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晶圆减薄真空吸附为什么要用水环真空泵系统

发布时间: 2025 - 12 - 27

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深圳恒才真空引水机组优势

发布时间: 2025 - 12 - 26

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VG水环真空泵替代sk水环真空泵用于真空引水

发布时间: 2025 - 12 - 24

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行业资讯了解行业的最新资讯

2020 - 03 - 04

1.进气和出气管道中的积水　　原因分析:运行中水环真空泵与蒸汽冷凝器连接，由于水汽分离设备的工作漏洞，管道可能产生水汽积聚流。水环泵停止运行后，水蒸气会逐渐凝结，最终变成积水。一次产生的累积水可能较少，但多次之后，累积水将增加并最终流回真空泵，导致瞬时电压过高和电机燃烧。　　维护和处理:首先，在日常工作中，应定期检查水环真空泵，特别注意进出口管道有无积水，少量积水应及时清理。为防止此类故障再次发生，水环真空泵的水气分离器应进行改造和完善，如采用高耐磨、耐腐蚀的优质钢材，或加大水气分离器的管径，为水气分离提供更多的空间，以减少水蒸气的积聚，消除和防止积水故障。　　2.电机异常启动或过热　　原因分析:首先，电机启动异常。“异常”是指噪音过大或启动失败，这可能是由于泵内(叶轮阻力分配板内)有异物、电机供电电压低和电机不相等造成的。在此基础上，检查电机的接线，以避免相位故障或电源故障等问题。如果真空泵长时间不运转，除了对开口盖进行除锈外，还应在里面加入除锈剂。必要时，还应打开端盖，检查其中是否有杂物，并调整分配板与叶轮之间的距离。其次，电机过热。有三个原因。一是真空泵的供水量过大，导致电机负载过大。第二，电机缺相。第三，通风口被堵住了。　　维护和处理:仔细检查真空泵的排气容积。如果涉及的水量很大，供水阀应适当调整(减少);电工应全面检查电机，避免缺相。仔细检查通风孔。如果有任何问题如堵塞，...

如何做好进口真空泵的维修

2020 - 03 - 07

真空泵维修可以让我们使用更长的时间。这个问题是让每个人分享在维修前了解进口真空泵的维修。以下是要点。　　1、经常检查油位位置，不符合规定必须调整到符合要求。真空泵运行时，油位应以油标中心为准。　　2、经常检查油情况，发现油变质应及时更换新油，以保证真空泵的正常工作。　　3、换油周期应由用户根据实际使用情况和是否满足性能要求自行决定。对于一般的新型真空泵，建议在清除干净和干燥的气体时，每100小时左右更换一次真空泵油。在油中看不到黑色金属粉末后，可以适当延长换油期。　　4.正常情况下，真空泵应在运行2000小时后进行大修，以检查橡胶密封的老化程度，检查排气阀片是否破裂，并清除沉积在阀片和排气阀座上的污垢。清洁真空泵室内的所有零件，如转子、转子、弹簧等。通常，它用汽油清洗并干燥。清洁橡胶部件后，用干布擦干。清洁和组装时，小心轻放，小心轻放，避免碰撞。　　5、有条件的对同一管道进行清洗，保证管道畅通。　　6、重新组装后，应进行试运行。一般应运行2小时，换油两次。由于真空泵在清洗过程中会留有一定量的挥发性物质，正常运行后应投入正常运行。　　7、检查真空泵管道和接头有无松动现象。用手转动真空泵，看看它是否灵活。　　8、向轴承体添加轴承润滑油，观察油位应在油标中心线，润滑油应及时更换或补充。　　9、拧开真空泵泵体的分水塞，倒入水(或浆液)。　　10、关闭出口管的闸阀、出口压力表和入口真空计。　...

