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2019 - 10 - 18
水环式真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵,它所能获得的极限压力,对于单级泵为 2.66~9.31kPa;对于双级泵为 0.133~0.665kPa。水环泵也可用作压缩机,它属于低压的压缩机,其压力范围为( 1~2)X105Pa表压力(在特定的条件下)。水环泵在石油、化工、机械、矿山、轻工、造纸、动力、冶金、医药和食品等工业及市政与农业等部门的许多工艺过程中,如真空过滤、真空送料、真空脱气、真空蒸发、真空浓缩和真空回潮等,得到了广泛的应用,由于水环泵压缩气体的过程是等温的,故可抽除易燃、易爆的气体,此外还可抽除含尘,含水的气体,因此,水环泵的应用日益增大。  水环泵的工作原理示意图,水环泵是由叶轮、泵体、吸排气盘、水在泵体内壁形成的水环、吸气口、排气口、辅助排气阀等组成的。  叶轮被偏心的安装在泵体中,当叶轮按图示方向旋转时,进入水环泵泵体的水被叶轮抛向四周,由于离心力的作用,水形成了一个与泵腔形状相似的等厚度的封闭的水环。水环的上部内表面恰好与叶轮轮毂相切(如Ⅰ -Ⅰ断面),水环的下部内表面刚好与叶片顶端接触(实际上,叶片在水环内有一定的插入深度)。此时,叶轮轮毂与水环之间形成了一个月牙形空间,而这一空间又被叶轮分成与叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的上部 0°为起点,那么叶轮在旋转前 180°时,小腔的容积逐渐由小变大(即从断面Ⅰ -Ⅰ到Ⅱ -Ⅱ),压强不...
2019 - 10 - 18
真空泵是使用机械,物理,化学或物理化学方法排空泵送容器以获得真空的装置。通常,真空泵是一种使用各种方法来改善,创建和维持封闭空间中的真空的设备。今天我们将讨论真空泵的定子曲线要求。一,适当的两点间距:由于叶片是一个整体解决方案,因此提高了刚度,并且一端的弹性必须构成另一端的相应弹性。因此,无论转子是否转向某个角度。必须确保曲线与转子的两端接触在一起。坚持合理的开放空间。避免出现空隙现象并增加通风。二,叶片没有冲击振荡,超激的:光滑的定子曲线的噪音不能有太大的加速度,加快组装速度会导致旋片某端部增加定子曲线表面的压力,增加磨损和声音。但是,假设径向速度4)在定子曲线上的一个点处发生变化,则该点处的径向加速度将增加。理论上等于无穷大。如果a是无穷大。这时刀片似乎已分离,并且会产生很大的冲击力。它构成了很大的嗡嗡声和严重的磨擦。为了消除这种现象,需要反复润滑定子曲线。三,旋转件的旋转极好:定子曲线点的点与曲线的点的法线之间的夹角为定子曲线的压力角。压力角的增加将增加旋转叶片上的定子力与旋转叶片方向之间的夹角,这将增加旋转叶片的侧向力,增加旋转叶片与转子之间的冲突,并恶化叶片的压力。影响泵的寿命和整体功率。四,抽速大:真空泵不增加泵体规格,尽可能增加旋转叶片泵元件的容积面积,以获得更高的抽速串。新的定子曲线,以及增加的抽速,还应具有现有曲线的速度和加速度特性。现在,真空泵的定子曲线主要由理...
2019 - 10 - 21
塑料行业的客户通常在维护和购买真空泵和其他真空技术设备上花费大量资金。 作为高分子化合物的塑料具有多种处理方法。每种方法都有其优点和缺点,并且更适合于特定的应用。旋片真空泵在塑料生产过程中的应用,希望对大家有所帮助。  根据塑料的固有特性,制造具有一定形状和使用价值的塑料产品是一个复杂而艰巨的过程。在塑料制品的工业生产中,塑料制品的生产系统主要由四个连续的塑料成型,加工,装饰和组装过程组成。  今天,我主要想介绍塑料成型的过程。  在这四个过程中,塑料成型是塑料加工的关键。有三十多种方法形成,主要是将各种形式的塑料(粉末,粒料,溶液或分散液)制成所需形状的制品或坯料。成型方法主要取决于塑料的类型(热塑性或热固性),起始形式以及产品的形状和尺寸。  