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2019 - 10 - 21
水环真空泵是具有强耐腐蚀性,高极限真空和大排量的新一代产品。它广泛用于食品,石油,化工,制药,冶金工业和电子领域。  故障1,盘车困难  盘车困难是水环真空泵经常发生的故障之一,但是盘车困难的主要原因是水环真空泵在出厂后很长时间没有进入工作状态,从而导致水环真空泵端面的出现。生锈的现象。当难以驱动时,通常可以将草酸浸入水环真空泵腔中进行浸入。如果在使用状态下难以驾驶,除了使用草酸浸泡外,还必须清洁水环真空泵的水温和水垢。  故障2,启动声音异常  长时间使用水环真空泵后,启动声音会发出异常声音。发生此类故障时,应首先检查电源电压和电线连接。如果未发现异常,则可以使用水环真空泵。打开盖子以去除杂质。如果发现水环真空泵有生锈现象,则必须添加除锈剂。此外,如果工作流体过多,则启动声音可能会异常,并且可能会排放适量的工作流体。  故障3,水环型真空泵温度过高  对于水环真空泵,如果温度太高,或者原因是工作流体入口温度太高或工作流体供应量太小,首先必须降低工作流体温度或提高工作流体温度。工作流体供应。另外,如果吸入温度过高,则水环真空泵的温度会过高,可以通过在水环真空泵的入口处冷凝可冷凝气体来解决。  故障四,电机温度过热  当电动机温度过热时,水环真空泵需要检查电动机缺相,行气管,叶轮和其他组件。另外,供水不足会导致电机过载温度过高。供水应恢复到正常范围。在正常操作下,水环真空泵发生故障的...
2019 - 11 - 01
什么是水环真空泵  一, 水环真空泵的分类  1,单级单作用水环泵  单级单作用水环泵,单级意味着仅一个叶轮,单作用意味着每当叶轮旋转时,吸入和排气均执行一次。该泵具有更高的极限真空度,但泵速和效率较低。  2,单级双作用水环泵  单级双作用水环泵,单级仅意味着一个叶轮,双作用是指每当叶轮旋转一次时,吸入和排气均进行两次。在相同的抽速下,双作用水环泵的尺寸和重量明显小于单作用水环泵。由于工作室在泵毂的两侧对称分布,因此作用在转子上的负载得到了改善。这种类型的泵具有较高的抽速和较高的效率,但极限真空度较低。  3,双级水环泵  双级水环泵主要由串联的单作用泵组成。本质上,两个单级单作用水环泵的叶轮共享一个心轴。它的主要特点是在高真空和稳定的工作条件下具有大的抽速。  4,大气水环泵  大气水环泵实际上是大气喷射器水环系列的一个机组。 水环泵与大气压泵串联在泵的前面,以增加极限真空度并扩大其使用范围。  二,水环真空泵的优点  1.结构简单,制造精度不高,易于加工。易于操作且易于维护。  2,结构紧凑,泵一般直接与电动机连接,转数较高。具有较小的结构尺寸,可以获得较大的位移。  3.泵腔中没有金属摩擦表面,也无需润滑泵。旋转构件与固定构件之间的密封可以通过水密封直接进行。  4.在泵室中的压缩气体的温度变化非常小,这可以被认为是等温压缩,所以它可以除去易燃易爆气体。  5.由于没有排气...
2019 - 11 - 06
在螺杆真空泵的许多常见故障中,最困难的问题之一是机器无法吸油。如果无法吸收油,则机器将无法工作。让我们详细讨论一下机器。螺杆真空泵设备不能吸收油的要素.  一、螺杆真空泵常见故障:  1、由于存在管道中脏物的危险,它被阻塞或泄漏。  2、吸尘的长宽比超出了允许吸尘的真空泵的阻塞范围。  3、与该组件关联,也就是说,电动机已翻转。  4、油的粘度太大。  二、螺杆真空泵清除方法:  1、预热机油并降低粘度。  2、真空泵维护:螺杆真空泵的轴功率已大大扩展。  3、改变电动机的旋转,使其与泵相同。  4、检查吸管的泄漏部分,找到问题,然后更换法兰垫片并堵塞砂孔。  5、降低泵的安装长宽比,并将其保持在所需的长宽比内。不要太高或太低。  螺杆真空泵可以去除蒸汽中的水蒸气和少量烟灰。市场被应用于制药工业,化工厂,半导体材料等的清洁水平,并且有必要解决诸如机械和设备的吸油之类的若干问题。只有在进行治疗后,才称为对症治疗。
