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改性塑料用干式无油真空泵集中抽真空

发布时间: 2026 - 10 - 23

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半导体晶圆减薄真空吸附方案：深圳恒才集中抽真空系统

发布时间: 2026 - 10 - 16

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PCB压机集中真空改造方案，推深圳恒才机电设备有限公司真空泵机组

发布时间: 2026 - 10 - 15

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行业资讯了解行业的最新资讯

2026 - 09 - 28

在电子晶圆制造领域，真空泵是保障工艺洁净度与良率的核心设备。从光刻、薄膜沉积（CVD/PVD）到刻蚀、离子注入，每一个环节都离不开稳定的真空环境支撑。可以说，真空泵的性能直接决定了晶圆生产的良率、能耗和运营成本。长期以来，日本某山等日系品牌凭借无油干式技术、耐腐蚀设计和稳定的抽速表现，占据了半导体真空泵市场的主导地位。日本某山泵在晶圆厂的应用已有数十年历史，其螺杆式、爪式转子结构设计成熟，全程无润滑油，能有效避免油蒸气对晶圆表面的污染，配合不锈钢镀层或陶瓷涂层工艺，还能耐受HCl、Cl₂等腐蚀性工艺气体，在业内积累了良好的口碑。然而，随着半导体行业竞争加剧，晶圆厂面临的成本压力越来越大。进口品牌真空泵的高昂采购成本、漫长的交货周期以及滞后的售后服务，让不少晶圆厂陷入"用得起、等不起"的困境。一台进口真空泵动辄数万甚至数十万元，一条产线配下来就是百万级投入；从下单到到货，周期通常在2-3个月，遇到产能紧张还要排队；一旦设备故障，需要等海外工程师或寄回维修，停机损失动辄以小时计。在这样的背景下，晶圆厂迫切需要一款既能满足工艺要求，又能显著降低综合成本的真空解决方案。德国CircuTec真空泵机组正是应运而生——价格优势：同规格产品比日系品牌低30%以上CircuTec依托德国成熟的真空技术体系和规模化生产优势，在保证性能的前提下大幅优化了成本结构。同规格产品采购价格...

真空泵事半功倍的选型与常见故障排除方法

2019 - 10 - 29

1.真空泵的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。例如，如果真空干燥过程要求工作真空度为10 mmHg，真空泵厂家所选真空泵的真空度应至少为2 mmHg，最好为1 mmHg。通常将泵的极限真空度选择为比真空设备的真空度高一半数量级。　　2.正确选择真空泵的工作点。每个泵都有一定的工作压力范围，例如：2BV系列水环真空泵的工作压力范围为760mmHg〜25mmHg(绝对压力)，在如此宽的压力范围内，泵的抽速随压力而变化(详细变化)泵性能曲线) ，其稳定的工作压力范围为760〜60mmHg。因此，泵的工作点应在此范围内选择，并且不应在25〜30mmHg的条件下长时间工作。　　3.在工作压力下，真空泵应能够清除真空设备过程中产生的所有气体。　　4.正确组合真空泵。由于真空泵具有选择性泵送功能，因此有时一个泵无法满足泵送要求，因此需要组合多个泵以相互补充才能满足泵送要求。例如，钛升华泵对氢的抽吸速度很高，但是不能被抽吸，而三极溅射离子泵(或两极非对称阴极溅射离子泵)对于氩气则具有一定的抽吸速度。当结合使用时，真空装置将具有更好的真空度。另外，有些真空泵不能在大气压下工作，需要预真空。一些真空泵的出口压力低于大气压，因此需要前级泵，因此必须将这些泵组合在一起。　　5.真空设备对油的污染要求。如果严格要求设备无油，则应选择各种无油泵，例如：水环泵，分子筛吸附泵，溅射离子泵，低温泵等。...

