单级旋片真空泵只有一工作室。该泵主要由定子、旋片和转子组成。转子偏心安装在泵腔内,转子槽内安装有双个旋转板,由于弹簧弹力,转子槽靠近气缸壁(旋转后旋片的离心力也是如此)。转子和转子把定子腔分成双部分:吸入和排出。
当转子在定子腔内旋转时,进气口的容积逐渐膨胀,吸入气体,排气口的'一'侧的容积逐渐减小,以压缩吸入的气体,并将其从排气门排出。
排气阀浸入油中,以防止空气流入泵中。真空泵油通过油孔和排气阀进入泵腔,使得泵腔内的所有运动表面均由油覆盖,并形成吸入腔与排气腔之间的密封。
为了提高真空泵的真空极限,除了提高泵体、转子和转子的加工精度,最大限度地减小装配间隙和有害空间外,最有效的方法是将双台单级泵串联成一台双级泵。
水泵由双个工作室组成。双个腔室串联在一起,以相同的速度在同一方向旋转。A室是B室的前级,A室是低真空级,B室是高真空级。吸入的气体通过高真空级(室B)进入前级,并通过排气阀从泵中排出。前级(A)和单级泵一型,油随时进入泵腔,而高真空级(B)在工作开始时只有少量油,工作一期后,没有油进入泵腔。当泵开端事情,且吸入气体的压力较高时(例如从大气压力开端抽气),气体经B室收缩,压力急增,则被压缩的气体的一部分直接从辅助排气阀(1)排出,另一部分则经由前级排出。
当真空泵工作一段时候后,B室吸入的气体压力较低时,虽经B室的收缩,压力也达不到一个大气压以上,排不开辅佐排气阀(1),则吸入的气体全数进入前级A室,经A室的继续压缩,由排气阀(3)排出。
真空泵工作一段时间后,由于高真空级进气的压力大大降低,双级泵的出口压力也很小,所以B室的进、出口压差也很小,压缩气体回流的次数也相应减少;同时,前级A室不断将后级泵中的蒸发油分子抽出,降低了油蒸气的分压,使双级泵的油污比单级泵小,极限真空度将大大提高。国前的双级旋片真空泵的极限压力可10-2pa,外洋有的泵可达到10-3Pa。