水环真空泵基本知识与常见操作

2020 - 03 - 12

水环真空泵是一种广泛用于催化剂生产的气体输送设备。通常与带式过滤器(带式输送机)结合使用，利用自身形成的负压条件提取不凝、不溶于水、无颗粒的气体，达到真空过滤的目的。　　1.设备的基本知识　　1.1工作原理　　水环真空泵属于变容真空泵。叶轮偏心安装在圆形泵体内。当叶轮旋转时，注入水环泵体内的液体形成旋转液环、液环内表面，叶轮轮毂形成月牙形空间，相邻叶片之间的泵腔容积周期性地增大和减小，以达到吸入、压缩和排出的目的。　　1.2设备结构　　水环真空泵主要由泵体、叶轮、轴、轴承、配流盘、轴封、供水管道、自动排水阀等组成。　　1.3主要绩效指标　　主要参数包括:工作流体流量、排气体积、最大真空度、转速和功率。　　1.4设备的用途　　带过滤器的真空泵。　　2.开始和停止步骤　　2.1启动前的检查和准备　　(1)准备必要的启动工具:阀钩、扳手等。　　(2)检查泵各连接部分的螺丝是否拧紧，电机接地线是否完好，阀门是否灵活好用。　　(3)通过供水管道向真空泵供水并冲洗，手动旋转转子，然后通过排水管道排放污水。　　(4) 点试电机转向以确保正确转向。　　2.2引导步骤　　(1)打开进气门。　　(2)当自动排水阀没有水流出时，启动电机和泵。同时，打开工作供水阀，使真空压力表的指针接近0兆帕(表压)。当泵的绝对吸入压力降低时，指针移动到负值(读数在0-0.003兆帕之间)。　　(3)如果供水在轴封外部，...

如何对水环泵进行维修？

2020 - 03 - 17

水环泵启动前，先给泵和进水管注水，水环泵运行后，在叶轮高速旋转产生的离心力的作用下，叶轮旋转路径中的水被甩出并压入蜗壳，叶轮的入口形成真空，水池中的水在外部大气压力下沿吸入管被吸入以补充该空间。然后，被吸入的水被叶轮通过蜗壳和进入出口管抛出。由此可以看出，如果离心泵的叶轮连续旋转，它会不断地吸收和挤压水，水会不断地从较低的部分上升到较高的部分或远离较高的部分。　　一、水环泵不能输水原因分析　　进水管和泵体内有空气　　(1) 水环泵在启动前没有装满足够的水。水似乎已经从通气孔溢出，但是空气在没有旋转泵轴的情况下被完全排出，导致少量空气残留在进水管或泵体中。　　(2)与水环泵接触进水管的水平段，相对于水流方向的下降斜率应大于0.5%,连接的水环泵的入口端应为最高，而不是完全水平。向上倾斜会保留进水管中的空气，降低水管和水环泵中的真空度，并影响吸水。　　(3) 水环由于长期使用，泵的填料磨损或挤压过松，导致大量水从填料和泵轴轴套之间的间隙中喷出。因此，外部空气将从泵的内部流入这些间隙进入水环，影响水的提升。　　(4)进水管长时间浸没，管壁因腐蚀出现孔洞，水环水泵工作后，水面不断下降。当这些孔从水面出现时，空气将从孔进入民进水管中流出。　　(5)进水管弯头处的裂纹和进水管与水环泵之间的连接处的微小间隙可能导致空气进入进水管。　　二、无法启动　　首先，检查电源:连接器是否连接牢固;开关是否接...

真空泵维护中常见的五种常识性错误

2020 - 03 - 20

真空泵的维护对专业人员来说不是问题，但是许多专业人员在维护期间会有遗漏。今天小编我将告诉你真空泵维护中应该避免的五个常识性错误。　　1、焊接泵体出口自冲洗管　　真空泵的冲洗管一般采用正冲洗，即密封介质本身从泵入口通过冲洗管引入密封腔，冲洗密封端面。目的是带走机械密封摩擦副产生的热量，降低密封端面的温度，防止杂质和固体颗粒的沉积和气体滞留等。　　由于冲洗管两端的接头密封垫和螺纹接头容易泄漏，有时冲洗液也会腐蚀波纹管的密封。维修时，冲洗管直接拆除，两端接头用电焊焊死。如果没有冲洗管，冲洗液会中断，介质中的杂质和颗粒会在密封腔周围积聚并粘附，摩擦副的工作条件逐渐变得复杂，最终导致摩擦副温度升高，缩短机械密封的使用寿命。　　2、拆下波纹管密封导水套　　波纹管型机械密封通常配有导水夹套。冷却水从直接位于压盖进入上方或斜上方的导水套外侧流出，通过挡板进入导水套和轴套腔，通过摩擦副，然后直接流出压盖下方。冷却水不仅可以冷却摩擦副，还可以防止密封腔内的液体泄漏。因为波纹管和轴套之间的间隙相对较小，所以在冷却水中形成的杂质和水垢倾向于积聚在波纹管的内表面上，这在严重的情况下可能导致冷却水通道堵塞。　　为了减少疏通冷却水通道造成的麻烦，真空泵维护人员经常会处理故障，并随意拆卸导水套。结果，冷却水无阻碍地直接流出密封压盖，从而恶化摩擦副的表面冷却效果，由于过高的水温导致严重结垢。在严重情况下，波纹管密封...

