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晶圆减薄真空吸附为什么要用水环真空泵系统

发布时间: 2025 - 12 - 27

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深圳恒才真空引水机组优势

发布时间: 2025 - 12 - 26

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VG水环真空泵替代sk水环真空泵用于真空引水

发布时间: 2025 - 12 - 24

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行业资讯了解行业的最新资讯

2019 - 10 - 25

罗茨真空泵广泛用于化学，食品和制药行业中的冶炼，脱气，真空冶金轧制以及真空蒸馏，真空浓缩和真空干燥。真空泵配件是用于真空泵噪音管理的真空泵消音器。罗茨真空泵应用这么广泛，它的操作方法大家应该熟记于心，下面我们再来看看它的操作方法，小伙伴们可要记住啦!　　一,罗茨真空泵操作准备工作　　1.操作员必须阅读产品说明手册。　　2.在使用产品之前，请确保长时间没有产品因环境因素引起的影响。　　3.如果在工作期间发现异常噪音和振动，请停止操作。　　4.电气设备外壳必须接地或连接到零。　　二,罗茨真空泵操作开始前的准备　　1.检查水泵(前级泵)的水位是否达到水箱的3/4。如果不足，请补上。　　2.检查水箱中使用的水是否干净。禁止使用含沉淀物的污水，以免堵塞管道，增加泵叶轮的磨损，增加电机造成的负荷，并影响水泵的使用寿命。　　3.检查中间泵和主泵中润滑油的油位。它必须达到油窗的3/4。检查润滑油的颜色。如果乳白色或黑色杂质更多，请通知机器以更换润滑油。　　4.检查中间泵和主泵循环冷却水通道是否完好，打开循环冷却水的进，出口阀，检查循环冷却水的进，出口是否正常。　　5.检查中间泵底部缓冲罐的排水阀是否关闭。　　6.检查真空泵机组的电路是否完好，控制柜的说明是否正常。　　7.检查真空泵机组电极接触压力表的中间泵和主泵的启动压力是否正常(中间泵的入口压力大于0.065Mpa，主泵的入口压力大于0.065...

真空要求不同的真空泵选型方法

2019 - 11 - 05

真空泵的作用是从除了气体分子的真空室抽真空，以减少在所述真空室中的气体压力，以便达到所需的真空度。广义地从大气中高真空具有大的范围内，到目前为止还没有一个真空泵可以覆盖该范围。　　因此，为了实现不同的产品的过程指标，和工作的设备的工作寿命要求效率，不同的真空部分需要选择真空泵的不同的配置。　　为了获得最佳的配置，选择了真空系统，真空泵的选择应考虑以下几点：　　1，真空泵的最终压力应满足工艺的操作压力。通常选择的泵压力低于极限过程需要约一个数量级的。　　2，每个泵具有一定的工作压力范围内，因此，泵的工作点应该在此范围内选择，但不能得到它的工作的允许工作压力以外长时间。　　3，在其工作压力的真空泵，应能排走设备过程中产生的真空的总气体量。　　4，选择真空机组：　　(1)当一个不能满足排气泵和真空要求，它需要多个泵组合，以满足工艺要求相互补充。　　(2)一些真空泵不能在大气压力下工作，需要预先真空;一些泵出口压力低于大气压，前级泵所需的泵需要组合使用古都。通过结合使用真空泵，我们称之为真空泵机组，它能使真空系统得到较好的真空度和位移。我们应该选择真空泵，真空泵的正确组合，因为不同的气体对泵送要求不同的要求，例如：一般罗茨 - 不适用于旋转叶片机系统包含更多的冷凝性气体。　　5，当你选择一个泵的密封，你应该先找出如果油污真空系统的要求。如果无油设备的严格要求，应选择各种无油泵，如：水环泵，...