水环真空泵管道布置注意事项及加适量水的原因

2019 - 11 - 05

今天给大家介绍一下水环真空泵的一些知识,包括管道布置注意事项及加适量水的原因.有兴趣的可以阅读一下.一，水环真空泵加适量水　　水环真空泵中装入水作为工作流体的适当的量。当叶轮顺时针旋转时，水由叶轮周围抛出，离心力，一个闭合的环形形状，通过泵室的厚度确定的水形成近似于等。水环的内表面的下部与轮毂，刚好接触表面(实际上，叶片进入水中环的插入一定深度)和水的上部的叶片尖端正好相切环。此时，叶轮轮毂，以形成环和水之间的月牙形空间，并且这个空间被划分成相等数目的叶轮叶片和若干小室中。　　如果叶轮0°为起点的下部，则水环真空泵叶轮的体积被旋转在从小到大的小室的前面180°，并且与进气口的端面连通，气在此时被吸入，当来自小腔和进气口分离吸入的端部;当叶轮继续从大至小的旋转，小室中，水环真空泵，使得气体被压缩;当小室与排气口连通，该气体被排出泵外。　　第二，水环真空泵管结构的设计考虑　　1，最大水环真空泵和压力管件可承受放电应予以考虑。　　2，水环真空泵的管道应该被布置为直管，以最小化管道配件和最小化管道的长度，则必须将导通时弯曲的弯曲半径应管的三到五倍的直径，以使角度可能大于90℃。　　3，合理选择水环式管的直径，大直径管，在相同的流速，流速小，阻力损失小，但价格高，体积小口径管道，导致电阻损失急剧增加，所以所选泵的扬程增加，配用动力增加，运营成本也随之增加。因此，从技术和经...

化肥行业中水环真空泵的选型

2019 - 11 - 07

水环真空泵抽真空的原理　　水环真空泵是以泵转动部分的机械作用排除泵体内气体，其工作原理为：偏心轮安装在充有适量工作水的椭圆形泵体内，带有若干前弯叶片的转子在泵体内旋转时，形成水环并在叶轮轮毂与水环间形成一个新月形空腔，转子每转动1周，转子上2个相邻叶片与水环间所形成的空腔，由小到大、再由大到小作周期性变化。当空腔由小变大时，产生真空，经进气口吸入气体;由大到小时，产生压力，气体被压缩并经排气口排出。由于每个相邻叶片与水环所构成的空腔均处于不同的容积变化过程，所以当转子转动时，泵的吸排气均为连续、不间断过程。　　水环真空泵选型　　1、应尽量选择转速较低的规格　　我国水环真空泵的使用最可能是2BE 系列，属轴向吸排气单作用泵，关于同一个规格都有多种转速供抉择，当进口压力在200 hPa～600 hPa，排气压力为800 hPa～1013 hPa 时，叶轮叶片外圆的线速度应为14～17 m/s ，较大规格的泵因为叶轮直径大是以转速较低，所以在达到同样抽气量的前提下，应尽量选择转速较低的泵，大泵消耗的比功率较小，即效率较高。　　2、应考虑水温的影响　　因为海内外水环真空泵的手艺文件上的功能曲线及技术数据均是在进水温度为15 ℃的前提下得出的，前面也已经介绍了水温低于或高于15 ℃时水温对气量的影响系数计算公式。　　3、吸气阻力的影响　　由于煤气的吸风口经常在井下且远离水环真空泵(一些煤矿达...

调浆箱中的旋片真空泵你了解吗

2019 - 11 - 08

旋片真空泵/压缩机用于混合罐的“充气垫”中，以产生高于流浆箱(或“原料罐”)原料水平的压力/真空，从而最大程度地控制物料排量(“喷雾”速度)。泵通常通过一系列阀，充当真空泵和压缩机，在“进料池”上方的空隙中产生真空或压力，以控制流浆箱的静压头接下来，分析渣浆罐的作用以及在渣浆罐中使用旋片真空泵时需要注意的问题。　　调浆箱的定义和作用是什么?　　定义：混合箱是一个敞开的方形箱，放置在储罐和除砂器之间，以调节送至造纸机的纸浆量。　　流浆箱旋片真空泵的作用　　1、调整发送到造纸机的纸浆量，以使定量稳定。　　2、调整纸浆浓度。根据要添加白水稀释液的纸张，很适合除砂和筛分，并且将纸张均匀混合以制成均匀的纸张。　　深圳旋片真空泵的特点　　旋片真空泵具有体积小，重量轻，噪音低，启动方便的优点。此外，还有防止回油的措施和防止溢油污染现场的措施。　　1、旋片真空泵是获得真空的基本设备。它可以单独使用，也可以用作各种高真空系统的前置泵和前置泵。它是罗旋片真空装置。　　2、旋片式真空泵的入口持续向大气开放，不超过3分钟。　　3、该泵不适用于去除含有对金属有腐蚀性且对泵油具有化学反应性的粉尘的气体。气体中氧气过多，易爆炸。　　4、旋片真空泵可用作压缩泵或输送泵。　　将稀释方法与白水和泵结合使用时，应注意什么?　　1从混合罐到渣浆泵的管道不应水平安装，并应有一定的倾斜度以防止纤维沉淀。　　2混合箱的泥浆阀的...