旋片真空泵故障如何诊断

2020 - 03 - 24

1、旋片真空泵不运行。如果情况未知，则无法先打开泵，以免加剧故障。可以和不能用手移动。　　答：泵可以旋转而不会旋转。原因可能是耦合故障。皮带在打滑;电机接线错误;电机损坏;电源断电等　　B.它无法转动或很重。原因可能是启动泵的温度太低，泵油的粘度太高。由于设计和制造原因造成的泵停止过多。　　由于油位过高而停止泵并返回了过多的油(太多的燃料，泵中冷凝的水蒸气或冷凝在排水口气管中的水回流到泵中);泵中的异物(进入气管的焊渣，氧化物，来自泵零件的碎屑，例如旋转板簧);旋转叶片变形并卡住;癫痫发作(铜套，转子，中间壁，泵盖，定子，轴承)。　　2、旋片真空泵温度过高。在低位排气门附近测得的最高油温超过了使用手册中指定的值。随着泵的温度升高，泵油的粘度将显着降低，并且泵油的饱和蒸气压将增加，这将增加泵的极限压力并降低泵送效率;容易使橡胶部件老化。热膨胀将使操作可靠。泵温度过高的原因可能是泵的环境温度过高，进气温度过高，进气冷却装置出现故障以及泵长时间连续运行以及介质压力太高水冷泵冷却水量不足，循环水设计效果不佳;水控制阀故障。　　3、机油泄漏。它可能发生在轴封，油箱和泵零件的密封面，放油塞，油表，油孔隔板，定子零件和轴承的通孔连接，气镇阀(例如2X-8)等中。部分。可能是由于密封件老化，安装不当，损坏故障，表面不平整，杂质，粗糙度和铸件松动引起的。如果在停止泵后回油，则油将进入气镇阀。如果未关...

真空系统设计要懂这几点

2020 - 03 - 27

真空系统就是指由机械泵、真空计及各种各样零件根据管路以适度的方法连接，组成能做到一定真空度规定的设备。真空系统的基础规定是都有哪些?　　1.在被抽器件或工作中房间内得到需要的極限真空泵和工作中真空度。　　极限真空度就是指器件在无漏放气时所做到的真空度,工作中真空度就是指在器件开展真空泵解决时能够保持的真空度。真空泵解决时通常要释放很多汽体，这时候的工作中真空度将明显地小于極限真空度。極限真空度和工作中真空度都有其必要性，他们从不一样侧边对器件品质造成危害。比如再用金属氧化物负极器件的排气管真空系统中，电10-2极除气和负极溶解会很多排气，假如工作中真空度差，则将会出現电级被氧化及负极激话较差的結果。但器件最终封离时已大部分无漏放气，器件内的真空度就在于排气管真空系统的極限真空度。　　2.为得到某一工作中真空度需要的時间　　这時间决策于真空系统抽速的尺寸。提升抽速可减少这一时间。大的个人工作室显而易见必须大的抽速。有时候个人工作室尽管并不大，但因为漏放气比较严重，则真空系统也必须大的抽速，不然很多的漏放气将大幅度降低真空度，使系统软件没法工作中。　　3.在被抽器件或工作中房间内有适合的残气成份　　实践经验，单纯性提升和确保極限真空度及工作中真空度是不足的，还解决残留汽体成份有一定的规定。比如真空泵拍摄器件，以便维持在一年使用寿命期限内敏感度的减少不超巧，规定器件内的残留汽体的氧气含量...

