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2022 - 01 - 24
爪式真空泵的出现及发展推动了真空泵技术的发展。相比于其他真空泵,无油真空泵设备在某些特定工业条件下更加适用,随着科技发展和真空泵要求的提高,能达到未来工业生产要求的真空设备越来越少,因此发展高性能的真空设备成为目前研究的重点和热点。目前厂商制造的真空泵多用润滑油实现减小摩擦,该方法很容易污染真空系统,尽管添加过滤装置可解决该问题,但这样就造成了真空泵制造成本的增加和后期维护的难度,这样也会导致真空泵的结构复杂,故障率升高,而且泵腔内环境被污染的问题并未得到妥善解决。爪型真空泵研制出来的时间比无油真空泵晚,无油真空泵由于无需油作为工作介质,而得到多个行业应用,但爪型真空泵的出现替代了一部分真空泵市场,爪型真空泵同样无需油或水作为工作液,干式运行,且结构简单、运行平稳、可靠性高、后期维护简单和清洁度高等一系列优点,让爪型真空泵成为了目前发展的热点方向。深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,是深圳真空泵生产厂家之一,恒才机电拥有技术团队研发生产真空泵产品,所研发的真空泵(水环真空泵、罗茨真空泵、旋片真空泵、螺杆真空泵)、真空系统、真空机组等产品广泛应用于食品、制药、医疗、化工、家居、电子电池、水环境等行业,并为客户量身定制行业应用解决方案,更多真空泵方案,欢迎咨询。
2022 - 03 - 11
任何用户都希望自己购买的罗茨真空泵机组具有非常好且稳定的工作效率,要达到这一效果,就必须选择和使用质量好的机组,以在很大程度上保证设备令人满意的工作效率。但此外,还有一些因素会影响罗茨真空泵机组的工作效率,因此我们需要对此方面采取预防措施。那么目前哪些因素会影响其工作效率呢?  1.蒸汽压力由于低蒸汽压力和压力波动对罗茨真空泵机组的容量有很大影响,蒸汽压力不应低于所需的工作压力,但所用真空泵的结构设计已经确定,水环真空泵即使蒸汽压力过高,吸入容量和真空度也不会增加。此外,为了保证锅炉提供的蒸汽压力的稳定性,建议使用专用锅炉向蒸汽喷射泵提供工作蒸汽。确保真空泵机组性能稳定,防止蒸汽压力变化。  2.循环冷却水供应不足,冷凝器会发热,气流声会变大,真空度会迅速下降,甚至蒸汽会返回抽气管。冷凝液在多级罗茨真空泵机组中起着重要的作用,可以大量冷凝蒸汽。真空泵机组排放压力中的蒸汽分压必须高于其对应的全蒸汽压力,因此冷凝液温度应低于该压力下的旋片真空泵全温度,以保证泵体的正常运行。  3.喷嘴是影响罗茨真空泵机组性能的重要部件。存在喷嘴误差、安装变形、堵塞、损坏、腐蚀和泄漏等问题。  罗茨真空泵在行业中应用广泛,罗茨泵的工作原理、性能特点与凸轮泵基本相同,主要差异在于其转子为罗茨型。罗茨真空泵主要是在泵中反转的两个转子,被一对同步齿轮带动,罗茨真空泵的转子在泵中啮合,但有间隙。  1、罗茨真空...