罗茨真空泵不能单独使用的问题

2019 - 11 - 06

在人们的通常意识中，工业行业中的机械设备通常都是可以单独使用的，就有很多客户对于罗茨真空泵不能单独使用的问题询问了我们，大家都充满了疑问，那么，导致其不能单独使用的原因是什么呢?详细分析如下。　　罗茨真空泵一般在使用的时候，需要配置前级泵，可以起到提高抽速和真空度的作用。　　工作条件：该真空泵的启动一定要待前级泵抽到罗茨泵的允许启动压力时才可启动，直接启动或者未达到气压要求启动，将会导致泵负载过大，烧毁电机。　　这种泵的启动压力为其较大压差的1.5倍左右。如：罗茨真空泵的较大压力差是6000pa=60mbar，那么，它的启动压力就是水环泵将系统压力抽到90mbar时才可启动，如果前级泵为水环泵，为了防止水环泵的循环水反流进入罗茨泵的油箱，那么，罗茨泵和水环泵之间就一定要安装止回阀。　　相信从以上的工作条件中就能让你们了解到罗茨真空泵不能单独使用的原因了，它在工作过程中一定要与前级泵相互配合，才能保证正常安全地工作效果。同时我们也要注意，罗茨真空泵在工作过程中的启动压力也是十分重要的，一定要控制好。　　好了现在罗茨真空泵的不能单独使用的原因也找到了,那我们就来介绍一下罗茨水环真空机的工作原理　　对于较高的罗茨水环真空机组不能直接排放大气，例如直接排气会导致罗茨水环真空机组的吸气口和排气口压力差太大，从而使罗茨真空泵超负荷，例如简单地增加020 -2电动机的电源将导致罗茨水环真空机组过...

光伏行业干螺杆真空泵的应用

2019 - 11 - 08

光伏是太阳能光伏系统的缩写。它是一种新型的发电系统，利用太阳能电池半导体材料的光电效应将太阳辐射能直接转换为电能。它是一种可再生资源。　　近年来，光伏发电是国家鼓励的绿色电力发展能源项目。光伏的普及在环境保护中起到了非常好的作用。按年发电量2224万千瓦时计算，年均节约7398.7吨标准煤，减少二氧化碳排放量约22353.1吨，减少二氧化硫排放量672.6吨，减少氮氧化物排放量336.3吨，环境效益非常明显。　　光伏发电与真空泵之间有什么关系?　　晶体硅，CdTe，CIGS或硅薄膜技术的各种工艺用于生产捕获日光并将其转换为能量的光伏电池，这与真空技术的发展密不可分。从拉晶硅到太阳能电池的生产，再到太阳能电池组件的层压，在制造过程中不可能没有真空。无论是专注于结晶还是薄膜涂覆，都没关系，提供量身定制的真空解决方案是光伏生产的关键因素。　　太阳能电池层压工艺包括在连接前后保护板的同时包装太阳能电池。为了获得最佳效果，干式螺杆真空泵可提供真空抽速，是此应用的理想选择。　　该膜是一层材料，其厚度范围从纳米到几微米。在过去的几十年中，薄膜技术得到了改进，需要可靠的产品才能达到最佳质量。对于薄膜沉积工艺，可以使用高性能的干螺杆真空泵来提供一流的真空设备，以满足该应用的要求。　　进口干螺杆真空泵的性能特点　　1、工作室中没有介质可以产生干净的真空。　　2、工作室和螺杆转子的表面均涂有防腐涂层，以...