冷凝式发电厂使用旋片真空泵的优点

2019 - 11 - 12

在冷凝式发电厂中，大多数将使用旋片真空泵作为冷凝器抽水设备。今天，我们将介绍旋片真空泵在冷凝式发电厂中的应用。为什么夏天可以大大改善冷凝水?随着小编的加入，机组的真空度和经济性将得到改善。　　旋片真空泵的结构是什么?　　旋片真空泵主要由泵体，转子，旋片，端盖，弹簧等组成。转子偏心地安装在旋片泵的腔体中，转子的外圆周与泵室的内表面相切(两者之间有很小的间隙)，并且两个转子叶片安装在转子中插槽。旋转时，旋片的顶端通过离心力和弹簧的拉力保持与泵室的内壁接触，转子的旋转带动旋片沿泵的内壁滑动。泵室。旋片式真空泵是真空技术中最基本的真空采集设备之一。旋片泵主要是中小型泵。旋片式真空泵有单级和双级两种。所谓两级是指串联连接两个单级泵。通常，将其分为两个阶段以获得更高的真空度。旋片真空泵可以去除密封容器中的干燥气体，如果安装了气镇装置，则可以去除一定量的可冷凝气体。但是，它不适用于去除氧气含量过高，对金属有腐蚀性，对泵油具有化学反应性并且含有粉尘的气体。　　真空真空泵是两级直接耦合结构。其工作性能包括两个部分：高压阶段和低压阶段。其吸气口与真空设备相连。在操作过程中，容器中的气体将被大量吸入和排放。抽真空时，关闭高压排气阀，将在高压段吸入的气体转移到第二段并通过第二段吸排，使真空设备获得一定的真空度。泵的技术参数为6 × 10-2，泵与电机连接在轴上，转速高，体积小，结构紧凑，流动性方...

水环真空泵滤芯的分类及其清洁方法

2019 - 11 - 14

水环真空泵运行时，必须使用滤芯滤芯。它可以用来过滤一些杂质等，并阻塞设备内部的杂质。设备损坏。市场上广泛使用三种滤芯元件，但是无论使用哪种滤芯，使用时都需要清洁。这是小型来看看水环真空泵滤芯的分类及其清洁方法。　　一、水环真空泵滤芯分类　　1、进气滤芯　　它主要用于防止固体颗粒或细灰进入真空泵内部，同时避免机器磨损并确保设备在运行期间处于相对稳定的状态。可以同时保护设备内部的组件。用于定义的使用寿命。　　2、油滤芯　　该装置主要用于润滑油的过滤。它也被广泛使用。它通常安装在油路上，这对设备的运行也至关重要。　　3、排气滤芯　　它的功能比较广泛，使用时可用于排气阻力，也可用于水环真空泵的油分离，使设备处于相对稳定的状态。　　二、水环真空泵滤芯清洁方法　　1、首先，需要在清洁之前设置滤芯的压差并记录下来。　　2、用苛性钠清洗。将滤芯放入清洁车中。需要将清洁试件悬挂在腐蚀试件上以检测过滤液的腐蚀。如果腐蚀严重，需要及时进行调整。否则，滤芯可能会损坏。在清洁过程中，有必要清洁滤芯上多余的油污和积炭，并将温度升至90至105°C，这也可以起到消毒作用24-48小时。　　3、碱洗后，将滤芯放入CCL清洗车中，清洁滤芯上的沥青质和焦炭粉，然后在室温下洗涤20小时和24小时。确保将清洗液清洗到滤芯的每个位置。　　4、清洁后检查。必须使用30倍放大镜枪检查每个滤芯的内部和外部以及表面清洁度...