2022 - 04 - 27
罗茨真空泵真空度下降的处理 1罗茨泵内油路堵塞或不畅,泵腔内没有保留一定量的油。解决办法是检查罗茨真空泵的油路是否畅通,并添加同类型的真空泵油。2.罗茨真空泵轴封蒸汽供应中断。压盖压力调节气体失效。进入腺体系统的水等。而压盖系统的水应适当处理,严重时应制动。3.冷凝器水位高。这通常是因为凝结水泵运行异常或泵出现故障。此时,应启动备用泵,并停止故障泵进行维护。如果冷凝液的硬度水环真空泵很高,可以判断是冷凝器铜管泄漏造成的。此外,凝结水和循环操作不当也是此次故障的原因。4.空荡荡的系统并不紧张。该确认方法可使用蜡烛或专用检漏器来检测负压管道、阀门和冷凝器本体,并在发现泄漏点时及时消除。5.循环的水温太高了。循环水用于冷却罗茨真空泵的工作水。循环水的高温经常导致真空泵的泵送能力和效率降低。 如果罗茨真空泵的冷却水长时间留在泵体内,泵体内的部件将会损坏旋片真空泵,不仅密封性能会受到影响。如果泵长时间存放在露天或温度较低的地方,泵内的冷却水会冻结和膨胀,这很可能导致泵体膨胀和破裂,从而损坏设备。因此,在任何情况下,只要是一个长期不运作的罗茨真空泵,就必须这样做。这是泵维护的一个方面。只有这样,设备才能随时使用,用户才能免受损失。只要记住这一点,就不会对泵造成损坏。深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、印刷行业、镀膜、橡塑成型、PET片材挤...
2022 - 05 - 27
新购买的旋片真空泵在使用前必须充分理解旋片真空泵的详细情况。不正确的操作方法,包括系统的连接、安装方法、启动、操作和其他注意事项,容易损坏真空泵。 旋片真空泵极限压力怎么测?1.旋片真空泵的极限压力测定,旋片真空泵的极限压力请使用压缩真空计直接在泵的吸入口测量。第一次使用泵后,长时间使用后,使用新的油后,关闭吸气口至少1小时后,旋片真空泵达到工作温度和泵,将油完全脱气,测量极限压力。 2.旋片真空泵的电气配线,水环真空泵旋片真空泵的电线必须由专业电工执行,使用适当的电机过载保护。单相220V50HZ真空泵必须确保电压在220V10%的范围内。电压低于220V时,必须安装交流电源调节器。请勿在低压和高压下长时间工作,以免电机损坏。旋片真空泵的三相异步电动机接线结束后,必须检查电动机的旋转。电动机的正确旋转方向是电动机轴的旋转方向从电动机的风扇侧逆时针旋转的方向。3.旋片真空泵的系统连接,旋片真空泵的吸气旋片真空泵管请切断为吸入口的尺寸以上尽可能短的尺寸,螺纹接头请采用真空密封。如果泵送的气体中含有灰尘,必须在泵的入口端安装灰尘过滤器。旋片真空泵是容积泵,通过旋转式在泵室连续运转,吸入气体进行压缩,最后从排气口排出。泵主要由定子、转子、旋转板等构成,转子偏心地组装在定子室中。转子槽有两张转子,转子之间放有转子弹簧。定子的供排气口被转子和座椅分离成两部分。转子在定子腔...
2022 - 06 - 27
目前的研究结果表明,阀芯式真空泵的主要振动是由泵阀体运动系统产生的不平衡惯性力引起的。目前,有几种解决不平衡惯性力的方法。一,使用动态平衡。通常,先进行分析和计算,然后再添加游丝摆轮,再在滑轮上添加重量和游丝摆轮,由此可以均衡地减小偏心轮和卷轴的惯性力。实罗茨真空泵践证明,这是一种有效的阻尼方法。二,也可以安装和安装机械减振装置。当然,该装置主要用于具有大吸引速度的高速泵和泵,例如使用泵基座安装防振橡胶。三、泵结构调整,实际类型可用于设计型、卧室和其他类型的泵。在实际应用中,水平结构具有紧凑、重心低的特点,有利于振动和噪音的减少。四、使用各种气缸的组合结构,当然气缸数量合理,配置应考虑到实际使用。深圳恒才机电设备有限公司是一家集生产,销售,售后服务为一体的销售性企业。公司主导产品有:水环真空泵,旋片真空泵,螺杆真空泵,罗茨真空泵,离心泵,高温油泵。公司通过与阿特拉斯、SPECK、NASH、CNST等真空泵品牌合作。为客户提供多种真空设备和真空系统的设计、工程、售后等服务。
2022 - 07 - 27