2019 - 11 - 07
使用过真空等离子清洗机的任何人都知道产品的清洁是在真空室内进行的。那么,为什么要在真空中清洁呢?由于进口真空泵是真空等离子清洗机的重要组件之一,因此它的功能是对腔体进行真空清洁,但是您知道如何在真空等离子清洗机中对其进行控制。效果最佳吗?在此,技术人员向您介绍进口真空泵在等离子清洗机中的应用。  因为在真空状态下清洁可以达到更好的效果。将产品放置在连续抽空的密闭室中。如果产品表面有灰尘之类的小颗粒,则将其连续带走。这里的连续抽气意味着真空状态保持在相对稳定的真空状态,即等离子体清洁。机器的排出也需要在稳定的真空状态下进行。  等离子体处理和等离子体清洁技术为后续的塑料,金属,铝或玻璃涂层工艺提供了最佳前提。进口真空泵离子清洗技术可在清洗完成后立即用于后续处理。该应用程序将确保整个过程的清洁度和低成本。由于等离子体具有较高的能量,因此它可以选择性地分解材料表面化学物质或有机物。通过超精细清洁,甚至可以完全清除敏感表面上的有害物质。这为随后的涂层工艺准备了最好的先决条件。  等离子体是气体分子在特殊场合(例如真空和放电)中产生的物质。等离子清洁/刻蚀产生等离子体的设备是在密封的容器中放置两个电极以形成电磁场,并使用进口真空泵达到一定真空度。随着气体变得越来越稀,分子或离子的分子间距和自由移动距离也越来越长,并且受到磁场的影响,发生碰撞而形成等离子体,并产生辉光与此同时。等离子体在电磁场...
2019 - 11 - 11
罗茨真空泵具有对应于不同的操作模式中,选择合适的类型不同的模型,和罗茨真空泵和环境的温度在较低的温度需要升高和电气设备被运行速度较慢,所以很容易影响工作效率。  1.在使用该装置的环境温度的应小于40℃,罗茨真空泵和电机的温度上升不超过75℃。在工作1000小时之后的正常磁力泵应去就耐磨环和轴承的端面,然后将交换不应易损件,堆叠在易于运输液晶介质上应该使用后,排水泵积液进行清洁。  2.防止环境温度的影响的工作职能罗茨真空泵,真空泵坚持清洁其它物体不应被放置在真空泵,真空泵不能被堵塞绕通道,以便于所述泵体的热量,冷却,也有利于维修和操作。  3.三角型皮带张力经常注意罗茨真空泵,如果皮带过紧太紧太松应调整,从而导致复杂的泵体温过高。  4.不要让关节每个管道泄漏,橱柜应坚持预真空适当的范围内,一旦出现缺陷,导致变化的非常复杂的罗茨真空泵环境温度发生,及时修复是非常重要的。  5.坚持以冷却水清淤,否则会导致非常复杂的罗茨泵工作环境温度过高。每次驱动器启动间歇4-6次,2S内的各时间,以引发更大的扭矩限制。  降低环境温度对罗茨真空泵运行的影响,它能够更好地控制它的使用好,相应提高生产率和减少设备磨损的情况出现。使用环境温度是非常重要的。
2019 - 11 - 13
水环真空泵有单级和双级,也有单作用和双作用差异。单级和两级真空泵是指叶轮的级数。单/双作用是指叶轮/壳体的形式,单作用叶轮真空泵叶轮旋转一次,气体进行一次抽吸/排放。双作用真空泵将其叶轮旋转一周。吸入和排出两种气体。  故障维修  轴承磨损  水环真空泵传动部件的磨损是一个普遍的问题,包括轴承位置,轴承座,轴承室,键槽和螺纹。传统方法主要是补焊和电刷镀,但两者都有一定的缺点:补焊高温产生的热应力无法完全消除,可能导致材料损伤弯曲或折断。刷镀受涂层厚度的限制,并且容易剥落,并且上述两种方法使用金属来修复金属。改变“硬对硬”的合作关系是不可能的,在各种力量的共同作用下,它仍然会再次造成磨损。  