一.干式螺杆真空泵原理介绍
干式螺杆真空泵的原理是利用一对螺杆,在螺杆真空泵的泵室内同步反向高速运行,由两个转子.泵体和侧盖组成几个室,实现吸排气作用的泵机械设备。
这些个的气室定期地从真空泵的吸气口侧向排气口侧“移动”,气体以低速旋转的方式被输送。
即使真空泵继续运转,气体的流动也不会改变,所以能在一定程度上引出可能被气体夹住的细微粒子和蒸汽。
干式螺杆真空泵工作时,两螺杆相互间不产生直接摩擦力,泵室内不需润滑油,运行中机械平稳,发出的声音小。
与等长螺杆真空泵相比,改变螺距结构的真空泵极限真空度高,有良好的间隙设计和连续压缩方式,单泵可达到0.0075torr(0.01 hpa
)的极限真空。 能耗更低,变螺距螺杆真空泵的节能型设计理念,可使能耗降低30%,是油封式真空泵的好替代品。
在半导体行业,干式螺杆式真空泵,大幅度提高了工作环境的质量,提高了生产的产品品质和性能。
二.干式螺杆真空泵的选型特点
干式螺杆式真空泵具有良好的制冷方式,市售的干式真空泵多使用茄克衫冷却水蒸发制冷转子,干式真空泵采用符合流体动力学的螺旋状冷却水茄克衫结构,提高了热交换效率,产生了更好的蒸发制冷效果,干式真空泵的泵室内部也合理维持了低温度
众所周知,溶液中的酸性络离子和碱性络离子与金属发生化学反应时,金属就会腐蚀,温度越高化学反应越快,腐蚀速度越快。
一般的真空泵采用耐腐蚀材质,或者转子使用耐腐蚀性的涂层材料来延迟腐蚀速率。
利用气镇阀装置降低腐食性瓦斯气体的分压,能够防止腐食性瓦斯气体在泵室内凝结,进一步提高真空泵的耐腐蚀性能力。
制造的干式螺杆真空泵有以下优点
1.清洁环境保护:工作室内无其他杂质,可获得清洁真空
2.真空度高:间隙设计和压缩方式良好
3.防腐设计:耐腐蚀的性涂层材料,瓦斯气体镇阀装置
4.蒸发制冷效果:采用符合流体动力学的螺旋状冷却水茄克衫
5.节能:可变螺距螺杆的节能型设计
6.成本低:无污染.无污染.无废弃排放处理成本.维护成本低.在泵出口回收排放瓦斯气体.综合成本低.工程成本低
7.开车很顺畅
8.标准配置和辅助设施完备
9.健全的零配件供应和售后服务。