锂电池抽真空为什么不再选用旋片真空泵?爪式泵罗茨泵真空系统方案应用优势:1、其真空系统方案代替其他品牌300M3/h油旋片泵,更高效的锂电含电解液抽真空,其他品牌真空泵系统只能带3台锂电封装机,且维修概率较高2、阿特拉斯DZS150爪泵与ZRS500组合干泵系统可以带5台锂电封装机3、从设备价格对比,比250M3/h干式螺杆泵更划算4、爪式泵与罗茨泵机组非常适合锂电或其它含杂质蒸气等真空应用5、外配深圳恒才特制的真空除酸除雾罐DZS150爪式泵与ZRS500罗茨两泵组合机组,代替了油旋片真空泵使用,高效率,更节能,寿命长!深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,通过从设计选型安装调试维保等一站式服务, 为客户解决真空泵应用、真空工艺改善问题,恒才机电通过与阿特拉斯、SPECK、NASH、CNST等国际知名品牌的合作,提供优质的真空泵、真空泵机组、真空泵系统方案等。
2022 - 09 - 07
通俗的讲就是:物体所受到的压强越大越难以汽化或升华,反之就越容易被汽化或升华。这里的难易就是指的是温度高低。实际应用高压锅煮饭,高压加氢反应,真空浓缩,真空干燥等都是利用沸点和压强的关系的应用实例。  真空概念:真空相对于1标准大气压而言,低于1标准大气压的叫做真空,它是相对于1标准大气压而言低多少的数值。通常我们习惯叫做真空度-0.098MPa是错误的,正确叫法是真空度0.098MPa,表压-0.098MPa。  绝对压力,体系压力相对于完全真空的压力。与真空的关系是绝压=1atm-真空度。  真空是如何产生的?  由制造真空的设备不断的将容器或设备内的气体抽出,使得容器或设备内部气体越来越稀薄,造成真空。当容器或设备内部有液体被汽化是,真空度、汽化速度和加热速度是一组动态的平衡关系,相互制约,相辅相成。    真空泵保养维护注意事项  真空度在空抽容器或设备内部低,处理程序。①检查所有的放空口都关闭好,所有阀门都已关好。②检查所有密封口的密封情况, ③检查水温是否过高或冷却水是否开启 ④检查滑阀泵润滑油是否清洁,油位是否正常。检查设备是否需要进行维护和保养。  容器或设备内部有物料,真空度越来越低。①检查放空口阀门是否完全关闭。②检查密封面是否密封好。③水温或润滑油变得很脏。④汽化量过大,导致真空度下降。有其它的系统在使用这个系统的真空。  冬天气温低于5℃时,需要安排将不使用...
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2019 - 11 - 18
一些用户在使用2BV水环真空泵时会遇到排气爆破的情况。这种现象对设备的操作有非常不好的影响,甚至可能损坏设备本身。因此,当出现此类问题时,应及时进行相关检查,并采取相应的预防措施,以防止问题再次发生。那么,如何防止水环真空泵设备爆鸣?  一、洗涤和缓冲  在设备前增加一个水洗和缓冲罐可以有效地消除吸入的残留液体,对混合空气也有一定的冷却作用。但是,在实际工作中,经常会出现以下两种现象:首先,当储罐中的残留液体量少时,少量的液体会被吸入泵体中,并且材料会在高温下碳化。其次,当残留液体量很大时,如果不及时排出,2BV水环真空泵很可能会吸入液体并产生冲洗泵,从而导致大的设备事故。因此,工人在生产过程中需要有强烈的责任心,并及时排出残留的液体,以免发生事故。  二、废气控制  防止2BV水环真空泵爆鸣,加强废气控制是一项非常重要的安全技术措施。从真空泵排出的废气主要是含有大量甲醇蒸气的混合气体。根据醉酒罐的理化特性和工作习惯,在缓冲罐之前,首先安装一套或几套冷凝装置(通常使用约-10°C的冰盐水)冷凝混合气体;其次,在总排气装置010中,在141455上还安装了一个冷凝单元以冷凝废气,从而将废气中的甲醇蒸气浓度降低到爆鸣下限以下,并保护环境。但是,在冷凝过程中,应适当控制冷凝水的流量。如果流量太小,凝结效果可能会很差。如果流量太大,可能由于过度冷凝而堵塞管道,从而影响真空效果。 ...