螺杆真空泵近年来的发展状况

2019 - 11 - 12

概述螺杆真空泵设备是一种大批量产品，它是真空工程必不可少的基本组件。近年来，随着真空技术应用的不断扩大，各种螺杆真空泵设备的增长也非常迅速。为了满足真空应用发展的需要，特别是老产品不断更新，新产品不断出现，真空设备的开发进入了一个新时代。其特点是：减少泵的振动和噪音，提高长期运行的可靠性，处理大量的可凝性和挥发性气体，减少能耗和运行成本，消除废液处理和环境污染;需要耐腐蚀，耐灰尘和清洁，无油的真空环境。　　根据上述要求，获得真空，以使设备制造商不断改进旧产品的特性。例如，滑阀泵具有抽速大，性能稳定和耐用的特点，但是其运动部件的惯性力和惯性矩引起的振动一直引起人们的关注。罗茨泵在清洁或腐蚀过程中的应用在半导体，平板显示器，薄膜太阳能电池和其他工作条件非常恶劣的行业中，大多数设备都使用由罗茨真空泵和干式螺杆真空泵组成的真空装置。一方面，可以减小干式螺杆真空泵的尺寸，可以提高中真空范围内装置的抽速，并且可以将极限真空度提高一个数量级。　　根据罗茨泵的泵送机构，原则上应无油，但是罗茨泵的转子必须由轴承和精密同步齿轮支撑，这需要润滑系统。当真空系统去除腐蚀性气体或蒸气时，润滑油也可能被腐蚀。　　该密封件具有五点机械密封件，也就是说，除了电动真空机输入处的机械密封件外，其他四个机械密封件也用作泵室和燃油箱之间的密封件。完全机械密封的罗茨真空泵特别适合工艺气体具有高腐蚀性的应用。为了防止腐蚀，...

广东进口真空泵在石油产品中的使用

2019 - 11 - 13

进口真空泵作为一种基本的抽气装置，在各个行业中都有广泛的应用，其类型众多，无论是在生活中还是在生产过程中，真空泵用户都钟爱该领域，包括塑料机械，农药化工，染料化工，制砖机械，低温设备，造纸机械，制药和化工，食品机械，工业电炉，电子工业，真空设备，石油化工，冶金，采矿和地基处理等，由于其结构简单紧凑，因此对抽气中的粉尘和水蒸气不敏感，因此它在石油产品中起着重要的作用。小编通过本文引导大家了解进口真空泵在石油产品中的应用。　　什么是石油?石油是易燃的液体矿物，在公元初期被中国劳动人民发现并使用。颜色主要是黑色，棕色或深绿色，偶尔是黄色。通常，油比水轻。石油的密度大部分为0.77至0.96 g/cm3。石油是碳氢化合物的复杂混合物。在石油的成分中，碳含量为约84-85%，氢含量为约12-14%，并且存在少量的包含硫，氧和氮的有机化合物。另外，在石油中发现了少量的铁，镍，铜，铅，钒，砷，镁，磷，钾，硅，钙，锰和其他元素。　　石油产品通常是指通过炼油厂加工获得的各种产品。　　进口真空泵的结构特点，主要有以下几点：　　1、在较宽的压力范围内有较大的抽速;　　2、转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速;　　3、真空泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染;　　4、真空泵腔内无压缩，无排...

工作液和阀门影响水环真空泵出力原因

2019 - 11 - 15

水环真空泵目前用于需要一定真空度的设备中，并用于维持真空度。目前，设备仍将没有足够的输出。主要影响因素是阀门，工作液的高度和温度以及冷却液温度。关于冷却器的清洁度，今天我们讨论工作液和阀门影响输出的两个方面。　　1、阀门内部泄漏　　由于阀门的材料和阀门的研磨工艺及其产品的质量较差，因此阀门的关闭并不严格。这样，一方面会影响机组的真空，导致真空度降低，另一方面，会浪费系统的热蒸汽，从而降低了系统的生产成本。增加。在对内阀泄漏进行专业检查一周后，检查发现主蒸汽主管和主阀的前蒸汽门存在内部泄漏。发现在水环真空泵之前设计的再加热主蒸汽阀是疏水的。通过孔板后，机会直接进入排气装置。因此，当机器关闭时，在重新加热主蒸汽阀之前，将主蒸汽管重新磨碎并在蒸汽管上安装手动门。这可以有效地解决阀内部的泄漏问题，从而可以保持输出。正常情况下，避免影响输出效率，有效提高生产效率。　　2、阀门密封效果差　　在设备的每个末端，柔性通风口都有自己的阀门。它们的主要目的是避免腔体内压缩不充分的问题，以确保整套设备的工作效率。阀的状态设计成使得阀的下端紧贴设备的截面盘，而上端为“ S”形。但是，这样的设计在长时间使用后会造成应力累积，这很可能导致阀板损伤破裂。在正常情况下，如果一侧的阀门破裂，温度将突然下降气管，并且水环真空泵设备会剧烈晃动。如果阀片的两侧同时断裂，将导致真空下降，从而使能量的消耗突然增加。　　1、工...