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罗茨真空泵维护方法

2020 - 06 - 28

一、罗茨真空泵定期检查　　1.日常检查：　　a)油位检查：油太多会使温度升高，油太少会使润滑不良。　　b)温度检查：用温度计检查泵各部分的温度。　　c)电机负载检查：用功率计或电流和电压表测量电机负载。　　2.罗茨真空泵：每月检查　　联轴器和垫片是否损坏或松动。　　3.罗茨真空泵每3个月检查一次：　　齿轮箱中的润滑油是否变质。　　4.罗茨真空泵每6个月检查一次：　　a)前盖轴承箱中的润滑油是否变质。　　b)活塞环和活塞环的衬套是否磨损。　　c)齿轮的轻微磨损是否影响转子的正常运行，是否需要调整。　　二、罗茨真空泵拆装　　拆卸和重新组装增压泵时，应采取以下预防措施：　　1.在移除罗茨真空泵，测量值之前，记录转子各部分的间隙。　　2.尽量避免用重锤击打，拆下的零件不得碰伤并妥善保管。　　3.详细记录更换原因和要更换零件的用途。　　4.在重新组装罗茨真空泵，之前，必须清洗所有零件并抛光毛刺。　　5.“106”硅橡胶涂层应用于没有衬垫衬里或密封环的静态密封表面。清洁和密封的橡胶密封件应涂有真空旋塞润滑脂。带溢流阀的真空泵的密封圈和溢流阀平面不得涂任可润滑脂。　　6.根据间隙表调整转子各部分的间隙。　　7.所有安装必须进行泄漏检测。　　8.重装后应进行调试和必要的性能测试，正常后方可罗茨泵进行安装和使用。

干式螺杆真空泵转子型线类型

2020 - 07 - 03

干式螺杆真空泵因其结构简单、重量轻、体积小、抽吸性能好、压力效率高而广泛应用于船舶燃油系统和液压系统。今天，我们将介绍干式螺杆真空泵的转子型线技术，因为它是螺杆真空泵厂家的核心技术之一，所以我想让客户知道什么是螺杆真空泵常见的转子型线。接下来，根据步骤小编，我们可以了解干式螺杆真空泵转子类型的表征方法。　　干式螺杆真空泵有三种特殊的转子型线方法，如下所示：　　一、端面轮廓　　螺杆真空泵转子用于螺杆真空泵转子生产线。端面生产线主要用于研究真空泵和螺杆转子的共轭性能，分析级间泄漏特性，计算容积效率。泵腔等。非常直观和方便。螺杆泵是一种变量泵，由与驱动器啮合的驱动从动螺杆驱动。螺杆端面的类型对泵的性能有很大影响。因此，端面线的设计要求是：良好的密封性能、优良的传动性能和良好的工艺性能。　　二，轴面型线　　螺杆真空泵螺旋线，轴面线易于在螺杆真空等螺距泵转子的设计、加工和检验中使用，因此被广泛使用。　　三，法面型线　　设计成形工具的刃口形状时必须使用法线，因此它主要用于成形工具的设计和加工。此外，轴向轮廓和法向轮廓仅用于表征变桨螺线管的转子结构。只要确定轮廓表示和螺旋展开模式中的一种，就可以通过相互变换得到端面线，轴面线和法线的特征方程和转子齿面的螺旋面方程，还可以确定螺杆真空泵转子的其余轮廓表示。　　通过对干式螺杆真空泵常见转子型线的分析，相信很多人都知道干式螺杆真空泵的设计非常重要。根...

