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2021 - 04 - 16
罗茨真空泵作为目前国内大多说工厂中都会使用的真空泵,在使用过程中会遇到启动与停车的问题,那么正确的操作步骤是什么呢?  1、罗茨真空泵启动程序:  (1)、启动前级泵。  (2)、打开前级泵预抽官路商的阀门和罗茨泵进气口上的阀门。  (3)、待系统内的压力达到罗茨真空泵的允许压力后,关闭预抽阀门,起动罗茨真空泵,如无预抽管路及阀门,则待达到起动压力后起动罗茨真空泵,此过程亦可采用压力传感器自动控制,实现整个过程的自动化。  (4)根据真空系统的实际情况,如果不是大的真空系统,则起动前级泵后即可起动罗茨真空泵。如果是较大的真空系统,虽然带溢流阀的罗茨真空泵具有过载保护作用,但这种保护只是对电机的保护,罗茨泵本身仍可因为长时间工作在高压力下,而产生过热卡死,应待前级泵抽到一定压力后再起动罗茨泵。  2、罗茨真空泵停车程序:  (1)、关闭罗茨真空泵进气阀。  (2)、从上到下逐级停罗茨真空泵,最后停前级泵,严禁搞错停车程序。  (3)、前级泵停车后,立即向前级泵进气口放气。  3、罗茨真空泵运转中的注意点:  (1)、运转中必须按照罗茨真空泵的技术规格使用,在正常情况下,罗茨真空泵的入口压力在1330Pa以下,泵的最大压差不得高于其最大允许压差值。  (2)、注意电动机负荷和泵的各部位温升,在正常运转情况下,泵的最高温升不得超过40℃,最高温度不得超过80℃。如果选用水环泵作为前级泵时...
2021 - 05 - 07
夏季室外温度本身很高。螺杆真空泵处于工作状态时,设备的温度会升高,容易造成损坏。那么夏天使用的时候要注意些什么呢?如何减少设备损坏的情况。  如果热量难以散发出去,则螺杆真空泵的温度会升高,一旦达到极限温度,就会显示出机械故障。尽可能降低泵的工作温度,更换螺杆真空泵油,并保持通风位置或配备室内冷却设备。  为了提高螺杆真空泵的散热功能,需要及时更换消耗品,主要是油雾分离器(排气滤芯)和机油。这两种消耗品需要及时更换。如果排气过滤器过时或存在其他质量问题,则应尽快更换。  起初,当油出现变色,沉淀和乳化增加的现象时,它就不能停留在润滑的维持上。当机械故障频繁发生时,如果螺杆真空泵的温度过高,螺杆真空泵将显示异常噪音,注油甚至堵塞。因此,螺杆真空泵在变热之前必须彻底清洁。  同样,在夏季,请尽可能将螺杆真空泵放在阴凉的地方,将其放置在室外时,请注意不要使其暴露在阳光下并适当降低其工作温度。
2021 - 05 - 20
当物料从吸入口进入螺杆真空泵时,它需要经过管道摩擦和其他外部因素,导致管道效率波动。此时,可以通过泵的特性来调节油管,以避免额外的损失并节省能量。  1.缩短螺杆真空泵的管道长度  入口和出口管的长度应最小化。但是,当水源和出口池之间的地形平坦时,缩短管道将不可避免地增加旁路,入口池和泵房中的开挖量。将小型泵站从平地安装到倾斜位置,或者将水泵安装在井中或井中,并将管道设计更改为直线布置,可以缩短管道的长度在泵房里。节省了肘部并减少了头部损失。根据条件提高管子内壁的光滑度,可以减少管子强度的损失。  2.合理确定螺杆真空泵的管径。  管道直径的大小也会影响螺杆真空泵的效率。实践表明,管直径太大或太小都不经济。当管道和流星的长度固定时,如果选择大的管道直径,流量小,水头损失小,电功率小,但管道投资高;如果选择一个较小的,则情况与前一个相反。为了减少管道损失,应合理确定螺杆真空泵的进,出口管直径。如果已投入生产的管道的直径过小,则管道的压降会增加。为了提高管道的效率,请考虑根据经济直径更换管道。  3.减少管件  管件的局部电阻系数非常大,这会导致较大的压降,并且在运行期间必须消耗大量的能量。因此,应尽量减少内部管道不必要的附件。  管道需要严格密封,否则会影响真空度。在更改螺杆真空泵管道时,还必须考虑到这一点,以确保连接的施工质量。
2021 - 06 - 04
水环真空泵在工作过程和各种操作过程中必须冷却,因为泵在运行过程中会产生一定的热量,必须随时冷却,防止泵体过热,但泵体的冷却泵需要一定的条件,在一定条件下,可以加强其冷却条件。水环真空泵设备的冷却条件?  1、对于温度低于120的介质,一般没有专门的冷却系统,一般采用水环真空泵的介质进行温和冷却。可选择悬挂结构,使温度上限达到140-160。  值得一提的是,对于易结晶或富含颗粒的介质,必须设置密封面清洁管道,通常在设计中留有接口。  2. 120以上和300以内的介质,  一般情况下,冷却室应位于水环真空泵的盖内,密封室也应与冷却液相连。当不允许制冷剂进入介质时,必须对介质进行冷却和接通,这可以用一个简单的换热器来完成。  熟悉水环真空泵的冷却条件后,即可完成冷却。我们必须做好相应的工作。另外,在设计上,厂商必须从多个角度进行合理的设计。