在塑料生产过程中,热塑性塑料在挤出机中熔化,并在螺杆的挤出部分中脱气。旋片真空泵可以可靠而有效地排出熔体中的气体和蒸汽,从而获得最理想的热塑性产品。具有更高的强度和更好的绝缘性能。在PVC生产过程中,氯乙烯气体在自动高压反应器的压力下聚合形成聚合的PVC。同时,所产生的气体被提取,压缩和液化。  真空吸塑的特殊旋片真空泵开始大量发展并被广泛使用。真空塑料工艺一直在发展,已成为加工包装材料的重要方法之一。  在工业上,旋片真空泵塑料成型工艺无疑是塑料包装容器最常用的成型方法之一。它是由热塑性板材制成的。对于某些发达国家,真空成型是一种古老的...
2019 - 10 - 21
在2BV水环真空泵的工作过程中,气体的过程是等温的,因此在压缩和提取易燃易爆气体时,不易爆炸,因此得到了更广泛的应用。  那么,在使用过程中,水环真空泵压力不足,该怎么办?  1,2BV水环真空泵未充满水或排气不正确:  解决方案:检查真空泵的外壳和入口管路中是否都充满液体。  2,速度太低:  解决方案:检查电动机接线是否正确,电压是否正常或涡轮压力是否正常。  3,系统磁头过高:  解决方案:检查系统的头部(特别是摩擦损失)。  4,2BV水环真空泵吸程过高:  解决方案:检查现有网头(进水管太小或太长会导致较大的摩擦损失)。  5,叶轮或管道被阻塞:  解决方案:检查障碍物。  6,旋转方向错误:  解决方案:检查旋转方向。  7,空气或入口管线中有泄漏:  解决方案:检查进气管路中是否有气穴和/或漏气。  8,2BV水环真空泵填料函中的填料或密封件已磨损,空气泄漏到真空泵壳体中:  解决方案:检查填料或密封件,并根据需要更换以检查润滑是否正常。  9,泵送热或挥发性液体时吸头不足:  解决方案:请咨询制造商以增加吸头。  10,2BV水环真空泵底阀太小:  解决方案:安装正确尺寸的底阀。  11,底部阀门或入口管未深浸:  解决方案:向制造商咨询正确的浸入深度,并使用挡板消除涡流。  12,2BV水环真空泵叶轮间隙过大:  解决方案:检查间隙是否正确。  13,叶轮损坏: ...
2019 - 10 - 21
水环真空泵是具有强耐腐蚀性,高极限真空和大排量的新一代产品。它广泛用于食品,石油,化工,制药,冶金工业和电子领域。  故障1,盘车困难  盘车困难是水环真空泵经常发生的故障之一,但是盘车困难的主要原因是水环真空泵在出厂后很长时间没有进入工作状态,从而导致水环真空泵端面的出现。生锈的现象。当难以驱动时,通常可以将草酸浸入水环真空泵腔中进行浸入。如果在使用状态下难以驾驶,除了使用草酸浸泡外,还必须清洁水环真空泵的水温和水垢。  故障2,启动声音异常  长时间使用水环真空泵后,启动声音会发出异常声音。发生此类故障时,应首先检查电源电压和电线连接。如果未发现异常,则可以使用水环真空泵。打开盖子以去除杂质。如果发现水环真空泵有生锈现象,则必须添加除锈剂。此外,如果工作流体过多,则启动声音可能会异常,并且可能会排放适量的工作流体。  故障3,水环型真空泵温度过高  对于水环真空泵,如果温度太高,或者原因是工作流体入口温度太高或工作流体供应量太小,首先必须降低工作流体温度或提高工作流体温度。工作流体供应。另外,如果吸入温度过高,则水环真空泵的温度会过高,可以通过在水环真空泵的入口处冷凝可冷凝气体来解决。  故障四,电机温度过热  当电动机温度过热时,水环真空泵需要检查电动机缺相,行气管,叶轮和其他组件。另外,供水不足会导致电机过载温度过高。供水应恢复到正常范围。在正常操作下,水环真空泵发生故障的...
2019 - 10 - 21