干式螺杆真空泵使用问题解决

2020 - 07 - 08

随着我国工业行业的迅速发展，在某些加工制造领域对真空度和清洁级的要求越来越高。干式螺杆真空泵的存在以性能高、结构精密、能源消费低、无污染、质量好等优点，解决了真空泵选用困难的问题。　　干式螺杆真空泵是利用一对螺杆，在泵壳中同步高速反转，产生吸引排气作用的抽气设备系统。在平时的工作中，称为油封式真空泵的强化版。关于干式螺杆真空泵的原理和选择，在以前的文章中进行了介绍，以下就干式螺杆真空泵的使用特点和常见问题进行说明。　　一、干式螺杆真空泵性能参数的特点　　优点：　　1、无油设计、燃油消耗率差、无缺点。　　2.除真空泵本体外，在内部增加防腐蚀涂层，比油封式更能适应环境。　　3.泵内无气体压缩，可有效提取凝结性气体。　　4.结构不复杂，维护工作简单。　　5.环保　　缺点：　　1.螺杆真空泵的价格很高　　2.不适合提取易爆炸的瓦斯气体和氧含量高的瓦斯气体　　二、干式螺杆真空泵损失分析　　1.因为真空泵的供给介质含有so、水等，所以能够生成具有腐食性作用的物质，为了不使真空泵的构成零配件腐蚀而破损，在转子和泵室的表面实施了耐腐蚀涂层。　　2、固体粒子或尘埃等被破坏。工作运行前仔细检查泵入口端机器。　　3.胶质碳破坏分析。分析入口中含有Ee、c、o等，环氧丁烷、环丁砜等聚合物质附着在配管内。如果该物质附着在泵室和转子表面，则设备表面的层被破坏，对真空泵造成损伤。　　4.真空泵在高速运...

真空泵使用方法出现漏水如何处理

2020 - 07 - 13

真空泵的使用方法和注意事项　　1.真空泵使用的基本方法　　用一根加氟管将真空泵的进气口与电冰箱制冷系统的工艺管上的三通检修阀连好.并将三通检修阀开至最大.然后起动真空泵运行即可。待达到抽真空目的后.先将三通检修阀的阀门关闭.然后梢微松开三通检修阔的加氟管与真空泵进气口的接口.听到真空泵运行声有变化时，立即切断真空泵电源，拆下加氟管与真空泵接口.抽空工作结束。　　2.真空泵的使用注意事项　　放置水环真空泵真空泵的场地周围要干操、通风、清洁。真空泵与制冷系统连接的加氟管要尽量短一点，以避免出现打折等问题.影响使用;使用中要观察加氟管与真空泵进气口的接口处是否有漏气现象;真空泵停止使用时，要将其进气口和出气口用塑胶塞塞好.以免空气与灰尘进入泵中影响使用.每次使用真空泵前要检查泵中的润滑油位是否符合要求.以保证其安全使用。　　进口真空泵作为我们日常生产生活工作中经常会用到的一种设备，在使用时我们可能会遇到各种各样的旋片真空泵故障，例如：真空泵冒烟、真空泵不足、真空泵噪音、真空泵卡死、真空泵漏油、真空泵温度高、真空泵抽不上力、真空泵不转、真空泵压力太小、真空泵漏水等。其实导致真空泵出现故障，很多时候都是因为平时使用不当而造成的，当进口真空泵出现漏水现象，我们应该如何处理?　　1、如果发现正在作业的发动机的真空泵漏水，不得立即停止其工作，应使其保持在最低的稳定转速，同时向冷却系内边加水边放水(...

螺杆真空泵选型注意水环真空泵优势

2020 - 07 - 16

油封式螺杆真空泵适用于粗真空和中真空应用，可靠性强，耐久性高。油封式螺杆真空泵不仅可以单独使用，还可以与其他真空泵结合使用。　　油封式螺杆真空泵是一种螺杆真空泵，它主要利用特定的油来密封螺杆真空泵的部件或零件之间的间隙，填充空间，进而消除和减少不利空间。其密封性能良好，最终真空泵能达到所需的真空度。这种油封式螺杆真空泵通常配水环真空泵有气镇装置。合理使用气镇装置可以有效防止水蒸汽在螺杆真空泵中冷凝，从而有效避免油污染。　　机械真空泵使用油来保持运动部件的密封，并通过改变泵腔的容积来泵送空气，统称为油密封真空泵。机械真空泵使用油来保持运动部件的密封，并通过改变泵腔的容积来泵送空气，统称为油密封真空泵。它们的工作原理是使泵室的工作室的容积机械地增加和减少并泵送空旋片真空泵气。　　当泵腔中工作室的体积变得最小时，它与泵的入口管连通，因此气体进入被泵入腔中，直到吸入腔的体积最大，并且当头部与空气入口分离时停止。当体积减小时，气体被压缩，直到气体的压力大于一个大气压，并且排气阀被打开以排放气体。　　水环真空泵的优势　　1)结构简单，对制造精度要求低，易于加工。　　2)结构紧凑，泵的转速高，罗茨真空泵不需要减速器就可以直接与电机连接。因此，利用小的结构尺寸，可以获得大的位移并且占据的面积小。　　3)压缩气体基本上是等温的，即在压缩气体的过程中，温度变化很小。　　4)由于泵腔内没有金属摩擦面，所...