2021 - 06 - 23
螺杆真空泵是工业生产中常用的一种机械设备。长期工作中容易出现一些故障,包括卡顿现象,会干扰设备的正常运行,给公司造成损失。  由于某种原因,螺杆真空泵电机过载甚至无法旋转。这种现象一般称为“卡住”。真空泵卡死的原因是:弹簧损坏,转子受力不均;装配不正确,强行某一部分;由于进气过滤网、外部污垢、金属屑、玻璃屑等丢失或损坏。它们落入泵腔。另外,泵转子与旋片端面与端盖的间隙过小,摩擦生热导致旋片伸长或过热过紧,旋片硬度过高,毛刺相互挤压,在端面造成较深的划痕。  轴套配合好,润滑油路不畅时,泵长期卡死,泵腔生锈;泵在潮湿环境中工作或去除水分。气体、泵油变成乳化液或泵油变脏甚至结垢。泵油粘度过高(冬季);转子在启动时破裂;有些泵的高低真空室气道有半圆形凹槽,顶部橡胶板太紧,堵塞中心气道等,容易造成泵卡死。这个问题通常是很危险的,因为在卡住的时候,电机会过载或者因为转子不能转动,很容易烧坏电机。即使电机没有烧坏,如果不及早停车修理,也会损坏泵腔,折断旋转叶片,扭曲转子,烧毁端面。后果永远是不好的。  螺杆真空泵卡死总是发生在转子、转叶与端面或中间隔板之间或转子与泵腔之间。这些部件是决定真空泵最终压力的关键部件。因此,出现卡死现象,必须紧急停泵,排除故障,妥善维修。切勿重试甚至鲁莽,否则整个泵很容易被扔掉,无法修复。  螺杆真空泵的堵转现象主要是内部设备损坏和润滑不足造成的。这与用户的定期维护...
2021 - 07 - 08
随着干式真空泵的使用率越来越广泛,其质量也在不断提高。由于其特点和优点,被大家广泛使用。为了让每个人都变得更好,我们将掌握干式真空泵水流量有什么问题?  干式真空泵的应用范围很广,取得了显着的效果。一些发电机组更常用于供水和排水。改进干式真空泵的设计具有环保节能的优点。一般情况下,设备故障率很低,但仍需定期维护保养,以确保泵的优良性能。电源选用干式真空泵。如果整个运行过程中没有电源或出水流量不大,则泵会出现常见故障。干式真空泵的所有正常常见故障都是由常见故障引起的,它们解决问题。建议客户先检查当前运行的泵流量的功率与正常运行的泵流量的全功率的差异.低于正常运行时间,将生产离心叶轮。泵叶轮止回阀损坏、堵塞等问题。如果电流量和以前一样大,那就是垫圈、管子和泵壳的泄漏。如果正常运行时流量的电量高于流量的电量,很明显是备件损坏。另外,如果电缆损坏,水流量会像往常一样大,但电流量会有所改善,客户可以一一查找原因。和故障检测。建议客户进行定期检查,按时保持真空泵干燥,并做好记录,方便下次定期检查和维护。如不能解决问题,可作为维修人员节省维修的参考。  以上就是干式真空泵流量的问题,大家可以了解一下,并在整个应用过程中按照正确的操作步骤来达到很好的实际效果。如果大家不能,请谅解,如果您可以拨打电话咨询,我们会根据您的具体规定给您有效的建议,避免盲目跟随实际操作造成不必要的不便。
2021 - 08 - 21
水环真空泵选型的2个要点在选择水环真空泵时应注意哪些问题,本文详细讲解了水环式真空泵的2个选择方法。一、根据所需的气量选择真空泵初步选定了泵的类型之后,对于真空泵,还要根据系统所需的气量来选用水环真空泵的型号。关于真空泵的抽速选择及抽气时间计算可参照:真空计算公式。二、水环真空泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。1、尽可能要求在高效区内,也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。2、应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行,不仅效率极低,而且工作很不稳定,易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言,在此区域之内运行,往往还会发生汽蚀现象,产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏,以致泵无法工作。这里补充一点真空泵工作时,还要注意以下两个方面,以便更好的维护水环真空泵的正常使用寿命。深圳市恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,给客户提供稳定的真空系统解决方案,专业真空设备和真空系统设计、工程、售后等服务,更多真空泵应用案例、行业真空解决方案欢迎致电我们。
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2019 - 05 - 29