鉴于上述问题,经常使用聚合物复合材料的修复方法,并且更经常采用的技术体系具有优异的粘附性和优异的抗压强度的综合性能。可以取消聚合物材料修复的应用,并且无需机械加工。没有修复焊接热应力的影响,并且修复厚度不受限制。同时,产品的金属材料没有特许权,可以吸收设备的冲击和振动,避免了再次磨损的可能性,并大大延长了设备部件的使用寿命。企业节省了大量停机时间,并创造了巨大的经济价值。  腐蚀冲蚀修复  真空泵的腐蚀方式可分为两类:全面(均匀)腐蚀和局部腐蚀。前者在真空泵的整个表面上更均匀地发生,而后者仅在局部发生,例如点蚀,缝隙腐蚀,晶间腐蚀,应力腐蚀等。使用聚合物复合材料在真空泵上实施表面有机涂层腐蚀防护...
2019 - 11 - 14
由于各种真空泵的性能可以满足抽真空容器的共同点,因此仍然存在差异。因此,必须明确选择在真空泵系统中承担的任务是非常重要的,在泵的各个工作领域中的作用可以归纳为以下几个方面。  1、系统中的主泵  所谓的主泵是一种真空泵,它直接排空真空系统以获得满足工艺要求所需的真空。  2、粗抽泵  粗抽泵是一种真空泵,它开始从大气压力降低真空系统的压力,直到另一个泵系统开始工作。  3、前级泵  前级泵是用于将另一个泵的前级压力保持在其最大允许前级压力以下的真空泵。  4、维持泵  以维持泵,这意味着当真空系统的吸力很小时,主前级泵无法得到有效利用。为此,在真空系统中另外设置了具有较低抽速的辅助前泵,以维持主泵的正常运行或维持排空容器所需的低压真空泵。  5、粗真空泵或低真空泵  粗真空泵是从大气开始并降低泵送容器压力的真空泵,以在低真空或粗真空压力范围内工作。  6、高真空泵  高真空泵是在高真空范围内运行的真空泵。  7、超高真空泵  超高真空泵是指在超高真空范围内运行的真空泵。  8、增压泵  增压泵通常是真空泵,在低真空泵和高真空泵之间运行,以增加中压范围内泵系统的泵送能力或降低前级泵的泵送速度。
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2019 - 09 - 04
如何调整干式螺杆真空泵的径向间隙?离心叶轮安装在螺杆真空泵泵轴上,然后安装前后盖板以调节径向间隙.1.将螺杆真空泵倒置,放在支架上,使泵轴倾斜,使盖子支撑在支架上时,螺杆真空泵的力使离心叶轮紧密接触在支撑点的一侧,以及离心式叶轮和另一侧盖之间的径向间隙,即螺杆真空泵两侧的直径加上间隙,这个总间隙可以通过以下方法测量。 2.将千分表放在侧盖上,触摸针顶部的屏幕和螺杆泵泵轴,并调整为零。泵轴端部,离心式叶轮与上侧盖完全接触。此时,千分表指示的数字是总径向间隙。如果总径向间隙超过标准值,请进行适当调整。 3.总径向间隙达到标准后,等待螺杆真空泵的组件进行处理,然后拧紧螺母将离心叶轮推到轴上。移动均匀分布两端的径向间隙,推离心叶轮,离心叶轮和侧盖不适合争议的声音。当然,这种调整方法并不能保证两端的径向间隙只是同比增长率。深圳恒才机电设备有限公司以“诚”为本, 持之以“恒”,赋之以“才”,以我们的专业和专注来忠诚地服务每一个客户, 提供给客户持续和稳定的干式螺杆真空泵解决方案,带给客户无尽的财富, 是我们“恒才”的职责。联系电话:  400-862-5533
2019 - 09 - 11