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真空泵维修保养的规模

2020 - 07 - 16

真空泵的使用越来越广泛，现在的真空泵无论是设计还是工作效率都适应了群众的需要，自然真空泵的应用范围越来越高，了解真空泵的修理相关知识绝对有助于我们。　　首先，我们必须清楚故障的原因。真空泵最常见的故障有固定、停电、过升温、警报水、马达温度警报等。进口的真空泵确实有专用的警报代码和英语。这样，我们可以根据其标准的维护手册来处理不同的问题，但一般来说，真空泵的维护是沿着它们进行的，效果也比较好!水环真空泵　　然后，根据情况当然需要不同的维护方法，但是如果转子和盖直接磨损，则需要将盖破损的地方平整后再修复转子。对于真空泵来说，维护可以说是比较简单的。　　再次，真空不良，也就是真空泵粘连的主要原因，有可能是消耗品劣化引起的气体泄漏。这种情况下，可以更换该材料，此后组装技术也有可能不足。当然有必要重新组装。　　另外，由于自身的材质不好，真空不良也有可能对真空转子产生影响，但一般来说，如果选择正旋片真空泵规制造商的真空泵，这种情况很少。　　真空泵结垢在水环，非常普遍，尤其是在选煤厂和化工厂。　　含有钙盐和镁盐的水在工业上被称为硬水。海水、井水、泉水等。由于与土壤和岩石接触，自然界中溶解了许多杂质。这些杂质大部分是碳酸钙和碳酸镁、硫酸盐和氯化物，所以它们是硬水，而雨水是软水。　　水中的钙盐和镁盐很容易合成，形成不溶性碳酸盐沉淀，附着在泵部件上，形成水垢。水垢容易堵塞气孔和缝隙，并牢牢粘住零罗茨真...

如何检查旋片真空泵油位故障排除法

2020 - 07 - 21

旋片真空泵可以泵出密封容器中的干燥气体，如果配有气体镇流装置，还可以泵出一定量的可冷凝气体。然而，它不适合泵出含有太多氧气、对金属有腐蚀性、与泵油发生化学反应以及含有微粒灰尘的气体。那么，应该如何检查旋片真空泵的油位呢?　　检查旋片真空泵的油位。油位应在旋片真空泵油标的中心。如果油位过低，排气阀无法密封，从而影响真空度。油位过高，这将导致启动时燃油喷射。　　1.旋片真空泵运行前，取下三角带水环真空泵，校正电机转向，然后开始避免喷油。　　2.运行中，油位略有上升，这是正常现象。当油量不足时，使用真空泵油并从注油孔添加。应过滤油，以避免异物进入堵塞油孔。如果电磁阀安装在旋片真空泵的泵口，它应与泵同时运行。　　3.当旋片真空泵开始启动时，按一次或两次点动启动按钮，使泵腔内的油压达到油箱，然后正式启动运行。当环境温度较高时，旋片真空泵油温升高，粘度降低，饱和蒸汽增加，导致极限真空降低。因此，应加旋片真空泵强通风和散热。在停止旋片真空泵之前，应关闭吸入口的阀门以与真空系统隔离，然后应停止泵以检查旋片真空泵的极限真空，并应采用压缩真空计。真空计应直接与旋片真空泵的泵口连接，在运行30分钟内达到极限真空。　　运转中的旋片真空泵，如果进行了不适当的操作，旋片真空泵的真空度会降低，经常会发生冒烟、喷油、油封漏油、噪音等现象，以及泵内真空泵油的乳化等现象。万一发生这种情况时，首先不要恐慌，瘫痪后配合故...