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真空泵常见故障现象,原因,解决办法

2019 - 10 - 29

真空泵故障现象　　1.泵负载偏大　　原因:起动时真空泵内水位过高。　　处理方法:按规定水位起动(自动排水阀以下)。　　原因:填料压盖上的太紧。　　处理方法:放松填料压盖。　　原因:内部机件生锈。　　处理方法:用力扳动转子，并用水冲洗。　　原因:排出压力增高。　　处理方法:检查排气管路及阀门管径是否过小。　　原因:配电屏电流保护调整不当。　　处理方法:调整热继电器至电流额定值。　　2.真空泵泵卡死　　原因:管路有焊渣等异物被吸入至泵体内。　　处理方法:清理。　　原因:结垢严重。　　处理方法:拆卸清洗。　　3.真空泵真空度低　　原因:供水量不足或水温偏高。　　处理方法:调整供水量，检查供水管路是否堵塞。　　原因:系统有泄漏。　　处理方法:检查管路连接的密封性。　　原因:介质有腐蚀或带入物料磨蚀，使内部机件间隙加大。　　处理方法:净化介质。　　原因:填料密封泄漏。　　处理方法:拧紧填料压盖。　　原因:内部结垢严重。　　处理方法:清除水垢。　　原因:机件腐蚀。　　处理方法:更换零件。　　原因:修配后，轴向间隙不符合要求。　　处理方法:重新调整轴向间隙。　　4.真空泵运转声音异常　　原因:气体冲刷或喷射。　　处理方法:加装喷射器。　　原因:吸、排气管壁太薄。　　处理方法:采用管壁较厚的气管。　　原因:泵在高真空下运行发生气蚀。　　处理方法:采用较低温度的工作水，或在吸入侧补充气体，也可配上喷...

真空泵的分类及发展

2020 - 05 - 19

真空泵是一种真空获取设备，它可以利用物理、化学或机械方法从容器中抽取空气，以获得和改善真空环境。真空泵种类繁多，在我国许多工业领域都有应用。本文重点介绍了真空泵的分类以及几种常见真空泵的性能、优缺点，并分析了我国真空泵产品的发展趋势。　　真空的意义　　17世纪，意大利物理学家托里拆利揭示了“真空”的存在。真空是指给定空间内气体压力低于一个大气压的气体状态。完全没有气体的状态叫做绝对真空。一般来说，我们指的是相对真空，也就是说，在可以达到的最低压力下，每立方米气体中仍有几个气体分子。　　在真空技术中，“真空度”和“压力”通常用来表示真空度。某个空间的压力越低，真空度越高，压力越高，真空度越低。根据各压力范围内不同的物理特性，真空一般分为粗真空、低真空、高真空和超高真空。　　真空泵的分类及发展趋势　　真空泵的分类　　自20世纪初以来，真空技术不断发展，真空设备种类越来越多，应用领域逐渐扩大。根据真空泵的工作原理，它可分为两种基本类型：输气泵和集气泵。输气泵主要是通过不断地吸入和排出气体来达到抽气的目的。气体捕获泵通过允许气体分子在泵的内表面上被吸附或冷凝来减少容器中气体分子的数量。　　真空泵的分类及发展趋势　　几种常见的工业真空泵及其发展趋势　　水环真空泵是一种可变容积泵，它可以清除易燃、易爆和腐蚀性气体，以及含有灰尘和湿气的气体。该真空泵具有结构简单、易于维护、磨损小、安全性高、对输...