真空泵在很多行业的应用已经很广泛,但是选型和安装都是专业的工程师来负责.那么安装真空泵时应注意什么呢?今天小编就给大家来说说.1.使用真空泵时,应将其水平放置在干燥,通风和清洁的地方。与周围区域的距离大于2CM,前后端之间的空间距离不小于5CM。安装和设备时,请确保风扇叶片壳体端部的正常进气口。 2.在配套机器上安装:拆下底板下方的橡胶支脚,并用ST4.2自攻螺钉连接.3.进风口可根据进风口的螺纹要求连接,也可用皮管插入.4.如果有特殊需要,在真空泵的进气口安装电磁阀.5.如果提取的气体中含有大量水蒸气,温度过高,含有灰尘等,应在进水管上加入相应的装置,如冷却器或过滤器,以免影响正常使用真空泵。好了,以上是真空泵安装时的注意事项,希望能为您的安装提供一些帮助。这里是恒才机电官网,如果有需要真空泵请联系,张工:13928410990或直接在http://www.cnst-pumps.com/网站内咨询客服.
2019 - 09 - 17
在很长一段时间,真空泵被用于从塑料包装中除去氧以延长食品的保质期。真空包装有助于保护味道,消除或减少可能会改变食物的细菌和接触的其他元素的口感和品质。  近年来,肉类包装设备已经过测试,作为一个旋转螺杆真空泵技术替代旋片泵的产品。很多人都注意到了可靠性,能源效率和维护成本显著上升。  螺杆真空泵的可靠性  具有非接触的泵壳体的螺旋真空泵的旋转装置,因此最小的磨损,降低维护要求。  螺杆真空泵的能源效率  食品包装厂通常使用的25马力的旋片式真空泵。切换到旋转螺杆15马力变速驱动(VSD)技术,可以帮助客户降低装机功率达到40%以上的流量。  螺杆真空泵降低维护成本  75-150小时,通常每3-4年或每16000小时操作的旋片泵的维护间隔一次保养,维修和旋转螺杆需要8000小时,并能检修之前运行48000小时。  而不是使用一个旋转螺杆旋片泵可以为您的食品包装设备的可靠和经济的解决方案。
2019 - 10 - 18
真空泵是使用机械,物理,化学或物理化学方法排空泵送容器以获得真空的装置。通常,真空泵是一种使用各种方法来改善,创建和维持封闭空间中的真空的设备。今天我们将讨论真空泵的定子曲线要求。一,适当的两点间距:由于叶片是一个整体解决方案,因此提高了刚度,并且一端的弹性必须构成另一端的相应弹性。因此,无论转子是否转向某个角度。必须确保曲线与转子的两端接触在一起。坚持合理的开放空间。避免出现空隙现象并增加通风。二,叶片没有冲击振荡,超激的:光滑的定子曲线的噪音不能有太大的加速度,加快组装速度会导致旋片某端部增加定子曲线表面的压力,增加磨损和声音。但是,假设径向速度4)在定子曲线上的一个点处发生变化,则该点处的径向加速度将增加。理论上等于无穷大。如果a是无穷大。这时刀片似乎已分离,并且会产生很大的冲击力。它构成了很大的嗡嗡声和严重的磨擦。为了消除这种现象,需要反复润滑定子曲线。三,旋转件的旋转极好:定子曲线点的点与曲线的点的法线之间的夹角为定子曲线的压力角。压力角的增加将增加旋转叶片上的定子力与旋转叶片方向之间的夹角,这将增加旋转叶片的侧向力,增加旋转叶片与转子之间的冲突,并恶化叶片的压力。影响泵的寿命和整体功率。四,抽速大:真空泵不增加泵体规格,尽可能增加旋转叶片泵元件的容积面积,以获得更高的抽速串。新的定子曲线,以及增加的抽速,还应具有现有曲线的速度和加速度特性。现在,真空泵的定子曲线主要由理...
2019 - 10 - 31
今天给大家介绍一下罗茨旋片真空机组,主要从概述与选择注意事项这两方面来讲解一下.  罗茨旋片真空机组概述  罗茨旋片真空机组由作为主泵的ZJ型罗茨泵,作为前级泵的低液位和高真空设备的单级或双级旋片泵组成。整个机组放置在带有管道,阀门和电气控制箱的机架上,除了最小的两个规格外,还配备了冷却水管道系统机组,结构紧凑且易于使用。当转子叶片真空度达到极限时,泵送速度会不断降低。 罗茨真空泵使该机组在极限真空期间保持相对较高的抽速。 罗茨旋片真空机组具有很高的真空度,可以连续工作。低噪声。  为了提高罗茨旋片真空机组的泵送性能,实现更高的极限真空度并提高低进口压力下的泵送速度,并为大型真空机组使用更小尺寸的前端泵,罗茨旋片真空机组还具有由二级罗茨真空泵串联连接的三级机组。  