2019年5月22日由SPECK主办&深圳恒才机电协办的橡塑业节能环保技术交流会在广州琶洲白云会议室举行,参加此次橡塑业节能环保论坛的有来自全国各个地区的人民;多家企业负责人、投资人和橡塑界精英,本次论坛还盛情邀请了高分子协会党委副书记兼纪委书记王文广先生等嘉宾隆重出席。 论坛正式启动后,由SPECK车经理首先进行演讲“挤出成型应用与SPECK次世代真空节能单元、材挤压成型的真空领域和终端用户的新材发展(以前,现在及未来)。期间介绍新款变频液环真空泵,与工业4.0的核心理念正完全契合,它实时监控并计算来实现产线/产品/制程的升级优化,在制造领域形成资源、信息、物品和人的相互关联的“信息物理系统”,推进制造业向智能化转型。车经理说,根本性的改变已经开始,节能是要求,但我们要的不仅仅是节能,不是简单的设备工程解决方案,而是向灵活、受控分散和紧凑的分离单元能源密集型解决方案。随着车经理的演讲让现场的来宾对节能环保产品产生了高浓的兴趣。 接下来,由深圳恒才陈总为大家带来精彩的分享,陈总分别对橡塑行业的塑料、树脂、热固性塑料、热塑性塑料等进行专业解说,之前有些行业中使用的机械造成二次污染难以解决,机械泵效率低能耗高,故障率频繁等问题,陈总为大家将这些专业的问题做了完美的解答,并展示进行改造后的成功案例。陈总说,我们致力于可持续生产力,节能、环保、高效,我们坚持对客...
2018 - 03 - 23
一、2BV水环真空泵介绍康斯顿2BV水环空泵是利用西门子技术,自主生产的具有国际领先水平的真空泵,2BV水环真空泵是一种粗真空泵,它所能获得的极限真空为2000~4000Pa,其材质有铸铁、不锈钢等。2BV水环真空泵应用在工业生产的许多工艺过程中,如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等。由于水环真空泵中气体压缩是等温的,故可抽除易燃、易爆的气体,此外还可抽除含尘、含水的气体,真空应用技术的飞跃发展,水环真空泵在粗真空获得方面一直被人们所重视,因此,2BV水环真空泵应用日益增多。                                               二、2BV水环真空泵工作原理当2BV水环真空泵的叶轮逆市方针旋转时,水被叶轮抛向四周,由于离心力的作用,水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮盒相切,水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触。此时叶轮轮壳与水环内界面之间形成一个月牙形空间,而这一空间又被2BV水环真空泵的叶轮叶片分成和叶片数目相等的若干个小腔。...
2018 - 06 - 20
在很多的领域当中,罗茨真空泵都有得到充分的应用,比如化工、航空等等各大领域得机械运转当中都可以使用这一设备,通过长期的实践已经证明了罗茨真空泵真正的实力和优势所在。不过在操作的时候包括开机以及运行应该要按照规范严格的去进行,具体来说,需要注意如下几个方面的事项。一、注意罗茨真空泵在开机前的准备在开机之前必须要检查水箱里面的水位必须要达到3/4以上,罗茨真空泵厂家提醒如果不满的话一定要补足水位。并且水箱内所使用的水必须是干净的,绝对不可以有泥沙之类的东西以免在运转中被带入到管道中引起堵塞现象。同时罗茨真空泵厂家强调还要检查相关位置的润滑油油面的高度同样的要达到高于3/4的位置,同时还要查看润滑油的颜色,如果没有那么纯净,已经有发黑之类的现象,那么应该要彻底的换掉。二、注意按照正确的顺序启动罗茨真空泵真空机组在做好开机前的准备工作之后,罗茨真空泵厂家介绍可以先将中间泵和主泵的冷却水的阀门打开,然后再按照规范要求慢慢的相应的打开其他的阀门。高品质的罗茨真空泵厂家还介绍等到整个系统的压力到达中间的时候可以启动中间泵,并且按照手动或自动的操控方式进行相应的控制,最后启动主泵。三、注意罗茨真空泵运转细节在正常运行的情况下罗茨真空泵所有的组件之间都是非常和谐的,不会有异常的震动,或者是杂音出现。罗茨真空泵厂家介绍这时候要观察以及相应的位置温度是否有升高,温度不能够超过相应的范围,否则表示有问题,...
2018 - 08 - 16
SPECK品牌小型离心泵适用于化学药液、水油的抽送、循环、排放等,广泛应用于电镀、电子、化工、皮革、染整废水、废气、冷却、焊接等等行业。不锈钢、铜塑料等材质供选择。耐高温、耐腐蚀,是同轴离心泵中的佼佼者,那么离心泵又分为两种,一种是涡旋离心泵,一种是径向离心泵, 今天来了解一下什么是涡旋离心泵?一.涡旋泵是离心叶片泵的一种,其主要工作机构包括叶轮、泵体和泵盖,以及由它们所组成的环形流道。液体由吸入管进入流道,并经旋转的叶轮获得能量,被输送到排出管,完成丢人 工作过程,二.漩涡泵的工作原理、结构以及特性曲线的形状等均与离心泵不同,是一种小流量、高扬程的泵,其比转速一般小于40。三、旋涡离心泵的优点1、旋涡泵是一种结构简单的高扬程泵。与尺寸、转速相同的离心泵相比,其扬程要高3~9 倍。与相同扬程的容积式泵相比,其尺寸要小,结构也简单的多。旋涡泵体积小,重量轻的特 点在船舶装置中具有极大的优越性。2、大部分旋涡泵具有自吸能力,或借助简单的装置来实现自吸。3、旋涡泵具有陡峭的扬程特性曲线。其扬程的变化对流量的影响较离心泵为小,因此,对系 统的压力波动不敏感。4、很多旋涡泵能实现气液混输,这对于输送含有气体的易发挥的液体和汽化压力很高的高温 液体具有重要的意义。5、旋涡泵结构简单,铸造和加工都容易实现,某些旋涡泵零件可使用非金属材料模压。