罗茨真空泵排气滤芯维护与一般的区别

2020 - 07 - 21

罗茨真空泵排气滤芯的维护方法　　1.清洗：罗茨真空泵排气滤芯采用特殊材料制成，容易损坏，需要维修。在使用一段时间后，一些过滤的杂质保留在真空过滤器的过滤元件中。如果滤芯没有及时清理，压力会增加，变送器会提醒警察。　　此时，有必要清洁和清洁真空泵的排气滤芯。清洗时，注意不要使滤芯变形或损坏，否则会影响再利用，降低过滤效率，甚至破坏整个系统。　　2.更换：更水环真空泵换罗茨真空泵，的排气滤芯时，必须提前准备好水盆和毛巾等用品。在普通真空泵过滤器上更换真空泵排气滤芯有多种方法。必须按照标准方法更换，以免损坏滤芯，延长排气滤芯的使用寿命。　　罗茨真空泵通常采用真空机组的形式，因为一般罗茨真空泵在常压和高压下不能直接启动和排放空气，所以需要配备前置泵。然而，并不是所有的罗茨真空泵都需要启动前置级泵，如风冷罗茨真空泵，湿罗茨真空泵和多级旋片真空泵罗茨真空泵。　　通用罗茨真空泵需要在6000帕的压力下启动，在1333Pa和1Pa之间保持稳定的大吸气速度。因为罗茨真空泵没有内部压缩特性，它是通过气体放电形式的外部压缩来实现的。过高的压力和高压操作会使真空泵的负载过高。转子在压缩过程中不能散发太多热量，导致过度膨胀。转子和泵室之间的间隙消失，即被堵塞。　　为了解决这个问题，采用冷却气体的直接冷却来降低转子和泵罗茨真空泵室之间的温差，以避免转子的过度膨胀，并实现高压和高压缩比运行。它可以在大气压下单独...

旋片真空泵的优点

2020 - 07 - 24

旋片真空泵是有区分单双极高速直联结构的真空泵，是用来对密封容器抽除气体的基本设备之一。旋片真空泵的泵与电机连轴，有着高转速、外型小、结构紧凑、流动性工作方便的优点。　　旋片真空泵使用说明：　　一. 首先在开箱时要检查您所采购的旋片真空泵在运输过程中是否有损坏、是否符合使用要求。如您发现有所不理解，请马上致电我公司销售工程师。　　二. 您在使用安装调试旋片真空泵前，请您仔细详阅使用说明，严格按产品操作程序实施，并要注意先拧开加油螺塞从加油孔中加油至油标2/3，后从进气管孔内加入少许泵油为加强泵腔内润滑。油位过低对排气阀不能起封闭作用且影响真空度，过高可能会引起喷油。　　三. 注意产品操作指引步骤，按规定接上三相电源线，要注意三相电机的电机旋转方向与泵支架上的箭头方向一致、单相电机直接插上电源插座即可。测试运转合格后，方可开始正常工作。　　四. 与旋片真空泵进气管口的连接管道不宜过长，千万注意要检查真空泵外连接管道、接头及容器绝对不能漏气要保持密封，否则会影响极限真空及真空泵使用寿命。　　五. 按不同泵的工作环境温度需求，一般是在5℃~40℃范围内、相对湿度不大于85%，进气口压力1.3*103帕。对抽速在0.5升/秒以上真空泵均装有气镇阀。如相对湿度较高可打开气镇阀净化抽除少量水蒸气而不会污染泵油且延长泵油使用时间，净化完毕后及时关死。　　六. 旋片真空泵在运转过程中油箱内的泵油量不...

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水环式真空泵在使用一段时间后形成水垢的原因?