根据真空系统的大小和气体状态,罗茨旋片真空机组的泵之间的标称泵送速度之比通常在4:1和10:1之间。前者适用于较长的真空系统。在低入口压力或极高真空下工作。为了防止前级旋片式真空泵回油,该系列罗茨旋片真空机组在前级管路上配备了电磁放气阀,其作用与前级的电机相连。  罗茨旋片真空机组的使用范围  罗茨旋片真空机组适用于泵送空气和其他不可冷凝,无腐蚀性的气体。它广泛用于需要高抽速和低真空和高真空的各种真空系统中。例如:真空熔炼,钢液脱气,真空烧结,大空间动态真空采集模拟测试,功率电容器,变压器真空浸没处理,荧光灯管,灯泡生产...
2019 - 11 - 05
水环真空泵维护和日常维护  (1)应注意油位和油的清洁度。新泵应每150小时更换一次,此后每2-3个月更换一次 如果操作条件不佳,当真空下降时,换油时间会缩短。  (2)保持泵和泵室干燥和清洁。  (3)始终注意冷却水和机油的温度。最高温度不超过85℃,冷却水入口温度不超过30℃,出口温度不超过5℃,水质保持清洁。  水环真空泵日常维护注意事项  (1)定期检查水环真空泵管道和接头是否松动 用手转动水环真空泵,看看水环真空泵是否灵活。  (2)向轴承体中添加轴承润滑油。观察机油标记中心线的油位。润滑油应及时更换或补充。  (3)拧紧下水环镇空泵体的导流塞注水(或泥浆) 。  (4)关闭出口管的闸阀、出口压力表和入口真空表。  (5)轻推电机,看看电机转动是否正确。  (6)启动电机。当水环真空泵正常运行时,打开出口压力表和入口水环真空泵。在显示适当的压力后,逐渐打开闸阀,同时检查电机负载 。  (7)尽量将水环真空泵的流量和扬程控制在标牌上指示的范围内,以确保水环真空泵在最高效率点运行,从而获得最大的节能效果。  (8)水环真空泵运行期间,轴承温度不得超过环境温度35C,最高温度不得超过80C 。  (9)如果在水环空泵中发现异常声音,立即停机检查原因。  (10)水环真空要停止使用泵,首先关闭闸阀、压力表,然后停止电机。  (11)水环真空泵应在运行的第一个月100小时后更换润滑...
2019 - 11 - 07
水环泵叶轮和形式在腔室1中的水环泵体内旋转。水齿圈构成新月形的工作空间。从小到大体积的月牙的右半中,形成吸入室中。由大至小新月向左的一半体积,构成了压缩处理(对应于排气室)。所述气体泵送通过进气管进入的进气口和吸入室。转子的进一步旋转,气体被压缩,并通过排气口排气管。水滴和从排气管道排入罐中的气体,此时出来的水从气体中分离,给药导管9中的气体到大气中,水从泵入罐中,或通过排水配管装置排出。  水环泵的压缩比由泵吸入口的端部位置和排气口开始位置来确定。由于吸入口的端部位置确定吸入气体抽吸腔室的体积;排气口的开始位置确定为排气气体的压缩体积。的结构已被确定为水环泵的尺寸,能够获得压缩比。  水环真空泵不能启动  电机烧坏。主要为电机定子线圈烧毁,引起原因较多,如瞬间电流过大,电机轴承使用时间过长后磨损,致使轴承摩擦阻力变大,电机功率加大,引起温度上升,导致电机烧毁。这时应先检查电机轴承,再检查电机线圈。轴承损坏时,更换轴承;电机线圈烧毁时,应维修电机,重新绕制定子线圈。轴承和线圈损坏严重时,应更换电机。  旋片卡阻。主要表现为旋片与泵腔内表面的摩擦阻力过大,致使电机无法带动转子(旋片)。其原因是旋片变形,转子内的弹簧张开后不能复位,或弹簧压力和旋片自身离心力的合力过大,导致旋片与泵腔内表面的摩擦阻力过大。这时应当修复旋片和弹簧,不能修复时,更换二者。  水环真空泵盘车不顺利。这种状况产...
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平板显示器中螺杆真空泵的使用