水环真空泵机组的工作原理是什么  防腐蚀型水环真空装置由真空泵(也称为机械增压泵)作为主泵(包括中间泵)组成,而水环泵是以前的泵自称机组。该产品具有很高的极限真空度(一级)。 极限真空度高达150Pa,级别极限真空度高达25Pa,3级极限真空度高达1Pa)。  当然,工业泵还可以定制非标准多级成套设备,以适应更高的应用领域,并具有防腐蚀和防腐蚀选项。  水环真空装置可用于泵送没有固体颗粒的空气,腐蚀性气体,也可用于真空输送各种悬浮或结晶的有机或无机酸(次氯酸和氢氟酸除外)。在密闭容器中获得更高的真空度。  真空机组可以完成真空机组的操作,并在化学酸性条件下完成有机溶剂的回收功能,从而提高经济效益并减少环境和水污染。  电触点真空台——根据不同的真空度实现自动开合,有效地保护了被点击的电器,提高了工作效率。  气液分离器——具有气相冷凝和液相冷却两者,以防止工件的二次蒸发,降低真空度,并确保真空系统的真空度稳定。  工作流体——可以与水一起使用,并且回收溶剂也可以用于在密闭条件下操作整个系统,并且可以有效地回收有机溶剂。  为了减少环境污染,机器,水环泵,泵,分离器,冷凝器,管件和其他配件均由防腐材料制成。  广泛用于化工生产,真空蒸馏,提纯,干燥等机组作业。  水环真空泵什么情况下要加附属配件设备  耐腐蚀水环真空泵结合了诸如耐腐蚀材料和高真空的技术。定制设计的多级水环真空单元,具...
2019 - 10 - 21
水环真空泵怎么选  耐腐蚀水环式真空泵,集耐腐蚀材料、高真空等技术于一体,产品具有耐腐蚀性能强、极限真空度高、排气量大等特点。  对于水环真空泵来说,要保证其稳定运行,就是为了效率以及稳定性,如果在极限真空度附近及大排气压力附近运行,真空泵的效率极低,而且工作很不稳定,易产生振动和噪音。而且水环真空泵还容易发生汽蚀现象,导致泵体、叶轮等零件的损坏,甚至无法工作。  在有基本的参数后,选泵过程中:  如果泵所需的真空度或排气压力不高时,可优先选择单级泵;  如果真空度或排气压力较高,单级泵往往不能满足,或者要求泵在较高真空度情况下仍有较大的抽气量、稳定的抽气性能,可选用双级泵;  如果真空度要求在-710mmHg以上,可选用气体喷射器+水环泵机组作为抽真空装置,以提高设备在低压下的抽速,同时避免水环真空泵发生气蚀现象。  另外如果只作真空泵用,则选用单作用泵比较好,构造简单,易维护,且在较高真空情况下抗汽蚀性好;  如果还可能作为较压缩机使用,则选用双作用的泵比较合适。双作用泵的气量大,体积小,径向力能自动平衡,轴不容易产生疲劳断裂,泵的使用寿命也较长。  水环式真空泵困油了怎么办?  水环式真空泵有着众多的优良特点,不用油工作、对环境无污染等特点使其在各行各业都有着极其广泛的应用。  水环式真空泵在使用的过程中,有时候会出现困油的问题,遇上这样的问题我们应该怎么解决?  水环真空泵...
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2019 - 03 - 18
真空技术对我们的普通生活究竟有多大影响?开始今天的课堂前让小编带您快速回顾下真空技术的发展史1643年,意大利物理学家托里拆利发现,真空和自然空间有大气和大气压力存在。1650年,德国的奥托·冯·格里克制成活塞真空泵。1850年和1865年,先后发明了汞柱真空泵和汞滴真空泵。20世纪初,真空电子管出现,促使真空技术向高真空发展。1940年以后,真空应用扩大到核研究、真空冶金镀膜和冷冻干燥等方面,真空技术开始成为一个独立的学科。真空技术距离我们的现代生活有多远?今天小编就带您三分钟走进我们生活中真空技术。 07:00早晨,相信大部分人醒来做的第一件事就是摸手机(有木有被小编说中)。手机中存有上千个半导体元件,这些半导体元器件的制造都离不开真空泵的技术。 07:30准备早饭。电水壶,烤面包机,微波炉,这些小家电的背后都有真空技术的默默贡献。 08:00带上智能手表穿戴设备,揣上车钥匙出门。穿戴设备内含大量半导体元器件。不夸张的说,没有真空的世界,电子产品就不不存在。 08:10开车前往公司。汽车中仪表盘,挡风玻璃,LED 车灯,甚至汽车尾气处理,都有真空技术的影子。 09:00到达公司办公室,办公室内几乎所有的交易都是依赖电子设备,亦离不开真空技术的贡献。 例如PC,电话,投影仪,移动储存设备,空调设备。 ...