2018 - 10 - 26
罗茨真空泵是一种旋转式容积真空泵。其结构形式是由罗茨鼓风机演变而来的。它于 1944 年首先出现于德国,是为适应在 10 ~ 1000Pa 压力范围内具有大抽速的真空熔炼系统而作为机械增压泵,必须与前级泵组合成罗茨真空泵机组才能使用,罗茨真空机组在、造纸、食品、电子工业、冶金、石油化工等都有应用到。 根据罗茨真空泵工作压力范围的不同,分为直排大气的低真空罗茨泵;中真空罗茨泵和高真空多级罗茨泵。国内用量最多的为中真空罗茨泵 ( 以下简称罗茨泵 ) 。罗茨泵与其它油封式机械泵相比有以下特点: 1、在较宽的压力范围内有较大的抽速; 2、转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速; 3、泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染; 4、泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感; 5、压缩比较低,对氢气抽气效果差; 6、转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。 怎么选择罗茨真空机组:    1.罗茨真空机组的压缩比,罗茨泵真空机组的罗茨泵与前级泵的抽速比的选择是很重要的。因为罗菠泵的压缩比很有限。这一压缩比决定着前级泵的容越,因压缩比是两者抽速...
2019 - 03 - 05
新一代螺杆真空泵以其高效节能的优势替代旋片真空泵、水环真空泵等进入市场,很多客户看到其节能的可观利润都来寻问是否可以替代,但价格相对比过高又使其犹豫。螺杆真空泵的价格相对比较高,但长远来看还是节省电费惊人,基本一年就可以收回成本,更高效率的情况还是选择螺杆是明智的。今天我们就来看一下螺杆真空泵的优势。 1.       某陶瓷公司螺杆真空泵与水环真空泵对比,选择相近抽速的水环真空泵(以阿特拉斯水环真空泵为例,见下页参数),应选择5台AWS1600,功率消耗为45千瓦,AWS1600水环泵,使用15℃冷冻水,抽速1600M3/小时, 使用30℃普通水,抽速1600M3/小时*80%=1280M3/小时,对比:阿特拉斯GHS1300VSD+真空泵每台配机功率22千瓦,真空需求量减少时,自动变频降低转速,最低负荷可降至5千瓦, ①  电费按0.8元/kWh计算②  真空泵每年工作6000小时(每天20小时,每年300天)       5台GHS1300VSD+变频螺杆泵负压站: -    运行总功耗22*5=110千瓦,生产负荷降低时可变频调节流量,更加节能。        5台4...
2019 - 04 - 19
大家都知道在真空镀膜设备中必须要用到真空泵,那么真空镀膜设备在运作的时候它会产生一些热量,如果是天气也是很高温的情况下,气温就会上涨,那么对真空镀膜设备的负重也是会有所增加的,在这样的情况中,如下对我们的真空泵进行维护呢?下面跟着张工总结了五大点,一起来学习一下。第一点、防止真空泵或者避免真空泵放置在阳光底下,尽量让真空泵处于阴凉的地方, 在室外放置的真空泵要注意不能让真空泵暴晒在阳光下,本身真空泵在工作时间温度就高,如果热量很难散发出去的话,真空泵温度就会升高,而且达到真空泵的零界温度,就会出现机械故障!第二点、真空泵要处于通风位置,真空泵所放的位置要通风,或者室内装有降温装置也可以!愿意也是一样的, 只是为了让真空泵的散热性能更好,尽可能的降低真空泵的工作温度。 第三点、 真空泵的耗材要及时更换,最主要的又是油雾分离器(排气滤芯)和油,这两种耗材一定要及时的更换。排气过滤器如果一旦出现报废或者其他质量问题时第一时间更换 ,油出现了颜色变色、沉淀物增多、开始出现乳化等现象时不能仅仅停留在加油的保养,要全部更换真空泵油。第四点、对真空泵进行清洗和保养,在天气炎热前对真空泵进行一次全面的清洗和保养。第五点、要对真空泵进行常规维修保养,以上五点就是张工对真空泵在真空镀膜设备中使用的维护注意事项,有更多的意见探讨联系深圳恒才机电设备有限公司。
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降低真空泵维修故障率的保养方法

