单机柜功率不断攀升,传统的风冷技术已逼近物理极限,液冷成为必然趋势。然而,在液冷系统的运行中,核心痛点极其致命:泄漏风险。数据中心内部密布着昂贵的AI芯片、服务器与精密配电设备,任何微小的冷却液泄漏都可能导致设备短路、宕机甚至引发火灾,造成不可估量的...
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广东惠州一家年产1万吨改性PP的造粒厂,之前用12台传统油旋片泵,运行了5年,一直被几个老问题困扰:粒子空心毛刺多,良品率只有86%,每吨粒子只能卖7800元,比行业均价低300元;真空泵每月电费7.2万,一年下来电费就要86万;每月清理泵腔、换泵油、换叶片的维护费就要8000元,一年近10万;去年还因为排气粉尘不达标,被环保部门罚款了6万元,一年下来真空泵相关的隐形成本就超过100万,工厂的利润...
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