2018 - 07 - 20
真空烘箱是将干燥物料处于负压条件下进行干燥的一种箱体式干燥设备。仪器专为干燥热敏性、易分解和易氧化物质而设计,能够向内部充入惰性气体,特别是一些成分复杂的物品也能进行快速干燥。其原理是物料内水分 在负压状态下溶点沸点都随着真空度的提高而降低,同时辅以真空泵间隙抽湿降低水汽含量,使得物料内水等溶液获得足够的动能脱离物料表面。真空干燥由于处于负压状态下隔绝空气使得部分在干燥过程中容易氧化等化学变化的物料更好的保持原有的特性,也可以通过注入惰性气体后抽真空的方式更好的保护物料。常见的真空干燥设备有:真空干燥箱,连续真空干燥设备等。仪器具有干燥物品速度快、污染小、不对被干燥物品的内在质量造成破坏的优点。目前,被广泛用于医药、食品、轻工、化工、电子等行业用作干燥之用。真空干燥的过程就是将干燥物料置放在密闭的干燥室内,用真空系统抽真空的同时对被干燥物料不断加热,使物料内部的水分通过压力差或浓度扩散差到表面,水分子在物料表面获得足够的动能,在克服分子间的相互吸引力后,逃逸到真空室的低压空间,从而被真空泵抽走的过程。   在真空干燥过程中,干燥室内的压力始终低于大气压力,气体分子数少,密度低,含氧量低,因而能干燥容易氧化变质的物料、易燃易爆的危险品等。对药品、食品和生物制品能起到一定的消毒灭菌作用,可以减少物料染菌的机会或者抑制某些细菌的生长。    因为水在汽化过程中其温度与蒸汽压是成...
2018 - 09 - 20
真空泵选型有哪些知识点参数呢?下面我们一起来学习了解一下吧。1、真空泵的抽气速率:真空泵的抽气速率单位是m³/h、l/min或l/s,是指泵装有规范尝试罩,并按规程条件作业时,从尝试罩流过的气体流量与在尝试罩指定地位测得的失调压强之比。简称泵的抽速。2、真空泵的极限压强:泵的极限压强单位是Pa,是指泵在出口处装有规范尝试罩并按规程条件作业,在不引入气体畸形作业的状况下,趋势稳固的最工业气压强。3、真空泵的蒸气容许量:蒸气的容许量单位是kg/h,它是指泵在畸形条件条件下,气镇泵在陆续作业时能抽除的蒸气品质流量。4、真空泵的抽速系数:泵的理论抽速与泵出口处按分子泻流划算的实践抽速之比。5、真空泵的返流率:泵的返流率单位是g/cm2.s。它是指泵按规程条件作业时,经过泵出口单位面积的泵流品质流率。
2018 - 11 - 30
医疗负压吸引系统是恒才机电设备有限公司的环保真空设备机组,它投入使用为临床提供了安全保障,提高了医疗部门的管理效率,也为医院在服务中减少成本的投入。那在使用过程中会偶尔遇见一些问题,那如何去解决呢?今天,恒才机电分析医疗负压吸引系统问题的三个重点。1.负压吸引系统出现压力不足的问题。一般压力不足的原因①吸引管道出现长时间腐蚀导致漏气②吸引终端长时间插拔出现漏气解决办法:定期打扫管道周边卫生,保持干燥环境。更换吸引瓶或更换吸引瓶端口的橡胶垫等。2.负压吸引系统出现漏水情况。一般水泵漏水原因①铸件有砂眼②粘合胶老化③金属老化出现裂纹④水质问题解决办法:应及时更换零部件、进行重新粘合、封堵砂眼、进行拆卸清除水垢。 3.应对医用中心负压吸引出现的问题时应制定应急处理措施。如遇到一些机器故障不能够及时排除时,第一时间给厂家售后联系,及时沟通确保负压设备的安全运行。名操作人员,通过电话、微信等通讯手段处理简单故障。机械情急状况,公司会立刻派工程师携带备件直接上门服务。 最后重点提醒,负压吸引系统要一备一用,医疗行业一定要确保安全运行,机械设备要有备用,加强医院医用中心负压系统建设和管理,一方面为临床救治安全提供了保障;另一方面,系统的稳定运行,一般都要做到一备一用,或者一用多备。
2019 - 03 - 27