2019 - 11 - 19
水环真空泵应在正常使用之前进行泵送。仅可使用泵使机器正常工作。使用时,必须在开始泵操作之前掌握某些技能。顺滑顺畅,这里简要介绍水环真空泵正确的开泵操作。。  一、准备水环真空泵  1、确认已安装泵入口处的压力表和出口分离器上的压力表。使用真空计和压力计,并在蒸汽分离器上应用气动自动补水以及排水阀和液位计。关闭蒸汽分离器底部的排气阀;请与电工和钳工联系,以确保电动机的转向与泵的转向一致。确认工具(扳手,听诊,抹布,油壶)是否齐全,并确认泵已正确接地并确认。泵的泵固定螺栓没有松动,并且使用冷却器的循环冷却水来确认平稳的回流。慢慢打开泵的出口阀以打开1/3阀的位置,转动汽车,检查法兰是否泄漏。  2、机组注水该泵属于密闭型循环系统。系统的补充水通过蒸汽分离器的水重新注入泵体内。打开泵后,打开蒸汽分离器注水阀以填充泵体。当泵底部看到三个排放塞中的水后,拧上排放塞并关闭蒸汽分离器注水阀以停止填充泵体,使泵中的水刚好在排放塞上方。  二、水环真空泵运行  1、关闭气管道路上的阀门,打开供水闸阀,并向水环真空泵供水。当自动排水阀中的液体流出时,关闭入口闸阀并打开电动机。  2、打开进气门。  3、当自动排水阀没有水流出时,启动电动机,然后水环真空泵运行。同时,打开供水闸阀,使进水真空压力表的指针接近0Mpa(表压为无真空)。当水环真空泵的吸入绝对压力下降时,指针会移至负值(读数介于0到-0.00...
2019 - 11 - 21
旋片真空泵(称为旋片真空泵)是油封的机械真空泵。它的工作压力范围是101325〜1.33 × 10-2(Pa)是一种低真空泵。它可以单独使用,也可以用作其他高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛用于冶金,机械,军事,电子,化工,轻工,石油和医药的生产和科研部门。  旋片真空泵可以去除密封容器中的干燥气体,如果安装了气镇装置,则可以去除一定量的可冷凝气体。但是,它不适用于去除氧气含量过高,对金属有腐蚀性,对泵油具有化学反应性并且含有粉尘的气体。  旋片真空泵是真空技术中最基本的真空采集设备之一。旋片真空泵主要是中小型泵。旋片真空泵有单级和双级两种。所谓两级是指串联连接两个单级泵。通常,将其分为两个阶段以获得更高的真空度。旋片真空泵的抽速与入口压力之间的关系如下:在入口压力为1333 Pa,1.33 Pa和1.33 × 10-1(Pa)时,抽速值不得较低超过泵的额定抽速的95%,50%和20%。  旋片真空泵主要由泵体,转子,旋片,端盖,弹簧等组成。转子偏心地安装在旋片真空泵的腔体中,转子的外圆周与泵室的内表面相切(两者之间有很小的间隙),并且两个转子叶片安装在转子中插槽。旋转时,旋片的顶端通过离心力和弹簧的拉力保持与泵室的内壁接触,转子的旋转带动旋片沿泵的内壁滑动泵室。  如图所示,两个旋片将转子,泵室和两个端盖围成的月牙形空间分成三个部分A,B和C。当转子沿箭头...