螺杆泵的选择及安装

2020 - 07 - 24

螺杆泵实质上也是齿轮泵，适合于工作母机或精密机械设备的油压系统。一般使用2个螺杆泵或3个螺杆泵，有立式和卧式两种安装方式。　　1.选择螺杆泵的原则　　选择策略：根据泵的特性和特性进行选择。例如，是否适于固体粒子或含有无润滑性液体的输送　　选择螺杆泵的步骤如下所示：　　(1)选择螺杆泵向厂家订货时，一般提出螺杆泵的技术要求，发送介质的种类和标准编号，发送介质的最高、最低温度和介质的最高最低黏性系数。安装结构类型为卧式还是立式，安装尺寸或作业环境为露天、防爆、“三防”或一般或输送最大、最小流量输送最高最低压力真空，可提高使用时对泵的旋转方向压力脉动、噪声、振动、马达种类及转速的要求。　　(2)根据螺杆泵订货技术的要求，从手册中检测出相应规格的螺杆泵。　　(3)用螺杆泵需要的流量和压力值，检测泵主动螺杆的顶圆尺寸和泵需要的转速。　　(4)调查能够从手动吸取真空的高度值是否满足需求，一头地确定主动螺杆的顶圆直径尺寸和泵的转速。　　(5)根据制造商的型号规定说明，必要的泵得到最后决定的型号规格。　　2.螺杆泵的安装　　安装螺杆泵时，请注意以下事项：　　(1)在第一次启动螺杆泵之前，请检查泵的油封是否良好，检查泵在运输中是否破损，驱动螺杆是否均匀旋转，没有粘着现象。　　(2)出入通讯端口必须进行漂亮地清洗，配合泵入通讯端口的入油管必须根据需要加入密封剂，以避免漏气。　　(3)在马达和泵的...

真空泵操作不当导致的故障有哪些？

2020 - 07 - 29

真空泵的原理是，在泵壳内偏心收容具有多翼的转子，当其旋转时，将液体投入泵壳形成与泵壳同心的液环，液环和转子翼形成容积周期变化的旋转可变容量真空泵。真空泵广泛应用于电子、电池化学工业、塑料、造纸、包装印刷、生产线版压接、CNC加工中心等各行业，如果泵的使用不当，将会发生哪些需要特别注意的问题，请查看售后服务部的总结。　　在真空泵的取水使用中，由于操作错误，真空泵不能排水的原因如下。　　(1)如果真空泵的转速不足或反转，马达就会烧坏。　　(2)循环水不流动或者水管道堵塞，阀门没有打开。　　(3)循环水量过大，循环水倒流。　　(4)提起泵密封箱(通称盘根)，上水管线和耳朵皮等有漏气。　　(5)提升真空泵出口的阀门没有关闭。　　(6)从真空泵盘泄漏空气，泵的磨损加重或破损。　　真空泵故障原因及排除方法　　1.真空泵的温度过高。　　被抽出瓦斯气体的温度过高。蒸发制冷瓦斯气体后，在进入真空泵内。　　真空泵的蒸发制冷水流最不足。请加大冷却水流量。　　吸入坚硬物体，使真空泵体磨损。拆卸真空泵，去除硬物，修理或更换有伤痕的零配件。　　组装不当，转子轴心位移，可能导致单面磨损。请分解检查，重新组装。　　2.真空泵油有问题。　　油脏，油质变差，必须更换新油。　　油位太低。到油标中心线加油量。　　油路不连通，真空泵腔内无法保持适当的油量，因此请检查油路及油阀的供油量，使油路顺畅。　　油品牌不合...