磁力泵(热煤油泵)接纳自热散热布局,转变了传统的水冷却布局,使布局俭朴,体积小,节省运行用度,性能好,利用可靠,是我国消化吸取外洋油泵的底子上研制的第二代产物,泵的入口为轴向吸入,出口为中间垂直向上,和电机同装于底座上。 导热油泵选型依据,应凭据工艺流程,给排水要求,从五个方面加以思量,既液体运送量、装置扬程、液体性子、管路部署以及操纵运转条件等。 一、高温磁力泵的扬程,装置体系所需的扬程是选泵的又一重要性能数据,通常要用放大5%-10%余量后的扬程来选型。 二、高温磁力泵的液体特性,液体特性,主要指液体介质名称,物理特性,化学特性和其他特性,物理特性有温度c密度d,粘度u,介质中固体颗粒直径和睦体的含量等,这涉及到体系的扬程,有用气蚀余量盘算和符合泵的范例:化学特性,重要指液体介质的化学腐化性和毒性,是选用高温导热油泵质料和选用那一种轴封型式的重要依据。三、高温磁力泵的流量,流量是选导热油泵的重要性能数据之一,它直接影响到整个装置的的生产本领和运送本领。如计划院工艺计划中能算出泵正常、最小、最大三种流量。选择泵时,以最大流量为依据,分身正常流量,在没有最大流量时,通常可取正常流量的1.1倍作为最大流量。 四、高温磁力泵的操纵条件,操纵条件的内容许多,如液体的操纵T饱和蒸汽力P、吸入侧压力PS(绝对)、排挤侧容器压力PZ、海拔高度、情况温度操纵是间隙...
2019 - 06 - 18
随着抽气真空泵的使用范围越来越宽广,客户需要选型这一块的知识也迫切需求工业上跟据不同情况下的压力规模和不同工业使用上的需求,运用的真空泵类型参数也不一样,那么,真空泵选型的参数到底有哪些呢?深圳恒才张工总结了10点重要参数,跟着一起来看一下吧! 1、真空泵的蒸汽允许量,蒸汽的允许量单位是kg/h,它是指泵在畸型标淮标淮下,气镇泵在相继作业时能抽除的蒸汽品质流量。2、真空泵抽真空效率,泵的抽真空速率单位是m3/s或l/s,泵装有标准实验罩并按照规定标淮工作时,从实验罩流过的气体压力与在实验验罩上指定位置侧得的平衡工作压力之比,简称真空泵抽速,单位为m3/a或L/s.3、真空泵抽气量,流过泵入口的气体流里.单位为Pa.m3/s或Pa.L/s,4、真空泵极限工作压力,泵装有标准实验罩并按照规定标淮工作时,在不引入气体正常工作的情形下,趋向稳定的最低工作压力,在不引入气体畸型作业的情况下,趋势稳固的   工业气压强,压强单位是Pa ,5、真空泵启动工作压力,真空泵无损坏启动并有抽真空作用时的工作压力,Pa,6、真空泵前级工作压力,排气工作压力低于一个大气压力的真空泵的出口工作压力.单位为Pa,7、真空泵最大前级工作压力,.超过此值泵将不能正常工作的工作压力称最大前级工作压力,单位为Pa,8、真空泵最大工作压力,对应最大抽真空且的入口工作压力.此工作压...
2019 - 07 - 04
如何为旋片式真空泵选择真空泵油我们都知道真空泵油在旋片式真空泵中起着重要作用,尤其是2X旋片真空泵,其性能与真空泵油密切相关,尤其是真空泵的极限真空压力。和服务生活。真空泵油不仅用作获得真空的介质,还用于润滑,冷却和密封真空泵的摩擦点。真空泵油的主要性能要求如下:蒸气压非常低;这是真空泵由于旋转叶片真空泵所需的高真空,油的最重要的性能通常基于石蜡基窄馏分润滑剂。 良好的热氧化稳定性;真空泵不断发展到高速。由于滑块和泵体之间的高速摩擦,油温升高,油很容易被氧化和分解,特别是扩散泵经常处于非常高温的环境中,系统中的蒸汽压力增加,真空度降低。因此,要求真空泵油具有良好的热氧化稳定性。 适当的粘度和良好的粘度 - 温度特性:真空泵室的内部容积不断变化以形成排气作用,并且润滑油应具有合适的粘度和粘度 - 温度特性。旋片式真空泵空气脱水油干燥时,排气阀法上方有一个吹气操作(压缩)空气。使用干煤空气从存在于排气管中的细雾状油乳液中除去水是非常有效的。该方形法特别适用于压力低于5 Torr的小型单级泵中的除水,因为该侧法与气镇法不同,并且不会影响泵的入口压力。在低于5托的工作压力下,使用的空气约为泵排气的5%,并且可以随着工作压力的降低而降低。泵的工作温度越高,干燥空气越干燥,空气越热,油净化程度越高。对于双级泵,这不是法的情况。
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真空泵在半导体行业中使用一定不可忽视安全问题?