2019 - 11 - 23
泵分有很多种。在不适用的地方,为了节省成本,使用错误的泵,会产生相反的效果,花费更多的成本。今天带来了生产高温水泵的原因和优势。  在石油,化工,制药,电子等许多领域,越来越多的制造商要求其所输送的介质具有无泄漏的处理环境。迫切需要为高温水泵生产选择理想的泵类型,新技术和新材料。新技术成功解决了高温水泵隔离套和叶轮损坏的技术问题,性能得到进一步提高。  高温水泵在生活中的主要功能是用于输送高温热水的介质输送工具。这里提到的高温介质是具有50℃或更高温度的介质。那么,能够处理这些介质的高温泵的优点是什么?  高温水泵的优势主要体现在水泵的细节上。  第一是高温水泵的动力源为全铜电机,稳定可靠的铜电机使水泵稳定运行,水泵也能达到该参数给定的扬程。  第二是高温水泵的点电缆。该电缆是国家标准等级的点电缆。它具有优异的耐油性,耐水性,耐磨性,耐老化性,耐酸碱性,耐腐蚀性和不燃性。性能,使泵的寿命增加,同时又确保了水的安全性。  第三是进口的轴承。该轴承及其对等物可以减少轴承损耗,使用寿命也很长,而且非常耐磨。  第四是高温水泵的流路叶轮。整个叶轮的抗堵塞性能特别好!这对于泵送包含大颗粒和长纤维的介质非常有益。而且不会有干扰。  第五是高温水泵机械密封的O形圈。该盘管的主要材料由氟橡胶制成,可以确保泵在120°C内正常运行。  高温水泵解决了许多制造商的需求。随着当前技术的成熟和技...
2019 - 11 - 27
在许多屠宰场(例如牛和猪),旋片真空泵用于清除碎屑并清除脂肪和其他无用的零件。在该过程中中,旋片真空泵像真空吸尘器一样在低真空下连续运行,将脂肪,碎屑或目标产品回收到容器中。有时同时使用真空和蒸汽可减少细菌的量(蒸汽可大量杀死细菌)。骨髓去除系统也使用真空。疯牛病危机后屠宰场采取了一项新措施,即在动物分裂之前需要去除骨髓,以预防和消除1岁以上牲畜的疯牛病。旋片真空泵的制造商打算介绍在屠宰场中旋片真空泵用在哪里。  屠宰废水的主要来源是从屠宰过程中排放的一系列废水。废水的主要特征是:高浓度的悬浮固体和高浓度的有机污染物。在屠宰过程中中排出了一定量的血液,头发和骨头碎片。粪便,肠子和脂肪。这些废水直接排放,影响周围居民的健康。  真空技术产品系列:  单级旋片真空泵,双级旋片真空泵,无油活塞式真空泵,微型压缩机,罗茨真空泵,真空机组和真空系统,真空泵油,真空泵配件等  在屠宰场中中,使用旋片真空泵清除骨髓,碎屑,家禽内脏并清除特殊危险物质。  污泥处理工艺方案的选择  1)污泥特性分析  通过该污水处理过程中产生的污泥主要是沉淀池的污泥和气浮池的浮渣。  2)污泥处理工艺方案比较  污泥是污水处理过程的产物,是整个污水处理站的重要组成部分。处理的目的是减少污泥的水分含量,减少污泥的体积,达到稳定的性能,并为进一步处置创造条件。  3)污泥整体处理工艺的选择  污泥处理的一般过程是:浓缩...