日期: 2021-03-16
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  我们结合真空泵的特性,使用时应注意以下关键问题:

  1.经常检查油位,如果不符合要求,请进行调整以符合要求。真空泵运行时,油位在油标的中心。

  2.应根据实际使用条件及其是否满足性能要求考虑换油周期。通常,当新的真空泵泵送干净的干燥气体时,建议每100个工作小时更换一次机油。在油中看不到黑色金属粉尘后,将来可以适当延长换油周期。

  3.经常检查机油质量。如果发现机油变质,应及时更换新机油,以确保真空泵正常工作。

  4.在正常情况下,应在运行2000小时后检查真空泵。检查橡胶密封圈的老化程度,检查排气阀板是否破裂,并清除沉积在阀板和排气阀座上的污垢。清洁整个真空泵腔体的零件,例如转子,旋转叶片,弹簧等。通常用汽油清洗并干燥。清洁橡胶部件后,用干布擦拭。清洁和组装时,请小心操作,并注意不要伤害自己。

降低真空泵维修故障率的保养方法

  5.在轴承体中添加轴承润滑油,注意油位应在油标的中心线,并应及时更换或补充润滑油。

  6.检查真空泵管和垫圈是否松弛。用手旋转真空泵,以查看真空泵是否灵活。

  7.重新组装后,应进行试运行。通常,它应干燥2小时并换两次油。由于在清洁过程中真空泵中会残留一定量的挥发性物质,因此在正常运行后将使其进入正常工作状态。

  8.启动发动机。当真空泵正常工作时,打开出口压力表和入口真空泵。看到适当的压力后,逐渐打开闸阀并同时检查发动机负荷。

  9.尝试将真空泵的流量控制在标签上指示的范围内,以确保真空泵在最高效率点工作,以最大程度地节省能源。

  10.要停止使用进口的真空泵,请先关闭闸阀和压力表,然后停止发动机。

  11.在使用进口真空泵的过程中,轴承温度不应超过环境温度35C,最高温度不应超过80C。

  12.进口真空泵将在运行的第一个月内更换100小时后更换润滑油,然后每500小时更换一次润滑油。

  13.定期调整填料压盖,以确保填料室泄漏正常(最好泄漏)。

  14.定期检查轴套是否磨损,如果磨损严重,应及时更换。

  15.进口的真空泵将长期停用,必须完全拆卸泵,清洗水,在旋转零件和垫圈上涂润滑脂,并妥善存放。

  16.在寒冷的冬季使用进口真空泵时,请在停止真空泵后,旋开泵体底部的放油螺塞,以排出介质并防止结冰和破裂。


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高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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