日期: 2018-08-23
来源:
浏览次数: 68

    深圳恒才真空泵以清洁无污染,而且拥有较宽的抽速范围以及良好的节能、稳定、易维护等优势广泛应用于半导体行业,今天张工来给大家普及一下真空泵在半导体生业使用中不可忽视的安全问题。

    半导体工艺真空主要用在蒸发,溅射,PECVD,真空干法刻蚀, 真空吸附,测试设备,真空清扫等等键合工序,半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有毒的物质气体,会对生产及人员安全造成威胁,因此,半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项:

真空泵在半导体行业中使用一定不可忽视安全问题?

 

1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道,避免超压:

半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,如SiH4与O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解会形成HCl;假设是油封式机械泵,这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质,就可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,第一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗,并在必要的时候设置过滤设备;

2、有效稀释有害气体的浓度:

半导体易产生前面所说的易燃易爆、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质,在与空气或氧接触的时候,会引起燃烧甚至爆炸;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围;

3、注意氧气的浓度:

空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及爆炸风险。所以一些情况下需注意氧的浓度,采用惰性气体来稀释,防止浓度过高;假设是油封机械泵可能还需要采用一些惰性的与氧相容的真空泵油,并及时更换油滤和油品:

4、防止温度过高:

比较容易理解这点,半导体在真空泵的应用中,有害气体比较多,而无论是干式真空泵还是油封机械泵,泵腔内温度过高,高温下易燃易爆及有毒气体就会容易发生危险;

以上几个方面就是半导体真空泵应用中最主要的几个安全事项,一定不可忽视,张工说小问题对运转、产量、效率和安全都有联系,我们应该延长真空泵的使用寿命,努力协调平衡,保证效率与安全。

 


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罗茨水环真空机组是以罗茨泵为主泵,以水环泵为前级泵串联而成的。罗茨水环真空机组选用水环泵作为前级泵比其它真空泵更为有利,它克服了单台水环泵使用时极限压力差,在一定压力下抽气速率低的缺点,同时保留了罗茨泵能迅速工作,有较大抽气速率的优点。尤其能够适应抽除大量的可凝性蒸汽,特别是当气镇油封机械真空泵排除可凝性蒸汽能力不够,或使用的溶剂能使泵油恶化而影响性能,或者是真空系统不允许油污染的时候更为明显。当配有防爆电机及电器时并遵守相应的安全规则下,还可抽除易燃易爆的气体。因此罗茨泵-水环泵机组广泛地用于化工行业中的真空蒸馏、真空蒸发、脱水结晶;食品行业中的冷冻干燥;医药工业的真空干燥;轻纺工业的涤纶切片;高空模拟试验等的抽真空系统中
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