2019 - 11 - 28
罗茨真空泵是一种双转子的容积式真空泵。在泵腔内有两个形状对称的转子,转子形状有两叶、三叶和四叶的。两个转子彼此朝相反方向旋转,由轴端齿轮驱动同步转动。转子彼此无接触,转子与泵腔壁也无接触,其间通常有0.15~1.0mm的间隙,泵腔靠间隙来密封。  由于罗茨泵泵腔内无摩擦,转子可高速运转,一般为1500~3000r/min,而且不必用润滑油,可实现无油清洁的抽气过程。泵的润滑部位仅限于轴承和齿轮,以及动密封处。泵没有往复运动部件,故可实现良好的动平衡。因而,罗茨泵运转平稳,转速高,尺寸小可获得大的抽速。  目前国内外的罗茨泵,多数为卧式结构,泵的进气口在上,排气口在下,这种卧式结构重心低,高速运转时稳定性好。罗茨泵的两个转子是通过一对高精度的齿轮来实现其相对同步旋转的。  泵的传动多为直联式的,大泵则有皮带传动的。电动机与传动齿轮,多设在转子轴的两侧,安装拆卸方便。主动轴传递的扭矩较大,轴要有足够的强度和刚度,轴与转子要固结牢靠。罗茨泵的密封很关键,主动轴外伸部分、两个转子的轴承与泵腔之间设有动密封,泵腔与各端盖设有静密封。  为了避免罗茨泵的误操作,一般多设有旁路溢流阀。根据对罗茨泵的特殊需要,也有将油的齿轮箱,轴承等部件与泵腔做成分离式结构的。  在罗茨泵的压缩过程中产生的热量被传到转子和泵体上。转子很难将热量传至泵外,而泵体的热量很容易被散失到周围大气中。因而转子与泵体之间就出...
2019 - 12 - 04
(1)选择水环真空泵  所谓的水环真空泵是使用水作为液环的液环泵。将水用作液环具有许多优点,例如价格便宜,易于获得并且不污染环境。但是,还有一个很大的缺点,因为水的全蒸汽压力使水环真空泵的吸入压力很高。此时,如果将蒸气压低的液体用作液环,则可以提高泵的极限真空度。如果机组中罗茨泵的较大排气压力为10托,则在将水用作液环时,必须添加一个常压泵作为罗茨泵的前级泵。如果将矿物油用作液环,则没有必要。大气泵可以用作前级泵,可以简化设备。  (2)机组性能和罗茨泵承诺的排放压力  设备的性能很大程度上取决于所承诺的罗茨泵排放压力。此接受值越低,水环真空泵将用作前级泵的可能性就越小。如果罗茨泵的许诺值是1〜10 Torr,则无论单级或多级水环真空泵如何,极限压力都比该值高得多,因此不可能将其与这个罗茨泵。类常压泵。如果罗茨泵排放压力的承诺值大于100 Torr,则前级水环真空泵也可以用作罗茨泵前级泵的前级泵,这将大大扩大前级泵。  (3)用例  某种化纤产品的生产过程是:将低分子聚合物制成带状切片镗孔(使用罗茨泵-水环真空泵机组进行真空干燥)-牵伸-牵伸,加热-纺织-产品。  重要的步骤之一是干燥5×5×5(mm)的切片以进行拉丝。拉丝过程中的理想情况是使水分含量为零。实际上,这个目的无法实现。因此,要求水分含量为0.02%以下。如果水分含量超过此要求,则在高温高压下拉丝会...
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山东水利行业真空引水装置的应用优势

日期: 2023-02-03
来源:
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山东水利行业的工厂,应用了真空引水装置,来了解一下使用了深圳恒才机电设备有限公司设计的真空引水系统后,具有哪些优势。


首先,用于山东水利行业的真空引水装置,是由三台德国SPECK水环真空泵、水气分离器及PLC电控箱主要部件组成,水环真空泵为两用一备,气量为 370m3/h,功率18KW。


真空引水装置,真空引水系统


然后是真空引水装置原理如下所示:

(1)真空引水装置启动前关闭水泵出口电动阀,给气水分离器内供清水,打开分离器与真空系泵之间供水阀门,选择真空泵并启动;

(2)需启动泵及吸入管路内的气体经过阀门、管路及真空泵排至大气;

(3)当系统检测到水泵进水管内形成真空,充满水时,则停真空泵,给出启动水泵信号;

(4)前置汽水分离器的作用是防止泵壳内水进入真空泵,前置汽水分离器内水位达到预先设定的水位时,系统自动开启排水系统,把水封罐内水放干净。


深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统,提供真空解决方案、真空泵售后维修保养等一站式服务,更多真空泵信息,欢迎致电了解。



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高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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