机械真空泵怎么维修？

2020 - 11 - 16

机械真空泵全拆修叫做大修，对采取了局部拆修措施而未能排除故障的一些真空泵，其真空度仍低、仍有渗漏等现象;或者有些泵有下述现象之一者：如泵发生“卡死”现象，油很脏而且泵内已结了垢，生了锈或用了不适当的油使机械真空泵内部零部件上结了硬壳(硅油进入机械真空泵内，就可能产生这种情形)，旋片有较大的撞击声，泵腔内落入异物(金属屑、玻璃屑、铜屑等)划伤泵腔，摩擦发热温升很厉害(超过70℃)等，均需将机械真空泵全拆开进行清洗修理。　　拆卸机械真空泵的步骤及注意事项如下:　　1、切断电源，拔下电源插头。该泵如在系统上，应当从设备上取下。　　2、拧开放油螺栓放油，用手盘动皮带轮，使泵腔内余油全部放出。油应收集好，一般是在机械真空泵底板下放一铁制油盘或磁盘等(通称方盘)收集，以便于今后蒸馏回收和免于污染环境。　　3、拆下皮带，卸下皮带轮、键，脱开底板，视电机好坏程度(如发热、过脏、有干磨的噪音，振动较大等)应予修理或送电工洗油修理。　　4、先拆低真空端盖板(后端盖板，即远离泵轮的一端)，拆卸时根据不同螺钉使用不同的工具。对于一般六角螺钉可用呆扳手，内六角螺钉要用内六角扳手，必要时要使用套筒扳手，这样不会损坏螺钉。拧开端盖板螺钉后，轻启端盖板。端盖板如密合得很紧，则应慢慢设法起开。例如，可用锉刀在泵腔与端盖板合缝处锉一小槽，然后用起子(改锥)插于小槽处用手敲起子把手，亦可用小锤轻敲起子以退出端盖板，切不...

2019年深圳恒才公司年会“激情跨越，共赢未来”

2019 - 01 - 22

转瞬间2018年已迈着坚定的脚步离我们远去，而充满希望的2019正在缓缓走来，在这辞旧迎新的喜庆日子里，深圳恒才机电有限公司为了感谢全体员工一年来的辛劳和付出，于2019年01月18日在公司召开了“激情跨越共赢未来”为主题的新春年会。公司总经理、各部门领导、全体同事及特邀嘉宾在喜庆、祥和、热烈的氛围中，齐聚一堂，共庆恒才公司辉煌, 同谋猪年大业!公司总经理陈总先生致词，他说，紧张忙碌的2018 年已经过去，公司在各级领导班子的带领和全体员工的不懈努力下，取得了今天优异销售成绩；2018年是恒才公司发展路上值得记忆的一年，我们一起在面对，在经历，在成长，我们最大的变化就是变化，我们成立了业绩提升行动小组；我们真正系统地梳理了组织架构、愿景、使命、核心价值观；坚定了企业文化的魂；我们人员也在不断地成长、蜕变，敢于进行批评与自我批评，敢于不断地要求自我完善，能正面面对问题。这是有希望的一个团队，我们是一群平凡的人，我相信我们会干出一番不平凡的事业。我们的愿景：成为受人尊敬的流体业服务型企业；我们的使命：让客户使用到最适合的流体系统；我们口号：为爱行动，为梦想拼搏；我们的理念是：发展依靠员工，发展为了员工，发展成果员工共享；我们核心价值观：以客户为中心解决客户需求，才能实现自我价值满足客户要求，是我们工作的标准超出客户预期，是我们奋斗的目标新年的一年，面临着新的机遇和挑战，希望全体同仁再接...

干式螺杆真空泵对比水环真空泵的优势

2025 - 07 - 01

干式螺杆真空泵相比水环真空泵具有以下核心优势：1. 极限真空度更高，系统简化干式螺杆真空泵：单泵可直接从大气压抽至 1Pa（绝压），极限真空度高，无需多级泵串联，系统结构简单，连接管道少，泄漏点少，故障率低。水环真空泵：极限真空度仅 2000-4000Pa，需与多级罗茨泵或蒸汽喷射泵串联才能实现更高真空，系统复杂，维护成本高。2. 长期运行稳定性强，不受水温影响干式螺杆真空泵：无水环设计，运转稳定，不受水温波动或抽出溶剂的影响，适合连续高负荷运行。水环真空泵：水温升高会导致真空度下降，需用冷冻盐水冷却水箱，增加能耗；溶剂混入水体还会进一步降低真空性能。3. 溶剂回收率高，环保经济干式螺杆真空泵：工作腔内无介质，排气端可设置常压冷凝器，对未冷凝溶剂（如甲苯）进行高效回收，回收率超96%，且无废水产生。水环真空泵：溶剂直接混入水体，无法常压冷凝回收，需定期换水，产生大量废水，处理成本高。4. 防腐蚀性能优异，适应恶劣工况干式螺杆真空泵：过流部件（如螺杆、泵腔）可采用镀镍或特氟龙涂层，耐受大部分有机酸、无机酸腐蚀，适用于化工、制药等腐蚀性气体环境。水环真空泵：防腐处理困难，一般不适用于酸性体系，且溶剂进入水箱可能腐蚀设备。5. 安全性高，无倒吸风险干式螺杆真空泵：无水无油设计，即使停泵倒吸也不会污染系统或引发危险，保障产品质量和生产安全。水环真空泵：停泵时...