真空泵进行热处理时应该注意的几点

2020 - 08 - 05

真空热处理被当代热处理界称为高效、节能、无污染的清洁热处理。真空热处理零件具有不氧化、不脱碳、不脱气、不脱脂、表面质量好、变形小、综合力学性能高、可靠性好(重复性好、寿命稳定)等一系列优点。因此，真空热处理在国内外得到了广泛的重视和应用。并将真空热处理的普及程度作为衡量一个国家热处理技术水平的重要标志。真空热处理技术是近四十年来热处理技术发展的热点，也是先进制造技术的重要领域。在这里，我们将告诉您在用真空对真空泵进行热处理时应该注意的几点：　　一、当用真空泵处理钛合金时，不应使用氮气作为冷却气体，因为钛和氮气会在高温下反应生成金氮化钛。　　二、真空泵的活动连接部分用O型橡胶圈密封，该部分用水冷却。　　三、真空泵工件在真空中淬火，应使用真空淬火油，这种油具有较低的饱和蒸汽压。　　四、真空炉的维护应处于真空或纯氮气状态，防止不使用时吸入水分。　　五、国内真空炉压力上升速率应不超过1.33帕/小时，国外一些企业规格为0.67帕/小时　　六、真空加热以辐射为主，工件应坚持在炉内的间距。　　七、在真空泵加热工件的过程中，炉内数据会放气，使真空度下降。　　八、真空回火、真空退火、真空固溶处理和真空时效的加热温度一般与常规处理相同。　　九、真空回火炉应有快速冷却装置。冷却水的压力应大于0.2兆帕流量，并应可调。　　十.冷却气体：钢一般用纯度为99.995%的氮气，高温合金用纯度为99.999%的...

修复真空泵轴方案

2020 - 08 - 14

真空泵轴是转子的主要部件。轴配有叶轮、轴承和其他部件。它由真空泵主体中的轴承支撑，用于高速旋转以传递扭矩。　　用于真空泵的泵轴的材料通常不是35钢，大多数钢是由45钢或40Cr通过热处理制成的。真空泵的维护是一项系统工程，对泵轴不同程度的损坏有不同的解决方法。以下是一些常见的问题：　　1.更换真空泵的泵轴：如果泵轴有下列情况之一，更换新的泵。　　泵轴损坏;表面磨损严重，达到硬泵轴的强度，或严重滚动等缺陷无修复价值;泵轴弯曲严重，无法纠正。　　2.泵轴的修理：在检查真空泵时，在拆下泵轴后，检查各相关轴颈的裂纹、表面缺陷、尺寸精度和弯曲程度，以确定修理方案。　　可以用百分表在普通窗户上检查塌陷的弯曲量。网格量不应超过0.06毫米。如果大于该值，应将其拉直。方法如下：　　(1)螺旋压小指。如果弯曲较大，可在主梁平台或螺旋压力机上进行。当矫直是直的，画点是向上的。对于大直径和直线度的轴，在矫直加热范围为20-40毫米之前，当前弯曲位置应通过气焊加热。在这个范围内，包裹石棉绳或中空玻璃棉。加热应该缓慢且均匀。焊嘴为6号或7号，空气流速约为130-160米/秒。当温度达到600-650时，可将焊嘴取下并保温，然后拉直。放学后，停止加热，然后让它慢下来到温室，然后测量两个弯道是否在规定的范围内。　　(2)点热。待加工的矫直真空泵轴应放置在带有两个V形铠装的平台上，最高涂层点朝上，直径为5 mm的...

液环真空泵选型

2020 - 08 - 21

1.适宜的粘度和良好的粘温特性：液环真空泵室的内容积不断变化形成排气作用，润滑油需要适宜的粘度和粘温特性。　　2.极低的蒸汽压：这是真空润滑油的一大特性，因为真空泵对真空度的要求很高，一般使用石蜡类窄馏分润滑油，扩散真空泵也可以使用蒸汽压低的硅油或其他合成油。　　3.良好的耐腐蚀性和耐乳化性：如果是真空泵的腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内的零件，使空气中含有水蒸气冷凝水，引起润滑油的乳化和金属腐蚀，要求润滑油具有良好的耐腐蚀性和耐乳化性。　　4.良好的热氧化稳定性：由于滑板和泵体的高速摩擦，油温上升，油品容易氧化分解，特别是扩散泵在高温环境下工作，使系统内的蒸汽压上升，降低真空度。因此要求润滑油具有良好的热氧化稳定性。　　5.低临界压力：临界压力是润滑油的重要使用性能指标。此外，为了不影响润滑油的饱和蒸气压，水环真空泵在使用中请勿含有轻量成分。

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锂电池抽真空为什么用GHS螺杆真空泵？

日期： 2022-11-11

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