日期: 2019-11-06
来源:
浏览次数: 187

  随着在屏幕阅读的幻想未来,显示面板行业的高速发展。面板的制造过程非常复杂。从玻璃基板到成品至少需要300道工序。整个过程需要在无尘的环境和精确的技术过程中进行。因此,在面板生产过程中,高度可靠的真空供应尤为重要。平板显示器厂家现在使用干螺杆真空泵技术为其高负荷L/L,CVD,PVD,刻蚀,溶剂蒸发工艺提供真空。本文旨在介绍下螺杆真空泵在平板显示器中的应用。

平板显示器中螺杆真空泵的使用


  平板显示器(FPD)的制造过程需要真空和减排设备,这些设备可以支撑大型处理室并以最大的可靠性提供高气体流量。需要真空设备来泵送有毒,自燃性和腐蚀性气体,并处理在处理室中形成的大量固体处理副产物。

  为什么选择平板显示器的螺杆真空泵?

  选择干式螺杆真空泵的原因实际上与其产品特性有关。它具有以下三个优点:

  1、高可靠性

  干式螺杆真空泵由于其成熟的双螺杆设计和智能的温度管理而特别高效。这些真空泵即使在最严苛的应用中也能提供高可靠性和长使用寿命。

  2、配备节能模式功能,可以节省大量能源

  干式螺杆真空泵配备有节能电机和世界先进的节能模式功能。控制系统可根据需求自动调整为节能模式,并在需要时恢复至最大抽气模式,从而节省了大量能源。

  3、最小化维护和运营成本

  它的一小部分部件(包括转子)都是一件式的。得益于其模块化设计以及独立的罗茨泵和螺杆泵机架,它易于安装和维护,大大降低了大修成本。由于优化的空间设计和节能潜力,真空泵的运行成本较低。

平板显示器中螺杆真空泵的使用


  由多个干式螺杆真空泵与罗茨泵组成的真空系统是平板显示器应用的最佳解决方案,例如快速排空以进入腔室,排空过渡腔室和薄膜沉积腔室。在相同类型的泵中,它们提供最快的泵送时间和最快的泵送速度。通过标准化设计,真空使系统提供了极大的用户友好性。用户还可以受益于标准化的接口,例如电气连接,吹扫气体和冷却水,方便的设备维护以及优化的泵管理。

  以上是螺杆真空泵在平板显示器中的应用,如果您想了解更多,可以联系我们公司。根据CVD,PVD,刻蚀,PR涂层,盒成型,OLED蒸发,包装,离子注入等不同的工艺要求,我们可以为客户定制专业的真空解决方案。


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高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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