阿特拉斯双级旋片真空泵介绍

2018 - 05 - 23

双级旋片真空泵工作原理：如图所示，双级旋片真空泵主要是由定子、转子、旋片、弹簧、端盖等部分组成。转子偏心的安装于泵体内表面相切（两者间的有很小的间隙），转子里开了个槽，槽内装有旋片。当转子旋转时，旋片靠离心力和弹簧的张力使其顶端与定子内壁相接触，沿定子内壁滑动。双级旋片真空泵的详细介绍：阿特拉斯GVD系列双级油润滑旋片真空泵以真空度高，抽速快和水蒸气处理能力强而著称。旋片式真空泵结构紧凑，无振动，运行平稳，应用于各种广泛的真空领域。双级旋片真空泵的应用行业：l冰箱和空调系统抽真空、干燥和回填l真空干燥和真空蒸馏l作为高真空应用的前级泵l真空冶金l薄膜技术l真空冷冻干燥l变压器和电缆干燥及浸渍、绝缘油处理l低温容器抽真空双级旋片真空泵技术参数：双级旋片真空泵维护保养：1.根据需要检查油位，至少每月一次，2.根据具体应用更换油，3-6个月，3.每次更换油，检测并清洁入口过滤器，4.每年清洁或更换气囊过滤器，5.每年清洁马达风扇盖子和外壳，6.清洁和对泵做彻底检查并根据需要更换叶片，3-4年左右7.更换电容器，4年左右，8.测试马达状况，4年左右，§保养前，清洁双级旋片真空泵泵体，切断电源，让泵冷却，换下的密封件不要重复使用，§保养后，确认转向，检查泄露，打开气镇阀运行1,5-2,5h + 关闭气镇阀运行0,5h

阿特拉斯GHS VSD+螺杆真空泵在新能源行业中的应用

2018 - 07 - 25

暑假期间，开车出去游玩都会很堵，像周六日出去海边玩，车子堵起来会走走停停。那天出去玩，我发现一辆车很特别，一辆轻型商用车，这辆车不像一般轻卡车那样不规则的怠速抖动，非常安静。只听到驾驶室里传来悦耳的音乐，隔着显眼的福耀玻璃，看到了轻卡车司机淡定的笑容。车子开始缓缓移动，这时我看到了车尾显眼的 ——“比克纯电动车”。科普柯工业真空科普柯真空事业部北区出售团队，在2018月刚与比克新能源轿车有限公司签订了两台阿特拉斯·高效变频驱动喷油螺杆真空泵的出售合同。　　　　作为我国最具发展潜力的自主新能源轿车出产企业之一，公司是以电动轿车动力体系集成技能为核心的新能源轿车研制、制作及出售的整车出产企业。公司致力于电动轿车的研制及技能创新，使用全球抢先的轻量化车身技能及其制作工艺、高效制动能量收回体系、安全节能电动空调体系、整车功能验证、动力电池热管理体系等产品及技能，用心打造符合我国及国际市场的电动轿车产品。　　GHS VSD+螺杆真空泵可靠性与高效能完胜　　镜头回到2016年的深秋，郑州阿特拉斯·科普柯的授权代理商在惯例拜访中发现郑州比克工厂在注液工艺中运用的某国产品牌双级旋片泵损坏率很高，该工艺需求的真空度为50-100mBarA。代理商在与阿特拉斯·科普柯北区出售经理咨询、探讨之后，引荐客户运用阿特拉斯·科普柯GHS VSD+高效变频驱动喷油螺杆真空...

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水环式真空泵在使用一段时间后形成水垢的原因?